水平連續(xù)式真空等離子處理機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及PCB領(lǐng)域，特別是涉及一種水平連續(xù)式真空等離子處理機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]等離子除膠渣是現(xiàn)PCB行業(yè)生產(chǎn)中的一段制程，尤其在柔性多層電路板中具有重要環(huán)節(jié)。PCB在鉆孔時因高速旋轉(zhuǎn)，導(dǎo)致孔內(nèi)溫度過度而融化了板中的樹脂，這些樹脂在鉆孔高速旋轉(zhuǎn)就產(chǎn)生了膠渣，如果膠渣去除不凈，將會造成內(nèi)層連接不良或孔比結(jié)合不良問題甚至斷路問題，所以電鍍前需要先除膠渣。
[0003]目前運(yùn)用在此制程的等離子設(shè)備以固定腔體式設(shè)備為主，主要為人工操作，具體工序?yàn)?作業(yè)員將板料固定或放置在料架上，送入等離子腔室內(nèi)，抽真空、再按比例釋放配方氣體，電極轟擊等離子處理，完成后再從料架上拆下板料。
[0004]目前的腔體式設(shè)備在上下料時，由于為人員手動操作，容易造成板料褶皺以及表面劃傷等問題，同時腔體式設(shè)備無法與后制程接駁，從而無法建立整體生產(chǎn)模式。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型主要解決的技術(shù)問題是提供一種水平連續(xù)式真空等離子處理機(jī)，能夠保證靜電處理室的真空度，同時提高膠渣去除效果，減少人員直接接觸板料，并且可接駁后置水平線，做到連續(xù)性生產(chǎn)。
[0006]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用的一個技術(shù)方案是:提供一種水平連續(xù)式真空等離子處理機(jī)，包括:工作臺、支架和底座，所述工作臺固定于支架上，支架的下端設(shè)置底座，所述工作臺上設(shè)置有進(jìn)料端、靜電處理室、出料端和輸送裝置，所述進(jìn)料端與靜電處理室之間、靜電處理室與出料端之間分別設(shè)置有至少一個槽體，所述槽體與靜電處理室各自設(shè)置有隔離門與真空栗，所述靜電處理室內(nèi)設(shè)置有電極，所述水平連續(xù)式真空等離子處理機(jī)還包括一 PLC控制系統(tǒng)。
[0007]優(yōu)選的，所述進(jìn)料端、槽體、靜電處理室、出料端分別設(shè)置有獨(dú)立的輸送裝置。
[0008]優(yōu)選的，所述輸送裝置為滾輪。
[0009]優(yōu)選的，通過齒輪、傳動鏈輪和馬達(dá)驅(qū)動。
[0010]優(yōu)選的，所述馬達(dá)為伺服馬達(dá)，所述伺服馬達(dá)與PLC控制系統(tǒng)之間電氣連接。
[0011]優(yōu)選的，所述進(jìn)料端與靜電處理室之間的槽體為兩個，所述靜電處理室與出料端之間的槽體也為兩個。
[0012]優(yōu)選的，所述進(jìn)料端、槽體、靜電處理室、出料端分別設(shè)置有獨(dú)立的隔離門和真空栗O
[0013]優(yōu)選的，所述進(jìn)料端、槽體、靜電處理室、出料端內(nèi)均設(shè)置有傳感器。
[0014]本實(shí)用新型的有益效果是:1、通過分步抽真空，保證了靜電處理室內(nèi)的真空度；2、免去腔體式設(shè)備人員在固定料架上下板料，避免了板料褶皺以及表面劃傷等問題；3、能夠與前段制程、后段制程相接駁，提高了整個制程的自動化程度，進(jìn)而提高了生產(chǎn)效率。
【附圖說明】
[0015]圖1是本實(shí)用新型一種水平連續(xù)式真空等離子處理機(jī)一較佳實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]附圖中各部件的標(biāo)記如下:1、工作臺，2、支架，3、底座，4、進(jìn)料端，5、靜電處理室，6、出料端，7、槽體一，8、槽體二，9、槽體三，10、槽體四，11、滾輪，12、電極，13、隔離門A，14、隔咼門B，15、隔咼門C，16、隔咼門D，17、隔咼門E，18、隔咼門F0
【具體實(shí)施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)闡述，以使本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征能更易于被本領(lǐng)域技術(shù)人員理解，從而對本實(shí)用新型的保護(hù)范圍做出更為清楚明確的界定。
[0018]請參閱圖1，本實(shí)用新型實(shí)施例包括:
[0019]一種水平連續(xù)式真空等離子處理機(jī)，包括:工作臺1、支架2和底座3，所述工作臺I固定于支架2上，支架2的下端設(shè)置底座3，所述工作臺I上設(shè)置有進(jìn)料端4、靜電處理室
5、出料端6和輸送裝置，所述進(jìn)料端4與靜電處理室5之間、靜電處理室5與出料端6之間分別設(shè)置有至少一個槽體，所述槽體與靜電處理室5各自設(shè)置有隔離門與真空栗，所述靜電處理室5內(nèi)設(shè)置有電極12，所述水平連續(xù)式真空等離子處理機(jī)還包括一 PLC控制系統(tǒng)。
[0020]在本實(shí)施例中，所述進(jìn)料端4與靜電處理室5之間的槽體為兩個:槽體一 7和槽體二 8，所述靜電處理室5與出料端6之間的槽體也為兩個:槽體三9和槽體四10。
[0021]所述進(jìn)料端4、槽體、靜電處理室5、出料端6分別設(shè)置有獨(dú)立的隔離門、真空栗和滾輪，所述槽體一 7和槽體四10的真空壓強(qiáng)值將控制在760~100 torr ;槽體二 8和槽體三9的真空壓強(qiáng)值將控制在100~10 torr ;靜電處理室5的真空壓強(qiáng)值將控制在10~0.5 torr,從而形成了過渡的“弱真空”槽體，當(dāng)各槽體達(dá)到相應(yīng)真空值要求后，將打開一端的隔離門，完成接送板料的動作，保證了板料的連續(xù)、水平生產(chǎn)。
[0022]本實(shí)用新型的工作過程如下所示:
[0023]一、進(jìn)料端4和出料端6直接對接大氣環(huán)境，氣壓環(huán)境與室內(nèi)相同，且可與上、下游的制程設(shè)備進(jìn)行水平對接；
[0024]二、槽體一 7在傳感器感應(yīng)到板料時，將自動打開隔離門A13，待板料進(jìn)入后，關(guān)閉隔離門A13，再在短時間內(nèi)將槽體一 7的腔體抽真空至100 torr,然后打開隔離門B14，將板料送入槽體二 8 ;
[0025]三、待板件完全進(jìn)入槽體二 8時，隔離門B14關(guān)閉，槽體一 7的隔離門A13打開，引入下一片板料，并進(jìn)行抽真空。槽體二 8的真空環(huán)境將控制在10 torr左右，后將打開隔離門C15，將板料迅速送入靜電處理室5 ;
[0026]四、板料進(jìn)入靜電處里室5以后，關(guān)閉隔離門C15。從而在靜電處理室5中抽真空至反應(yīng)所需范圍，并充入相應(yīng)的反應(yīng)氣體，通過電極12電擊產(chǎn)生電漿，利用電漿中等離子體完成所需要的反應(yīng)；
[0027]五、反應(yīng)完畢后，靜電處理室5的隔離門D16打開，將板料送到槽體三9。因此板料的真空環(huán)境就相應(yīng)切換到相對低一等級的槽體三9中。關(guān)閉隔離門D16，然后在槽體三9達(dá)到規(guī)定的真空范圍后，打開下一段的隔離門E17，將板料送入槽體四10 ;
[0028]六、最后板料進(jìn)入槽體四10以后，關(guān)閉隔離門E17，迅速打開隔離門F18，將板件送出至出料端6，便可以進(jìn)入下一段制程。
[0029]以上所述僅為本實(shí)用新型的實(shí)施例，并非因此限制本實(shí)用新型的專利范圍，凡是利用本實(shí)用新型說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種水平連續(xù)式真空等離子處理機(jī)，其特征在于，包括:工作臺、支架和底座，所述工作臺固定于支架上，支架的下端設(shè)置底座，所述工作臺上設(shè)置有進(jìn)料端、靜電處理室、出料端和輸送裝置，所述進(jìn)料端與靜電處理室之間、靜電處理室與出料端之間分別設(shè)置有至少一個槽體，所述槽體與靜電處理室各自設(shè)置有隔離門與真空栗，所述靜電處理室內(nèi)設(shè)置有電極，所述水平連續(xù)式真空等離子處理機(jī)還包括一 PLC控制系統(tǒng)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種水平連續(xù)式真空等離子處理機(jī)，其特征在于，所述進(jìn)料端、槽體、靜電處理室、出料端分別設(shè)置有獨(dú)立的輸送裝置。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種水平連續(xù)式真空等離子處理機(jī)，其特征在于，所述輸送裝置為滾輪。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種水平連續(xù)式真空等離子處理機(jī)，其特征在于，所述滾輪通過齒輪、傳動鏈輪和馬達(dá)驅(qū)動。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種水平連續(xù)式真空等離子處理機(jī)，其特征在于，所述馬達(dá)為伺服馬達(dá)，所述伺服馬達(dá)與PLC控制系統(tǒng)之間電氣連接。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種水平連續(xù)式真空等離子處理機(jī)，其特征在于，所述進(jìn)料端與靜電處理室之間的槽體為兩個，所述靜電處理室與出料端之間的槽體也為兩個。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種水平連續(xù)式真空等離子處理機(jī)，其特征在于，所述進(jìn)料端、槽體、靜電處理室、出料端分別設(shè)置有獨(dú)立的隔離門和真空栗。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種水平連續(xù)式真空等離子處理機(jī)，其特征在于，所述進(jìn)料端、槽體、靜電處理室、出料端內(nèi)均設(shè)置有傳感器。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種水平連續(xù)式真空等離子處理機(jī)，包括：工作臺、支架和底座，所述工作臺固定于支架上，支架的下端設(shè)置底座，所述工作臺上設(shè)置有進(jìn)料端、靜電處理室、出料端和輸送裝置，所述進(jìn)料端與靜電處理室之間、靜電處理室與出料端之間分別設(shè)置有至少一個槽體，所述槽體與靜電處理室各自設(shè)置有隔離門與真空泵，所述靜電處理室內(nèi)設(shè)置有電極，所述水平連續(xù)式真空等離子處理機(jī)還包括一PLC控制系統(tǒng)。通過上述方式，本實(shí)用新型能夠保證靜電處理室的真空度，提高膠渣去除效果，減少人員直接接觸板料，并且可接駁后置水平線，做到連續(xù)性生產(chǎn)。
【IPC分類】B08B7/00
【公開號】CN204817348
【申請?zhí)枴緾N201520309663
【發(fā)明人】劉炯峰, 李輝煌, 張秦, 周陽
【申請人】亞智系統(tǒng)科技(蘇州)有限公司
【公開日】2015年12月2日
【申請日】2015年5月14日