二氧化碳?xì)馀輽C(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型發(fā)明公開了半導(dǎo)體加工設(shè)備領(lǐng)域的一種二氧化碳?xì)馀輽C(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體生產(chǎn)中半導(dǎo)體晶片是半導(dǎo)體器件的原料，晶體硅在加工出來之后為很大一片，為了方便光雕設(shè)備，需要切割成有一定規(guī)格的晶片，晶片一般是圓盤狀，成品芯片的面積很小(例如CPU的芯片面積差不多和小拇指的指甲那么大，CPU算是我見到最大的芯片了)，光雕是在大片晶片上進(jìn)行批量刻蝕，一大塊上全部雕好之后，就需要一塊一塊切下來，然后繼續(xù)加工，然后測試封裝，因?yàn)榍懈钸^程中會產(chǎn)生熱量，使用冷卻水進(jìn)行冷卻，另外切割過程中中會產(chǎn)生一些粉塵和碎肩，需用水來沖洗刀片，常用純水由于電阻值較高在切割過程中會產(chǎn)生靜電會造成光雕好的晶圓損壞，影響后續(xù)的工藝。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型發(fā)明的目的是提供一種用于生產(chǎn)低阻值純凈水的加工設(shè)備。
[0004]本實(shí)用新型發(fā)明是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:
[0005]一種二氧化碳?xì)馀輽C(jī)，包括二氧化碳注入器、二氧化碳調(diào)節(jié)器、二氧化碳凈化閥、電阻控制器、電阻檢測探頭、電阻儀和二氧化碳?xì)庠?，純水?jīng)過二氧化碳注入器調(diào)節(jié)成富含二氧化碳的純水，其特征在于:高阻值的純水通過電阻控制器進(jìn)入二氧化碳注入器，與從二氧化碳?xì)庠催^來的二氧化碳在二氧化碳注入器內(nèi)混合，混合后的低阻值純水由管道輸出，二氧化碳?xì)庠赐ㄟ^氣體過濾器和二氧化碳調(diào)節(jié)器進(jìn)入二氧化碳注入器，電阻檢測探頭設(shè)置在出水口，電阻檢測探頭與電阻儀相連，電阻儀顯示輸出純水的電阻值，純凈水經(jīng)過二氧化碳的注入降低了純水的電阻，減少晶片切割過程中靜電影響；所述二氧化碳凈化閥有手動凈化和自動凈化2種模式；輸入高阻值的純水的阻值為:18.2ΜΩ，輸出低阻值純水的阻值為 0.2-1.0M Ω ο
[0006]本實(shí)用新型發(fā)明具有以下有益效果:
[0007]1.操作簡單、成本低廉；
[0008]2.性能穩(wěn)定、數(shù)字式直接顯示。
【附圖說明】
[0009]圖1為二氧化碳?xì)馀輽C(jī)工藝結(jié)構(gòu)圖。
[0010]圖中:二氧化碳注入器1、二氧化碳調(diào)節(jié)器2、二氧化碳凈化閥3、電阻控制器4、電阻檢測探頭5、電阻儀6和二氧化碳?xì)庠?。
【具體實(shí)施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型發(fā)明的內(nèi)容做進(jìn)一步的說明:
[0012]如圖所示為二氧化碳?xì)馀輽C(jī)工藝結(jié)構(gòu)圖，包括二氧化碳注入器1、二氧化碳調(diào)節(jié)器2、二氧化碳凈化閥3、電阻控制器4、電阻檢測探頭5、電阻儀6和二氧化碳?xì)庠?。
[0013]本實(shí)用新型發(fā)明的目的是提供一種用于生產(chǎn)低阻值純凈水的加工設(shè)備，通過該設(shè)備使純水中富含二氧化碳，用于降低純水的阻值，減少晶圓切割中純水產(chǎn)生的靜電對切割工藝的影響，水經(jīng)過二氧化碳注入器調(diào)節(jié)成富含二氧化碳的純水，其特征在于:高阻值的純水通過電阻控制器進(jìn)入二氧化碳注入器，與從二氧化碳?xì)庠催^來的二氧化碳在二氧化碳注入器內(nèi)混合，混合后的低阻值純水由管道輸出，二氧化碳?xì)庠赐ㄟ^氣體過濾器和二氧化碳調(diào)節(jié)器進(jìn)入二氧化碳注入器，電阻檢測探頭設(shè)置在出水口，電阻檢測探頭與電阻儀相連，電阻儀顯示輸出純水的電阻值；通過二氧化碳?xì)馀輽C(jī)使純水的阻值從18.2ΜΩ降低到0.2-1.0M Ω。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種二氧化碳?xì)馀輽C(jī)，包括二氧化碳注入器、二氧化碳調(diào)節(jié)器、二氧化碳凈化閥、電阻控制器、電阻檢測探頭、電阻儀和二氧化碳?xì)庠?，純水?jīng)過二氧化碳注入器調(diào)節(jié)成富含二氧化碳的純水，其特征在于:高阻值的純水通過電阻控制器進(jìn)入二氧化碳注入器，與從二氧化碳?xì)庠催^來的二氧化碳在二氧化碳注入器內(nèi)混合，混合后的低阻值純水由管道輸出，二氧化碳?xì)庠赐ㄟ^氣體過濾器和二氧化碳調(diào)節(jié)器進(jìn)入二氧化碳注入器，電阻檢測探頭設(shè)置在出水口，電阻檢測探頭與電阻儀相連，電阻儀顯示輸出純水的電阻值。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二氧化碳?xì)馀輽C(jī)，其特征在于:所述二氧化碳凈化閥有手動凈化和自動凈化2種模式。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二氧化碳?xì)馀輽C(jī)，其特征在于:輸入高阻值的純水的阻值為:18.2ΜΩ，輸出低阻值純水的阻值為0.2-1.0MΩ。
【專利摘要】本實(shí)用新型發(fā)明公開了半導(dǎo)體加工設(shè)備領(lǐng)域的一種二氧化碳?xì)馀輽C(jī)。包括二氧化碳注入器、二氧化碳調(diào)節(jié)器、二氧化碳凈化閥、電阻控制器、電阻檢測探頭、電阻儀和二氧化碳?xì)庠?，純水?jīng)過二氧化碳注入器調(diào)節(jié)成富含二氧化碳的純水，其特征在于：高阻值的純水通過電阻控制器進(jìn)入二氧化碳注入器，與從二氧化碳?xì)庠催^來的二氧化碳在二氧化碳注入器內(nèi)混合，混合后的低阻值純水由管道輸出，二氧化碳?xì)庠赐ㄟ^氣體過濾器和二氧化碳調(diào)節(jié)器進(jìn)入二氧化碳注入器，電阻檢測探頭設(shè)置在出水口，電阻檢測探頭與電阻儀相連，電阻儀顯示輸出純水的電阻值。本實(shí)用新型具有操作簡單、成本低廉、性能穩(wěn)定和數(shù)字式直接顯示等優(yōu)點(diǎn)。
【IPC分類】C02F1-00, C02F1-68
【公開號】CN204474350
【申請?zhí)枴緾N201520139547
【發(fā)明人】姜道明
【申請人】上海巨仁電子科技有限公司
【公開日】2015年7月15日
【申請日】2015年3月10日