一種高功率激光裝置的大型箱體表面的潔凈處理方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種高功率激光裝置的大型箱體表面的潔凈處理方法。所述的方法首先采用普通清洗方法以去除箱體表面的大粒徑和大面積污染物，其后經(jīng)脫水處理，再將元件浸泡于清水中浸潤，浸潤后的箱體經(jīng)過兩次清洗劑溶液高壓噴淋清洗、清水高壓噴淋漂洗和脫水處理過程。本發(fā)明的高功率激光裝置的大型箱體表面的潔凈處理方法，適用于高功率激光裝置的大型箱體表面的清潔，污染物去除效果好，處理后的箱體表面潔凈度等級高，具有可靠、經(jīng)濟、高效的特點。清洗后的大型箱體表面潔凈度等級優(yōu)于BJD 100級?A/10A。
【專利說明】
一種高功率激光裝置的大型箱體表面的潔凈處理方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明屬于激光工程領(lǐng)域，具體涉及一種高功率激光裝置的大型箱體表面的潔凈處理方法。
【背景技術(shù)】
[0002]高強度激光在許多高新技術(shù)領(lǐng)域中得到廣泛應用，是當代各國競相研究的重要領(lǐng)域。隨著強激光技術(shù)的不斷發(fā)展，特別是慣性約束核聚變系統(tǒng)的研制，光學系統(tǒng)各個單元器件所要求承受的功率密度越來越高。光學元件表面的污染物在高功率激光束的輻照下，會嚴重地降低光學元件的抗損傷能力。目前，激光裝置運行過程中的污染已經(jīng)成為裝置負載能力進一步提升的瓶頸。保持大型激光裝置的運行環(huán)境和光學元件的潔凈度對提高光束質(zhì)量和延長元件使用壽命有重要意義。因此，高功率激光裝置內(nèi)部的機械結(jié)構(gòu)表面都要求有較高的潔凈度，部分結(jié)構(gòu)件需要達到百級的標準。
[0003]為了保持其潔凈度，大型激光裝置中的大型箱體經(jīng)常需要下架清洗，而目前尚無成熟、系統(tǒng)的超高潔凈機械元件表面處理方法。在微電子、航空航天等領(lǐng)域有一些處理方法，但所涉及機械元件的規(guī)模、材質(zhì)和用途均與高功率激光領(lǐng)域有較大區(qū)別，因而不能直接引用。同時，由于高功率激光裝置不同機械元件的表面潔凈度等級要求不盡相同，因此一般的處理方式很難可靠、高效和經(jīng)濟地達到處理要求。目前，尚未有適用于機械元件中的大型箱體表面的潔凈度高的高效處理方法。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種高功率激光裝置的大型箱體表面的潔凈處理方法。
[0005]本發(fā)明的高功率激光裝置的大型箱體表面的潔凈處理方法，其特征在于，包括以下步驟:
a 1.用純水擦拭箱體表面；
a2.對箱體進行脫水處理；
a3.用清水浸潤箱體表面；
a4.用清洗劑溶液對箱體進行高壓噴淋清洗；
a5.用清水對箱體進行高壓噴淋清洗；
a6.對箱體進行脫水處理；
a7.用清洗劑溶液對箱體進行高壓噴淋清洗；
a8.用清水對箱體進行高壓噴淋清洗；
a9.對箱體進行脫水處理。
[0006]所述的步驟al的純水的電阻率大于等于5ΜΩ.cm，所述的步驟a3、a5和a8的清水的電阻率大于等于15ΜΩ.cm。
[0007]所述的步驟a4、a5、a7、a8的出水壓力范圍為7MPa?17MPa，出水口距箱體表面50mm~10mm0
[0008]所述的步驟a4、a5的高壓噴淋清洗速率小于等于0.25m2/min。
[0009]所述的步驟a7、a8的高壓噴淋清洗速率小于等于0.15m2/min，高壓噴淋清洗介質(zhì)的溫度為55°C~65°C。
[0010]所述的步驟a4、a7的使用的清洗劑溶液為濃度5%的布魯林⑶-1990溶液，溫度小于等于65°C。
[0011]所述的步驟a2、a6和a9的脫水處理過程為使用高壓氮氣吹掃箱體表面，再利用長纖維毛巾擦拭箱體表面水漬。
[0012]本發(fā)明的高功率激光裝置的大型箱體表面的潔凈處理方法，適用于高功率激光裝置中大型箱體表面的潔凈處理的清潔，污染物去除效果好，處理后的箱體表面潔凈度等級高，具有可靠、經(jīng)濟、高效優(yōu)點，清洗后的大型箱體表面潔凈度等級優(yōu)于BJD 100級-A/10A。
【具體實施方式】
[0013]下面結(jié)合實施例具體說明本發(fā)明方法。
[0014]以下實施例僅用于說明本發(fā)明，而并非對本發(fā)明的限制。有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化、替換和變型，因此同等的技術(shù)方案也屬于本發(fā)明的范疇。
[0015]實施例1
取高功率激光裝置中的大型箱體，材質(zhì)為不銹鋼。
[0016]清洗步驟如下:
1.使用電阻率大于等于5ΜΩ.cm純水通體沖洗大型箱體；
2.使用高壓氮氣吹掃大型箱體表面，再使用干凈的長纖維毛巾擦拭掉箱體表面水漬；
3.使用電阻率大于等于15ΜΩ.cm的清水浸潤大型箱體表面；
4.使用出口壓力為17MPa、流量為15L/min、體積比為5%的布魯林⑶-1990溶液、溫度小于等于65°C的射流，在距大型箱體50mm~100mm處以小于等于0.25m2/min的速度對其進行高壓噴淋清洗；
5.使用出口壓力為17MPa、流量為15L/min、溫度為55°C~65°C、電阻率大于等于15MΩ.cm的高壓水射流，在距大型箱體50mm?10mm處以小于等于0.25m2/min的速度對其進行高壓噴淋漂洗，直至大型箱體的表面無清洗液殘留；
6.使用高壓氮氣吹掃大型箱體表面，再使用干凈的長纖維毛巾擦拭掉大型箱體表面的水漬；
7.配制體積比為5%的布魯林⑶-1990溶液，再使用出口壓力為17MPa、流量為15L/min、溫度小于等于65°C、體積比為5%的布魯林⑶-1990溶液，在距大型箱體表面50mm?10mm處以小于等于0.15m2/min的速度對其進行高壓噴淋清洗；
8.使用出口壓力為17MPa、流量為15L/min、溫度為55°C~65°C、電阻率大于等于15MΩ.cm的高壓水射流，在距大型箱體表面50mm~100mm處以小于等于0.15m2/min的速度對其進行高壓噴淋漂洗，直至大型箱體的表面無清洗液殘留；
9.使用高壓氮氣吹掃大型箱體表面，再使用干凈的長纖維毛巾擦拭掉大型箱體表面的水漬。
[0017]利用化學取樣稱量法對處理前后的中燈箱模塊進行表面污染物含量分析，檢測結(jié)果表明清洗后表面潔凈度等級達到使用要求，表面潔凈度等級優(yōu)于BJD 100級-A/10A。
[0018]實施例2
實施例2與實施例1基本相同，不同之處在于實施例2中高壓噴淋過程中出水口壓力為7Mpa，檢測結(jié)果表明清洗后表面潔凈度等級達到使用要求。
[0019]實施例3
實施例3與實施例1基本相同，不同之處在于實施例3中高壓噴淋過程中出水口壓力為lOMpa，檢測結(jié)果表明清洗后表面潔凈度等級達到使用要求。
【主權(quán)項】
1.一種高功率激光裝置的大型箱體表面的潔凈處理方法，其特征在于，所述處理方法包括以下步驟: al.用純水擦拭箱體表面； a2.對箱體進行脫水處理； a3.用清水浸潤箱體表面； a4.用清洗劑溶液對箱體進行高壓噴淋清洗； a5.用清水對箱體進行高壓噴淋清洗； a6.對箱體進行脫水處理； a7.用清洗劑溶液對箱體進行高壓噴淋清洗； a8.用清水對箱體進行高壓噴淋清洗； a9.對箱體進行脫水處理。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高功率激光裝置的大型箱體表面的潔凈處理方法，其特征在于，所述的步驟al的純水的電阻率大于等于5ΜΩ.cm，所述的步驟a3、a5和a8的清水的電阻率大于等于15ΜΩ.cm。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高功率激光裝置的大型箱體表面的潔凈處理方法，其特征在于，所述的步驟&4、&5、37、38的出水壓力范圍為7]\0^~17]\0^，出水口距箱體表面50111111~10mm04.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高功率激光裝置的大型箱體表面的潔凈處理方法，其特征在于，所述的步驟a4、a5的高壓噴淋清洗速率小于等于0.25m2/min。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高功率激光裝置的大型箱體表面的潔凈處理方法，其特征在于，所述的步驟a7、a8的高壓噴淋清洗速率小于等于0.15m2/min，高壓噴淋清洗介質(zhì)的溫度為 55°C~65°C。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高功率激光裝置的大型箱體表面的潔凈處理方法，其特征在于，所述的步驟a4、a7的使用的清洗劑溶液為濃度5%的布魯林GD-1990溶液，溫度小于等于65。。。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高功率激光裝置的大型箱體表面的潔凈處理方法，其特征在于，所述的步驟a2、a6和a9的脫水處理過程為使用高壓氮氣吹掃箱體表面，再利用長纖維毛巾擦拭箱體表面水漬。
【文檔編號】B08B3/08GK105921453SQ201610306605
【公開日】2016年9月7日
【申請日】2016年5月11日
【發(fā)明人】呂海兵, 賈寶申, 苗心向, 劉昊, 牛龍飛, 周國瑞, 鄒睿, 李可欣
【申請人】中國工程物理研究院激光聚變研究中心