一種潔凈廠房微振動(dòng)檢測(cè)的方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)一種潔凈廠房微振動(dòng)檢測(cè)的方法，包括拾振器，將所述拾振器固定在靜電地板上，然后利用無(wú)塵膠帶穿過(guò)拾振器的頂面，并在拾振器的兩側(cè)通過(guò)斜拉的方式與靜電地板粘接，所述拾振器兩側(cè)的無(wú)塵膠帶與靜電地板之間的傾角不大于60度，所述無(wú)塵膠帶的寬度不小于拾振器寬度的五分之一，并且所述無(wú)塵膠帶為勻長(zhǎng)結(jié)構(gòu)的膠帶。本發(fā)明所述的潔凈廠房微振動(dòng)檢測(cè)的方法，可以保證拾振器的穩(wěn)定性，能提高振動(dòng)數(shù)據(jù)的測(cè)量精度。
【專利說(shuō)明】一種潔凈廠房微振動(dòng)檢測(cè)的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種潔凈廠房微振動(dòng)檢測(cè)的方法，涉及微電子【技術(shù)領(lǐng)域】，具體應(yīng)用于拾振器設(shè)備上。
【背景技術(shù)】
[0002]拾振器是將振動(dòng)信號(hào)變?yōu)榛瘜W(xué)的、機(jī)械的或(最常用的)電學(xué)的信號(hào)，且所得信號(hào)的強(qiáng)度與所檢測(cè)的振動(dòng)量成比例的換能裝置。按檢測(cè)量的不同，可以分為加速度計(jì)、速度拾振器和位移拾振器等幾種。按能量轉(zhuǎn)化的原理來(lái)分，又有質(zhì)量彈簧式、壓電式、電動(dòng)式、電磁式等許多種類(lèi)。在振動(dòng)測(cè)量中，目前最廣泛應(yīng)用的是壓電式加速計(jì)，因?yàn)樗哂袦y(cè)量頻段寬、動(dòng)態(tài)范圍大、體積小、重量輕、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便等諸多優(yōu)點(diǎn)。另外，加速計(jì)與適當(dāng)?shù)碾娐肪W(wǎng)絡(luò)配合，即可給出相應(yīng)振動(dòng)的速度和位移值。
[0003]微電子加工技術(shù)對(duì)潔凈室潔凈環(huán)境和振動(dòng)環(huán)境要求越來(lái)越高，潔凈度的提高使得室內(nèi)風(fēng)速也越來(lái)越大。傳統(tǒng)的微振動(dòng)檢測(cè)方法是將拾振器平放在靜電地板上，沒(méi)有考慮氣流對(duì)拾振器的影響。機(jī)械振動(dòng)檢測(cè)時(shí)為了固定振動(dòng)傳感器，采用磁鐵底座將傳感器與被測(cè)構(gòu)件固定?，F(xiàn)代潔凈廠房地板都是防靜電的鋁制地板(無(wú)法使用磁鐵底座)，室內(nèi)生產(chǎn)環(huán)境對(duì)振動(dòng)操作的要求較高(不能采用產(chǎn)生微小顆粒的材料)。無(wú)塵膠帶是潔凈室內(nèi)能用于固定物體的材料之一。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]潔凈室內(nèi)精密設(shè)備對(duì)微振動(dòng)環(huán)境要求很高，為了檢測(cè)潔凈室內(nèi)的振動(dòng)環(huán)境，需要用高精度的伺服式拾振器，這種儀器調(diào)平后受室內(nèi)的氣流影響會(huì)造成振動(dòng)數(shù)據(jù)不精確，為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供一種潔凈廠房微振動(dòng)檢測(cè)的方法。
[0005]本發(fā)明的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn):
[0006]一種潔凈廠房微振動(dòng)檢測(cè)的方法，包括拾振器，將所述拾振器固定在靜電地板上，然后利用無(wú)塵膠帶穿過(guò)拾振器的頂面，并在拾振器的兩側(cè)通過(guò)斜拉的方式與靜電地板粘接，所述拾振器兩側(cè)的無(wú)塵膠帶與靜電地板之間的傾角不大于60度，所述無(wú)塵膠帶的寬度不小于拾振器寬度的五分之一，并且所述無(wú)塵膠帶為勻長(zhǎng)結(jié)構(gòu)的膠帶。
[0007]所述拾振器每一側(cè)延伸出的無(wú)塵膠帶與靜電地板之間的粘接長(zhǎng)度不小于拾振器寬度的三分之二。
[0008]所述拾振器的底部設(shè)有三個(gè)支腳，三個(gè)所述支腳呈等腰三角形分布。
[0009]所述無(wú)塵膠帶的中心線與三個(gè)所述支腳構(gòu)成的等腰三角形的中心線重合。
[0010]每個(gè)所述支腳呈圓柱狀，并且支腳的底部為錐面結(jié)構(gòu)，支腳中部和上部具有減振結(jié)構(gòu)。
[0011]本發(fā)明所述的潔凈廠房微振動(dòng)檢測(cè)的方法，可以保證拾振器的穩(wěn)定性，能提高振動(dòng)數(shù)據(jù)的測(cè)量精度。【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0012]下面根據(jù)附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
[0013]圖1是本發(fā)明實(shí)施例所述的拾振器的安裝結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖2是本發(fā)明實(shí)施例所述的拾振器的安裝結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖3是圖2中的局部放大示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0016]如圖1-3所示，本發(fā)明實(shí)施例所述的一種潔凈廠房微振動(dòng)檢測(cè)的方法，包括拾振器1，將所述拾振器固定在靜電地板上，然后利用無(wú)塵膠帶2穿過(guò)拾振器I的頂面，并在拾振器I的兩側(cè)通過(guò)斜拉的方式與靜電地板3粘接，所述拾振器兩側(cè)的無(wú)塵膠帶與靜電地板之間的傾角不大于60度，所述無(wú)塵膠帶2的寬度不小于拾振器I寬度的五分之一，并且所述無(wú)塵膠帶2為勻長(zhǎng)結(jié)構(gòu)的膠帶。
[0017]所述拾振器I每一側(cè)延伸出的無(wú)塵膠帶2與靜電地板之間的粘接長(zhǎng)度不小于拾振器I寬度的三分之二。
[0018]所述拾振器I的底部設(shè)有三個(gè)支腳3，三個(gè)所述支腳3呈等腰三角形分布。
[0019]所述無(wú)塵膠帶2的中心線與三個(gè)所述支腳3構(gòu)成的等腰三角形的中心線重合。
[0020]每個(gè)所述支腳呈圓柱狀，并且支腳的底部為錐面結(jié)構(gòu)，支腳中部和上部具有減振結(jié)構(gòu)。
[0021]本發(fā)明所述的潔凈廠房微振動(dòng)檢測(cè)的方法，可以保證拾振器的穩(wěn)定性，能提高振動(dòng)數(shù)據(jù)的測(cè)量精度。
【權(quán)利要求】
1.一種潔凈廠房微振動(dòng)檢測(cè)的方法，包括拾振器，其特征在于，將所述拾振器固定在靜電地板上，然后利用無(wú)塵膠帶穿過(guò)拾振器的頂面，并在拾振器的兩側(cè)通過(guò)斜拉的方式與靜電地板粘接，所述拾振器兩側(cè)的無(wú)塵膠帶與靜電地板之間的傾角不大于60度，所述無(wú)塵膠帶的寬度不小于拾振器寬度的五分之一，并且所述無(wú)塵膠帶為勻長(zhǎng)結(jié)構(gòu)的膠帶。
2.如權(quán)利要求1所述的一種潔凈廠房微振動(dòng)檢測(cè)的方法，其特征在于，所述拾振器的底部設(shè)有三個(gè)支腳，三個(gè)所述支腳呈等腰三角形分布。
3.如權(quán)利要求1所述的一種潔凈廠房微振動(dòng)檢測(cè)的方法，其特征在于，所述拾振器每一側(cè)延伸出的無(wú)塵膠帶與靜電地板之間的粘接長(zhǎng)度不小于拾振器寬度的三分之二。
4.如權(quán)利要求2所述的一種潔凈廠房微振動(dòng)檢測(cè)的方法，其特征在于，所述無(wú)塵膠帶的中心線與三個(gè)所述支腳構(gòu)成的等腰三角形的中心線重合。
5.如權(quán)利要求2所述的一種潔凈廠房微振動(dòng)檢測(cè)的方法，其特征在于，每個(gè)所述支腳呈圓柱狀，并且支腳的底部為錐面結(jié)構(gòu)，支腳中部和上部具有減振結(jié)構(gòu)。
【文檔編號(hào)】G01H1/00GK103630228SQ201310018382
【公開(kāi)日】2014年3月12日 申請(qǐng)日期:2013年1月18日 優(yōu)先權(quán)日:2013年1月18日
【發(fā)明者】鄭佳明, 王立, 左中杰 申請(qǐng)人:中電投工程研究檢測(cè)評(píng)定中心