一種太陽能鍺片包裝用晶圓盒的清洗方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及太陽能鍺片加工領(lǐng)域，具體涉及一種太陽能鍺片包裝用晶圓盒的清洗 方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 由于包裝太陽能鍺片的晶圓盒與太陽能鍺片表面直接接觸，其潔凈度會直接影響 鍺片表面質(zhì)量，為了保證鍺片的質(zhì)量，一般情況下，晶圓盒只能一次性使用，以確保其潔凈。 生產(chǎn)過程中，庫存或周轉(zhuǎn)需使用較大數(shù)量的晶圓盒，經(jīng)過很長時間的積壓后，如果不能再清 洗利用，就會進(jìn)行報(bào)廢處理，大批量的廢舊晶圓盒被報(bào)廢處理，雖然清理騰出了倉庫及車間 空間，但是經(jīng)濟(jì)損失是直接的，不僅是廢舊晶圓盒的經(jīng)濟(jì)損失，采購新晶圓盒同樣也需要付 出一筆資金，無形中增加了產(chǎn)品的成本。然而目前市場上還未看到太陽能鍺片包裝用晶圓 盒的清洗方法，而傳統(tǒng)的清洗方法又難以保證晶圓盒的潔凈度。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 發(fā)明目的:本發(fā)明目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種晶圓盒的清洗方法，以 滿足太陽能鍺片的包裝需求，減少新盒的采購，間接降低產(chǎn)品成本。
[0004] 技術(shù)方案:本發(fā)明所述太陽能鍺片包裝用晶圓盒的清洗方法，包括如下步驟：
[0005] (1)整理使用過的廢舊晶圓盒，將其中未破損的整理成套，備用，每套待清洗的廢 舊晶圓盒包括盒身和盒蓋；
[0006] (2)將整理好的待清洗的廢舊晶圓盒放入冰醋酸和去離子水組成的混合溶液中， 進(jìn)行酸洗，酸洗完成后，使用去離子水進(jìn)行水置換；
[0007] (3)將步驟(2)處理后的晶圓盒放入化蠟劑和去離子水組成的混合溶液中清洗，混 合溶液溫度為60~70°C，清洗后再次使用去離子水進(jìn)行水置換；
[0008] (4)步驟（3)中的水置換完成后，再在常溫狀態(tài)下進(jìn)行酒精置換，酒精濃度為 99.7% ；
[0009 ] (5)晾干清洗完成的晶圓盒，選出合格的晶圓盒產(chǎn)品。
[0010] 本發(fā)明進(jìn)一步優(yōu)選地技術(shù)方案為，每次清洗的廢舊晶圓盒至少為200套。
[0011] 優(yōu)選地，步驟(2)中用于酸洗的混合溶液內(nèi)冰醋酸和去離子水的體積比為1:10，其 中去離子水至少為5L。
[0012]優(yōu)選地，步驟(3)中混合溶液內(nèi)化錯劑和去離子水的體積比為1:50，其中去離子水 至少為5L。
[0013]優(yōu)選地，步驟(2)或(3)中用于水置換的去離子水至少為20L，每清洗50套晶圓盒更 換去尚子水。
[0014]優(yōu)選地，步驟(4)中用于酒精置換的酒精至少為5L，每清洗至少400套晶圓盒更換 酒精。
[0015] 優(yōu)選地，步驟(3)中所述化臘劑包括有機(jī)溶劑5 %~10 %，有機(jī)堿2%~5 %，表面活 性劑5%~10%，無機(jī)鹽5%~20%，余量為去離子水。
[0016] 有益效果：（1)采用本發(fā)明的清洗方法清洗后的廢舊晶圓盒，表面潔凈度接近新 盒，可以再次使用，不會影響太陽能鍺片的質(zhì)量，大幅度的降低了產(chǎn)品的生產(chǎn)成本;本發(fā)明 所采用的材料冰醋酸、化蠟劑、去離子水和酒精均為低成本的常用化學(xué)用品，進(jìn)一步降低了 生產(chǎn)成本；
[0017] (2)本發(fā)明采用弱酸的稀釋冰醋酸和弱堿的化蠟劑溶液清洗晶圓盒，腐蝕性弱，清 洗人員在低刺激性氣味的環(huán)境中作業(yè)，比較安全;而且整個清洗過程操作簡便，工作量小， 清洗人員勞動強(qiáng)度低；
[0018] (3)本發(fā)明中清洗完畢后的晶圓盒可以作為周轉(zhuǎn)盒使用，不僅減少了車間的堆積， 還提高了拋光片的潔凈度和合格率，避免二次返工拋光，減少藥液和機(jī)器的使用量。
【具體實(shí)施方式】
[0019] 下面通過對本發(fā)明技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)說明，但是本發(fā)明的保護(hù)范圍不局限于所述 實(shí)施例。
[0020] 實(shí)施例1: 一種太陽能鍺片包裝用晶圓盒的清洗方法，以清洗1000套晶圓盒為例， 包括如下步驟：
[0021] (1)整理使用過的廢舊晶圓盒，將其中未破損的整理成套，備用，每套待清洗的廢 舊晶圓盒包括盒身和盒蓋；
[0022] (2)將200套整理好的待清洗的廢舊晶圓盒放入體積比為1:10的冰醋酸和去離子 水的混合溶液中，進(jìn)行酸洗，其中去離子水為5L，酸洗完成后，使用20L的去離子水進(jìn)行水置 換，每清洗50套晶圓盒更換一次去離子水；
[0023] (3)將步驟(2)處理后的晶圓盒放入體積比為1:50的化蠟劑和去離子水的混合溶 液中清洗，其中化臘劑包括有機(jī)溶劑5 %~10 %，有機(jī)堿2 %~5 %，表面活性劑5 %~10 %， 無機(jī)鹽5%~20%，余量為去離子水，為了保證化蠟劑的化學(xué)活性，混合溶液溫度為60~70 °C;去離子水為5L，使用20L的去離子水進(jìn)行水置換，每清洗50套晶圓盒更換一次去離子水；
[0024] (4)步驟(3)中的水置換完成后，再在常溫狀態(tài)下使用5L的酒精進(jìn)行酒精置換，酒 精濃度為99.7%;
[0025] (5)晾干清洗完成的晶圓盒，選出合格的晶圓盒產(chǎn)品；
[0026] (6)重復(fù)步驟(2)~（5)，直至1000套晶圓盒全部完成清洗，步驟(4)中的酒精每完 成兩次清洗進(jìn)行更換。
[0027] 本實(shí)施例中清洗1000套晶圓盒，以每個晶圓盒18元的單價計(jì)算，如有20%的清洗 后的晶圓盒可以作為新盒使用，一共為（1〇〇〇*20%*18)3600元;清洗成本為:5份藥液(冰醋 酸和化蠟劑)成本+用水成本+2.5份酒精成本+用電成本，約為300元，共計(jì)節(jié)約3300元。由此 可以看出本發(fā)明的清洗方法的巨大經(jīng)濟(jì)優(yōu)勢。
[0028] 本發(fā)明的清洗方法清洗后的晶圓盒的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)對比如下：

[0030]如上所述，盡管參照特定的優(yōu)選實(shí)施例已經(jīng)表示和表述了本發(fā)明，但其不得解釋 為對本發(fā)明自身的限制。在不脫離所附權(quán)利要求定義的本發(fā)明的精神和范圍前提下，可對 其在形式上和細(xì)節(jié)上作出各種變化。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種太陽能鍺片包裝用晶圓盒的清洗方法，其特征在于，包括如下步驟： (1) 整理使用過的廢舊晶圓盒，將其中未破損的整理成套，備用，每套待清洗的廢舊晶 圓盒包括盒身和盒蓋； (2) 將整理好的待清洗的廢舊晶圓盒放入冰醋酸和去離子水組成的混合溶液中，進(jìn)行 酸洗，酸洗完成后，使用去離子水進(jìn)行水置換； (3) 將步驟(2)處理后的晶圓盒放入化蠟劑和去離子水組成的混合溶液中清洗，混合溶 液溫度為60~70°C，清洗后再次使用去離子水進(jìn)行水置換； (4) 步驟(3)中的水置換完成后，再在常溫狀態(tài)下進(jìn)行酒精置換，酒精濃度為99.7%; (5) 晾干清洗完成的晶圓盒，選出合格的晶圓盒產(chǎn)品。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能鍺片包裝用晶圓盒的清洗方法，其特征在于，每次清洗 的廢舊晶圓盒至少為200套。3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的太陽能鍺片包裝用晶圓盒的清洗方法，其特征在于，步驟(2) 中用于酸洗的混合溶液內(nèi)冰醋酸和去離子水的體積比為1:10,其中去離子水至少為5L。4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的太陽能鍺片包裝用晶圓盒的清洗方法，其特征在于，步驟(3) 中混合溶液內(nèi)化蠟劑和去離子水的體積比為1:50,其中去離子水至少為5L。5. 根據(jù)權(quán)利要求2~4任意一項(xiàng)所述的太陽能鍺片包裝用晶圓盒的清洗方法，其特征在 于，步驟(2)或(3)中用于水置換的去離子水至少為20L，每清洗50套晶圓盒更換去離子水。6. 根據(jù)權(quán)利要求2~4任意一項(xiàng)所述的太陽能鍺片包裝用晶圓盒的清洗方法，其特征在 于，步驟(4)中用于酒精置換的酒精至少為5L，每清洗至少400套晶圓盒更換酒精。7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能鍺片包裝用晶圓盒的清洗方法，其特征在于，步驟(3) 中所述化臘劑包括有機(jī)溶劑5 %~10 %，有機(jī)堿2 %~5 %，表面活性劑5 %~10 %，無機(jī)鹽 5%~20%，余量為去離子水。
【專利摘要】本發(fā)明公開一種太陽能鍺片包裝用晶圓盒的清洗方法，包括如下步驟：(1)整理使用過的廢舊晶圓盒，將其中未破損的整理成套；(2)將整理好的待清洗的廢舊晶圓盒放入冰醋酸和去離子水組成的混合溶液中，進(jìn)行酸洗；(3)將步驟(2)處理后的晶圓盒放入化蠟劑和去離子水組成的混合溶液中清洗，混合溶液溫度為60～70℃；(4)在常溫狀態(tài)下進(jìn)行酒精置換；(5)晾干清洗完成的晶圓盒。采用本發(fā)明的清洗方法清洗后的廢舊晶圓盒，表面潔凈度接近新盒，可以再次使用，不會影響太陽能鍺片的質(zhì)量，大幅度的降低了產(chǎn)品的生產(chǎn)成本；本發(fā)明所采用的材料冰醋酸、化蠟劑、去離子水和酒精均為低成本的常用化學(xué)用品，進(jìn)一步降低了生產(chǎn)成本。
【IPC分類】B08B9/08, C11D1/00, C11D3/60, C11D3/43, C11D3/02, C11D3/16
【公開號】CN105499228
【申請?zhí)枴緾N201510828457
【發(fā)明人】謝輝, 魏海龍, 張海華, 邱明軍, 李志誠
【申請人】中鍺科技有限公司, 南京中鍺科技有限責(zé)任公司
【公開日】2016年4月20日
【申請日】2015年11月25日