晶圓夾持裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種晶圓卡盤上的輔助部件，尤其涉及在晶圓卡盤高速旋轉時實現晶圓夾持功能的裝置。
【背景技術】
[0002]晶圓卡盤用于承載晶圓，在某些工藝中晶圓卡盤需要高速旋轉，例如，在晶圓清洗設備腔體中，為了清洗晶圓上殘留的液體，需要晶圓卡盤帶動晶圓高速旋轉。
[0003]而晶圓若不能很穩(wěn)固的固定在卡盤上，那么在高速旋轉時就容易松動，導致晶圓和固定晶圓的部件發(fā)生摩擦，造成晶圓上的劃痕。
[0004]此外，在其他的工藝中，固定不夠平穩(wěn)的晶圓在高速旋轉中也容易影響到該工藝的實施效果。

【發(fā)明內容】

[0005]以下給出一個或多個方面的簡要概述以提供對這些方面的基本理解。此概述不是所有構想到的方面的詳盡綜覽，并且既非旨在指認出所有方面的關鍵性或決定性要素亦非試圖界定任何或所有方面的范圍。其唯一的目的是要以簡化形式給出一個或多個方面的一些概念以為稍后給出的更加詳細的描述之序。
[0006]本發(fā)明的目的在于解決上述問題，提供了一種晶圓夾持裝置，可在晶圓卡盤高速旋轉時自動夾持晶圓，而在晶圓卡盤低速停止時自動復位。
[0007]本發(fā)明的技術方案為:本發(fā)明揭示了一種晶圓夾持裝置，包括座子和夾持部件，座子上有一缺口，夾持部件以可活動的方式安裝在座子的缺口處，在作用力下前后擺動。
[0008]根據本發(fā)明的晶圓夾持裝置的一實施例，夾持部件的內部填充一重塊。
[0009]根據本發(fā)明的晶圓夾持裝置的一實施例，該重塊的材質為不銹鋼。
[0010]根據本發(fā)明的晶圓夾持裝置的一實施例，夾持部件的外殼的材質為塑料。
[0011]根據本發(fā)明的晶圓夾持裝置的一實施例，晶圓夾持裝置安裝在晶圓卡盤的邊緣，當晶圓卡盤的旋轉速度高于一限值時，夾持部件通過離心力作用夾持晶圓，當晶圓卡盤的旋轉速度低于該限值時，夾持部件通過自身重力作用復位。
[0012]本發(fā)明對比現有技術有如下的有益效果:本發(fā)明的晶圓夾持裝置在卡盤高速旋轉時通過離心力作用夾持晶圓，在卡盤低速停止時，該裝置又可以通過自身重力作用復位。
【附圖說明】
[0013]圖1是本發(fā)明的晶圓夾持裝置的較佳實施例的總視圖。
[0014]圖2示出了圖1實施例中的夾持部件的總視圖。
[0015]圖3示出了夾持部件的正視圖。
[0016]圖4示出了夾持部件的剖視圖。
【具體實施方式】
[0017]在結合以下附圖閱讀本公開的實施例的詳細描述之后，能夠更好地理解本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點。在附圖中，各組件不一定是按比例繪制，并且具有類似的相關特性或特征的組件可能具有相同或相近的附圖標記。
[0018]圖1是本發(fā)明的晶圓夾持裝置的較佳實施例的總視圖。請參見圖1，本實施例的晶圓夾持裝置包括座子I和夾持部件2，座子I上有一缺口 10，夾持部件2以可活動的方式安裝在座子的缺口 10處，在作用力下前后擺動。
[0019]圖2、圖3和圖4分別示出了夾持部件的總視圖、正視圖和剖視圖。請同時參見圖2至圖4，夾持部件2的內部填充如圖4所示的一重塊22，而材質為不銹鋼。夾持部件2的外殼的材質密度低于內部填充物的材質密度，例如外殼21為塑料材質(PVT)。兩層材質的設計會為夾持部件2的擺動更有效。
[0020]晶圓夾持裝置的工作原理為:夾持裝置安裝在晶圓卡盤的邊緣，當晶圓卡盤的旋轉速度高于一限值時，夾持部件通過離心力作用夾持晶圓，當晶圓卡盤的旋轉速度低于該限值時，夾持部件通過自身重力作用復位。
[0021]晶圓夾持裝置在晶圓卡盤邊緣的分布是等距分布的，數量可以為多個，通常為偶數個，較佳的是6個。
[0022]提供對本公開的先前描述是為使得本領域任何技術人員皆能夠制作或使用本公開。對本公開的各種修改對本領域技術人員來說都將是顯而易見的，且本文中所定義的普適原理可被應用到其他變體而不會脫離本公開的精神或范圍。由此，本公開并非旨在被限定于本文中所描述的示例和設計，而是應被授予與本文中所公開的原理和新穎性特征相一致的最廣范圍。
【主權項】
1.一種晶圓夾持裝置，包括座子和夾持部件，其特征在于，座子上有一缺口，夾持部件以可活動的方式安裝在座子的缺口處，在作用力下前后擺動。2.根據權利要求1所述的晶圓夾持裝置，其特征在于，夾持部件的內部填充一重塊。3.根據權利要求2所述的晶圓夾持裝置，其特征在于，該重塊的材質為不銹鋼。4.根據權利要求1所述的晶圓夾持裝置，其特征在于，夾持部件的外殼的材質為塑料。5.根據權利要求1所述的晶圓夾持裝置，其特征在于，晶圓夾持裝置安裝在晶圓卡盤的邊緣，當晶圓卡盤的旋轉速度高于一限值時，夾持部件通過離心力作用夾持晶圓，當晶圓卡盤的旋轉速度低于該限值時，夾持部件通過自身重力作用復位。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種晶圓夾持裝置，可在晶圓卡盤高速旋轉時自動夾持晶圓，而在晶圓卡盤低速停止時自動復位。其技術方案為：晶圓夾持裝置，包括座子和夾持部件，座子上有一缺口，夾持部件以可活動的方式安裝在座子的缺口處，在作用力下前后擺動。
【IPC分類】H01L21/687
【公開號】CN105529295
【申請?zhí)枴緾N201410513082
【發(fā)明人】吳均, 焦欣欣, 金一諾, 王堅, 王暉
【申請人】盛美半導體設備（上海）有限公司
【公開日】2016年4月27日
【申請日】2014年9月29日