本實(shí)用新型涉及清洗技術(shù)領(lǐng)域，特別設(shè)置一種清洗機(jī)及FOUP清洗機(jī)。

背景技術(shù)：

通常對(duì)物件的清洗均會(huì)涉及到浸泡，但是，對(duì)于旋轉(zhuǎn)清洗，容器底部需打通安裝旋轉(zhuǎn)電機(jī)，其不易實(shí)現(xiàn)浸泡溶液的長(zhǎng)時(shí)間存儲(chǔ)。

在半導(dǎo)體制造工藝中，傳統(tǒng)FOUP清洗機(jī)不能較好的將晶圓的氟離子清除。實(shí)驗(yàn)表明在清洗前，先將FOUP置于70℃的去離子水中浸泡3小時(shí)，然后再進(jìn)行清洗，能夠有效去除氟離子。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型目的是提供一種清洗機(jī)及FOUP清洗機(jī)，解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問(wèn)題。

本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問(wèn)題的技術(shù)方案如下：

一種清洗機(jī)，包括容器，所述容器的頂部?jī)?nèi)側(cè)通過(guò)軸承懸掛設(shè)置有置物架，所述置物架的底部設(shè)置有磁懸浮定子，所述容器外部設(shè)置有與所述磁懸浮定子相匹配的磁懸浮轉(zhuǎn)子，所述磁懸浮轉(zhuǎn)子與電機(jī)連接；所述容器還連接有清洗進(jìn)水管、浸泡進(jìn)水管和排水管，所述清洗進(jìn)水管伸入所述容器內(nèi)，且其端部設(shè)置有噴嘴。

本實(shí)用新型的有益效果是：將待清洗物置于置物架，清洗過(guò)程中，電機(jī)驅(qū)動(dòng)磁懸浮轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)動(dòng)的磁懸浮轉(zhuǎn)子驅(qū)動(dòng)磁懸浮定子轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)動(dòng)的磁懸浮定子帶動(dòng)置物架旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)清洗，且容器底部無(wú)需打通安裝旋轉(zhuǎn)電機(jī)，能實(shí)現(xiàn)溶液的長(zhǎng)時(shí)間存儲(chǔ)。

在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本實(shí)用新型還可以做如下改進(jìn)。

進(jìn)一步，所述容器內(nèi)還設(shè)置有溫度計(jì)和加熱器。

采用上述進(jìn)一步方案的有益效果是，加熱器能夠?qū)θ萜鲀?nèi)的溶液進(jìn)行加熱和烘干，溫度計(jì)能夠準(zhǔn)確顯示溶液溫度。

進(jìn)一步，所述容器材質(zhì)為PVDF，所述加熱器外套設(shè)有保護(hù)套，所述保護(hù)套的材質(zhì)也為PVDF。

采用上述進(jìn)一步方案的有益效果是，PVDF具有良好的耐化學(xué)腐蝕性、耐高溫性和耐氧化性，能夠有效避免容器內(nèi)溶液被污染。

進(jìn)一步，所述清洗進(jìn)水管管路中設(shè)置有流量計(jì)。

采用上述進(jìn)一步方案的有益效果是，流量計(jì)能夠有效調(diào)節(jié)清洗溶液流速。

進(jìn)一步，所述容器側(cè)壁設(shè)置有排空傳感器、滿(mǎn)水位傳感器和溢出傳感器。

采用上述進(jìn)一步方案的有益效果是，有效監(jiān)測(cè)容器內(nèi)水位情況。

進(jìn)一步，所述容器頂部設(shè)置有排氣管。

采用上述進(jìn)一步方案的有益效果是，使容器與大氣連通，便于容器內(nèi)溶液的排除。

進(jìn)一步，所述容器側(cè)壁設(shè)置有密封門(mén)。

進(jìn)一步，所述密封門(mén)為鎖緊氣缸密封門(mén)。

采用上述進(jìn)兩步方案的有益效果是，提高容器側(cè)壁密封性，防止容器內(nèi)溶液滲漏。

進(jìn)一步，所述容器的底部外側(cè)設(shè)置有防漏盤(pán)，所述防漏盤(pán)中設(shè)置有滲漏傳感器。

采用上述進(jìn)一步方案的有益效果是，防漏盤(pán)防止容器滲漏出的溶液污染工作臺(tái)，且滲漏傳感器能夠及時(shí)檢測(cè)出容器滲漏。

本實(shí)用新型另一技術(shù)方案如下：

一種FOUP清洗機(jī)，包括上述一種清洗機(jī)，所述置物架為FOUP支架。

本實(shí)用新型的有益效果是：此FOUP清洗機(jī)具有浸泡和清洗雙重功能，能夠?qū)崿F(xiàn)在清洗前將FOUP置于70℃的去離子水中浸泡3小時(shí)，有效去除氟離子，且簡(jiǎn)化工藝流程，操作簡(jiǎn)單。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型一種清洗機(jī)正視方向結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型一種FOUP清洗機(jī)俯視方向結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖中，各標(biāo)號(hào)所代表的部件列表如下：

1、容器，2、軸承，3、置物架，4、磁懸浮定子，5、磁懸浮轉(zhuǎn)子，6、電機(jī)，7、清洗進(jìn)水管，71、流量計(jì)，8、浸泡進(jìn)水管，9、排水管，10、噴嘴，11、溫度計(jì)，12、加熱器，121、保護(hù)套，13、排空傳感器，14、滿(mǎn)水位傳感器，15、溢出傳感器，16、排氣管，17、密封門(mén)，18、防漏盤(pán)，19、FOUP，20、氣動(dòng)閥，21、氣手動(dòng)閥。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的原理和特征進(jìn)行描述，所舉實(shí)例只用于解釋本實(shí)用新型，并非用于限定本實(shí)用新型的范圍。

如圖1和圖2所示，一種清洗機(jī)，包括容器1，所述容器1的頂部?jī)?nèi)側(cè)通過(guò)軸承2懸掛設(shè)置有置物架3，所述置物架3的底部設(shè)置有磁懸浮定子4，所述容器1外部設(shè)置有與所述磁懸浮定子4相匹配的磁懸浮轉(zhuǎn)子5,所述磁懸浮轉(zhuǎn)子5與電機(jī)6連接；所述容器1還連接有清洗進(jìn)水管7、浸泡進(jìn)水管8和排水管9，所述清洗進(jìn)水管7伸入所述容器1內(nèi)，且其端部設(shè)置有噴嘴10，所述噴嘴10有多個(gè)，均勻分布在所述容器1的側(cè)壁內(nèi)側(cè)。所述清洗進(jìn)水管7管路中設(shè)置有流量計(jì)71。所述清洗進(jìn)水管7和所述浸泡進(jìn)水管8管路中均設(shè)置有氣動(dòng)閥20，所述排水管9管路中設(shè)置有氣手動(dòng)閥21，方便對(duì)管路的控制。所述容器1內(nèi)還設(shè)置有溫度計(jì)11和加熱器12。所述容器1材質(zhì)為PVDF，所述加熱器12外套設(shè)有保護(hù)套121，所述保護(hù)套121的材質(zhì)也為PVDF。所述容器1側(cè)壁設(shè)置有排空傳感器13、滿(mǎn)水位傳感器14和溢出傳感器15，所述排空傳感器13靠近所述容器1底部?jī)?nèi)側(cè)，所述滿(mǎn)水位傳感器14與所述容器1的滿(mǎn)水位線(xiàn)持平，所述滿(mǎn)水位線(xiàn)高于所述置物架3頂層待清洗物，保證滿(mǎn)水位時(shí)，置物架3上的待清洗物均浸泡在溶液里，所述溢出傳感器15靠近所述容器1頂部?jī)?nèi)側(cè)；根據(jù)各傳感器安裝位置的不同，實(shí)現(xiàn)對(duì)容器內(nèi)水位情況的監(jiān)測(cè)。所述容器1頂部設(shè)置有排氣管16。所述容器1側(cè)壁設(shè)置有密封門(mén)17。所述密封門(mén)17為鎖緊氣缸密封門(mén)。所述容器1的底部外側(cè)設(shè)置有防漏盤(pán)18，所述防漏盤(pán)18中設(shè)置有滲漏傳感器。

如圖2所示，一種FOUP清洗機(jī)，包括上述一種清洗機(jī)，所述置物架3為FOUP支架。本實(shí)施例中FOUP支架為4列3層支架，F(xiàn)OUP19成4列3層放置。使用中，將待清洗的FOUP19軸對(duì)稱(chēng)放置于置物架3，關(guān)閉密封門(mén)17；浸泡進(jìn)水管8輸入去離子水至滿(mǎn)水位傳感器14報(bào)警時(shí)結(jié)束輸入，并采用加熱器12對(duì)容器1內(nèi)的去離子水進(jìn)行加熱，保持容器1內(nèi)的去離子水溫度為70℃，浸泡3小后，停止加熱；排出容器1內(nèi)的去離子水至排空傳感器13報(bào)警時(shí)，清洗進(jìn)水管7輸入去離子水，并同時(shí)啟動(dòng)電機(jī)6使磁懸浮定子4轉(zhuǎn)速為100RPM，對(duì)待清洗的FOUP19進(jìn)行旋轉(zhuǎn)清洗；清洗30分鐘后，再次排出容器1內(nèi)的去離子水至排空傳感器13報(bào)警時(shí)，調(diào)節(jié)電機(jī)6使磁懸浮定子4轉(zhuǎn)速為150RPM，并采用加熱器12加熱，保持容器1內(nèi)溫度120℃1小時(shí)，則清洗結(jié)束，取出FOUP19。

以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。