減壓干燥裝置和基板處理系統(tǒng)的制作方法
【專(zhuān)利摘要】提供一種減壓干燥裝置和基板處理系統(tǒng)。在具有多級(jí)腔室式減壓干燥裝置的片狀基板用干燥裝置中，利用單一的真空泵應(yīng)對(duì)所有腔室的減壓動(dòng)作。減壓干燥裝置具有：多個(gè)減壓用腔室；單一的真空泵，該真空泵的進(jìn)氣口經(jīng)由配管與各腔室連接；閥，其控制各腔室的排氣和減壓狀態(tài)，且與所述各腔室對(duì)應(yīng)地分別設(shè)置于所述配管；以及控制裝置，其根據(jù)預(yù)先設(shè)定的減壓序列控制各閥。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
減壓干燥裝置和基板處理系統(tǒng)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及減壓干燥裝置和基板處理系統(tǒng)，通過(guò)從形成于口部的縫噴出涂布液而對(duì)基板涂布涂布液并將該基板干燥，尤其涉及將基板上的涂布液干燥的干燥裝置和使用該干燥裝置的基板處理系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]作為對(duì)玻璃基板或膜等基板涂布涂布液的裝置，公知有具有口部的涂布裝置，在該口部中形成有噴出涂布液的縫。該涂布裝置具有:罐，其貯存涂布液；以及涂布液供給栗，其用于將該罐內(nèi)的涂布液供給到口部的縫。
[0003]所述口部的所述縫沿著基板的寬度方向較長(zhǎng)地形成，針對(duì)載置在載臺(tái)上的基板，一邊使口部水平地與所述基板相對(duì)移動(dòng)一邊從所述縫噴出涂布液，從而在所述基板的正面上形成涂布液的薄膜(涂膜)。
[0004]并且，對(duì)于形成了涂膜的所述基板而言，例如通過(guò)利用了減壓干燥方法的干燥裝置將涂膜干燥(參照專(zhuān)利文獻(xiàn)I)，并搬送到下一工序即預(yù)烘焙工序。
[0005]最近，涂布液的特性得到改良，還提供一種將所述涂布裝置的涂布速度提高到200mm/sec以上的涂布液。針對(duì)使用了這樣的高速涂布液而進(jìn)行的涂布，在涂布裝置中通過(guò)涂布液供給栗和涂布控制系統(tǒng)的改良來(lái)應(yīng)對(duì)，但對(duì)于干燥裝置尤其是減壓干燥裝置而言，大幅的干燥時(shí)間的縮短需要急速的減壓，在進(jìn)行了急速減壓的情況下，干燥時(shí)的氣流會(huì)帶來(lái)涂膜不勻的影響，因此想要進(jìn)行由單純的減壓速度的增加而實(shí)現(xiàn)的應(yīng)對(duì)是很困難的。
[0006]因此，像專(zhuān)利文獻(xiàn)2所示那樣進(jìn)行如下的處理:將干燥裝置的減壓用腔室構(gòu)成為多級(jí)結(jié)構(gòu)，并在各腔室中確保足夠的干燥時(shí)間，另一方面在除最初的I張以外的連續(xù)涂布中將基板分配到多個(gè)腔室從而縮短進(jìn)程循環(huán)時(shí)間(process cycle time)。
[0007]但是，根據(jù)專(zhuān)利文獻(xiàn)2所示的干燥裝置，存在如下的問(wèn)題:由于對(duì)各腔室設(shè)置真空栗進(jìn)而另外設(shè)置用于與全部腔室連接的共用真空栗，因此要使用大量的昂貴的真空栗從而導(dǎo)致設(shè)備成本增加。
[0008]近年來(lái)，包含液晶面板的顯示器設(shè)備的價(jià)格降低顯著，為了應(yīng)對(duì)該價(jià)格降低，不僅需要考慮制造運(yùn)行成本，而且需要進(jìn)行用于削減設(shè)備折舊費(fèi)的制造線的設(shè)備費(fèi)用削減。
[0009]專(zhuān)利文獻(xiàn)I:日本特開(kāi)H09-29167號(hào)公報(bào)
[0010]專(zhuān)利文獻(xiàn)2:日本特開(kāi)2012-189303號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]因此，本發(fā)明的目的在于提供一種干燥裝置和包含該干燥裝置的基板處理系統(tǒng)，即使在通過(guò)減壓干燥法對(duì)涂布基板進(jìn)行干燥的干燥裝置成為多級(jí)腔室結(jié)構(gòu)的情況下，也能夠以單獨(dú)的真空栗或者個(gè)數(shù)比腔室總和少的真空栗連續(xù)性地進(jìn)行減壓干燥。
[0012]本發(fā)明的減壓干燥裝置，利用搬送裝置將涂布了涂布液的片狀基板搬入腔室內(nèi)并根據(jù)預(yù)先設(shè)定的減壓序列對(duì)所述腔室內(nèi)進(jìn)行減壓從而對(duì)涂布于所述基板的所述涂布液進(jìn)行干燥，其特征在于，該減壓干燥裝置具有:多個(gè)減壓用腔室;單一的減壓用栗，其經(jīng)由配管與設(shè)置于所述各腔室的進(jìn)氣口連接;閥，其設(shè)置于各個(gè)所述配管，通過(guò)使所述減壓用栗進(jìn)行動(dòng)作而對(duì)各腔室的減壓狀態(tài)進(jìn)行控制；以及控制裝置，其為了根據(jù)預(yù)先設(shè)定的減壓序列對(duì)各腔室的減壓狀態(tài)進(jìn)行減壓而對(duì)各閥進(jìn)行單獨(dú)控制。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的減壓干燥裝置，采用對(duì)于多個(gè)減壓腔室連接單一或者數(shù)量比腔室總和少的減壓用栗的基板處理線結(jié)構(gòu)，而且根據(jù)各腔室的預(yù)先設(shè)定的減壓序列單獨(dú)地控制經(jīng)由配管與各腔室連接的閥，能夠使真空栗的容量比分別設(shè)置于多個(gè)腔室的情況下的總和少，即使向各腔室逐次搬入涂布結(jié)束后的基板也能夠連續(xù)地使各基板實(shí)現(xiàn)與規(guī)定相符的基板干燥狀態(tài)。由此，能夠大幅地降低減壓干燥裝置的成本。
[0014]并且，本發(fā)明的閥是閥開(kāi)閉角控制式閥，其特征在于，根據(jù)閥開(kāi)閉角來(lái)控制腔室內(nèi)的減壓狀態(tài)。
[0015]由于以這種方式根據(jù)閥開(kāi)閉角來(lái)控制閥的流量，因此能夠細(xì)微地調(diào)整各閥的排氣力，能夠根據(jù)預(yù)先設(shè)定的減壓序列來(lái)控制各腔室的減壓狀態(tài)。
[0016]并且，本發(fā)明的第二實(shí)施方式的減壓干燥裝置，利用搬送裝置將涂布了涂布液的片狀基板搬入腔室內(nèi)并根據(jù)預(yù)先設(shè)定的減壓序列對(duì)所述腔室內(nèi)進(jìn)行減壓從而對(duì)涂布于所述基板的所述涂布液進(jìn)行干燥，其特征在于，該減壓干燥裝置具有:多個(gè)減壓用腔室;單一的減壓用栗，該減壓用栗的進(jìn)氣口經(jīng)由配管與所述各腔室連接;調(diào)節(jié)器，其設(shè)置于各個(gè)所述配管，通過(guò)使所述減壓用栗進(jìn)行動(dòng)作而對(duì)各腔室的減壓狀態(tài)進(jìn)行控制;控制裝置，其根據(jù)對(duì)所述各腔室設(shè)定的減壓序列而對(duì)所述調(diào)節(jié)器進(jìn)行單獨(dú)控制；以及閥，其與所述腔室對(duì)應(yīng)地分別設(shè)置于所述配管，以控制向所述各腔室的氣流。
[0017]根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施方式的減壓干燥裝置，通過(guò)將調(diào)節(jié)器用于減壓狀態(tài)的控制，而能夠更精確地控制各腔室的減壓狀態(tài)。
[0018]本發(fā)明的基板處理系統(tǒng)，其具有多條具備涂布干燥裝置的片狀基板的處理線，在該涂布干燥裝置中，利用涂布裝置對(duì)片狀基板涂布涂布液，接著將所述基板搬入具有至少一個(gè)減壓用腔室的干燥裝置，并根據(jù)對(duì)所述腔室設(shè)定的減壓序列對(duì)腔室內(nèi)進(jìn)行減壓，從而進(jìn)行減壓干燥，在干燥結(jié)束之后搬出到下一工序，其特征在于，該基板處理系統(tǒng)具有:多個(gè)減壓用栗，它們是進(jìn)行所述減壓干燥的減壓用栗，總數(shù)比基板處理系統(tǒng)所包含的所有干燥裝置的腔室數(shù)的總和少;配管，其被設(shè)置為使所述減壓用栗能夠與所有的腔室連接;以及多個(gè)閥，它們經(jīng)由所述配管與所述腔室連接并進(jìn)行所述多個(gè)減壓用栗的連接切換。
[0019]根據(jù)本發(fā)明的基板處理系統(tǒng)，由于在各個(gè)包含減壓干燥裝置的多條基板處理線之間共用減壓用栗，因此與對(duì)各減壓干燥裝置分配特定的減壓用栗并進(jìn)行連接的基板處理系統(tǒng)相比，將即使在進(jìn)程循環(huán)時(shí)間變快的情況下也不工作的減壓用栗追加連接到需要追加減壓用栗的基板處理線，從而能夠維持循環(huán)時(shí)間，并且減少所設(shè)置的減壓用栗臺(tái)數(shù)，能夠降低基板處理系統(tǒng)的成本。
[0020]本發(fā)明的基板處理系統(tǒng)中的閥的特征在于，至少與所有干燥裝置的腔室數(shù)的總和相同數(shù)量的閥具有流量控制功能，各腔室連接有至少一個(gè)具有流量控制功能的閥。
[0021]由此，能夠根據(jù)預(yù)先設(shè)定的減壓序列通過(guò)控制裝置對(duì)各腔室進(jìn)行減壓。
[0022]本發(fā)明的第二實(shí)施方式的基板處理系統(tǒng)，其具有多條具備涂布干燥裝置的片狀基板處理線，在該涂布干燥裝置中，利用涂布裝置對(duì)片狀基板涂布涂布液，接著將所述基板搬入具有至少一個(gè)減壓用腔室的干燥裝置，并根據(jù)對(duì)所述腔室設(shè)定的減壓序列對(duì)腔室內(nèi)進(jìn)行減壓，從而進(jìn)行減壓干燥，在干燥結(jié)束之后搬出到下一工序，其特征在于，該基板處理系統(tǒng)具有:多個(gè)減壓用栗，它們是進(jìn)行所述減壓干燥的減壓用栗，總數(shù)比基板處理系統(tǒng)所包含的所有干燥裝置的腔室數(shù)的總和少;配管，其被設(shè)置為使所述減壓用栗能夠與所有的腔室連接;多個(gè)閥，它們經(jīng)由所述配管與所述腔室連接并進(jìn)行所述多個(gè)減壓用栗的連接切換;調(diào)節(jié)器，其針對(duì)各腔室而設(shè)置，以控制各腔室的減壓狀態(tài)；以及控制裝置，其根據(jù)對(duì)所述腔室設(shè)定的減壓序列對(duì)各腔室內(nèi)進(jìn)行減壓。
[0023]根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施方式的基板處理系統(tǒng)，通過(guò)將調(diào)節(jié)器用于減壓狀態(tài)的控制而能夠更精確地控制各腔室的減壓狀態(tài)。
[0024]本發(fā)明的第三實(shí)施方式的基板處理系統(tǒng)，其具有多條具備涂布干燥裝置的片狀基板處理線，在該涂布干燥裝置中，利用涂布裝置對(duì)片狀基板涂布涂布液，接著將所述基板搬入具有至少一個(gè)減壓用腔室的干燥裝置，并根據(jù)對(duì)所述腔室設(shè)定的減壓序列對(duì)腔室內(nèi)進(jìn)行減壓，從而進(jìn)行減壓干燥，在干燥結(jié)束之后搬出到下一工序，其特征在于，該基板處理系統(tǒng)具有:多個(gè)減壓用栗，它們是進(jìn)行所述減壓干燥的減壓用栗，總數(shù)比基板處理系統(tǒng)所包含的所有干燥裝置的腔室數(shù)的總和少;配管，其被設(shè)置為使所述減壓用栗能夠與所有的腔室連接;多個(gè)閥，它們經(jīng)由所述配管與所述腔室連接并進(jìn)行所述多個(gè)減壓用栗的連接切換;控制裝置，其根據(jù)對(duì)所述腔室設(shè)定的減壓序列對(duì)各腔室內(nèi)進(jìn)行減壓；以及減壓用緩沖罐，其針對(duì)所述減壓用栗中的至少一個(gè)而設(shè)置。
[0025]根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施方式的基板處理系統(tǒng)，主要能夠分成與各基板處理線的減壓干燥裝置固定連接的減壓用栗以及在必要時(shí)臨時(shí)與減壓干燥裝置連接的減壓用栗(臨時(shí)連接用減壓栗)，并且通過(guò)對(duì)所述臨時(shí)連接用減壓栗設(shè)置緩沖罐而能夠調(diào)整減壓力，能夠大幅地減少所設(shè)置的減壓用栗的臺(tái)數(shù)。
[0026]根據(jù)本發(fā)明，在包含對(duì)基板的涂布工序及與其接續(xù)的干燥工序的基板處理系統(tǒng)中，在不會(huì)使干燥工序中的基板干燥品質(zhì)降低的情況下，能夠使在干燥工序中使用的每I臺(tái)減壓干燥裝置的減壓干燥用栗臺(tái)數(shù)從當(dāng)前的每I臺(tái)腔室一臺(tái)減壓干燥用栗這樣的結(jié)構(gòu)減少，能夠大幅地減少基板處理系統(tǒng)的設(shè)備成本。
【附圖說(shuō)明】
[0027]圖1是示出本發(fā)明的減壓干燥裝置的一實(shí)施方式的概略立體圖。
[0028]圖2是示出基板的干燥時(shí)間與腔室內(nèi)壓的關(guān)系的圖表以及示出腔室內(nèi)壓與閥的開(kāi)度的關(guān)系的圖。
[0029]圖3是示出進(jìn)程循環(huán)與干燥循環(huán)的關(guān)系的時(shí)序圖。
[0030]圖4是示出本發(fā)明的減壓干燥裝置的另一實(shí)施方式的概略立體圖。
[0031]圖5是示出本發(fā)明的基板處理系統(tǒng)的一實(shí)施方式的概略立體圖。
[0032]圖6是示出多個(gè)基板處理線上的進(jìn)程循環(huán)與干燥循環(huán)的關(guān)系的時(shí)序圖。
[0033]圖7是示出本發(fā)明的基板處理系統(tǒng)的第二實(shí)施方式的概略立體圖。
[0034]圖8是示出本發(fā)明的基板處理系統(tǒng)的第三實(shí)施方式的概略立體圖。
[0035]標(biāo)號(hào)說(shuō)明
[0036]2a:腔室;3:機(jī)器人;4:真空栗;21:腔室蓋;22:腔室容器;23:閥；24:調(diào)節(jié)器;25:配管；26:閥；27:緩沖罐;30:減壓干燥裝置;31:機(jī)器人手；32:基板;55:基板處理系統(tǒng)；1la:基板處理線。
【具體實(shí)施方式】
[0037]以下，根據(jù)附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。
[0038]圖1是示出本發(fā)明的減壓干燥裝置的一實(shí)施方式的概略圖。該減壓干燥裝置30是如下的裝置:通過(guò)搬送裝置將借助未圖示的涂布裝置而在正面上形成有涂布膜的基板32搬入減壓干燥裝置30的腔室2a?2c中的任意一個(gè)并對(duì)腔室內(nèi)進(jìn)行減壓，從而使基板32正面的涂布膜干燥。這里，在本發(fā)明中雖然作為搬送裝置使用機(jī)器人3，但也可以使用其他的搬送機(jī)構(gòu)例如輥式輸送機(jī)或者上浮搬送裝置。并且，關(guān)于機(jī)器人3并不特定其形式。此外，圖1的實(shí)施方式所示的減壓干燥裝置30采用3級(jí)腔室結(jié)構(gòu)，但本發(fā)明也可以同樣地適用于3級(jí)結(jié)構(gòu)以外的多級(jí)腔室結(jié)構(gòu)的減壓干燥裝置。
[0039]本發(fā)明的減壓干燥裝置30具有腔室2a?2c，各腔室由腔室蓋21和腔室容器22構(gòu)成。如果機(jī)器人3將積載于機(jī)器人手31的基板32搬送到減壓干燥裝置30，則腔室蓋21通過(guò)未圖示的驅(qū)動(dòng)裝置從相對(duì)于腔室容器22的接觸位置上升。腔室容器22中，在其內(nèi)部設(shè)置有未圖示的基板接受臺(tái)而且設(shè)置有貫通腔室容器22的底部和所述基板接受臺(tái)的多個(gè)基板接受部件(這也未圖示)，并通過(guò)所述未圖示的驅(qū)動(dòng)裝置上升及下降。另外，在所述基板接受臺(tái)上，在與所述基板接受部件不同的位置設(shè)置有多個(gè)未圖示的基板保持部件，其防止基板32在干燥時(shí)與所述基板接受臺(tái)接觸，所述基板接受部件能夠下降到比所述基板保持部件低的位置。另一方面，在所述基板接受部件上升時(shí)，所述基板接受部件可以上升到比機(jī)器人手31的位置高的位置。
[0040]當(dāng)機(jī)器人手31進(jìn)入到腔室內(nèi)的規(guī)定的位置時(shí)，所述基板接受部件上升并保持基板
32。同時(shí)，機(jī)器人手31從腔室內(nèi)抽出，所述基板接受部件下降并將基板32交接到所述基板保持部件。接著，腔室蓋21下降，與下降結(jié)束同時(shí)地開(kāi)始進(jìn)行腔室的減壓。這里，在連續(xù)基板處理動(dòng)作時(shí)由于向腔室2a?2c的基板搬送是對(duì)基板已搬出的腔室進(jìn)行的，因此以不指定特定的腔室的方式進(jìn)行動(dòng)作說(shuō)明。
[0041 ]在腔室2a?2c中，出于減壓的目的而在腔室容器22中設(shè)置有與真空栗4連接的配管25。配管25為了將腔室2a?2c與單一的真空栗4連接而采用圖1所示的配管結(jié)構(gòu)。并且，為了在腔室2a?2c的減壓時(shí)控制各腔室的開(kāi)閉及其排氣流量而按照各腔室對(duì)配管25設(shè)置閥23 ο閥23像在圖2中示出其概略構(gòu)造那樣在內(nèi)部具有旋轉(zhuǎn)閥，在與流體的流動(dòng)方向垂直的情況下為關(guān)閉、在與流動(dòng)方向平行的情況下為全開(kāi)，而且還能夠根據(jù)閥相對(duì)于閥主體的開(kāi)度來(lái)調(diào)整流量。
[0042]這里使用圖2對(duì)減壓干燥詳細(xì)地進(jìn)行說(shuō)明。像圖2所示的“腔室內(nèi)壓力-時(shí)間變化”表所示那樣，在減壓干燥中并不是直線性地進(jìn)行減壓，而是分成幾個(gè)階段進(jìn)行減壓從而防止對(duì)片狀基板那樣的面積較大的對(duì)象物進(jìn)行干燥時(shí)的因氣流導(dǎo)致的干燥不勻。在作為減壓開(kāi)始階段的階段1(T0?Tl)中，由于急劇的減壓會(huì)引起干燥不勻，因此像圖2的“各階段的閥開(kāi)度”所示那樣，稍微打開(kāi)閥23同時(shí)驅(qū)動(dòng)真空栗4，逐漸進(jìn)行減壓對(duì)象腔室的減壓。接著在階段2(Τ1?Τ2)中增加閥23的開(kāi)度，使減壓速度上升。進(jìn)而，在階段3(Τ2?Τ4)中，為了達(dá)到極限真空度而使閥成為全開(kāi)。這里，Τ3是從Τ2達(dá)到極限真空度的時(shí)間，由于閥23處于全開(kāi)狀態(tài)因此該T3包含于階段3。由于達(dá)到極限真空度的目的在于液體的干燥，因此幾帕斯卡(Pa)左右就足夠。接著，在以一定的時(shí)間維持了極限真空度之后使閥23成為關(guān)閉，并通過(guò)圖1中未圖示的配管路徑供給清潔空氣(CDA)或者氮?dú)猓ゲ⑹骨皇?a內(nèi)返回到大氣壓，然后使腔室蓋21上升并進(jìn)行基板32的替換。這一系列的動(dòng)作(減壓序列(sequence))通過(guò)未圖示的控制裝置進(jìn)行控制。
[0043]接著使用圖3對(duì)于在連續(xù)地使用多個(gè)腔室來(lái)實(shí)施上述循環(huán)的情況下各腔室的處理進(jìn)程的相關(guān)關(guān)系進(jìn)行說(shuō)明。這里，圖3的時(shí)序圖所示的腔室1、2、3表示連續(xù)基板處理中的基板搬入的順序，例如在腔室I為圖1的腔室2a的情況下，腔室2為圖1的腔室2b，腔室3為腔室2c。在基板涂布/干燥進(jìn)程中，幾乎不存在涂布時(shí)間與干燥時(shí)間一致的情況，通常干燥時(shí)間比涂布時(shí)間長(zhǎng)。因此，在連續(xù)地進(jìn)行基板處理的情況下，會(huì)成為在干燥結(jié)束前將下一已涂布基板搬入到減壓干燥裝置的情況。為了應(yīng)對(duì)該情況，通常在減壓干燥裝置中設(shè)置有多個(gè)腔室。圖3示出了圖1所示的3級(jí)腔室結(jié)構(gòu)的減壓干燥裝置的基板處理時(shí)序的一例。由此可知，3級(jí)腔室不會(huì)全部同時(shí)處于閥全開(kāi)的圖2的圖表的階段3，不僅如此，任意的2臺(tái)腔室同時(shí)處于階段3的時(shí)間也極短。這表示:即使是3級(jí)腔室結(jié)構(gòu)，只要真空栗具有最大能夠同時(shí)處理2級(jí)的腔室的能力便是足夠的。即，在所述腔室I為階段3的情況下，所述腔室2為階段I或者2，所述腔室3處于未使用狀態(tài)。當(dāng)腔室2處于階段3時(shí)，腔室I處于階段4至5、即成為閥關(guān)閉狀態(tài)，腔室3處于階段I或者2。此外當(dāng)腔室3處于階段3時(shí)，腔室2處于階段4至5、即成為閥關(guān)閉狀態(tài)，腔室I重新處于階段I或者2，該循環(huán)重復(fù)進(jìn)行。因此不存在3級(jí)腔室同時(shí)處于階段3的情況。
[0044]當(dāng)然，圖3是示出典型性的液體的干燥循環(huán)的一例的圖，當(dāng)然可以根據(jù)涂布液而改變?cè)撗h(huán)。但是，通常而言，即使涂布液不同，作為緩慢減壓的階段I，為了防止干燥不勻也需要一定時(shí)間，并且作為急速減壓的階段2，會(huì)受到腔室容積的左右。因此會(huì)因涂布液的種類(lèi)而受到影響的是階段3，但在向縮短階段3的方向進(jìn)行變更的情況下，由于僅時(shí)序整體向左被壓縮因此階段3不會(huì)重疊。另一方面，在向延長(zhǎng)階段3的方向進(jìn)行變更的情況下，在能夠強(qiáng)化真空栗4的能力的情況下只要以此方式應(yīng)對(duì)即可，在無(wú)法通過(guò)真空栗4的能力強(qiáng)化來(lái)應(yīng)對(duì)的情況下，要增加腔室級(jí)數(shù)或者增加減壓干燥裝置來(lái)匹配整體的循環(huán)時(shí)間。在增加腔室級(jí)數(shù)或者增加減壓干燥裝置的情況下只要根據(jù)需要增設(shè)真空栗即可。即，即使像上述那樣考慮所有的情況，也不需要對(duì)每個(gè)各腔室設(shè)置真空栗。
[0045]圖4是示意性示出圖1的減壓干燥裝置的變形實(shí)施例的圖。與圖1的結(jié)構(gòu)不同，在圖4的減壓干燥裝置40中在按照各腔室2a?2c對(duì)配管25設(shè)置調(diào)節(jié)器24。在該結(jié)構(gòu)中，閥23僅具有打開(kāi)/關(guān)閉的功能，流量調(diào)整由調(diào)節(jié)器24進(jìn)行。關(guān)于調(diào)節(jié)器24的設(shè)置位置，除了圖4的例子以外還可以設(shè)置在與閥23相比靠腔室側(cè)的位置。在以圖1的結(jié)構(gòu)利用圖2所示的具有旋轉(zhuǎn)閥的閥進(jìn)行流量調(diào)整的情況下，開(kāi)度與流量并不一定示出一次函數(shù)關(guān)系，因此需要事先根據(jù)測(cè)試等來(lái)預(yù)先調(diào)整設(shè)定值。因此，在頻繁地進(jìn)行涂布液更換(即制造品種變更)的情況下，存在條件設(shè)定花費(fèi)時(shí)間的可能性。因此，通過(guò)使用調(diào)節(jié)器不僅能夠在涂布液更換時(shí)等情況下迅速地應(yīng)對(duì)，而且如果使用減壓動(dòng)作專(zhuān)用調(diào)節(jié)器，還可以進(jìn)行更精密的流量設(shè)定。
[0046]接著，使用圖5?圖6對(duì)于在具有多條包含圖1所示的本發(fā)明的減壓干燥裝置的基板處理線的基板處理系統(tǒng)中應(yīng)用圖1?圖4所示的本發(fā)明的減壓干燥裝置而在系統(tǒng)整體中將設(shè)備簡(jiǎn)化的實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。圖5是由包含本發(fā)明的減壓干燥裝置的多條基板處理線構(gòu)成的基板處理系統(tǒng)的一實(shí)施例。在基板例如是液晶面板的情況下，基板處理系統(tǒng)具有5?6條基板處理線，各基板處理線由清洗—干燥—涂布—干燥—預(yù)烘焙—曝光—顯影/蝕刻—清洗—烘烤的工序構(gòu)成。這里為了說(shuō)明的簡(jiǎn)化，使圖5及此后的基板處理系統(tǒng)采用1la和1lb這樣的2線結(jié)構(gòu)，裝置也與圖1相同地僅示出搬入機(jī)器人和減壓干燥裝置?；逄幚砭€1la和1lb的減壓干燥裝置30a、30b在單體上是與圖1所示的減壓干燥裝置30相同的結(jié)構(gòu)，省略對(duì)其裝置結(jié)構(gòu)的詳細(xì)描述。在圖5的基板處理系統(tǒng)55中，新設(shè)置了真空栗4ab，其通過(guò)閥26而分支并經(jīng)由配管25而與各腔室2aa?2bc連接。這里，閥26僅控制與腔室連接的配管25的打開(kāi)/關(guān)閉，不控制排氣流量。并且，作為閥的型式不需要使用4方閥，至于驅(qū)動(dòng)方式是空壓開(kāi)閉/電磁開(kāi)閉中的任意一種都是沒(méi)問(wèn)題的。在圖5的基板處理系統(tǒng)55中，從閥26接出的配管相對(duì)于閥23在腔室的相反側(cè)(即真空栗側(cè))與來(lái)自真空栗4a或者4b的配管結(jié)合。在圖5的結(jié)構(gòu)中，閥26為了應(yīng)對(duì)排氣的控制而必須連接在真空栗側(cè)。并且，為了不對(duì)真空栗4a、4b施加過(guò)重的負(fù)載而設(shè)置有閥28，將真空栗4a、4b與真空栗4ab進(jìn)行減壓的腔室(2aa?2bc中的任意一個(gè))分開(kāi)。其理由如下。
[0047]在來(lái)自真空栗4ab的配管相對(duì)于閥23在真空栗側(cè)連接的情況下，真空栗4a或者4b相對(duì)于真空栗4ab所減壓的腔室(2aa?2bc中的任意一個(gè))也呈連接狀態(tài)。在該情況下，難以預(yù)測(cè)對(duì)真空栗的負(fù)載帶來(lái)怎樣的影響，產(chǎn)生成為最差過(guò)剩負(fù)載而栗4a和4b中的任意一個(gè)或者雙方停止的危險(xiǎn)性。因此，為了防止這樣的情形，在真空栗4a和4b與來(lái)自真空栗4ab的配管連接部之間進(jìn)一步設(shè)置閥28，防止真空栗4a或者4b相對(duì)于由真空栗4ab進(jìn)行減壓的所述腔室(2aa?2bc中的任意一個(gè)且是與真空栗4ab連接的腔室)也呈連接狀態(tài)的情況。
[0048]圖6針對(duì)圖5所示的基板處理系統(tǒng)55對(duì)連續(xù)地進(jìn)行基板處理的情況下的各基板處理線的各腔室間的進(jìn)程相關(guān)關(guān)系進(jìn)行說(shuō)明。為了易于看懂說(shuō)明，使各線的開(kāi)始以及涂布循環(huán)/干燥循環(huán)相同。這里，線I和線2是用于表示基板處理的順序的出于方便的慣稱(chēng)，可以是圖5的基板處理線1la和1lb中的任意一個(gè)，圖6的時(shí)序所示的腔室1、2、3表示連續(xù)基板處理中的基板搬入的順序，例如在線I為圖5的基板處理線101a、腔室I為腔室2aa的情況下，腔室2為腔室2ab，腔室3為腔室2ac。從圖6可知，在時(shí)序上由縱線夾持的區(qū)域X中，真空栗的負(fù)載最大。這里，雖然可以向各基板處理線1la和1lb的減壓干燥裝置30a和30b添加真空栗，但可以通過(guò)對(duì)于圖6所示不處于全開(kāi)狀態(tài)的線的腔室3追加連接真空栗4ab而將真空栗4a和4b限定為僅應(yīng)對(duì)2個(gè)腔室的量的最大負(fù)載的能力。當(dāng)然，也可以根據(jù)減壓負(fù)載和干燥循環(huán)設(shè)置多個(gè)真空栗4ab。
[0049]作為圖6的基板處理系統(tǒng)的變形例，可以與相對(duì)于圖1的減壓干燥裝置的圖4的減壓干燥裝置相同地、像圖7中作為實(shí)施例的基板處理系統(tǒng)56那樣采用使用調(diào)節(jié)器的結(jié)構(gòu)。由于構(gòu)成圖7的基板處理系統(tǒng)56的各基板處理線1la和1lb的減壓干燥裝置40a、40b的結(jié)構(gòu)與圖4的減壓干燥裝置40相同因此省略對(duì)重復(fù)部分的說(shuō)明。這里，在對(duì)于圖1的減壓干燥裝置30添加了調(diào)節(jié)器24的圖4的減壓干燥裝置40的情況下，調(diào)節(jié)器24的設(shè)置位置可以在閥的前后的任意一方，但在圖7的實(shí)施例中則需要將其設(shè)置在與閥23相比靠腔室側(cè)的位置，并且來(lái)自真空栗4ab的配管需要在閥23與調(diào)節(jié)器24之間與向腔室2aa?2bc的配管25連接。這樣對(duì)配管及設(shè)備的配置產(chǎn)生制約是因?yàn)橐韵碌睦碛伞?br>[°°50] 如圖6的時(shí)序所示，在區(qū)域X中真空栗4a和4b分別進(jìn)行2臺(tái)腔室(2aa?2bc中的任意一個(gè))的減壓。在該狀態(tài)下，如果來(lái)自真空栗4ab的配管相對(duì)于閥23在真空栗側(cè)連接，則閥23為了對(duì)其余的處于階段I或者2的腔室(2aa?2bc中的任意一個(gè)且是與真空栗4ab連接的腔室)進(jìn)行減壓而呈打開(kāi)狀態(tài)，因此結(jié)果是該閥23與真空栗4a和4b連接。在該情況下，難以預(yù)測(cè)對(duì)于真空栗的負(fù)載會(huì)帶來(lái)怎樣的影響，產(chǎn)生成為最差過(guò)剩負(fù)載而栗4a和4b中的任意一個(gè)或者雙方停止的危險(xiǎn)性。因此，為了防止這樣的情形，需要使來(lái)自真空栗4ab的配管在閥23與調(diào)節(jié)器24之間與向腔室的配管連接、且使該部位的閥23為關(guān)閉。
[0051]圖8示出了圖5的基板處理系統(tǒng)的變形例的不同的實(shí)施例。在圖8的基板處理系統(tǒng)57中，基板處理線101a、101b共用的真空栗4ab具有緩沖罐27。通過(guò)設(shè)置緩沖罐27并預(yù)先對(duì)緩沖罐27內(nèi)進(jìn)行減壓，對(duì)于真空栗4ab而言能夠增大真空容量。因此可以使真空栗4ab的能力比通過(guò)計(jì)算而導(dǎo)出的結(jié)果低。這能夠進(jìn)一步減少基板處理系統(tǒng)57的設(shè)備成本。
[0052]在圖8中，各基板處理線101a、101b與圖7相同地采用具有調(diào)節(jié)器24的結(jié)構(gòu)，但也可以是與不使用調(diào)節(jié)器24的圖5相同的結(jié)構(gòu)。但是，對(duì)于來(lái)自真空栗4ab的配管連接位置而言，由于與在對(duì)圖7的減壓干燥裝置的說(shuō)明中記載的內(nèi)容相同的理由而需要采用與圖7相同的結(jié)構(gòu)。
[0053]以上，根據(jù)本發(fā)明的各實(shí)施方式的減壓干燥裝置30或者40，即使是具有多個(gè)腔室的減壓干燥裝置，也不需要與腔室的數(shù)量相同的數(shù)量的真空栗，可以提供設(shè)備成本低的減壓干燥裝置。
[0054]并且，根據(jù)本發(fā)明的各實(shí)施方式的基板處理系統(tǒng)55、56、57，能夠使構(gòu)成基板處理系統(tǒng)的基板處理線的減壓干燥裝置的真空栗同樣地以比減壓干燥裝置的腔室總數(shù)少的數(shù)量在不降低系統(tǒng)吞吐量的情況下進(jìn)行規(guī)定的基板干燥。
[0055]關(guān)于本次公開(kāi)的基板處理系統(tǒng)的實(shí)施方式，并不伴隨對(duì)涂布裝置的制約。因此只要是涂布涂布液并進(jìn)行干燥的形式的基板處理系統(tǒng)，就能夠應(yīng)對(duì)包含縫噴嘴涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、噴墨打印機(jī)在內(nèi)的任意的涂布裝置。并且，關(guān)于基板，也可以應(yīng)對(duì)從用于液晶等的矩形基板到半導(dǎo)體晶片用的圓形基板中的任意一種。并且對(duì)于涂布液也不存在制約，只要使溶劑蒸發(fā)并進(jìn)行干燥就可以應(yīng)對(duì)任意的涂布液。
[0056]因此，本發(fā)明的減壓干燥裝置和基板處理系統(tǒng)包含液晶面板制造裝置、有機(jī)EL面板制造裝置、觸摸面板制造裝置、半導(dǎo)體制造裝置，可以應(yīng)用于各種產(chǎn)業(yè)用途。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種減壓干燥裝置，利用搬送裝置將涂布了涂布液的片狀基板搬入腔室內(nèi)并根據(jù)預(yù)先設(shè)定的減壓序列對(duì)所述腔室內(nèi)進(jìn)行減壓從而對(duì)涂布于所述基板的所述涂布液進(jìn)行干燥，其特征在于， 該減壓干燥裝置具有: 多個(gè)減壓用腔室； 單一的減壓用栗，其經(jīng)由配管與設(shè)置于所述各腔室的進(jìn)氣口連接； 閥，其設(shè)置于各個(gè)所述配管，通過(guò)使所述減壓用栗進(jìn)行動(dòng)作而對(duì)各腔室的減壓狀態(tài)進(jìn)行控制；以及 控制裝置，其根據(jù)對(duì)所述各腔室設(shè)定的減壓序列對(duì)所述閥進(jìn)行單獨(dú)控制。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的減壓干燥裝置，其特征在于， 所述閥是閥開(kāi)閉角控制式閥，根據(jù)閥開(kāi)閉角來(lái)控制腔室內(nèi)的減壓狀態(tài)。3.一種減壓干燥裝置，利用搬送裝置將涂布了涂布液的片狀基板搬入腔室內(nèi)并根據(jù)預(yù)先設(shè)定的減壓序列對(duì)所述腔室內(nèi)進(jìn)行減壓從而對(duì)涂布于所述基板的所述涂布液進(jìn)行干燥，其特征在于， 該減壓干燥裝置具有: 多個(gè)減壓用腔室； 單一的減壓用栗，該減壓用栗的進(jìn)氣口經(jīng)由配管與所述各腔室連接； 調(diào)節(jié)器，其設(shè)置于各個(gè)所述配管，通過(guò)使所述減壓用栗進(jìn)行動(dòng)作而對(duì)各腔室的減壓狀態(tài)進(jìn)行控制； 控制裝置，其根據(jù)對(duì)所述各腔室設(shè)定的減壓序列對(duì)所述調(diào)節(jié)器進(jìn)行單獨(dú)控制；以及 閥，其與所述腔室對(duì)應(yīng)地分別設(shè)置于所述配管，以控制向所述各腔室的氣流。4.一種基板處理系統(tǒng)，其具有多條具備涂布干燥裝置的片狀基板的處理線，在該涂布干燥裝置中，利用涂布裝置對(duì)片狀基板涂布涂布液，接著將所述基板搬入具有至少一個(gè)減壓用腔室的干燥裝置，并根據(jù)對(duì)所述腔室設(shè)定的減壓序列對(duì)腔室內(nèi)進(jìn)行減壓，從而進(jìn)行減壓干燥，在干燥結(jié)束之后搬出到下一工序，其特征在于， 該基板處理系統(tǒng)具有: 多個(gè)減壓用栗，它們是進(jìn)行所述減壓干燥的減壓用栗，總數(shù)比基板處理系統(tǒng)所包含的所有干燥裝置的腔室數(shù)的總和少； 配管，其被設(shè)置為使所述減壓用栗能夠與所有的腔室連接；以及 多個(gè)閥，它們經(jīng)由所述配管與所述腔室連接并進(jìn)行所述多個(gè)減壓用栗的連接切換。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于， 所述配管的所述多個(gè)閥中的至少與所有干燥裝置的腔室數(shù)的總和相同數(shù)量的閥具有流量控制功能，各腔室連接有至少一個(gè)具有流量控制功能的閥。6.一種基板處理系統(tǒng)，其具有多條具備涂布干燥裝置的片狀基板處理線，在該涂布干燥裝置中，利用涂布裝置對(duì)片狀基板涂布涂布液，接著將所述基板搬入具有至少一個(gè)減壓用腔室的干燥裝置，并根據(jù)對(duì)所述腔室設(shè)定的減壓序列對(duì)腔室內(nèi)進(jìn)行減壓，從而進(jìn)行減壓干燥，在干燥結(jié)束之后搬出到下一工序，其特征在于， 該基板處理系統(tǒng)具有: 多個(gè)減壓用栗，它們是進(jìn)行所述減壓干燥的減壓用栗，總數(shù)比基板處理系統(tǒng)所包含的所有干燥裝置的腔室數(shù)的總和少； 配管，其被設(shè)置為使所述減壓用栗能夠與所有的腔室連接； 多個(gè)閥，它們經(jīng)由所述配管與所述腔室連接并進(jìn)行所述多個(gè)減壓用栗的連接切換； 調(diào)節(jié)器，其針對(duì)各腔室而設(shè)置，以控制各腔室的減壓狀態(tài)；以及 控制裝置，其根據(jù)對(duì)所述腔室設(shè)定的減壓序列對(duì)各腔室內(nèi)進(jìn)行減壓。7.一種基板處理系統(tǒng)，其具有多條具備涂布干燥裝置的片狀基板處理線，在該涂布干燥裝置中，利用涂布裝置對(duì)片狀基板涂布涂布液，接著將所述基板搬入具有至少一個(gè)減壓用腔室的干燥裝置，并根據(jù)對(duì)所述腔室設(shè)定的減壓序列對(duì)腔室內(nèi)進(jìn)行減壓，從而進(jìn)行減壓干燥，在干燥結(jié)束之后搬出到下一工序，其特征在于， 該基板處理系統(tǒng)具有: 多個(gè)減壓用栗，它們是進(jìn)行所述減壓干燥的減壓用栗，總數(shù)比基板處理系統(tǒng)所包含的所有干燥裝置的腔室數(shù)的總和少； 配管，其被設(shè)置為使所述減壓用栗能夠與所有的腔室連接； 多個(gè)閥，它們經(jīng)由所述配管與所述腔室連接并進(jìn)行所述多個(gè)減壓用栗的連接切換； 控制裝置，其根據(jù)對(duì)所述腔室設(shè)定的減壓序列對(duì)各腔室內(nèi)進(jìn)行減壓；以及 減壓用緩沖罐，其針對(duì)所述減壓用栗中的至少一個(gè)而設(shè)置。
【文檔編號(hào)】F26B5/04GK105928324SQ201610090240
【公開(kāi)日】2016年9月7日
【申請(qǐng)日】2016年2月17日
【發(fā)明人】伊藤禎彥, 池森博, 池森一博
【申請(qǐng)人】東麗工程株式會(huì)社