本技術(shù)屬于半導(dǎo)體加熱爐，具體涉及一種擴(kuò)散爐復(fù)合型冷卻結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、擴(kuò)散工藝是集成電路制造中最主要的摻雜工藝之一，它是在高溫條件下，將磷、硼等原子擴(kuò)散到晶圓內(nèi)，從而改變和控制半導(dǎo)體內(nèi)雜質(zhì)的類型、濃度和分布，以便建立起不同的電特性區(qū)域?，F(xiàn)有的擴(kuò)散工藝絕大部分都是以批次型處理方式進(jìn)行的，即將多個(gè)批次的晶圓同時(shí)放入擴(kuò)散爐中進(jìn)行擴(kuò)散處理，由此可以極大的提高生產(chǎn)效率。

2、現(xiàn)有的擴(kuò)散爐冷卻機(jī)構(gòu)在使用存在冷卻效率低、冷卻時(shí)能耗高以及維護(hù)和保養(yǎng)困難的問題。

3、公開于該背景技術(shù)部分的信息僅僅旨在增加對本實(shí)用新型的總體背景的理解，而不應(yīng)當(dāng)被視為承認(rèn)或以任何形式暗示該信息構(gòu)成已為本領(lǐng)域一般技術(shù)人員所公知的現(xiàn)有技術(shù)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種擴(kuò)散爐復(fù)合型冷卻結(jié)構(gòu)，其能夠解決冷卻機(jī)構(gòu)效率低、耗能高以及維護(hù)保養(yǎng)困難的問題。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型一具體實(shí)施例提供的技術(shù)方案如下：

3、一種擴(kuò)散爐復(fù)合型冷卻結(jié)構(gòu)，包括：

4、擴(kuò)散爐本體，包括組合式陶瓷纖維層，所述組合式陶瓷纖維層設(shè)置有多個(gè)，多個(gè)所述組合式陶瓷纖維層的內(nèi)側(cè)均安裝有加熱絲，多個(gè)所述組合式陶

5、瓷纖維層依次逐個(gè)安裝于一起形成爐形結(jié)構(gòu)，多個(gè)組合式陶瓷纖維層內(nèi)安裝有多個(gè)加熱絲組成爐形機(jī)構(gòu)，有效的提高了擴(kuò)散爐的加熱效率；所述組合式陶瓷纖維層的外側(cè)安裝有整體式陶瓷纖維層，所述整體式陶瓷纖維層的外側(cè)安裝有防護(hù)殼，通過防護(hù)殼對內(nèi)部結(jié)構(gòu)進(jìn)行支撐，確保擴(kuò)散爐使用的強(qiáng)度。

6、冷卻機(jī)構(gòu)，包括氣流通道和冷卻水管，所述氣流通道設(shè)置于組合式陶瓷纖維層和整體式陶瓷纖維層之間，氣流通道使得組合式陶瓷纖維層和整體式陶瓷纖維層之間形成了特殊形狀的風(fēng)道，以便于氣流流動(dòng)，可以帶走外圍的熱量；氣流通道通過氣流的流動(dòng)帶走外圍的熱量，從而降低了冷卻結(jié)構(gòu)降溫時(shí)的能耗；所述冷卻水管安裝于防護(hù)殼的外側(cè)壁上，通過設(shè)置冷卻水管，以水冷的方式進(jìn)一步的帶走熱量，實(shí)現(xiàn)對擴(kuò)散爐的冷卻，同時(shí)水冷卻能耗低。通過氣流通道和冷卻水管組成的復(fù)合型冷卻機(jī)構(gòu)，有效的對擴(kuò)散爐進(jìn)行冷卻的同時(shí)，提高了冷卻的效率，同時(shí)降低了冷卻的能耗，具有很好的實(shí)用性。

7、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述組合式陶瓷纖維層的內(nèi)側(cè)壁上開設(shè)有安裝槽，所述加熱絲安裝于安裝槽內(nèi)，安裝槽使得加熱絲安裝后散熱性能好，便于加熱使用以及冷卻時(shí)的快速降溫。

8、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述組合式陶瓷纖維層靠近外側(cè)壁的一端開設(shè)有凹槽，所述組合式陶瓷纖維層靠近外側(cè)壁的另一端設(shè)置有凸塊。

9、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，相鄰的所述組合式陶瓷纖維層上的凸塊抵接在凹槽上。

10、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述整體式陶瓷纖維層的內(nèi)側(cè)壁上開設(shè)有多個(gè)流通槽，所述氣流通道由多個(gè)所述流通槽與組合式陶瓷纖維層的外側(cè)壁之間的孔道形成。由于氣流通道設(shè)置于組合式陶瓷纖維層和整體式陶瓷纖維層之間，通過氣流通道便可以將組合式陶瓷纖維層外圍的熱量帶離。

11、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述冷卻水管設(shè)置為s型彎管，

12、s型彎管提高了氣流通道冷卻的效率，所述冷卻水管的材質(zhì)采用紫銅，由于紫銅導(dǎo)熱性好，進(jìn)一步的提高了氣流通道冷卻的效率。

13、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述冷卻水管的一端設(shè)置有進(jìn)水口，進(jìn)水口用于向冷卻水管內(nèi)提供冷卻水，所述冷卻水管的另一端設(shè)置有出水口，出水口將冷卻水管內(nèi)的冷卻水收回。

14、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述冷卻水管的外側(cè)設(shè)置有防護(hù)層，防護(hù)層用于對冷卻水管進(jìn)行防護(hù)，所述進(jìn)水口和出水口均設(shè)置于保溫層的外側(cè)，以便于進(jìn)水口和出水口便于和管道連接。同時(shí)保溫層設(shè)置為便于拆裝，同時(shí)氣流通道和冷卻水管的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡單，因此便于對冷卻機(jī)構(gòu)進(jìn)行維護(hù)和保養(yǎng)。

15、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述防護(hù)殼的外側(cè)壁上安裝有安裝殼，所述安裝殼上安裝有多個(gè)電源接頭，電源接頭用于和電源連接，以便向加熱絲提供電能，多個(gè)所述電源接頭與多個(gè)所述加熱絲之間安裝有導(dǎo)電板，通過導(dǎo)電板將電源接頭提供的電能傳輸至加熱絲。

16、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述擴(kuò)散爐本體上安裝有陶瓷纖維蓋，擴(kuò)散爐內(nèi)的氣流流動(dòng)時(shí)，通過陶瓷纖維蓋排出，排出時(shí)氣流便可以將擴(kuò)散爐內(nèi)的熱量帶離，從而提升了冷卻機(jī)構(gòu)的冷卻效率，并降低了冷卻消耗的能量。所述整體式陶瓷纖維層的外側(cè)壁上開設(shè)有多個(gè)氣孔，氣體通過一側(cè)氣孔進(jìn)入再通過另外一側(cè)氣孔通道排出。

17、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型通過氣流通道和冷卻管組成的復(fù)合式冷卻機(jī)構(gòu)，利用氣流和冷卻水的雙重作用，便可以對擴(kuò)散爐內(nèi)外進(jìn)行冷卻，提高了冷卻機(jī)構(gòu)的冷卻效率并降低了能量的消耗，同時(shí)冷卻機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡單，使得冷卻機(jī)構(gòu)的維護(hù)和保養(yǎng)簡單。

技術(shù)特征：

1.一種擴(kuò)散爐復(fù)合型冷卻結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種擴(kuò)散爐復(fù)合型冷卻結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述組合式陶瓷纖維層的內(nèi)側(cè)壁上開設(shè)有安裝槽，所述加熱絲安裝于安裝槽內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種擴(kuò)散爐復(fù)合型冷卻結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述組合式陶瓷纖維層靠近外側(cè)壁的一端開設(shè)有凹槽，所述靠近外側(cè)壁的另一端設(shè)置有凸塊。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種擴(kuò)散爐復(fù)合型冷卻結(jié)構(gòu)，其特征在于，相鄰的所述組合式陶瓷纖維層上的凸塊抵接在凹槽上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種擴(kuò)散爐復(fù)合型冷卻結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述整體式陶瓷纖維層的內(nèi)側(cè)壁上開設(shè)有多個(gè)流通槽，所述氣流通道由多個(gè)所述流通槽與組合式陶瓷纖維層的外側(cè)壁之間的孔道形成。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種擴(kuò)散爐復(fù)合型冷卻結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述冷卻水管設(shè)置為s型彎管，所述冷卻水管的材質(zhì)采用紫銅。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種擴(kuò)散爐復(fù)合型冷卻結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述冷卻水管的一端設(shè)置有進(jìn)水口，所述冷卻水管的另一端設(shè)置有出水口。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種擴(kuò)散爐復(fù)合型冷卻結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述冷卻水管的內(nèi)側(cè)設(shè)置有保溫層，所述進(jìn)水口和出水口均設(shè)置于保溫層的外側(cè)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種擴(kuò)散爐復(fù)合型冷卻結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述防護(hù)殼的外側(cè)壁上安裝有安裝殼，所述安裝殼上安裝有多個(gè)電源接頭，多個(gè)所述電源接頭與多個(gè)所述加熱絲之間安裝有導(dǎo)電板。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種擴(kuò)散爐復(fù)合型冷卻結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述擴(kuò)散爐本體上安裝有陶瓷纖維蓋。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種擴(kuò)散爐復(fù)合型冷卻結(jié)構(gòu)，包括擴(kuò)散爐本體和冷卻機(jī)構(gòu)，所述擴(kuò)散爐本體包括組合式陶瓷纖維層，所述組合式陶瓷纖維層設(shè)置有多個(gè)，多個(gè)所述組合式陶瓷纖維層的內(nèi)側(cè)均安裝有加熱絲，多個(gè)所述組合式陶瓷纖維層依次逐個(gè)安裝于一起形成爐形結(jié)構(gòu)，所述組合式陶瓷纖維層的外側(cè)安裝有整體式陶瓷纖維層，所述整體式陶瓷纖維層的外側(cè)安裝有防護(hù)殼；所述冷卻機(jī)構(gòu)包括氣流通道和冷卻水管。本技術(shù)通過氣流通道和冷卻管組成的復(fù)合式冷卻機(jī)構(gòu)，利用氣流和冷卻水的雙重作用，便可以對擴(kuò)散爐內(nèi)外進(jìn)行冷卻，提高了冷卻機(jī)構(gòu)的冷卻效率并降低了能量的消耗，同時(shí)冷卻機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡單，使得冷卻機(jī)構(gòu)的維護(hù)和保養(yǎng)簡單。

技術(shù)研發(fā)人員：鮑立宇,黎靜,沈亞南
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇實(shí)為半導(dǎo)體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240511
技術(shù)公布日：2024/12/30