本實(shí)用新型屬于硅片切割技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種帶有冷卻裝置的硅片清洗機(jī)。

背景技術(shù)：

硅片在切割完成后需要經(jīng)過脫膠、清洗。硅片在清洗機(jī)內(nèi)清洗過后還有通過熱風(fēng)進(jìn)行烘干。目前硅片清洗機(jī)烘干出來的硅片溫度在60~70℃，溫度過高會影響分選機(jī)對硅片的檢測準(zhǔn)確性。原有的解決方案是通過放置一段時間待硅片溫度降低到30℃左右的時候，再上分選機(jī)進(jìn)行分選。這樣就造成了加工時間的延長，影響了生產(chǎn)效率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型目的在于針對現(xiàn)有硅片清洗機(jī)的缺陷，提供一種能夠快速冷卻硅片的帶有冷卻裝置的硅片清洗機(jī)。

本實(shí)用新型為實(shí)現(xiàn)上述目的，采用如下技術(shù)方案：

一種帶有冷卻裝置的硅片清洗機(jī)，包括硅片清洗機(jī)本體，其特征在于：在清洗機(jī)本體的下料臺上方設(shè)置有冷風(fēng)通道，所述冷風(fēng)通道通過風(fēng)管與冷氣機(jī)相連，由冷氣機(jī)向冷風(fēng)通道輸送冷風(fēng)。

其進(jìn)一步特征在于：所述冷風(fēng)通道出風(fēng)口位于下料臺始端。

進(jìn)一步的：所述出風(fēng)口內(nèi)設(shè)置有導(dǎo)向板，所述導(dǎo)向板向下料臺尾端方向傾斜。

優(yōu)選的：所述冷風(fēng)通道尾部設(shè)置有回風(fēng)管，所述回風(fēng)管與冷氣機(jī)進(jìn)氣口相連。

所述回風(fēng)管內(nèi)設(shè)置有回風(fēng)風(fēng)機(jī)。

所述回風(fēng)風(fēng)機(jī)為軸流風(fēng)機(jī)。

所述冷風(fēng)通道高度為250-350mm。

本實(shí)用新型使烘干后的硅片在下料臺輸送過程中在冷風(fēng)通道內(nèi)快速冷卻，從60~70℃快速冷卻到30℃左右，就可以直接上分選機(jī)進(jìn)行分選，大大減少了冷卻時間，提高了工作效率。

附圖說明

圖 1 為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

如圖1所示一種帶有冷卻裝置的硅片清洗機(jī)，包括硅片清洗機(jī)本體1，在清洗機(jī)本體1的下料臺2上方設(shè)置有冷風(fēng)通道9，所述冷風(fēng)通道9通過風(fēng)管3與冷氣機(jī)4相連，由冷氣機(jī)4向冷風(fēng)通道9輸送冷風(fēng)。

所述冷風(fēng)通道9的出風(fēng)口5位于下料臺2始端，使得烘干的硅片從下料臺2始端就可以開始冷卻。所述出風(fēng)口5內(nèi)設(shè)置有導(dǎo)向板6，所述導(dǎo)向板6向下料臺2尾端方向傾斜，使冷風(fēng)向下料臺2尾端方向吹送，延長了硅片的冷卻時間。所述冷風(fēng)通道9尾部設(shè)置有回風(fēng)管7，所述回風(fēng)管7與冷氣機(jī)4進(jìn)氣口相連，使得冷卻后的冷風(fēng)再次利用，減少了冷量的損失。所述回風(fēng)管7內(nèi)設(shè)置有軸流回風(fēng)風(fēng)機(jī)8，通過軸流回風(fēng)風(fēng)機(jī)8的強(qiáng)制回風(fēng)，提高了冷風(fēng)的流轉(zhuǎn)速度，提高了冷卻效率。所述冷風(fēng)通道9高度為250-350mm，略高于硅片高度，減少了冷風(fēng)的用量，節(jié)約能源。