本實(shí)用新型涉及離子薄膜淀積設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種管式PECVD爐門開關(guān)裝置。

背景技術(shù)：

PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣象沉積是利用低溫等離子體做能量源，硅片置于低氣壓下輝光放電的陰極上，利用輝光放電(或另加發(fā)熱體)使硅片升溫到預(yù)定的溫度，然后通入適量的反應(yīng)氣體，氣體經(jīng)一批化學(xué)和等離子體反應(yīng)，在硅片上形成固態(tài)薄膜。

管式PECVD鍍膜的真空腔體的傳統(tǒng)爐門安裝在爐管口處，一般采用旋轉(zhuǎn)開關(guān)的方式，這種方式導(dǎo)致爐門開關(guān)時(shí)晃動(dòng)較大，固定爐門的螺栓易松動(dòng)和斷裂，從而造成爐門脫落事故發(fā)生，造成較大的經(jīng)濟(jì)損失。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題在于，提供一種爐門開關(guān)裝置，能夠?qū)崿F(xiàn)爐門運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，并預(yù)防爐門脫落，同時(shí)減少了爐門維修和調(diào)整的次數(shù)。

本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的，提供一種爐門開關(guān)裝置，包括底座以及沿平行于爐門的Y方向移動(dòng)的Y向移動(dòng)組件，所述Y向移動(dòng)組件安裝在所述底座上，所述爐門安裝在所述Y向移動(dòng)組件上。

進(jìn)一步地，所述Y向移動(dòng)組件包括Y向?qū)к壓突瑝K、用于帶動(dòng)滑塊移動(dòng)的第一動(dòng)力部以及固定桿，所述固定桿的一端固定在所述滑塊上，所述爐門固定在所述固定桿的另一端。

進(jìn)一步地，所述爐門的中心設(shè)置有凸軸，所述Y向移動(dòng)組件還包括用于固定所述爐門的防脫件，所述防脫件包括相互固定的固定板和固定套環(huán)以及固定螺釘，所述固定板固設(shè)在所述固定桿的一端，所述凸軸套設(shè)在所述固定套環(huán)內(nèi)，所述固定螺釘穿過所述固定板與所述凸軸螺紋連接。

進(jìn)一步地，所述防脫件還包括至少三個(gè)調(diào)節(jié)螺釘，所述調(diào)節(jié)螺釘穿過所述固定板并抵頂所述凸軸的端面。

進(jìn)一步地，所述固定螺釘和所述調(diào)節(jié)螺釘均為三個(gè)，所述調(diào)節(jié)螺釘繞所述凸軸的軸線均勻間隔設(shè)置。

進(jìn)一步地，所述凸軸遠(yuǎn)離所述爐門的一端還凸出形成有限位部。

進(jìn)一步地，所述第一動(dòng)力部為無桿氣缸。

進(jìn)一步地，所述開關(guān)機(jī)構(gòu)還包沿垂直于所述爐門的X方向移動(dòng)的X向移動(dòng)組件，所述X向移動(dòng)組件包括X向?qū)к?、可滑?dòng)地安裝在所述X向?qū)к壣系牡谆逡约坝糜趲?dòng)所述底滑板移動(dòng)的第二動(dòng)力部，所述X向?qū)к壈惭b在所述底座上，所述Y向移動(dòng)組件安裝在所述底滑板上。

進(jìn)一步地，所述第二動(dòng)力部為帶有伸縮桿的氣缸，所述氣缸安裝在所述底滑板上，其伸縮桿的頂端固定在所述底座上。

進(jìn)一步地，所述Y向移動(dòng)組件還包括行程開關(guān)，所述行程開關(guān)設(shè)置在所述Y向?qū)к壍膬啥?；所述X向移動(dòng)組件還包括位置感應(yīng)器，所述位置感應(yīng)器安裝在所述第二動(dòng)力部上。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的爐門開關(guān)裝置，通過控制Y向移動(dòng)組件移動(dòng)，使?fàn)t門沿平行于爐門的Y方向移動(dòng)。這樣可避免使用旋轉(zhuǎn)的方式開關(guān)爐門，通過電動(dòng)控制以及平移的方式來開關(guān)爐門，安全高效。

附圖說明

下面將結(jié)合附圖及實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明，附圖中。

圖1是本實(shí)用新型的爐門開關(guān)裝置的立體示意圖。

圖2是圖1中爐門開關(guān)裝置的俯視示意圖。

圖3是圖2中A-A方向的剖視示意圖。

圖4是圖3中B方向的局部放大示意圖。

具體實(shí)施方式

現(xiàn)結(jié)合附圖，對本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例作詳細(xì)說明。

如圖1和2所示，本實(shí)用新型的一種爐門開關(guān)裝置200，包括底座210以及沿平行于爐門100的Y方向移動(dòng)的Y向移動(dòng)組件220。Y向移動(dòng)組件220安裝在底座210上，爐門100安裝在Y向移動(dòng)組件220上。通過控制Y向移動(dòng)組件220移動(dòng)，使?fàn)t門100沿平行于爐門100的Y方向移動(dòng)。這樣可避免使用旋轉(zhuǎn)的方式開關(guān)爐門100，通過電動(dòng)控制以及平移的方式來開關(guān)爐門100，安全高效。

具體地，Y向移動(dòng)組件220包括Y向?qū)к?21和滑塊222、用于帶動(dòng)滑塊222移動(dòng)地第一動(dòng)力部223、固定桿224以及用于固定爐門100的防脫件225。固定桿224的一端固定在滑塊222上，防脫件225固定在固定桿224的另一端。在本實(shí)施例中，第一動(dòng)力部223為無桿氣缸，無桿氣缸包括長筒狀活塞缸223a和隨活塞運(yùn)動(dòng)的同步移動(dòng)件223b，同步移動(dòng)件223b與滑塊222固定連接，采用無桿氣缸能節(jié)約安裝空間。通過控制活塞的運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)同步移動(dòng)件223b的移動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)滑塊222以及固定桿224的移動(dòng)，最后帶動(dòng)爐門100的沿Y方向移動(dòng)。

如果爐門100只在Y方向移動(dòng)，可能會(huì)導(dǎo)致爐門100與爐管口之間磨損，為了進(jìn)一步方便爐門100的開關(guān)，開關(guān)機(jī)構(gòu)200還包沿垂直于爐門100的X方向移動(dòng)的X向移動(dòng)組件230。X向移動(dòng)組件230包括X向?qū)к?31、可滑動(dòng)地安裝在X向?qū)к?31上的底滑板232以及用于帶動(dòng)底滑板232移動(dòng)地第二動(dòng)力部233，X向?qū)к?31安裝在底座210上，Y向移動(dòng)組件220安裝在底滑板232上。

在本實(shí)施例中，第二動(dòng)力部233為帶有伸縮桿的氣缸，氣缸安裝在底滑板232上，其伸縮桿的頂端固定在底座210上。控制氣缸伸縮桿的伸縮，使底滑板232沿X方向往復(fù)移動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)Y向移動(dòng)組件220的移動(dòng)，最后帶動(dòng)爐門100沿X方向移動(dòng)。

Y向移動(dòng)組件220還包括行程開關(guān)226，設(shè)置在Y向?qū)к?21的兩端，用于檢測滑塊222的位置信息。X向移動(dòng)組件230還包括位置感應(yīng)器(圖中未示出)，位置感應(yīng)器安裝在第二動(dòng)力部233上，用于檢測底滑板232的位置信息。當(dāng)需要打開爐門100時(shí)，第二動(dòng)力部233控制底滑板232沿X方向往復(fù)移動(dòng)，帶動(dòng)爐門100遠(yuǎn)離爐管口，移動(dòng)設(shè)定距離后，位置感應(yīng)器接收信號(hào)，使第二動(dòng)力部233停止工作；然后第一動(dòng)力部223使滑塊222以及固定桿224的沿Y方向移動(dòng)，最后帶動(dòng)爐門100的沿Y方向移動(dòng)，移動(dòng)設(shè)定距離后，行程開關(guān)226接收信號(hào)，停止第一動(dòng)力部223的工作，完成爐門100的開啟。當(dāng)需要關(guān)閉爐門100時(shí)，則先使?fàn)t門沿Y方向移動(dòng)到設(shè)定位置，再沿X方向移動(dòng)到爐管口。通過這樣的移動(dòng)方式，可避免爐門100與爐管口之間的相互磨損，延長爐門的使用壽命。

如圖3所示，爐門100的中心設(shè)置有凸軸110，防脫件225包括相互固定的固定板225a和固定套環(huán)225b以及固定螺釘225c。固定板225a固設(shè)在固定桿224的一端，凸軸110套設(shè)在固定套環(huán)225b內(nèi)，固定螺釘225c穿過固定板225a與凸軸110螺紋連接，這樣能起到徑向定位的作用，防止100爐門轉(zhuǎn)動(dòng)。在本實(shí)施例中，固定板225a與固定套環(huán)225b一體形成。凸軸110遠(yuǎn)離爐門100的一端還凸出形成有限位部111，該限位部111能在凸軸110套設(shè)在固定套環(huán)225b后，能起到軸向的定位作用，防止?fàn)t門100脫落事故發(fā)生，造成較大的經(jīng)濟(jì)損失。

如圖4所示，防脫件225還包括至少三個(gè)調(diào)節(jié)螺釘225d。調(diào)節(jié)螺釘225d穿過固定板225a并抵頂凸軸110的端面。在本實(shí)施例中，固定螺釘225c和調(diào)節(jié)螺釘225d均為三個(gè)，固定螺釘225c和調(diào)節(jié)螺釘225d繞凸軸110的軸線均勻間隔設(shè)置。在固定螺釘225c固定爐門100的基礎(chǔ)上，通過旋入或旋出調(diào)節(jié)螺釘225d，可對爐門100進(jìn)行微調(diào)，使?fàn)t門100與爐管口平行，達(dá)到完全重合密封。

應(yīng)當(dāng)理解的是，以上實(shí)施例僅用以說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非對其限制，對本領(lǐng)域技術(shù)人員來說，可以對上述實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而所有這些修改和替換，都應(yīng)屬于本實(shí)用新型所附權(quán)利要求的保護(hù)范圍。