專利名稱：吹風(fēng)裝置及吹風(fēng)裝置的使用方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及エ業(yè)干燥領(lǐng)域，特別是涉及ー種吹風(fēng)裝置及吹風(fēng)裝置的使用方法。
背景技術(shù)：
風(fēng)刀(Air Knife,AK)是ー種利用快速高壓的氣體,將目標(biāo)物表面的灰塵及水分等物質(zhì)吹除，以達(dá)到?jīng)坊?、干燥目?biāo)物表面的一種吹風(fēng)裝置。如圖I所示，風(fēng)刀包括進風(fēng)ロ 11、腔體12和出風(fēng)ロ 13。風(fēng)刀的工作原理是將高壓的干燥清潔空氣(Clean Dry Air, CDA)通過進風(fēng)ロ 11輸送到風(fēng)刀CDA的腔體12中，然后再將CDA從風(fēng)刀的狹縫，即出風(fēng)ロ 13中吹出。由于狹縫很窄，CDA的壓カ變大，能強力去除附著在目標(biāo)物表面的灰塵和水分。風(fēng)刀的應(yīng)用之一，是薄膜場效應(yīng)晶體管液晶顯示器行業(yè)中的洗浄機洗浄后的除水干燥。
目前，風(fēng)刀的除水干燥過程，一般處于高濕的環(huán)境中，加之風(fēng)刀一般由金屬材料制成，表面溫度低，因此使工作環(huán)境中的水汽容易在風(fēng)刀表面凝結(jié)成水滴。在風(fēng)刀對目標(biāo)物除水干燥后，凝結(jié)的水滴可能會重新滴落在目標(biāo)物表面，嚴(yán)重影響干燥/除水效果。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明主要解決的技術(shù)問題是提供一種吹風(fēng)裝置及吹風(fēng)裝置的使用方法，能夠避免風(fēng)刀表面凝結(jié)的水汽重新滴落至干燥后的目標(biāo)物，保證干燥效果。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的一個技術(shù)方案是提供一種吹風(fēng)裝置，吹風(fēng)裝置包括熱源、第一腔體、第二腔體以及第三腔體；第一腔體設(shè)有進風(fēng)口和出風(fēng)ロ，出風(fēng)ロ是第一腔體ー側(cè)的狹縫；第二腔體和第三腔體分別位于第一腔體的出風(fēng)ロ兩側(cè)；熱源用于對第二腔體和第三腔體進行加熱。其中，第一腔體、第二腔體分別獨立于第三腔體。其中，熱源是液體循環(huán)加熱系統(tǒng)，包括管道、管道中的液體以及對液體進行加熱的加熱單元，第二腔體和第三腔體分別是管道的一部分。其中，第一腔體的出風(fēng)ロ兩側(cè)表面分別為第一側(cè)面、第二側(cè)面，第一腔體、第二腔體和第三腔體一體成型，第一腔體與第二腔體共用第一側(cè)面，第一腔體與第三腔體共用第ニ側(cè)面。其中，第二腔體和第三腔體互通。其中，液體為去離子水。其中，熱源包括溫度控制單元，用于對管道中的液體溫度進行監(jiān)測并控制加熱單元的加熱，使管道中的液體保持在8(Tl00攝氏度度之間。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的一個技術(shù)方案是提供一種吹風(fēng)裝置的使用方法，使用方法包括往吹風(fēng)裝置的第一腔體內(nèi)通入氣體，并使通入的氣體從第一腔體上的狹縫噴出；在使氣體從第一腔體上的狹縫噴出的同時，對第一腔體的位于狹縫兩側(cè)的部分進行加熱。
其中，對第一腔體的位于狹縫兩側(cè)的部分進行加熱的步驟包括通過往設(shè)置于第一腔體的位于狹縫兩側(cè)表面的第二腔體和第三腔體中通入循環(huán)流動的加熱液體而對第一腔體的位于狹縫兩側(cè)的部分進行加熱。其中，所述加熱液體的溫度在8(Tl00攝氏度度之間。本發(fā)明的有益效果是區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)的情況，本發(fā)明首先在吹風(fēng)裝置存儲氣體的第一腔體兩側(cè)各加入一個腔體第二腔體和第三腔體，然后對第二腔體和第三腔體進行加熱，防止吹風(fēng)裝置表面的水汽凝結(jié)，從而避免水滴重新滴落至干燥后的目標(biāo)物的風(fēng)險，保證干燥效果。


圖I是現(xiàn)有技術(shù)中風(fēng)刀的剖面示意圖；圖2是本發(fā)明吹風(fēng)裝置一實施例的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本發(fā)明吹風(fēng)裝置的使用方法一實施例的流程示意圖。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進行詳細(xì)說明。圖2是本發(fā)明吹風(fēng)裝置一實施例的立體結(jié)構(gòu)示意圖，如圖2所示，吹風(fēng)裝置包括第一腔體21、第二腔體22、第三腔體23及熱源24。其中，熱源24是液體循環(huán)加熱系統(tǒng)，包括管道241、管道241中的液體242、對液體242進行加熱的加熱單元243、溫度控制單元244以及動カ泵245，第二腔體22和第三腔體23分別是管道241的一部分。其中，第一腔體21設(shè)有進風(fēng)ロ 211和出風(fēng)ロ 212，出風(fēng)ロ 212是第一腔體21 —側(cè)的狹縫。如圖所示，第二腔體22和第三腔體23分別位于第一腔體21的出風(fēng)ロ 212兩側(cè)。且第一腔體21、第二腔體22分別獨立于第三腔體23。具體為，第一腔體21的出風(fēng)ロ 212兩側(cè)表面分別為第一側(cè)面(未標(biāo)示)、第二側(cè)面(未標(biāo)示)，第一腔體21、第二腔體22和第三腔體23 —體成型，第一腔體21與第二腔體22共用第一側(cè)面，第一腔體21與第三腔體23共用第二側(cè)面。熱源24用于對第二腔體22和第三腔體23進行加熱。其中，第二腔體22和第三腔體23互通。在其它實施例中，第二腔體22和第三腔體23也可以使用不同的熱源進行加熱，也可以各自獨立而不互通。其中，熱源24使用的液體，即管道中的液體242為去離子水(De-Ion Water, DIff)或其他任何適用的熱介質(zhì)。在熱源24加熱過程中，溫度控制單元244用于對管道241中的液體242溫度進行監(jiān)測并控制加熱單元243的加熱，使管道241中的液體242保持在80 100攝氏度之間，比如90攝氏度。當(dāng)然，熱源24還可以不設(shè)管道241和液體242，而是采用加熱單元243直接接觸第ニ腔體22和第三腔體23而進行加熱。
下面以風(fēng)刀為例對吹風(fēng)裝置進行詳細(xì)說明。為了防止風(fēng)刀在除濕過程中，水汽在風(fēng)刀表面的凝結(jié)，本實施例在風(fēng)刀上増加加熱功能，以增加風(fēng)刀表面的溫度，保證干燥效果。具體實施為繼續(xù)參閱圖2，在常規(guī)的風(fēng)刀第一腔體21結(jié)構(gòu)的左右兩側(cè)，各加入ー個獨立的熱介質(zhì)腔體第二腔體22和第三腔體23，第二腔體22和第三腔體23用于熱介質(zhì)、即管道中的液體242的流動和熱交換。一般情況下，熱介質(zhì)可選用DIW。另外增設(shè)管道241、熱介質(zhì)、加熱單元243、溫度控制單元244以及動カ泵245，使第ニ腔體22和第三腔體23分別作為管道241的一部分。管道241、熱介質(zhì)、加熱單元243、第ニ腔體22和第三腔體23 —起構(gòu)成液體循環(huán)加熱系統(tǒng)。熱介質(zhì)通過加熱單元243和溫度控制單元244的作用對其進行加熱，溫度保持在8(Γ100攝氏度之間。加熱后的熱介質(zhì)經(jīng)動カ泵245的作用下，循環(huán)流經(jīng)第二腔體22和第三腔體23。由于第二腔體22和第三腔體23分別位于第一腔體21的兩側(cè)，通過熱交換作用，熱介質(zhì)中的熱能傳遞到第二腔體22和第三腔體23的外表面即風(fēng)刀外壁，使其維系較高的溫度。這樣在清洗濕度較大的環(huán)境中，水汽就不易凝結(jié)在風(fēng)刀外壁表面，避免現(xiàn)有技術(shù)中凝結(jié)在風(fēng)刀表面的水珠掉落至干燥后的目標(biāo)物的風(fēng)險，減少制程不良率。如泵入第二腔體22和第三腔體23中熱介質(zhì)的溫度為90°C，風(fēng)刀表面的溫度將接近于熱介質(zhì)的90°C，在這么高的溫度下，環(huán)境中的水分子是無法凝結(jié)在風(fēng)刀表面的。熱介質(zhì)與第二腔體22、第三腔體23之間的熱傳導(dǎo)過程為假設(shè)熱介質(zhì)與外部空氣之間的第二腔體22、第三腔體23的腔板尺寸為2m (長)X0. Im (寬)X0. Olm (厚)，風(fēng)刀外壁初始溫度與環(huán)境一致，約20°C左右，根據(jù)熱傳導(dǎo)公式dU = -Xds ——其中，Q為熱量傳遞值，s為傳熱面積,Λ為傳熱材料兩端的溫度差，η為傳熱材料 兩端的長度，λ為傳熱系數(shù)。對于一般鋼材而言，λ = 53. 6ff/ (Hi-0C)0風(fēng)刀外壁開始的熱傳導(dǎo)量為:dQ = 53.6X2X0. IX (90-20)/0. 01=75. 04kW ;當(dāng)風(fēng)刀外壁被加熱到與熱介質(zhì)溫度差不多的時候，沃—O,此時熱傳導(dǎo)很低，熱介質(zhì)只起到維持風(fēng)刀外壁溫度的作用。與此同時，熱介質(zhì)在熱量傳遞時，也會對第一腔體21內(nèi)的CDA進行加熱，加熱后的CDA對于目標(biāo)物(如玻璃基板)的干燥作用也比較明顯，可加強去除目標(biāo)物表面水分的功能。在某些エ業(yè)制程中，風(fēng)刀干燥后往往還伴隨有爐子的烘烤過程，若利用具有本發(fā)明結(jié)構(gòu)的風(fēng)刀，將會起到ー個預(yù)烘烤的作用，對產(chǎn)線的單件產(chǎn)品生產(chǎn)時間(Tact time)會有一定程度的提聞。若對CDA進行加熱，還可減少CDA的使用量，其原理如下根據(jù)氣體方程PV=nRT，假設(shè)不加熱前CDA的溫度為20°C，則PlVl=nRTl;加熱后CDA的溫度為20°C，則P2V2=nRT2;故 Vl= (T1/T2) · V2= (273+20)/(273+90) · V2=80. 1%。即利用熱量膨脹可使 CDA 的用量減少 19. 9%ο綜上所述，本實施例中對于現(xiàn)有風(fēng)刀的改進，可消除風(fēng)刀干燥后凝結(jié)水重新滴落的風(fēng)險，同吋，對于風(fēng)刀腔體內(nèi)的氣體進行加熱，不僅可以增強氣體的除水效果，還可節(jié)省氣體的使用量。一起結(jié)合圖2、圖3，圖3是本發(fā)明吹風(fēng)裝置的使用方法一實施例的流程示意圖，使用方法包括以下步驟步驟301，往吹風(fēng)裝置的第一腔體21內(nèi)通入氣體，并使通入的氣體從第一腔體21上的狹縫噴出；步驟302，在使氣體從第一腔體21上的狹縫噴出的同時，對第一腔體21的位于狹縫兩側(cè)的部分進行加熱。其中，通過往設(shè)置于第一腔體21的位于狹縫兩側(cè)表面的第二腔體22和第三腔體23中通入循環(huán)流動的加熱液體242而對第一腔體21的位于狹縫兩側(cè)的部分進行加熱，同時保持第二腔體22和第三腔體23中的液體242溫度在8(Tl00攝氏度度之間。綜上所述，本發(fā)明首先在吹風(fēng)裝置存儲氣體的第一腔體21兩側(cè)各加入一個腔體第二腔體22和第三腔體23，然后對第二腔體22和第三腔體23進行加熱，防止吹風(fēng)裝置表面的水汽凝結(jié)，從而避免水滴重新滴落至干燥后的目標(biāo)物的風(fēng)險，保證干燥效果。以上所述僅為本發(fā)明的實施例，并非因此限制本發(fā)明的專利范圍，凡是利用本發(fā)明說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運用在其他相 關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本發(fā)明的專利保護范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種吹風(fēng)裝置，其特征在于 所述吹風(fēng)裝置包括熱源、第一腔體、第二腔體以及第三腔體； 所述第一腔體設(shè)有進風(fēng)口和出風(fēng)口，所述出風(fēng)口是第一腔體一側(cè)的狹縫； 所述第二腔體和第三腔體分別位于第一腔體的出風(fēng)口兩側(cè)； 所述熱源用于對第二腔體和第三腔體進行加熱。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的吹風(fēng)裝置，其特征在于 所述第一腔體、第二腔體分別獨立于第三腔體。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的吹風(fēng)裝置，其特征在于 所述熱源是液體循環(huán)加熱系統(tǒng)，包括管道、管道中的液體以及對液體進行加熱的加熱單元，所述第二腔體和第三腔體分別是管道的一部分。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的吹風(fēng)裝置，其特征在于 所述第一腔體的出風(fēng)口兩側(cè)表面分別為第一側(cè)面、第二側(cè)面，所述第一腔體、第二腔體和第三腔體一體成型，第一腔體與第二腔體共用第一側(cè)面，第一腔體與第三腔體共用第二側(cè)面。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的吹風(fēng)裝置，其特征在于 所述第二腔體和第三腔體互通。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的吹風(fēng)裝置，其特征在于 所述液體為去離子水。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的吹風(fēng)裝置，其特征在于 所述熱源包括溫度控制單元，用于對管道中的液體溫度進行監(jiān)測并控制加熱單元的加熱，使管道中的液體保持在8(T100攝氏度度之間。
8.一種吹風(fēng)裝置的使用方法，其特征在于，包括 往所述吹風(fēng)裝置的第一腔體內(nèi)通入氣體，并使通入的氣體從第一腔體上的狹縫噴出；在使所述氣體從第一腔體上的狹縫噴出的同時，對所述第一腔體的位于狹縫兩側(cè)的部分進行加熱。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于 所述對第一腔體的位于狹縫兩側(cè)的部分進行加熱的步驟包括通過往設(shè)置于第一腔體的位于狹縫兩側(cè)表面的第二腔體和第三腔體中通入循環(huán)流動的加熱液體而對第一腔體的位于狹縫兩側(cè)的部分進行加熱。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于 所述加熱液體的溫度在8(Tioo攝氏度度之間。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種吹風(fēng)裝置及吹風(fēng)裝置的使用方法，所述吹風(fēng)裝置包括熱源、第一腔體、第二腔體以及第三腔體；所述第一腔體設(shè)有進風(fēng)口和出風(fēng)口，所述出風(fēng)口是第一腔體一側(cè)的狹縫；所述第二腔體和第三腔體分別位于第一腔體的出風(fēng)口兩側(cè)；所述熱源用于對第二腔體和第三腔體進行加熱。通過上述方式，本發(fā)明可防止吹風(fēng)裝置表面的水汽凝結(jié)，從而避免水滴重新滴落至干燥后的目標(biāo)物的風(fēng)險，保證干燥效果。
文檔編號F26B21/00GK102661659SQ201210156398
公開日2012年9月12日 申請日期2012年5月18日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月18日
發(fā)明者余少鑫, 王赟, 肖松 申請人:深圳市華星光電技術(shù)有限公司