專利名稱：熱處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種對(duì)被處理物進(jìn)行熱處理的熱處理裝置。
背景技術(shù)：
目前公知的熱處理裝置，在將被處理物收容于熱處理部內(nèi)的狀態(tài)下， 一邊使所述熱處 理部內(nèi)的空氣循環(huán)， 一邊對(duì)被處理物進(jìn)行加熱，由此對(duì)所述被處理物進(jìn)行熱處理。這種熱處理裝置，例如用于液晶顯示器或者等離子顯示器等平板顯示器(Flat Panel Display :平板顯示器)的制造上。此外，該熱處理裝置還可用于，將預(yù)先涂抹了特定溶 液后加熱干燥的玻璃板等基板(被處理物)放入所述熱處理部內(nèi)，使其接觸循環(huán)于熱處理 部內(nèi)的規(guī)定溫度的熱風(fēng)，從而對(duì)該被處理物進(jìn)行熱處理(煅燒)。在所述熱處理裝置中，利用規(guī)定溫度的熱風(fēng)對(duì)所述被處理物進(jìn)行熱處理時(shí)，伴隨著熱 處理的進(jìn)行，涂抹在被處理物上的特定溶液等發(fā)生氣化(升華)，產(chǎn)生揮發(fā)性有機(jī)化合物 (Volatile Organic Compounds: VOC)等升華物。該升華物，受到向所述熱處理部內(nèi)放進(jìn)、取出被處理物時(shí)產(chǎn)生的溫度下降的影響，或 者受到為了換氣而導(dǎo)入的外部空氣的影響，進(jìn)行再結(jié)晶，導(dǎo)致該再結(jié)晶的升華物附著在熱 處理裝置的內(nèi)部，降低被處理物質(zhì)量等問題。為了解決所述問題，被研發(fā)了一種熱處理裝置，在該裝置中，將用于對(duì)所述升華物進(jìn) 行氧化分解的熱催化劑(thermal catalyst)設(shè)置在所述熱處理部內(nèi)的熱風(fēng)(加熱后的空氣) 循環(huán)路上比被處理物靠下游的位置上。在如此設(shè)置熱催化劑的情況下，伴隨對(duì)被處理物的熱處理而產(chǎn)生并混入所述熱風(fēng)中的 升華物的大部分立即與所述熱催化劑接觸而被氧化分解。其結(jié)果，經(jīng)過所述熱催化劑的熱風(fēng)中幾乎不含有伴隨所述熱處理產(chǎn)生的升華物。所述熱催化劑用于促進(jìn)從被處理物產(chǎn)生的升華物的氧化分解反應(yīng)，通常采用鉑(Pt)、 鈀(Pd)等貴金屬或者這些貴金屬的合金等活性金屬。這些熱催化劑，大約在150 20(TC 左右的溫度空氣下開始顯示催化活性，通常在230 250'C左右的溫度空氣下顯示充分的催 化活性，而且，溫度越高，熱催化劑反應(yīng)也越高。即，所述熱催化劑的催化活性依賴于空氣溫度。因此，根據(jù)被處理物或者所涂抹的溶劑的種類，不能將熱風(fēng)溫度加熱至充分顯示所述 催化活性的溫度(規(guī)定溫度)的情況下，目卩，要在比較低的溫度下對(duì)被處理物進(jìn)行熱處理 的情況下，即使是具備所述熱催化劑的熱處理裝置，也不能充分地對(duì)熱處理部中循環(huán)的熱 風(fēng)所包含的升華物進(jìn)行氧化分解。因此，存在沒有被氧化分解的升華物附著在所述裝置內(nèi)， 降低被處理物質(zhì)量的問題。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種熱處理裝置，其不依賴于熱處理部中所循環(huán)的空氣溫度， 能夠分解對(duì)被處理物進(jìn)行熱處理時(shí)產(chǎn)生的升華物。本發(fā)明提供一種熱處理裝置，包括絕熱爐，該絕熱爐具有熱處理部，對(duì)被處理物進(jìn) 行熱處理；空氣調(diào)整部，對(duì)空氣進(jìn)行加熱、循環(huán)；光催化裝置，分解對(duì)所述被處理物進(jìn)行 熱處理時(shí)產(chǎn)生的升華物；以及釆光裝置，將外部的光采集到所述絕熱爐內(nèi)，其中，所述光 催化裝置設(shè)置在所述采光裝置所采集的光能夠照射并且與所述循環(huán)空氣接觸的位置上。本發(fā)明還提供一種熱處理裝置，包括絕熱爐，該絕熱爐具有熱處理部，對(duì)被處理物 進(jìn)行熱處理；空氣調(diào)整部，對(duì)空氣進(jìn)行加熱、循環(huán)；光催化裝置，分解對(duì)所述被處理物進(jìn) 行熱處理時(shí)產(chǎn)生的升華物；以及光照射裝置，用于照射光，其中，所述光催化裝置設(shè)置在 所述光照射裝置的光能夠照射并且與所述循環(huán)空氣接觸的位置上。由此，不依賴于熱處理部中所循環(huán)的空氣溫度，能夠分解對(duì)被處理物進(jìn)行熱處理時(shí)產(chǎn) 生的升華物。


圖l是表示本發(fā)明第一實(shí)施方式所涉及的熱處理裝置的結(jié)構(gòu)的簡圖。圖2A是表示本發(fā)明第二實(shí)施方式所涉及的熱處理裝置的結(jié)構(gòu)的簡圖，該熱處理裝置的 采光裝置具有凸透鏡。圖2B是表示本發(fā)明第二實(shí)施方式所涉及的熱處理裝置的結(jié)構(gòu)的簡圖，該熱處理裝置的 采光裝置具有凹透鏡。圖3A是表示本發(fā)明第三實(shí)施方式所涉及的熱處理裝置的結(jié)構(gòu)的簡圖，該熱處理裝置的 第一光催化裝置大致呈圓錐形。圖3B是表示本發(fā)明第三實(shí)施方式所涉及的熱處理裝置的結(jié)構(gòu)的簡圖，該熱處理裝置的第一光催化裝置呈平板狀，并傾斜設(shè)置。圖4A是表示本發(fā)明第四實(shí)施方式所涉及的熱處理裝置的結(jié)構(gòu)的簡圖，該熱處理裝置的 光纖的前端上設(shè)置有凹透鏡。圖4B是表示本發(fā)明第四實(shí)施方式所涉及的熱處理裝置的結(jié)構(gòu)的簡圖，該熱處理裝置的 光纖的前端上設(shè)置有凸透鏡。圖5是表示本發(fā)明第五實(shí)施方式所涉及的熱處理裝置的結(jié)構(gòu)的簡圖。圖6是表示本發(fā)明的其它實(shí)施方式所涉及的熱處理裝置的結(jié)構(gòu)的簡圖。圖7A是表示本發(fā)明的其它實(shí)施方式所涉及的熱處理裝置的一部分結(jié)構(gòu)的簡圖，該熱處 理裝置的光催化裝置為絮狀體。圖7B是表示本發(fā)明的其它實(shí)施方式所涉及的熱處理裝置的一部分結(jié)構(gòu)的簡圖，該熱處 理裝置的光催化裝置具有多層網(wǎng)狀體。圖8A是表示本發(fā)明的其它實(shí)施方式所涉及的熱處理裝置的一部分結(jié)構(gòu)的簡圖，該熱處 理裝置包括多個(gè)光照射裝置以及與之對(duì)應(yīng)的采光裝置，以便從多個(gè)方向?qū)⒐庹丈涞焦獯呋?裝置。圖8B是表示本發(fā)明的其它實(shí)施方式所涉及的熱處理裝置的一部分結(jié)構(gòu)的簡圖，該熱處 理裝置利用光反射裝置，可以從多個(gè)方向?qū)⒐庹丈涞焦獯呋b置。
具體實(shí)施方式
下面，根據(jù)附圖對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖1所示的熱處理裝置10是設(shè)置在無塵室(CleanRoom)內(nèi)的無塵烤箱(Clean Ovens)， 在平板顯示器的制造工序中被利用。該熱處理裝置10包括裝置主體12，該裝置主體12具有絕熱爐ll，其空間由絕熱壁(爐 壁)所圍繞；以及光照射裝置(紫外線照射裝置)L，用于照射光(本實(shí)施方式中照射紫 外線)。絕熱爐11的內(nèi)部空間被隔墻13分隔，由此，在所述內(nèi)部空間內(nèi)形成熱處理部20(在 圖1中，隔墻13的左側(cè)部分)和空氣調(diào)整部30 (在圖1中，隔墻13的右側(cè)部分)。在隔墻13上設(shè)置有用于將熱處理部20和空氣調(diào)整部30連通的連通部14、 15。連通部14 是用于將熱處理部20內(nèi)的空氣導(dǎo)入到空氣調(diào)整部30內(nèi)的吸氣用連通部14。連通部15是利用 后述的鼓風(fēng)機(jī)34將空氣調(diào)整部30內(nèi)的空氣吹向熱處理部20內(nèi)的吹出用連通部15。利用所述 吸氣用連通部14和吹出用連通部15，空氣調(diào)整部30內(nèi)的空氣通過吹出用連通部15吹向熱處 理部20內(nèi)后，再通過吸氣用連通部14導(dǎo)入到空氣調(diào)整部30內(nèi)，從而在絕熱爐ll內(nèi)使空氣循環(huán)。在熱處理部20內(nèi)設(shè)置有工件保持部21，該工件保持部21可以保持并支撐上下排列狀態(tài) 的玻璃基板等多個(gè)被處理物(以下稱為"工件")W。該工件保持部21保持并支撐工件W， 由此該工件W收容并保持在熱處理部20之內(nèi)。在空氣調(diào)整部30中設(shè)置有可以分解升華物的光催化裝置31和用于將外部的光采集到 絕熱爐ll內(nèi)(具體而言，空氣調(diào)整部30內(nèi))的采光裝置32。在本實(shí)施方式中，空氣調(diào)整部 30內(nèi)還設(shè)置有用于對(duì)絕熱爐11內(nèi)的空氣進(jìn)行加熱的加熱器33和用于使所述空氣循環(huán)的鼓 風(fēng)機(jī)34。在空氣調(diào)整部30內(nèi)，這些裝置從循環(huán)空氣的上游側(cè)向下游側(cè)按光催化裝置31以及 采光裝置32、加熱器33、鼓風(fēng)機(jī)34的順序依次配置。不過，光催化裝置31、采光裝置32、 加熱器33、鼓風(fēng)機(jī)34的設(shè)置順序并不限制于所述順序。光催化裝置31用于分解對(duì)工件W進(jìn)行熱處理時(shí)從該工件W產(chǎn)生的揮發(fā)性有機(jī)化合物 (VOC)等升華物。在本實(shí)施方式中，光催化裝置31是包括氧化鈦(Ti02)的板狀體，但 是不只限于此，只要是有光照射就能夠分解所述升華物的材料以及形狀即可。即，光催化 裝置31只要包括氧化鋅(ZnO)、氧化鎢(W03)等接受光就能夠引起電荷分離的光導(dǎo)性 物質(zhì)即可。本實(shí)施方式所涉及的光催化裝置31，在照射光，尤其照射紫外線時(shí)就能夠顯示 催化活性。該催化活性，只要照射紫外線就立即產(chǎn)生，幾乎不依賴于空氣溫度。這種光催 化裝置31設(shè)置在空氣調(diào)整部30內(nèi)的與循環(huán)于絕熱爐11內(nèi)的空氣接觸并且采光裝置32所采 集的光能夠照射的位置上。更詳細(xì)而言，光催化裝置31設(shè)置在空氣調(diào)整部30內(nèi)的與采光裝 置32相面對(duì)的位置上，該采光裝置32設(shè)置在絕熱爐11的爐壁上。換言之，光催化裝置31， 以其表面與采光裝置32相面對(duì)的狀態(tài)設(shè)置在隔墻13的墻壁表面上。采光裝置32用于將外部的光采集到絕熱爐11內(nèi)，具體而言將外部的光采集到空氣調(diào)整 部30內(nèi)。該采光裝置32具有耐熱玻璃32a，嵌入在絕熱爐ll的爐壁上所形成的開口中。更詳細(xì)而言，采光裝置32設(shè)置在與隔墻13相面對(duì)的絕熱爐11的爐壁上、與設(shè)置在隔墻 13的光催化裝置31的表面相面對(duì)的位置上。該采光裝置32具有板狀的耐熱玻璃32a，該耐熱 玻璃32a嵌入在穿設(shè)于絕熱爐ll的爐壁上的開口中，以堵住該開口，該開口用于連通絕熱路 ll的內(nèi)部和外部。另外，在本實(shí)施方式中，為了能夠?qū)θ菀资艿阶贤饩€影響的工件W進(jìn)行熱處理，利用 所述隔墻13對(duì)熱處理部20的內(nèi)部進(jìn)行遮光，以不讓由采光裝置32采集到空氣調(diào)整部30內(nèi)的 光(紫外線)進(jìn)入到熱處理部20內(nèi)。作為采光裝置32的所述耐熱玻璃32a，較為理想的是，采用石英玻璃(尤其是熔融石英玻璃)、氟化鈣(CaF2)以及氟化鎂(MgF2)等紫外線透射率較高的耐熱玻璃。而且，還 可以采用維克玻璃(Vycor:注冊(cè)商標(biāo))、派熱克斯玻璃(Pyrex:注冊(cè)商標(biāo))等耐熱玻璃 32a。在本實(shí)施方式中，光照射裝置L是照射紫外線的紫外線燈L,但不只限于此，光照射裝 置L只要能夠照射含有使所利用的光催化裝置產(chǎn)生催化活性的波長的光即可。而且，光照 射裝置L也可以是能夠照射其它較大范圍波段的光的光源。該紫外線燈L的照射方向C與采 光裝置32的耐熱玻璃32a相對(duì)。更詳細(xì)而言，紫外線燈L的照射方向C垂直于耐熱玻璃32a的 表面中央部位。而且，如上所述，由于所述耐熱玻璃32a和光催化裝置31相面對(duì)，因而紫外 線燈L的照射方向C和光催化裝置31的表面相對(duì)。g卩，紫外線燈L設(shè)置在連接光催化裝置31 和耐熱玻璃32a的直線上，以使得紫外線燈L所照射的紫外線透過耐熱玻璃32a照射到光催 化裝置31上。加熱器33用于對(duì)絕熱爐11內(nèi)的空氣進(jìn)行加熱，具體而言用于對(duì)空氣調(diào)整部30內(nèi)的空氣 進(jìn)行加熱。此外，鼓風(fēng)機(jī)34利用吹出用連通部15將空氣調(diào)整部30內(nèi)的空氣送往熱處理部20 內(nèi)。另外，空氣調(diào)整部30與用于將絕熱爐11外部的空氣供給到該空氣調(diào)整部30內(nèi)的吸氣通 道(導(dǎo)管)35相連接。而且，熱處理部20與用于將該熱處理部20內(nèi)的空氣直接排出到絕熱 爐11外部的排氣通道22相連接。本實(shí)施方式所涉及的熱處理裝置10具有所述結(jié)構(gòu)，下面，就該熱處理裝置10的運(yùn)作進(jìn) 行說明。通過鼓風(fēng)機(jī)34將空氣調(diào)整部30內(nèi)的空氣送入熱處理部20內(nèi)，則熱處理部20內(nèi)的空氣通 過吸氣用連通部14返還到空氣調(diào)整部30。接著，返還到空氣調(diào)整部30的空氣在被加熱器加 熱、升溫后通過吹出用連通部15吹出到熱處理部20內(nèi)?？諝馊绱朔磸?fù)循環(huán)，加熱至規(guī)定溫 度的空氣(熱風(fēng))與收容在熱處理部20內(nèi)的工件W接觸，由此進(jìn)行熱處理(煅燒)。在如此對(duì)工件W進(jìn)行熱處理時(shí)，如果來自紫外線燈L的紫外線經(jīng)過耐熱玻璃32a照射到 光催化裝置31上，則開始對(duì)循環(huán)于絕熱爐ll內(nèi)(流經(jīng)空氣調(diào)整部30內(nèi))的熱風(fēng)中所含的升 華物進(jìn)行分解。艮卩，工件W與加熱到規(guī)定溫度的熱風(fēng)相接觸，涂抹在工件W表面的溶液等發(fā)生氣化(升 華)，產(chǎn)生揮發(fā)性有機(jī)化合物(VOC)等升華物。該升華物，隨同熱風(fēng)循環(huán)于絕熱爐ll內(nèi)。 含有該升華物的熱風(fēng)從熱處理部20經(jīng)由吸氣用連通部14導(dǎo)入到空氣調(diào)整部30。然后，該熱 風(fēng)在空氣調(diào)整部30的內(nèi)部流向吹出用連通部15。此時(shí)，由于在空氣調(diào)整部30中的吸氣用連 通部14和吹出用連通部15之間設(shè)置有光催化裝置31，因而熱風(fēng)一邊與光催化裝置31接觸一邊進(jìn)行流動(dòng)。此時(shí)，光催化裝置31被來自紫外線燈L的紫外線照射，顯示充分的催化活性。 因此， 一邊與光催化裝置31接觸一邊進(jìn)行流動(dòng)的熱風(fēng)中所含有的升華物得以分解。并且，由吸氣通道35吸入的外部空氣經(jīng)過空氣調(diào)整部30送入熱處理部20內(nèi)，則熱處理 部20內(nèi)的一部分空氣通過排氣通道22向外流出，從而更換循環(huán)于絕熱爐ll內(nèi)的一部分空 氣。即，在絕熱爐ll內(nèi)，使熱風(fēng)(空氣)循環(huán)來對(duì)工件W進(jìn)行熱處理的同時(shí)，也更換該空 氣的一部分。這是因?yàn)橹粦{光催化裝置31對(duì)升華物的氧化分解，有時(shí)不能完全去除(氧化 分解)包含在循環(huán)空氣中的升華物，在這種情況下，可以通過更換空氣來排出殘留在絕熱 爐ll內(nèi)的升華物，從而能夠防止所述升華物所引起的工件W質(zhì)量的下降。 接著，就本實(shí)施方式所涉及的熱處理裝置10的作用以及效果進(jìn)行說明。 絕熱爐ll (空氣調(diào)整部30)具有光催化裝置31和采光裝置32，該光催化裝置31設(shè)置在 所述采光裝置32所采集的光能夠照射而且與循環(huán)空氣接觸的位置上。因此，只要將所采集 的光照射到光催化裝置31，該光催化裝置31就可分解循環(huán)于絕熱爐11內(nèi)的空氣中所含有的 升華物。即，在將采光裝置32所采集的光照射到光催化裝置31時(shí)，該光催化裝置31立即顯 示催化活性，而且在此狀態(tài)下與所述循環(huán)空氣接觸，則對(duì)包含在該循環(huán)空氣中的升華物進(jìn) 行分解。如上所述，光催化裝置31不依賴于空氣溫度，只要接受光照射(在本實(shí)施方式中紫外 線照射)，即刻顯示催化活性。因此，即使在比熱催化劑能夠顯示充分的催化活性的溫度 更低的溫度下進(jìn)行熱處理時(shí)，也由于利用所述光催化裝置31,就能夠分解循環(huán)于絕熱爐ll 內(nèi)的空氣所含有的升華物。而且，即使光催化裝置31的分解升華物的能力較低，也由于空氣中的升華物與空氣一 同循環(huán)于絕熱爐ll內(nèi)，反復(fù)通過光催化裝置31，因而能夠分解所希望的量。此外，在本實(shí)施方式中，采光裝置32設(shè)置在絕熱爐11的空氣調(diào)整部30側(cè)，以便將外部 的光采集到空氣調(diào)整部30內(nèi)。而且，利用隔墻13對(duì)熱處理部20的內(nèi)部進(jìn)行遮光，以不讓由 采光裝置32采集到空氣調(diào)整部30內(nèi)的光(紫外線)進(jìn)入到熱處理部20內(nèi)。因此，來自外部 的光通過采光裝置32只照射到空氣調(diào)整部30內(nèi)，而不照射到熱處理部20內(nèi)。其結(jié)果，在熱 處理部20內(nèi)，能夠?qū)ο庸庑怨ぜ?在本實(shí)施方式中，容易受到紫外線影響的工件)W進(jìn)行 熱處理。而且，裝置主體12，在所述絕熱爐的外部具有用于照射光的光照射裝置L,該光照射 裝置L能夠?qū)⒐馔ㄟ^采光裝置32照射到光催化裝置31。因此，可以將規(guī)定光量的光照射到 光催化裝置31上。其結(jié)果，光催化裝置31不依賴于該熱處理裝置10周圍的光量，即可顯示充分的催化活性。因此，光催化裝置31能夠?qū)ιA物發(fā)揮穩(wěn)定且所希望的分解性能。此外，紫外線燈L，由于設(shè)置在絕熱爐ll的外部，因而無須為能耐絕熱爐ll內(nèi)高溫的 價(jià)格昂貴的耐熱性構(gòu)件，而可以為通用構(gòu)件。因此，能夠降低熱處理裝置10的制造成本。此外，如本實(shí)施方式那樣，采用針對(duì)紫外線等特定波段光顯示催化活性的光催化裝置 31的情況下，利用紫外線燈L等用于照射所述特定波段光的照射裝置L，則可以高效地進(jìn)行 升華物的分解。即，通過利用這種光源L，只將產(chǎn)生催化活性所需的紫外線充分地照射到 對(duì)紫外線產(chǎn)生反應(yīng)的光催化裝置31上，因此與照射含有各種波段光時(shí)相比，更充分地顯示 催化活性，能夠高效地分解升華物。而且，光催化裝置31為板狀體，該板狀體表面上具有光催化功能，因而容易將該催化 裝置31以具有光催化功能的表面面對(duì)所希望的方向的狀態(tài)設(shè)置在絕熱爐11內(nèi)。下面，就第二實(shí)施方式至第五實(shí)施方式進(jìn)行說明，其中，對(duì)于與第一實(shí)施方式相同的 構(gòu)件賦予了相同的附圖標(biāo)記并且省略其詳細(xì)說明，而只對(duì)不同的結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說明。此外， 對(duì)于作用以及效果也同樣，僅對(duì)與第一實(shí)施方式不同的部分進(jìn)行詳細(xì)說明。如圖2所示，第二實(shí)施方式所涉及的熱處理裝置10A包括的釆光裝置32具有利用第一實(shí) 施方式中的耐熱玻璃32a所形成的凸透鏡32b或凹透鏡32c，該凸透鏡32b或凹透鏡32c可以擴(kuò) 大透射光的照射范圍。即，采光裝置32具有用耐熱玻璃制成的凸透鏡32b或凹透鏡32c，該 凸透鏡32b或凹透鏡32c嵌入在絕熱爐11的爐壁上所形成的開口中，以堵住該開口 。如圖2A所示，凸透鏡32b的光軸c垂直于配置在與該凸透鏡32b相面對(duì)的位置的光催化 裝置31a的表面，而且該凸透鏡32b的焦點(diǎn)位于光催化裝置31a的前側(cè)。更詳細(xì)而言，凸透鏡 32b的光軸c和紫外線燈L的照射方向C一致，并且，該凸透鏡32b的焦點(diǎn)位于比凸透鏡32b的 空氣調(diào)整部30側(cè)的表面和光催化裝置31a的表面之間的中間位置更靠凸透鏡32b的一側(cè)。由于采光裝置32具有這種凸透鏡32b，因而紫外線燈L照射的紫外線(光)，在透過凸 透鏡32b時(shí)向聚焦的方向折射，透過凸透鏡32b后暫時(shí)在光軸c上的焦點(diǎn)完全聚焦，然后再擴(kuò) 散。因此，所述紫外線，在光催化裝置31a的表面上照射比凸透鏡32b的投影面積更廣的范 圍。因此，可以在空氣調(diào)整部30內(nèi)設(shè)置大于第一實(shí)施方式的光催化裝置31的光催化裝置31a。 其結(jié)果，與第一實(shí)施方式相比，可以擴(kuò)大能分解升華物的范圍，即光催化裝置顯示催化活 性的范圍，也能增加所述升華物的分解量。如圖2B所示，凹透鏡32c的光軸c'垂直于光催化裝置31a的表面。由于采光裝置32具有 凹透鏡32c，因而紫外線燈L照射的紫外線，在透過凹透鏡32c時(shí)向擴(kuò)散的方向折射，在光 催化裝置31a的表面上照射比凹透鏡32c相對(duì)于光催化裝置31a表面的投影面積更廣的范圍。因此，與上述同樣，可以在空氣調(diào)整部30內(nèi)設(shè)置比第一實(shí)施方式的光催化裝置31更大的光 催化裝置31a。因此，與第一實(shí)施方式相比，可以擴(kuò)大分解升華物的范圍，即光催化裝置顯 示催化活性的范圍，也能增加所述升華物的分解量。如圖3A所示，在第三實(shí)施方式所涉及的熱處理裝置10B中，設(shè)置有反射裝置31b，該反 射裝置31b將照射過來的光(紫外線)反射到與采光裝置32不同的位置(規(guī)定位置)上， 并且，在熱處理裝置10B中的被該反射光照射而且與循環(huán)于絕熱爐11內(nèi)的空氣接觸的位置 上，設(shè)置有光催化裝置31c。具體而言，反射裝置31b為鏡子。在本實(shí)施方式中，鏡子31b大致呈圓錐形。該鏡子31b， 在其圓錐的中心軸與紫外線燈L的照射方向C一致的狀態(tài)設(shè)置于絕熱爐11內(nèi)的隔墻13上、與 采光裝置32相面對(duì)的位置上。而且，光催化裝置31c設(shè)置在被鏡子31b反射過來的紫外線能 夠照射的位置上。在本實(shí)施方式中，光催化裝置31c在圍繞著嵌入有耐熱玻璃32a的開口的 狀態(tài)穿設(shè)在絕熱爐ll的爐壁上。采用這種結(jié)構(gòu)，光催化裝置31c無須設(shè)置在紫外線燈L的光通過采光裝置32直接照射的 位置上。因此，能夠提高設(shè)置上的自由度，SP，熱處理裝置10設(shè)計(jì)上的自由度。此時(shí)，如果采用具有光催化功能的反射裝置31b，具體而言，如果采用帶有光催化劑 的鏡子31b，所述光催化裝置31c以及帶有光催化劑的鏡子31b都接受紫外線而對(duì)升華物進(jìn)行 分解，因而能夠增加升華物的分解量。艮P，如上所述，如果設(shè)置帶有光催化劑的鏡子(第一光催化裝置)31b以及所述光催 化裝置(第二光催化裝置)31c，對(duì)第一光催化裝置31b上照射經(jīng)過采光裝置32的紫外線， 對(duì)第二光催化裝置31c上照射被第一光催化裝置31b反射過來的所述紫外線。因此，與第一 實(shí)施方式相比，光催化裝置被紫外線照射的面積變得更廣，能夠增加升華物的分解量。另外，在本實(shí)施方式中，鏡子(或者第一光催化裝置)31b大致呈圓錐形，但不只限 于此。例如，所述鏡子31b可以呈多角錐形狀等。而且，如圖3B所示，還可以將平板狀鏡 子31b'設(shè)置成其表面不垂直于紫外線燈L的照射方向C (在本實(shí)施方式中，鏡子31b'的表面 與紫外線燈L的照射方向C之間的夾角為45。)，并且在被該鏡子31b'反射過來的紫外線能 夠照射的位置上設(shè)置光催化裝置31c'。此時(shí)，光催化裝置31c'具有與平板狀鏡子31b'的反射 光相對(duì)應(yīng)的形狀。由此，也能夠提高光催化裝置31c'設(shè)置上的自由度。此外，與上述同樣，如果將鏡子31b'設(shè)為帶有光催化劑的鏡子，與第一實(shí)施方式相比， 光催化裝置被紫外線照射的面積變得更廣，因而能增加升華物的分解量。如圖4A以及圖4B所示，在第四實(shí)施方式所涉及的熱處理裝置10C中，作為采光裝置32具有耐熱性導(dǎo)光管(在本實(shí)施方式中為光纖)32d，該導(dǎo)光管32d的一端設(shè)置在空氣調(diào)整部 30的內(nèi)部，另一端設(shè)置在絕熱爐ll的外部。更詳細(xì)而言，光纖32d的一端與設(shè)置在空氣調(diào) 整部30內(nèi)的光催化裝置31相面對(duì)，而且光纖32d所采集的光(紫外線)的照射方向C'垂直于 光催化裝置31的表面。而光纖32d的另一端位于絕熱爐ll的外部，在本實(shí)施方式中，與紫 外線燈L相面對(duì)。B卩，光纖32d貫穿絕熱爐ll的爐壁。釆用這樣簡單結(jié)構(gòu)，也能夠?qū)⒐?紫 外線)從外部(在本實(shí)施方式中，從設(shè)置在外部的紫外線燈L)采集到空氣調(diào)整部30內(nèi)。而且，光纖32d，即使其另一端和一端相互分離，也能夠?qū)⒐鈴牧硪欢藗鲗?dǎo)至一端， 因而可以將紫外線燈L設(shè)置在遠(yuǎn)離絕熱爐11的位置上，提高熱處理裝置10C設(shè)計(jì)上的自由 度。而且，光纖32d可以容易到手。另外，在本實(shí)施方式中，作為導(dǎo)光管32d采用了光纖，但是，只要是能夠?qū)⒐鈴妮斎?端傳導(dǎo)至輸出端的構(gòu)件即可，例如可以采用在內(nèi)表面上設(shè)置鏡子的筒狀導(dǎo)光管等。此外，如圖4A或4B所示，在本實(shí)施方式中，光纖32d的一端上還設(shè)置有凹透鏡32c'(或 凸透鏡32b')。該凹透鏡32c'(或者凸透鏡32b')用于擴(kuò)大光纖32d的照射范圍。g卩，光纖 32d，從另一端(輸入端)采集來自紫外線燈L的紫外線，并從一端(輸出端)將所采集的 紫外線照射到光催化裝置31。然而，由于光纖32d本身是細(xì)線狀的耐熱玻璃，因而其一端 向光催化裝置31照射紫外線的范圍較窄。因此，與第二實(shí)施方式同樣，為了擴(kuò)大照射范圍， 在光纖32d的一端上設(shè)置凹透鏡32c'(或凸透鏡32b')。由此，與第二實(shí)施方式同樣，凹透鏡32c'使通過該凹透鏡32c'的紫外線向擴(kuò)散的方向折 射，在光催化裝置31的表面上照射比凹透鏡32c'的投影面積更廣的范圍。而且，對(duì)于凸透 鏡32b'，紫外線通過凸透鏡32b'后暫時(shí)在焦點(diǎn)上完全聚焦，然后再擴(kuò)散，從而在光催化裝置 31的表面上，照射比凸透鏡32b'相對(duì)于光催化裝置31表面的投影面積更廣的范圍。如圖5所示，第五實(shí)施方式所涉及的熱處理裝置10D,在吸氣通道35a內(nèi)設(shè)置有紫外線 燈L，以便向空氣調(diào)整部30內(nèi)照射紫外線。而且，在吸氣通道35a的一端(圖5中為右側(cè)端) 上，還設(shè)置有向空氣調(diào)整部30內(nèi)供給外部空氣的外部空氣鼓風(fēng)機(jī)50。更詳細(xì)而言，吸氣通道35a的內(nèi)部和空氣調(diào)整部30的內(nèi)部互相連通，而且吸氣通道35a 的內(nèi)徑具有能夠設(shè)置紫外線燈L的大小。此外，吸氣通道35a，在其另一端的開口與光催化 裝置31相面的狀態(tài)連接在與隔墻13相面對(duì)的絕熱爐ll的爐壁上。由于吸氣通道35a與絕熱爐 11 (空氣調(diào)整部30)如此連接，因而設(shè)置在吸氣通道35a內(nèi)部的紫外線燈L可以直接將紫外 線照射到光催化裝置31上。因此紫外線不經(jīng)過耐熱玻璃32a，而直接照射到光催化裝置31上，可以高效地到達(dá)光催化裝置31上。這是因?yàn)榕c紫外線要透過耐熱玻璃32a等時(shí)不同，不會(huì)根據(jù)耐熱玻璃32a等的 透射率減少光量。因此，與經(jīng)由耐熱玻璃32a等照射紫外線時(shí)相比，光催化裝置31顯示更充 分的催化活性，分解更多的升華物。而且，由于紫外線燈L設(shè)置在吸氣通道35a之內(nèi)，因而 流經(jīng)于其內(nèi)部的外部空氣(加熱之前的空氣)能夠?qū)ψ贤饩€燈L進(jìn)行冷卻。在本實(shí)施方式 中，作為光照射裝置采用了紫外線燈L，但不只限于此，可以采用其他各種光源。另外，本發(fā)明所涉及的熱處理裝置不限于所述第一至第五實(shí)施方式，當(dāng)然可以在不脫 離本發(fā)明的要點(diǎn)的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變更。例如，在所述實(shí)施方式中，利用紫外線燈L (光照射裝置)將紫外線(光)照射到采 光裝置32，該紫外線透過(經(jīng)過)采光裝置32照射到光催化裝置31上，但不只限于此。艮P， 如圖6所示，也可以不設(shè)置紫外線(光)照射裝置L，而采集太陽光或者熒光燈等熱處理裝 置10周圍的紫外線(光)。采用該結(jié)構(gòu)，光催化裝置31也能夠受到紫外線(光)的照射而 顯示催化活性，分解升華物。而且，在所述實(shí)施方式中，光催化裝置31為板狀體，但不只限于此。B卩，如圖7A以及 圖7B所示，可以絮狀光催化裝置(絮狀體)50。而且，還可以采用網(wǎng)狀光催化裝置(網(wǎng)狀 體)50'。詳細(xì)而言，絮狀光催化裝置50，在絮狀體的表面上帶有光催化劑。網(wǎng)狀光催化裝 置50'，在網(wǎng)狀體主體的表面上帶有光催化劑。采用這種形狀的光催化裝置50、 50'，顯示光 催化反應(yīng)的表面面積增加，與循環(huán)空氣接觸的面積也隨之增加。而且，當(dāng)所述循環(huán)空氣通 過光催化裝置50、 50'的內(nèi)部時(shí)，在該光催化裝置50、 50'的內(nèi)部產(chǎn)生湍流，增加所述循環(huán)空 氣和所述顯示催化反應(yīng)的表面之間的接觸時(shí)間或接觸次數(shù)等。因此增加升華物的分解量。另外，網(wǎng)狀光催化裝置50'設(shè)置成隔開規(guī)定距離的多層狀態(tài)(參照?qǐng)D7B)較為理想。采 用該結(jié)構(gòu)，通過網(wǎng)狀光催化裝置50'內(nèi)部的循環(huán)空氣更容易產(chǎn)生湍流。此外，如圖8A以及圖8B所示，熱處理裝置10可以設(shè)置有多個(gè)紫外線燈L、 L、……和 與該多個(gè)紫外線燈L、 L、……相對(duì)應(yīng)的耐熱玻璃32a、 32a、……(采光裝置32、 32、……)， 從不同方向?qū)π鯛罟獯呋b置50 (或網(wǎng)狀光催化裝置50')照射光。采用該結(jié)構(gòu)，能夠減少 或者消除具有復(fù)雜形狀的顯示光催化反應(yīng)的表面中光無法照射到的部位，即陰影部位，因 而顯示光催化反應(yīng)的面積變廣，能夠高效地分解升華物。此外，在熱處理裝置10中，可以采用帶有光催化劑的鏡子(第一光催化裝置)31b或 者鏡子，由此，與上述相同，能夠從多個(gè)方向?qū)獯呋b置照射光，獲得與上述相同的效 果(參照?qǐng)D8B)。而且，還可以改變紫外線燈L的光軸的方向、照射光的擴(kuò)散度、帶有光催化劑的鏡子等光反射裝置的反射方向等。由此，當(dāng)改變光催化裝置的種類或形狀等時(shí)，能夠?qū)@示光 催化反應(yīng)的反應(yīng)面調(diào)整為最廣，或者調(diào)整為最能顯示催化活性的狀態(tài)。在所述實(shí)施方式中，光催化裝置31設(shè)置在空氣調(diào)整部30的內(nèi)部，但不只限于此。艮卩， 只要光能夠照射得到，光催化裝置31也可以設(shè)置在熱處理部20之內(nèi)。在所述實(shí)施方式中，紫外線燈(光照射裝置)L設(shè)置在絕熱爐ll的外部，但不只限于 此。即，只要是能夠?qū)獯呋b置31照射光的位置，光照射裝置L也可以設(shè)置在絕熱爐ll 內(nèi)。此時(shí)，利用設(shè)置在絕熱爐11內(nèi)的光照射裝置L對(duì)光催化裝置31照射光，因而不必設(shè)置 采光裝置32。所述實(shí)施方式可總結(jié)為如下(1) 本實(shí)施方式的熱處理裝置包括絕熱爐，該絕熱爐具有熱處理部，對(duì)被處理物 進(jìn)行熱處理；空氣調(diào)整部，對(duì)空氣進(jìn)行加熱、循環(huán)；光催化裝置，分解對(duì)所述被處理物進(jìn) 行熱處理時(shí)產(chǎn)生的升華物；以及采光裝置，將外部的光釆集到所述絕熱爐內(nèi)，其中，所述 光催化裝置設(shè)置在所述采光裝置所采集的光能夠照射并且與所述循環(huán)空氣接觸的位置上。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在所述絕熱爐內(nèi)，只要將所采集的光照射到所述光催化裝置，該光催化 裝置就可分解所述循環(huán)空氣中含有的升華物。即，光催化裝置不依賴于空氣溫度，而在照 射采光裝置所采集的光時(shí)立即顯示催化活性，并且在此狀態(tài)下與所述循環(huán)空氣接觸，則對(duì) 空氣中含有的升華物進(jìn)行分解。而且，即使光催化裝置的分解升華物的能力較低，由于空氣中的升華物與空氣一同循 環(huán)而反復(fù)通過光催化裝置，因而能夠分解所希望的量。其結(jié)果，即使在比采用以往的熱催化劑時(shí)低的溫度下進(jìn)行熱處理，也能夠充分地分解 包含于所述循環(huán)空氣中的升華物。(2) 此外，在所述熱處理裝置中，所述采光裝置可以設(shè)置在能將外部的光采集到所 述空氣調(diào)整部內(nèi)的位置上。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于外部的光采集到空氣調(diào)整部內(nèi)，而不采集到熱處理部，因此可以對(duì) 嫌光性被處理物進(jìn)行熱處理。(3) 此外，在所述熱處理裝置中，在所述絕熱爐的外部可以設(shè)置有用于照射光的光 照射裝置，所述光照射裝置可以通過所述采光裝置將光照射到所述光催化裝置。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由光照射裝置將規(guī)定量的光照射到光催化裝置上。因此，光催化裝置不 依賴于裝置周圍的光量，即可顯示充分的催化活性，能夠發(fā)揮對(duì)升華物的穩(wěn)定且所希望的 分解性能。(4) 此外，在所述熱處理裝置中，所述采光裝置可以具有耐熱玻璃，該耐熱玻璃嵌 入在連通所述絕熱爐的內(nèi)部和外部的開口中。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，利用簡單的結(jié)構(gòu)就能夠?qū)⑼獠康墓獠杉浇^熱爐內(nèi)。(5) 此外，在所述熱處理裝置中，所述耐熱玻璃可以為擴(kuò)大所述采集的光的照射范 圍的透鏡。根據(jù)所述結(jié)構(gòu)，所采集的光照射到所述絕熱爐內(nèi)的更廣的范圍。因此，光對(duì)光催化裝 置的照射范圍變廣，可對(duì)升華物進(jìn)行氧化分解的范圍、即光催化裝置顯示催化活性的范圍 也隨之變廣，增加所述升華物的分解量。(6) 此外，在所述熱處理裝置中，所述采光裝置可以具有耐熱性導(dǎo)光管，該導(dǎo)光管 的一端設(shè)置在所述絕熱爐的內(nèi)部，另一端設(shè)置在所述絕熱爐的外部。根據(jù)所述結(jié)構(gòu)，利用簡單的結(jié)構(gòu)就能夠?qū)⑼獠康墓獠杉浇^熱爐內(nèi)。(7) 此外，在所述熱處理裝置中，在所述導(dǎo)光管的一端可以設(shè)置有透鏡，該透鏡擴(kuò) 大由所述導(dǎo)光管的另一端所釆集的光的照射范圍。根據(jù)所述結(jié)構(gòu)，所述采集的光照射到所述絕熱爐內(nèi)的更廣的范圍，光對(duì)光催化裝置的 照射范圍也變廣，升華物的分解量也隨之增加。(8) 此外，在所述熱處理裝置中優(yōu)選的是，所述導(dǎo)光管具有光纖。 根據(jù)所述結(jié)構(gòu)，可以容易得到導(dǎo)光管，提高設(shè)計(jì)上的自由度。(9) 本實(shí)施方式的另一種熱處理裝置包括絕熱爐，該絕熱爐具有熱處理部，對(duì)被 處理物進(jìn)行熱處理；空氣調(diào)整部，對(duì)空氣進(jìn)行加熱、循環(huán)；光催化裝置，分解對(duì)所述被處 理物進(jìn)行熱處理時(shí)產(chǎn)生的升華物；以及光照射裝置，用于照射光，其中，所述光催化裝置 設(shè)置在所述光照射裝置的光能夠照射并且與所述循環(huán)空氣接觸的位置上。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，與上述同樣，只要由光照射裝置將光照射到所述光催化裝置，該光催化 裝置立即顯示催化活性，不依賴于空氣溫度就可分解所述循環(huán)空氣中含有的升華物。而且， 即使光催化裝置分解升華物的處理能力較低，由于空氣中的升華物與空氣一同循環(huán)而反復(fù) 通過光催化裝置，因而能夠分解所希望的量。因此，即使在低溫下進(jìn)行熱處理時(shí)，與以往的熱催化劑相比，能夠更充分地分解包含 于上述循環(huán)空氣中的升華物。(10) 此外，所述熱處理裝置中，所述空氣調(diào)整部可以與用于導(dǎo)入絕熱爐外的空氣的 導(dǎo)入管相連接，所述光照射裝置可以設(shè)置在所述導(dǎo)入管內(nèi)，將光照射到所述空氣調(diào)整部內(nèi)。根據(jù)所述結(jié)構(gòu)，光不經(jīng)過玻璃等而直接照射到空氣調(diào)整部內(nèi)，因而光能夠高效地到達(dá)15光催化裝置。這是因?yàn)榕c光要透過玻璃等時(shí)不同，不會(huì)根據(jù)該玻璃等的透射率減少光量。 因此，與通過玻璃等來照射光時(shí)相比，光催化裝置顯示更充分的催化活性，能夠分解更多 的升華物。而且，由于光照射裝置設(shè)置在導(dǎo)入管之內(nèi)，因而流經(jīng)導(dǎo)入管內(nèi)部的加熱前的空氣能夠 對(duì)光照射裝置進(jìn)行冷卻。(11) 此外，所述熱處理裝置可以在所述絕熱爐內(nèi)設(shè)置有反射裝置，該反射裝置將所 照射的光反射到設(shè)置在規(guī)定位置上的光催化裝置。根據(jù)所述結(jié)構(gòu)，所述光催化裝置無需設(shè)置在絕熱爐具有的所述采光裝置或光照射裝置 直接照射光的位置上。因此，能夠提高配置上的自由度，即可提高該熱處理裝置的設(shè)計(jì)上 的自由度。(12) 此外，在所述熱處理裝置中，所述反射裝置也可以具有光催化劑。 根據(jù)所述結(jié)構(gòu)，由于所述光催化裝置以及具有光催化功能的反射裝置都接受光而分解升華物，因而能夠增加升華物的分解量。(13) 此外，在所述熱處理裝置中，所述光催化裝置可以為板狀體，并且該板狀體的 表面具有光催化劑。根據(jù)所述結(jié)構(gòu)，容易將光催化裝置以具有光催化功能的表面面對(duì)所希望的方向的狀態(tài) 設(shè)置在所述絕熱爐內(nèi)。(14) 此外，在所述熱處理裝置中，所述光催化裝置可以為在表面上帶有光催化劑的 絮狀體或者網(wǎng)狀體，以使循環(huán)空氣通過該光催化裝置內(nèi)部。根據(jù)所述結(jié)構(gòu)，顯示光催化反應(yīng)的表面面積增加，與所述循環(huán)空氣接觸的面積也隨之 增加。而且，當(dāng)所述循環(huán)空氣通過光催化裝置的內(nèi)部時(shí)，所述光催化裝置內(nèi)部產(chǎn)生湍流， 增加所述循環(huán)空氣和所述表面之間的接觸時(shí)間或接觸次數(shù)等。因此，升華物的分解量也要 增加。(15) 此外，所述熱處理裝置可以包括多個(gè)光照射裝置，該多個(gè)光照射裝置分別從不 同方向?qū)⒐庹丈涞剿龉獯呋b置。根據(jù)所述結(jié)構(gòu)，即使光催化裝置的表面形狀復(fù)雜，也能夠減少或者消除光無法照射的 部位，即陰影部位，因而顯示光催化反應(yīng)的面積變廣，能夠高效地分解升華物。
權(quán)利要求
1.一種熱處理裝置，其特征在于包括絕熱爐，該絕熱爐具有熱處理部，對(duì)被處理物進(jìn)行熱處理；空氣調(diào)整部，對(duì)空氣進(jìn)行加熱、循環(huán)；光催化裝置，分解對(duì)所述被處理物進(jìn)行熱處理時(shí)產(chǎn)生的升華物；以及采光裝置，將外部的光采集到所述絕熱爐內(nèi)，其中，所述光催化裝置設(shè)置在所述采光裝置所采集的光能夠照射并且與所述循環(huán)空氣接觸的位置上。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的熱處理裝置，其特征在于，所述采光裝置設(shè)置在可將外部的 光采集到所述空氣調(diào)整部內(nèi)的位置上。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的熱處理裝置，其特征在于， 在所述絕熱爐的外部設(shè)置有用于照射光的光照射裝置， 所述光照射裝置通過所述采光裝置將光照射到所述光催化裝置。
4. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的熱處理裝置，其特征在于，所述采光裝置具有耐熱玻璃，該 耐熱玻璃嵌入在連通所述絕熱爐的內(nèi)部和外部的開口中。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的熱處理裝置，其特征在于，所述耐熱玻璃為擴(kuò)大所述采集的 光的照射范圍的透鏡。
6. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的熱處理裝置，其特征在于，所述釆光裝置具有耐熱性導(dǎo)光管， 該導(dǎo)光管的一端設(shè)置在所述絕熱爐的內(nèi)部，另一端設(shè)置在所述絕熱爐的外部。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的熱處理裝置，其特征在于，在所述導(dǎo)光管的一端設(shè)置有透鏡， 該透鏡擴(kuò)大由所述導(dǎo)光管的另一端所采集的光的照射范圍。
8. 根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的熱處理裝置，其特征在于，所述導(dǎo)光管具有光纖。
9. 一種熱處理裝置，其特征在于包括絕熱爐，該絕熱爐具有 熱處理部，對(duì)被處理物進(jìn)行熱處理；空氣調(diào)整部，對(duì)空氣進(jìn)行加熱、循環(huán)；光催化裝置，分解對(duì)所述被處理物進(jìn)行熱處理時(shí)產(chǎn)生的升華物；以及 光照射裝置，用于照射光，其中，所述光催化裝置設(shè)置在所述光照射裝置的光能夠照射并且與所述循環(huán)空氣接觸的位 置上。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的熱處理裝置，其特征在于， 所述空氣調(diào)整部與用于導(dǎo)入絕熱爐外的空氣的導(dǎo)入管相連接， 所述光照射裝置設(shè)置在所述導(dǎo)入管內(nèi)，將光照射到所述空氣調(diào)整部內(nèi)。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1或9所述的熱處理裝置，其特征在于，在所述絕熱爐內(nèi)設(shè)置有反射 裝置，該反射裝置將所照射的光反射到設(shè)置在規(guī)定位置上的光催化裝
12. 根據(jù)權(quán)利要求ll所述的熱處理裝置，其特征在于，所述反射裝置還具有光催化劑。
13. 根據(jù)權(quán)利要求1或9所述的熱處理裝置，其特征在于，所述光催化裝置為板狀體， 并且該板狀體的表面具有光催化劑。
14. 根據(jù)權(quán)利要求3或9所述的熱處理裝置，其特征在于，所述光催化裝置為在表面上帶有光催化劑的絮狀體或者網(wǎng)狀體，使得所述循環(huán)空氣通 過該光催化裝置內(nèi)部。
15. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的熱處理裝置，其特征在于，包括多個(gè)光照射裝置，該多個(gè) 光照射裝置分別從不同方向?qū)⒐庹丈涞剿龉獯呋b置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種熱處理裝置，其包括絕熱爐，該絕熱爐具有熱處理部，對(duì)被處理物進(jìn)行熱處理；空氣調(diào)整部，對(duì)空氣進(jìn)行加熱、循環(huán)；光催化裝置，分解對(duì)所述被處理物進(jìn)行熱處理時(shí)產(chǎn)生的升華物；以及采光裝置，將外部的光采集到所述絕熱爐內(nèi)，其中，所述光催化裝置設(shè)置在所述采光裝置所采集的光能夠照射并且與所述循環(huán)空氣接觸的位置上。由此，不依賴于熱處理部中所循環(huán)的空氣溫度，能夠分解對(duì)被處理物進(jìn)行熱處理時(shí)產(chǎn)生的升華物。
文檔編號(hào)F27D99/00GK101324404SQ20081011159
公開日2008年12月17日 申請(qǐng)日期2008年6月10日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月12日
發(fā)明者手錢永充 申請(qǐng)人:愛斯佩克株式會(huì)社