專利名稱：一種局部廢氣處理系統(tǒng)及其控制方法
技術領域：
本發(fā)明涉及集成電路制作工藝中的空氣凈化技術，尤其是涉及一種局部廢氣處理系統(tǒng)及其控制方法。
背景技術：
由于半導體制造業(yè)屬于高度精密化的工業(yè)，一些細微的環(huán)境或操作變動都有可能影響其制造成品的品質，因此要求半導體制程在嚴格控制下的無塵室中進行。也就是說，半導體制造的生產(chǎn)設備皆在嚴格控制下的無塵室中操作，主要有氧化爐、擴散爐、清洗槽、顯影劑、離子植入機及金屬濺鍍機等。這些生產(chǎn)設備在操作時均可能產(chǎn)生污染物。而由于無塵室的密閉性，相對而言無塵室之中的污染物質濃度是相當高的。
其中的空氣污染物包括多種危害性氣體，如果依照處理性質來區(qū)分的話，空氣污染物可區(qū)分為酸堿性氣體、有機性氣體與特殊毒性氣體三類，各有不同的處理方式。這些危害物中，有些有腐蝕管線的危險，有些與其他危害物相遇或累積大量濃度時有火災爆炸的危險，并且對長期暴露在具有高濃度污染氣體的作業(yè)環(huán)境之中的作業(yè)人員產(chǎn)生較大的危害。
因此，半導體制造作業(yè)必須依照相關規(guī)定設置各項污染源的收集和處理系統(tǒng)。半導體制程所產(chǎn)生的空氣污染物經(jīng)集氣系統(tǒng)收集之后，需要再經(jīng)過妥善的處理，使空氣中污染物含量不致危害自然的情況下，才能夠予以排放。半導體制造作業(yè)產(chǎn)生的廢氣包括酸/毒、堿性、有機及一般排氣。排氣中占最大比例的酸/毒、堿性廢氣都是以洗滌塔作為處理設備(參考中國發(fā)明專利申請第02156011.0號和中國發(fā)明專利申請第200140033252.0號)。
半導體制造作業(yè)因排放氣體種類復雜，加上制程同時需要使用不同特性的化學品，造成洗滌塔在運轉上會出現(xiàn)許多狀況，使處理效率降低。
因此目前空氣污染物的處理原則是，先依照不同性質，在制程設備之后就地加以處理一次之后，再進入位于廠房之外的中央廢氣處理系統(tǒng)(中央廢氣處理系統(tǒng)以洗滌塔為主)進行二次處理，然后排放。也就是說，目前半導體廠大都會在機臺近端裝設Local Scrubber(局部廢氣處理設備)以處理危害性氣體。因此，機臺的排氣在排放到廠務中央洗滌塔之前，會先經(jīng)過機臺端的廢氣處理設備處理。
請參閱圖1，是一種現(xiàn)有技術的局部廢氣處理系統(tǒng)的示意圖。
其中，機臺110通常具備兩個腔室，腔室內的污染物首先經(jīng)過收集盒(CatchBox)120去除較大的顆粒后，再由機臺后方的真空泵浦(Pump)130抽氣后進入局部廢氣處理設備(Local Scrubber)140，經(jīng)局部廢氣處理設備(LocalScrubber)140處理過的尾氣再排到廠務風管(圖未示)。其中，還利用冷卻閥(Cold Trap)150來保護昂貴的真空泵。
其中，局部廢氣處理設備140中設置有若干檢測器(圖未示)，一旦檢測到局部廢氣處理設備140的某些參數(shù)或者內部環(huán)境出現(xiàn)異常情況，則會控制該局部廢氣處理設備140停止運行，以便排除故障，確保安全。
但是，該現(xiàn)有技術的局部廢氣處理系統(tǒng)存在一些缺陷由于機臺近端僅存在一臺局部廢氣處理設備，因此一旦該局部廢氣處理設備在運行上出現(xiàn)問題，即檢測器檢測到異常情況時，局部廢氣處理設備暫停運作，則與該局部廢氣處理設備相關聯(lián)的機臺也不得不暫停運行。這會導致機臺正常運行時間(Uptime)的減少，從而增加廠商的成本。
有鑒于此，需要對局部廢氣處理系統(tǒng)及其控制方法進行改進。

發(fā)明內容
針對上述缺陷，本發(fā)明要解決的問題是提供一種局部廢氣處理系統(tǒng)及其控制方法，可以增加機臺的正常運行時間，減小成本。
為了解決上述問題，本發(fā)明采用的技術方案是提供一種局部廢氣處理系統(tǒng)，鄰近機臺設置；包括用于對相應機臺產(chǎn)生的污染物進行處理的主廢氣處理設備和備份廢氣處理設備；其中，所述主廢氣處理設備包括第一進氣口，連接于機臺以接收污染物；通路切換單元，其第一端連接于該第一進氣口，第二端連通主廢氣處理設備的內部處理空間；備份排氣口，連接于該通路切換單元的第三端和該備份廢氣處理設備；控制單元，用于根據(jù)主廢氣處理設備的狀態(tài)來控制主廢氣處理設備和備份廢氣處理設備，并且控制該通路切換單元以選擇性地使該第一進氣口連通主廢氣處理設備的內部處理空間或者通過備份排氣口連通備份廢氣處理設備；
氣體排放通道，用于排放經(jīng)處理后的氣體。
優(yōu)選地，所述通路切換單元是電動三通閥。
優(yōu)選地，該控制單元包括檢測信號輸入端，用于接收針對主廢氣處理系統(tǒng)進行檢測所產(chǎn)生的檢測信號；處理單元，用于對所述檢測信號進行分析，根據(jù)主廢氣處理系統(tǒng)所處的狀態(tài)生成相應的控制信號并輸出；控制信號輸出端，用于將所述控制信號輸出至通路切換單元、主廢氣處理設備和備份廢氣處理設備的相應部件。
優(yōu)選地，當主廢氣處理設備狀態(tài)正常時，控制單元控制該通路切換單元的第一端和第二端連通，而切斷其第一端和第三端之間的通路；當主廢氣處理設備狀態(tài)異常時，控制單元控制該通路切換單元的第一端和第三端連通，而切斷其第一端和第二端之間的通路，且通知該備份廢氣處理設備。
優(yōu)選地，該主廢氣處理設備還包括備份進氣口，連接于該備份廢氣處理設備，用于在該備份廢氣處理設備出現(xiàn)異常時接收與該備份廢氣處理設備連接的機臺產(chǎn)生的污染物。
優(yōu)選地，該備份廢氣處理設備包括第二進氣口，連接于第二機臺以接收污染物；第二備份進氣口，連接于該主廢氣處理設備的備份排氣口；第二通路切換單元，其第一端連接于該第二進氣口，第二端連通備份廢氣處理設備的內部處理空間；第二備份排氣口，連接于該第二通路切換單元的第三端和該主廢氣處理設備；第二控制單元，用于根據(jù)備份廢氣處理設備的狀態(tài)來控制備份廢氣處理設備和主廢氣處理設備，并且控制該第二通路切換單元以選擇性地使該第二進氣口連通備份廢氣處理設備的內部處理空間或者通過第二備份排氣口連通主廢氣處理設備；第二氣體排放通道，用于排放經(jīng)處理后的氣體。
優(yōu)選地，所述第二通路切換單元是電動三通閥。
優(yōu)選地，該第二控制單元包括第二檢測信號輸入端，用于接收針對備份廢氣處理系統(tǒng)進行檢測所產(chǎn)生的檢測信號；第二處理單元，用于對所述檢測信號進行分析，根據(jù)備份廢氣處理系統(tǒng)所處的狀態(tài)生成相應的控制信號并輸出；第二控制信號輸出端，用于將所述控制信號輸出至第二通路切換單元、備份廢氣處理設備和主廢氣處理設備的相應部件。
優(yōu)選地，當備份廢氣處理設備狀態(tài)正常時，第二控制單元控制該第二通路切換單元的第一端和第二端連通，而切斷其第一端和第三端之間的通路；當備份廢氣處理設備狀態(tài)異常時，第二控制單元控制該第二通路切換單元的第一端和第三端連通，而切斷其第一端和第二端之間的通路，且通知該主廢氣處理設備。
本發(fā)明還提供一種局部廢氣處理系統(tǒng)的控制方法，該局部廢氣處理系統(tǒng)包括主廢氣處理設備和備份廢氣處理設備；包括步驟接收對主廢氣處理設備進行檢測產(chǎn)生的檢測信號；對該檢測信號進行分析，根據(jù)主廢氣處理設備的狀態(tài)生成相應的控制信號；根據(jù)該控制信號對來自與主廢氣處理設備連接的機臺的污染物進行處理當主廢氣處理設備狀態(tài)正常時，該污染物經(jīng)由主廢氣處理設備進行處理；當主廢氣處理設備狀態(tài)異常時，該污染物經(jīng)由備份廢氣處理設備進行處理。
優(yōu)選地，還包括檢測備份廢氣處理設備的狀態(tài)，并且根據(jù)其狀態(tài)對來自與備份廢氣處理設備連接的機臺的污染物進行處理當備份廢氣處理設備狀態(tài)正常時，該污染物經(jīng)由備份廢氣處理設備進行處理；當備份廢氣處理設備狀態(tài)異常時，該污染物經(jīng)由主廢氣處理設備進行處理。
與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明的有益效果是由于本發(fā)明針對機臺提供主廢氣處理設備和備份廢氣處理設備，從而在某廢氣處理設備出現(xiàn)故障時，可以使用備份廢氣處理設備，使得相應的機臺可以繼續(xù)運行，從而增加機臺的正常運行時間，降低成本。
優(yōu)選方案中，不同機臺的廢氣處理設備互為備份，可以進一步利用已有的資源，在確保機臺的正常運行時間的前提下來降低成本。


圖1是一種現(xiàn)有技術的局部廢氣處理系統(tǒng)的示意圖；圖2是本發(fā)明的局部廢氣處理系統(tǒng)的一個實施方式的示意圖；
圖3是本發(fā)明的局部廢氣處理系統(tǒng)中的第一廢氣處理設備的框圖；圖4是本發(fā)明的第一廢氣處理設備內部的三通閥的設置示意圖；圖5是本發(fā)明中的第一廢氣處理設備中的控制單元的示意圖；圖6是本發(fā)明中采用的三通閥實施例的示意圖；圖7是本發(fā)明的局部廢氣處理系統(tǒng)的控制方法的流程圖。
具體實施例方式
本發(fā)明的基本思路在于為機臺提供備份的局部廢氣處理設備(BackupLocal Scrubber)，因此在某一局部廢氣處理設備暫停運行時，可以控制該備份的局部廢氣處理設備啟動，從而使得機臺可以正常運行，以增加機臺正常運行時間，且降低成本。
請參閱圖2，是本發(fā)明的局部廢氣處理系統(tǒng)的一個實施方式的示意圖。
該廢氣處理系統(tǒng)包括第一局部廢氣處理設備210和第二廢氣處理設備220。該第一局部廢氣處理設備210和第二廢氣處理設備220互為備份。
第一廢氣處理設備210通過第一進氣管211連接第一機臺800，通過第一排氣管212將處理后的氣體排到中央廢氣處理系統(tǒng)(圖未示)或大氣中。
第二廢氣處理設備220通過第二進氣管221連接第二機臺900，通過第二排氣管222將處理后的氣體排到中央廢氣處理系統(tǒng)或大氣中。
第一廢氣處理設備210和第二廢氣處理設備220之間具有連通的第一連接管213和第二連接管223。
該局部廢氣處理系統(tǒng)的運行過程是第一廢氣處理設備210處理來自第一機臺800的污染物，將處理后的產(chǎn)物排到中央廢氣處理系統(tǒng)；第二廢氣處理設備220處理來自第二機臺900的污染物，將處理后的產(chǎn)物排到中央廢氣處理系統(tǒng)。
當?shù)谝粡U氣處理設備210發(fā)生異常時，形成控制信號，第一廢氣處理設備210停止對廢氣的處理，將來自第一機臺800的污染物經(jīng)過第一進氣管211和第一連接管213送入第二廢氣處理設備220進行處理。
同樣地，當?shù)诙U氣處理設備220發(fā)生異常時，第二廢氣處理設備220停止對廢氣的處理，將來自第二機臺900的污染物經(jīng)過第二進氣管221和第二連接管223送入第一廢氣處理設備210進行處理。
也就是說，對于第一機臺800來說，該第一廢氣處理設備210是主處理設備，第二廢氣處理設備220是備份處理設備；對于第二機臺900來說，該第二廢氣處理設備220是主處理設備，第一廢氣處理設備210是備份處理設備。
請一并參閱圖3，是本發(fā)明的局部廢氣處理系統(tǒng)中的第一廢氣處理設備的框圖。
所述第一廢氣處理設備210包括控制單元219、四個進氣口2141、2142、2143和2144，四個排氣口2151、2152、2153和2154以及氣體排放通道216。
其中，進氣口2141是機臺進氣口，連接第一進氣管211；進氣口2144是備份進氣口，連接第二連接管223；排氣口2151是備份排氣口，連接第一連接管213。
機臺進氣口2141通過三通閥300(參見圖4)連接備份排氣口2151和第一廢氣處理設備210內部的處理空間。
具體地說，三通閥300的第一端連接于該機臺進氣口2141，第二端連接于第一廢氣處理設備210內部的處理空間，第三端連接于備份排氣口2151。
所述第一廢氣處理設備210的控制單元219根據(jù)自身運行狀態(tài)實現(xiàn)對三通閥300的電動控制。所述控制具體是當?shù)谝粡U氣處理設備210處于正常運行的狀態(tài)時，控制單元219控制三通閥300的第一端和第二端之間的通路打開，而關閉其第一端和第三端之間的通路，使機臺進氣口2141連通第一廢氣處理設備210內部的處理空間，而切斷機臺進氣口2141和備份排氣口2151之間的通路，因此經(jīng)第一進氣管212傳輸?shù)膩碜缘谝粰C臺800的空氣污染物進入第一廢氣處理設備210內部的處理空間，經(jīng)由第一廢氣處理設備210進行處理后排放到中央廢氣處理系統(tǒng)。
當?shù)谝粡U氣處理設備210運行出現(xiàn)異常時，控制單元219控制三通閥300的第一端和第三端之間的通路打開，而關閉其第一端和第二端之間的通路，使機臺進氣口2141連通備份排氣口2151，而切斷機臺進氣口2141和第一廢氣處理設備210內部的處理空間之間的通路，因此經(jīng)第一進氣管212傳輸?shù)膩碜缘谝粰C臺800的空氣污染物通過備份排氣口2151和第一連接管213進入第二廢氣處理設備220內部的處理空間，經(jīng)由第二廢氣處理設備220進行處理后排放到中央廢氣處理系統(tǒng)。也就是說，第二廢氣處理設備220此時充當?shù)谝粡U氣處理設備210的備份，使得第一機臺800可以在第一廢氣處理設備210暫停運行的情況下正常運作。
請一并參閱圖5，是本發(fā)明中的第一廢氣處理設備中的控制單元的示意圖。本實施方式中，該控制單元219包括檢測信號輸入端2191、處理單元2192和控制信號輸出端2193。
其中，檢測信號輸入端2191用于接收針對第一廢氣處理設備210進行檢測所產(chǎn)生的檢測信號并傳送給處理單元2192。
處理單元2192對所述檢測信號進行分析，根據(jù)第一廢氣處理設備210所處的狀態(tài)生成相應的廢氣處理設備控制信號和三通閥控制信號并輸出。例如，當?shù)谝粡U氣處理設備210正常運作時，使三通閥300的第一端和第二端連通；而當?shù)谝粡U氣處理設備210出現(xiàn)異常時，啟動第二廢氣處理設備220，并且使三通閥300的第一端和第三端連通。
控制信號輸出端2193則將所述三通閥控制信號輸出至三通閥300以實現(xiàn)對三通閥300的控制，將廢氣處理設備控制信號輸出至第一廢氣處理設備210或第二廢氣處理設備220的相應部件。
需要說明的是，檢測信號輸入端2191接收的檢測信號可以是現(xiàn)有的廢氣處理設備本身所具有的檢測器產(chǎn)生的檢測信號。當然，也可以通過在本發(fā)明的廢氣處理設備中增設新的檢測單元(圖未示)來對廢氣處理設備進行檢測，此不贅述。
請一并參閱圖6，本實施例中，該三通閥300是電動三通調節(jié)閥，用于根據(jù)來自控制單元219的控制信號將進入機臺進氣口2141的氣體引導至備份排氣口2151或者第一廢氣處理設備210內部的處理空間。
三通閥300可以采用多種現(xiàn)有技術來實現(xiàn)。例如，閥體310中可以采用適合的閥芯(圖未示)導向，配合電動驅動器320來驅動閥門啟閉。該電動驅動器320連接到控制單元219的控制信號輸出端2193。
此外，為進一步完善系統(tǒng)的性能，還可以在三通閥300中設置彈簧復位及手動操縱功能。
本領域的技術人員可以理解，第二廢氣處理設備220的結構與第一廢氣處理設備210可以相同，此不贅述。
此外，該第一廢氣處理設備210和第二廢氣處理設備220在正常運行時，根據(jù)從機臺進來的空氣污染物的不同性質，可以不進行處理而直接排放，也可以在處理后再排放。也就是說，除了用于排放處理后氣體的氣體排放通道216外，廢氣處理設備還可以設置氣體直接排放通道(圖未示)，此不贅述。
此外，在機臺和局部廢氣處理設備(第一廢氣處理設備和第二廢氣處理設備)之間設置真空泵浦和冷卻閥等器件(圖未示)。本發(fā)明中使用的局部廢氣處理設備可以根據(jù)具體的情況和實際需求進行選擇。
依其原理，局部廢氣處理設備大概可分成下列幾類(1)電熱水洗式；(2)燃燒水洗式；(3)填充水洗式和(4)干式吸附式。各類型的局部廢氣處理設備各有其優(yōu)缺點，視使用者的需求而決定。選擇時一般考慮的重點包含設置成本、使用維護成本、PM頻率與難易度、安全性及實廠處理效率等。
請參閱圖7，是本發(fā)明的局部廢氣處理系統(tǒng)的控制方法的流程圖。
步驟S710，接收對主廢氣處理設備進行檢測產(chǎn)生的檢測信號；步驟S720，對該檢測信號進行分析，根據(jù)主廢氣處理設備的狀態(tài)生成相應的控制信號；步驟S730，根據(jù)該控制信號對來自機臺的污染物進行處理當主廢氣處理設備正常運行時，該污染物經(jīng)由主廢氣處理設備進行處理；當主廢氣處理設備運行異常時，該污染物經(jīng)由備份廢氣處理設備進行處理。
其中，所述步驟S730中，通過電動三通調節(jié)閥來實現(xiàn)分流。具體是當主廢氣處理設備處于正常運行的狀態(tài)時，三通閥的第一端和第二端之間的通路打開，而關閉其第一端和第三端之間的通路，使主廢氣處理設備的機臺進氣口連通主廢氣處理設備內部的處理空間，因此經(jīng)第一進氣管傳輸?shù)目諝馕廴疚锝?jīng)由主廢氣處理設備進行處理。
當主廢氣處理設備運行出現(xiàn)異常時，三通閥的第一端和第三端之間的通路打開，而關閉其第一端和第二端之間的通路，使主廢氣處理設備的機臺進氣口連通備份排氣口，因此經(jīng)第一進氣管傳輸?shù)目諝馕廴疚锿ㄟ^備份排氣口，經(jīng)由備份廢氣處理設備進行處理。
綜上所述，本發(fā)明對局部廢氣處理系統(tǒng)及其控制方法進行改進，針對機臺提供主廢氣處理設備和備份廢氣處理設備，可以是不同機臺的廢氣處理設備互為備份，從而在某廢氣處理設備出現(xiàn)故障時，可以使用備份廢氣處理設備，從而使得相應的機臺可以繼續(xù)運行，從而增加機臺的正常運行時間，降低成本。
以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本發(fā)明的保護范圍。
權利要求
1.一種局部廢氣處理系統(tǒng)，鄰近機臺設置；其特征在于，包括用于對相應機臺產(chǎn)生的污染物進行處理的主廢氣處理設備和備份廢氣處理設備；其中，所述主廢氣處理設備包括第一進氣口，連接于機臺以接收污染物；通路切換單元，其第一端連接于該第一進氣口，第二端連通主廢氣處理設備的內部處理空間；備份排氣口，連接于該通路切換單元的第三端和該備份廢氣處理設備；控制單元，用于根據(jù)主廢氣處理設備的狀態(tài)來控制主廢氣處理設備和備份廢氣處理設備，并且控制該通路切換單元以選擇性地使該第一進氣口連通主廢氣處理設備的內部處理空間或者通過備份排氣口連通備份廢氣處理設備；氣體排放通道，用于排放經(jīng)處理后的氣體。
2.如權利要求1所述的局部廢氣處理系統(tǒng)，其特征在于，所述通路切換單元是電動三通閥。
3.如權利要求1所述的局部廢氣處理系統(tǒng)，其特征在于，該控制單元包括檢測信號輸入端，用于接收針對主廢氣處理系統(tǒng)進行檢測所產(chǎn)生的檢測信號；處理單元，用于對所述檢測信號進行分析，根據(jù)主廢氣處理系統(tǒng)所處的狀態(tài)生成相應的控制信號并輸出；控制信號輸出端，用于將所述控制信號輸出至通路切換單元、主廢氣處理設備和備份廢氣處理設備的相應部件。
4.如權利要求1至3任一項所述的局部廢氣處理系統(tǒng)，其特征在于，當主廢氣處理設備狀態(tài)正常時，控制單元控制該通路切換單元的第一端和第二端連通，而切斷其第一端和第三端之間的通路；當主廢氣處理設備狀態(tài)異常時，控制單元控制該通路切換單元的第一端和第三端連通，而切斷其第一端和第二端之間的通路，且通知該備份廢氣處理設備。
5.如權利要求1所述的局部廢氣處理系統(tǒng)，其特征在于，該主廢氣處理設備還包括備份進氣口，連接于該備份廢氣處理設備，用于在該備份廢氣處理設備出現(xiàn)異常時接收與該備份廢氣處理設備連接的機臺產(chǎn)生的污染物。
6.如權利要求1所述的局部廢氣處理系統(tǒng)，其特征在于，該備份廢氣處理設備包括第二進氣口，連接于第二機臺以接收污染物；第二備份進氣口，連接于該主廢氣處理設備的備份排氣口；第二通路切換單元，其第一端連接于該第二進氣口，第二端連通備份廢氣處理設備的內部處理空間；第二備份排氣口，連接于該第二通路切換單元的第三端和該主廢氣處理設備；第二控制單元，用于根據(jù)備份廢氣處理設備的狀態(tài)來控制備份廢氣處理設備和主廢氣處理設備，并且控制該第二通路切換單元以選擇性地使該第二進氣口連通備份廢氣處理設備的內部處理空間或者通過第二備份排氣口連通主廢氣處理設備；第二氣體排放通道，用于排放經(jīng)處理后的氣體。
7.如權利要求6所述的局部廢氣處理系統(tǒng)，其特征在于，所述第二通路切換單元是電動三通閥。
8.如權利要求6所述的局部廢氣處理系統(tǒng)，其特征在于，該第二控制單元包括第二檢測信號輸入端，用于接收針對備份廢氣處理系統(tǒng)進行檢測所產(chǎn)生的檢測信號；第二處理單元，用于對所述檢測信號進行分析，根據(jù)備份廢氣處理系統(tǒng)所處的狀態(tài)生成相應的控制信號并輸出；第二控制信號輸出端，用于將所述控制信號輸出至第二通路切換單元、備份廢氣處理設備和主廢氣處理設備的相應部件。
9.如權利要求6至8任一項所述的局部廢氣處理系統(tǒng)，其特征在于，當備份廢氣處理設備狀態(tài)正常時，第二控制單元控制該第二通路切換單元的第一端和第二端連通，而切斷其第一端和第三端之間的通路；當備份廢氣處理設備狀態(tài)異常時，第二控制單元控制該第二通路切換單元的第一端和第三端連通，而切斷其第一端和第二端之間的通路，且通知該主廢氣處理設備。
10.一種局部廢氣處理系統(tǒng)的控制方法，該局部廢氣處理系統(tǒng)包括主廢氣處理設備和備份廢氣處理設備；其特征在于，包括步驟接收對主廢氣處理設備進行檢測產(chǎn)生的檢測信號；對該檢測信號進行分析，根據(jù)主廢氣處理設備的狀態(tài)生成相應的控制信號；根據(jù)該控制信號對來自與主廢氣處理設備連接的機臺的污染物進行處理當主廢氣處理設備狀態(tài)正常時，該污染物經(jīng)由主廢氣處理設備進行處理；當主廢氣處理設備狀態(tài)異常時，該污染物經(jīng)由備份廢氣處理設備進行處理。
11.如權利要求10所述的局部廢氣處理系統(tǒng)的控制方法，其特征在于，還包括檢測備份廢氣處理設備的狀態(tài)，并且根據(jù)其狀態(tài)對來自與備份廢氣處理設備連接的機臺的污染物進行處理當備份廢氣處理設備狀態(tài)正常時，該污染物經(jīng)由備份廢氣處理設備進行處理；當備份廢氣處理設備狀態(tài)異常時，該污染物經(jīng)由主廢氣處理設備進行處理。
全文摘要
本發(fā)明公開一種局部廢氣處理系統(tǒng)，鄰近機臺設置；包括用于對機臺產(chǎn)生的污染物進行處理的主廢氣處理設備和備份廢氣處理設備；其中，主廢氣處理設備包括第一進氣口，連接于機臺以接收污染物；通路切換單元，其第一端連接于該第一進氣口，第二端連通主廢氣處理設備的內部處理空間；備份排氣口，連接于該通路切換單元的第三端和該備份廢氣處理設備；控制單元，用于根據(jù)主廢氣處理設備的狀態(tài)來控制主廢氣處理設備和備份廢氣處理設備，并且控制該通路切換單元以選擇性地使該第一進氣口連通主廢氣處理設備的內部處理空間或者通過備份排氣口連通備份廢氣處理設備；氣體排放通道，用于排放經(jīng)處理后的氣體。本發(fā)明還公開一種局部廢氣處理系統(tǒng)的控制方法。
文檔編號F24F3/14GK101015768SQ200610023750
公開日2007年8月15日 申請日期2006年2月6日 優(yōu)先權日2006年2月6日
發(fā)明者劉國平, 曹少軍, 黃啟佑, 易義軍 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司