雙塔蓄熱式焚化爐切換峰值削減系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實用新型有關(guān)于一種蓄熱焚化爐，特別是指一種雙塔蓄熱式焚化爐切換峰值削 減系統(tǒng)，利用一長條管狀的緩沖管路的設(shè)計，當(dāng)?shù)谝豢刂崎y組開關(guān)前，將該緩沖管路的新鮮 氣體經(jīng)由該第一管路輸送至該雙塔蓄熱式焚化爐，再通過該第二控制閥組控制由該第一管 路輸送的廢氣進(jìn)入該緩沖管路，避免該雙塔蓄熱式焚化爐因開關(guān)而產(chǎn)生高濃度污染的問 題，以達(dá)到去除廢氣污染的效用。
【背景技術(shù)】
[0002] 揮發(fā)性有機(jī)化合物（Volatile Organic Compound，V0C)在產(chǎn)業(yè)界廣泛被使用，亦 隨制程而排放至大氣環(huán)境，例如，隨半導(dǎo)體與光電業(yè)制程排放的有機(jī)廢氣，IPA(Isopropyl Alc〇h〇l，C3Hs0)、丙酮、環(huán)己酮等，易造成環(huán)境污染。各國對于揮發(fā)性有機(jī)物質(zhì)皆有嚴(yán)格的空 污管制標(biāo)準(zhǔn)，以維護(hù)環(huán)保以及民眾的健康；以中國臺灣為例，環(huán)保署已公告實施半導(dǎo)體制造 業(yè)空氣污染管制及排放標(biāo)準(zhǔn)，對于揮發(fā)性有機(jī)廢氣強制要求的削減率，以半導(dǎo)體業(yè)為例，至 少應(yīng)大于90%。
[0003] 有機(jī)廢氣的處理方法很多，熱焚化分解是重要的方法之一，而蓄熱焚化爐 (Regenerative Thermal Oxdizer，RT0)是其中一種，特色是熱回效率可以高達(dá)90%以上。 其中蓄熱焚化爐可為雙塔式而配置有二個蓄熱床（Regenerative beds)，蓄熱床內(nèi)充填蓄 熱材，使揮發(fā)性有機(jī)廢氣流經(jīng)蓄熱床預(yù)熱（此時蓄熱材釋出熱能），而后揮發(fā)性有機(jī)廢氣進(jìn) 入燃燒室；此時，由于燃燒爐燃料噴嘴產(chǎn)生輔助熱能可提供熱量及揮發(fā)性有機(jī)化合物成分 氧化分解產(chǎn)生的熱量，使燃燒室保持一定的高溫（例如：850°C )，在設(shè)計的滯留時間，例如 一秒，有機(jī)廢氣所含的揮發(fā)性有機(jī)化合物成份將被氧化成水及二氧化碳。
[0004] 請參閱圖1所示，為一般傳統(tǒng)雙塔蓄熱式焚化爐的結(jié)構(gòu)示意圖，其包括一流通管 線400、以及一與該流通管線400連接的雙塔蓄熱式焚化爐410,該流通管線400設(shè)有風(fēng)機(jī) 420及煙肉450,以通過該風(fēng)機(jī)420抽吸廢氣進(jìn)入該流通管線400中，而該雙塔蓄熱式焚化 爐410包括第一蓄熱床412、第二蓄熱床413、以及連接該第一蓄熱床412、第二蓄熱床413 的燃燒室411，且該第一蓄熱床412通過多個第一流向管線430與該流通管線400連接，所 述第一流向管線430分別設(shè)有第一流向調(diào)節(jié)閥431、第二流向調(diào)節(jié)閥432,而該第二蓄熱床 413通過多個第二流向管線440與該流通管線400連接，所述第二流向管線440分別設(shè)有第 三流向調(diào)節(jié)閥441、第四流向調(diào)節(jié)閥442。
[0005] 當(dāng)通過該風(fēng)機(jī)420抽吸有機(jī)廢氣進(jìn)入該流通管線400中，且該第二流向調(diào)節(jié)閥432 和第三流向調(diào)節(jié)閥441為關(guān)閉狀態(tài)時，有機(jī)廢氣經(jīng)由第一流向調(diào)節(jié)閥431進(jìn)入第一蓄熱床 412,以供該有機(jī)廢氣經(jīng)由該第一蓄熱床412預(yù)熱后進(jìn)入該燃燒室411中進(jìn)行熱氧化反應(yīng)， 將該有機(jī)廢氣經(jīng)氧化反應(yīng)形成水和二氧化碳等，接著，再將經(jīng)由熱氧化反應(yīng)后的有機(jī)廢氣 流向該第二蓄熱床413及該第四流向調(diào)節(jié)閥442后，經(jīng)由該煙囪450排出至大氣中，且該有 機(jī)廢氣通過該第二蓄熱床413時，將會伴隨著來自該燃燒室411的高溫氣流而將該第二蓄 熱床413加熱。
[0006] 當(dāng)通過該風(fēng)機(jī)420抽吸有機(jī)廢氣進(jìn)入該流通管線400中，且該第一流向調(diào)節(jié)閥431 和第四流向調(diào)節(jié)閥442為關(guān)閉狀態(tài)時，有機(jī)廢氣經(jīng)由第三流向調(diào)節(jié)閥441進(jìn)入第二蓄熱床 413,以供該有機(jī)廢氣經(jīng)由該第二蓄熱床413預(yù)熱后進(jìn)入該燃燒室411中進(jìn)行熱氧化反應(yīng)， 接著，再將經(jīng)由熱氧化反應(yīng)后的有機(jī)廢氣流向該第一蓄熱床412及該第二流向調(diào)節(jié)閥432 后，經(jīng)由該煙囪450排出至大氣中，而該有機(jī)廢氣通過該第一蓄熱床412時，將會伴隨著來 自該燃燒室411的高溫氣流而將該第一蓄熱床412加熱。
[0007] 亦即，通過上述模式切換以供定時切換兩個蓄熱床氣流流動方向，使第一蓄熱床 412及第二蓄熱床413可輪流蓄熱維持高溫，用以預(yù)熱有機(jī)廢氣。然而，由于該雙塔蓄熱式 焚化爐410于切換氣流方向時，該煙肉450出口將會產(chǎn)生一高濃度揮發(fā)性有機(jī)化合物的切 換峰值（如圖2所示），且該雙塔蓄熱式焚化爐410對該有機(jī)廢氣的破壞效率可達(dá)98%以 上，亦即于切換氣流方向時有機(jī)廢氣會直接排到煙肉，以此98%破壞效率預(yù)估，可知此濃度 可以達(dá)到經(jīng)該雙塔蓄熱式焚化爐410處理過排氣的50倍高，其污染的缺失使得其于實用場 合有其不便與困擾。 【實用新型內(nèi)容】
[0008] 有鑒于此，本實用新型的目的是期能提供一種環(huán)保雙塔蓄熱式焚化爐系統(tǒng)，可有 效去除現(xiàn)有雙塔蓄熱式焚化爐裝置因雙塔切換氣流流動方向?qū)е碌奈廴痉逯档哪康模藵?心研思、設(shè)計組制，為本實用新型所欲研創(chuàng)的動機(jī)。
[0009] 為達(dá)上述目的，本實用新型為一種雙塔蓄熱式焚化爐切換峰值削減系統(tǒng)，其包括： 第一管路，輸送第一氣體及第二氣體；風(fēng)車，與該第一管路連接形成風(fēng)壓抽吸該第一管路中 的第一氣體及第二氣體；進(jìn)氣控制閥，設(shè)置于該第一管路上，切換該第一氣體進(jìn)入該第一管 路或一緩沖管路；該緩沖管路，為長條管狀的結(jié)構(gòu)，用以儲存及輸送該第一氣體及該第二氣 體，一端連接該第一管路于該風(fēng)車的出口端與該進(jìn)氣控制閥之間，另一端連接該第一管路 于該進(jìn)氣控制閥與一雙塔蓄熱式焚化爐之間；第二管路，與該緩沖管路連接，用以輸送該第 二氣體；空氣控制閥，設(shè)于該第二管路上，用以控制該第二氣體通過該第二管路進(jìn)入該緩沖 管路中；第三管路，一端連接該第一管路于該風(fēng)車的入口端，另一端與該緩沖管路連接，用 以輸送該第一氣體；該雙塔蓄熱式焚化爐，其包括第一蓄熱床、第二蓄熱床及與該第一蓄熱 床及該第二蓄熱床連接的燃燒室，該雙塔蓄熱式焚化爐與該第一管路連接，高溫燃燒氧化 該第一管路的第一氣體及第二氣體；第四管路，一端連接該雙塔蓄熱式焚化爐，另一端連接 一煙肉，用以排放經(jīng)該雙塔蓄熱式焚化爐處理的第一氣體；第一控制閥組，設(shè)置于該第一 管路及該第四管路與該雙塔蓄熱式焚化爐連接處，以供開關(guān)進(jìn)出該蓄熱式焚化爐氣體的流 向；以及第二控制閥組，設(shè)置于該緩沖管路的兩端。
[0010] 承上所述的雙塔蓄熱式焚化爐切換峰值削減系統(tǒng)，其中，該第一氣體為廢氣，該第 二氣體為來自外部空氣或經(jīng)蓄熱式焚化爐熱氧化處理后的清凈氣體。
[0011] 承上所述的雙塔蓄熱式焚化爐切換峰值削減系統(tǒng)，其中，該緩沖管路的長度直徑 比為10~200,且該緩沖管路形狀為往復(fù)規(guī)則排列或不規(guī)則彎曲方式排列置放。
[0012] 承上所述的雙塔蓄熱式焚化爐切換峰值削減系統(tǒng)，其中，第三管路的直徑為第一 管路直徑的1/5至1/20。
[0013] 承上所述的雙塔蓄熱式焚化爐切換峰值削減系統(tǒng)，其中，該第三管路設(shè)有一廢氣 控制閥，該廢氣控制閥為二通閥。
[0014] 承上所述的雙塔蓄熱式焚化爐切換峰值削減系統(tǒng)，其中，該第一蓄熱床及該第二 蓄熱床還包括蓄熱層，以供填入蓄熱材，所述蓄熱材為規(guī)則結(jié)構(gòu)置放或不規(guī)則排列置放，且 該蓄熱材由陶瓷、金屬、金屬氧化物、礫石或以上的物質(zhì)組合所組成。此外，該蓄熱層還可包 括觸媒材，所述觸媒層排列置放于所述蓄熱材上方。
[0015] 承上所述的雙塔蓄熱式焚化爐切換峰值削減系統(tǒng)，其中，該第一控制閥組還包括 多個流通控制閥，該第二控制閥組還包括多個調(diào)節(jié)控制閥，而所述流通控制閥與所述調(diào)節(jié) 控制閥可為二通閥、三通閥及四通閥的其中一者。