立式外點(diǎn)火裝置的定位機(jī)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種立式外點(diǎn)火裝置的定位機(jī)構(gòu)，其包括上部法蘭盤、下部法蘭盤、底部安裝板、導(dǎo)向軸、調(diào)節(jié)螺柱和鎖緊螺柱。本發(fā)明的上部法蘭盤可以帶動(dòng)加熱器和點(diǎn)火腔室進(jìn)行小范圍的水平方向上的移動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)整；調(diào)整好后，通過調(diào)節(jié)旋鈕實(shí)現(xiàn)上部法蘭盤的徑向和軸向的緊固定位；導(dǎo)向軸、調(diào)節(jié)螺柱和鎖緊螺柱則可以實(shí)現(xiàn)加熱器和點(diǎn)火腔室的軸向移動(dòng)調(diào)整和定位，從而實(shí)現(xiàn)x、y、z三維空間內(nèi)任意方位的定位以及旋轉(zhuǎn)角度的定位。
【專利說明】立式外點(diǎn)火裝置的定位機(jī)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及集成電路制造【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種用于立式熱處理設(shè)備的外點(diǎn)火裝置的定位機(jī)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備中，有一個(gè)外點(diǎn)火裝置與工藝腔室相連，工藝氣體從外點(diǎn)火裝置中的進(jìn)氣管進(jìn)入主工藝腔室，外點(diǎn)火裝置中有加熱器將工藝氣體加熱以及進(jìn)行一定的反應(yīng)，外點(diǎn)火裝置的腔室與工藝腔室通過過渡管相連。
[0003]圖1是現(xiàn)有立式工藝腔室與立式外點(diǎn)火裝置的連接示意圖，如圖1所示，主工藝腔室21與外點(diǎn)火裝置22通過石英過渡管24相連，石英過渡管24與外點(diǎn)火裝置22之間具有石英法蘭連接部25，外點(diǎn)火裝置22包括外點(diǎn)火腔室26和圓環(huán)狀加熱器23。
[0004]熱處理設(shè)備在工作過程中，工藝腔室21和石英過渡管24要保證密封，這樣在石英法蘭連接部25處就要有密封圈進(jìn)行密封，并且要保證兩處的石英法蘭定位精度大，安裝準(zhǔn)確，保證安裝順利以及密封的條件。由于石英材料為脆性材料，不能承受較大變形，因此需要一個(gè)定位機(jī)構(gòu)來移動(dòng)外點(diǎn)火腔室26以達(dá)到良好的定位精度，確保順利安裝以及密封。
[0005]基于不同結(jié)構(gòu)的外點(diǎn)火裝置也有不同的定位機(jī)構(gòu)，目前，基于臥式外點(diǎn)火裝置的臥式定位機(jī)構(gòu)，是采用驅(qū)動(dòng)塊與驅(qū)動(dòng)軸的方式，實(shí)現(xiàn)空間三個(gè)方向上的移動(dòng)調(diào)節(jié)以及定位；而基于立式外點(diǎn)火裝置的立式定位機(jī)構(gòu)，現(xiàn)有技術(shù)未提供有效的機(jī)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明為了解決上述技術(shù)問題，而提供一種立式外點(diǎn)火裝置的定位機(jī)構(gòu)，用以實(shí)現(xiàn)立式外點(diǎn)火裝置的精確定位。
[0007]本發(fā)明提供的立式外點(diǎn)火裝置的定位機(jī)構(gòu)，其包括:
[0008]上部法蘭盤，用于與外點(diǎn)火裝置的加熱器底部固定，其具有第一圓孔，供外點(diǎn)火裝置的進(jìn)氣管穿過，該第一圓孔處向下延伸形成第一圓柱；
[0009]下部法蘭盤，其具有第二圓孔，供外點(diǎn)火裝置的進(jìn)氣管穿過，該第二圓孔處向下延伸形成第二圓柱，供上部法蘭盤的第一圓柱插入，該第二圓柱側(cè)壁還設(shè)有多個(gè)穿入緊固件，用于固定該第一圓柱的位置；
[0010]底部安裝板，固定于外點(diǎn)火裝置上；
[0011]導(dǎo)向軸，固定于下部法蘭盤，并貫穿底部安裝板，使下部法蘭盤可相對(duì)于底部安裝板沿著導(dǎo)向軸上下位移；
[0012]調(diào)節(jié)螺柱，固定于下部法蘭盤并抵貼底部安裝板，或固定于底部安裝板上并抵貼下部法蘭盤，其抵貼處具有調(diào)節(jié)螺母，用于調(diào)節(jié)下部法蘭盤與底部安裝板的間距；
[0013]鎖緊螺柱，固定于下部法蘭盤并貫穿底部安裝板，或固定于底部安裝板上并貫穿下部法蘭盤，其貫穿處具有鎖緊螺母，用于固定下部法蘭盤與底部安裝板的間距。
[0014]進(jìn)一步地，該調(diào)節(jié)螺柱和鎖緊螺柱均與導(dǎo)向軸平行。[0015]進(jìn)一步地，該上部法蘭盤向下設(shè)有數(shù)個(gè)滾輪，該第一圓柱插入第二圓柱并與第二圓柱具有間隙，以使上部法蘭盤能與下部法蘭盤產(chǎn)生水平位移。
[0016]進(jìn)一步地，該滾輪為鋼珠滾輪，并平均分布于上部法蘭盤的下表面，該第一圓柱與第二圓柱的間隙為0.5-5cm。
[0017]進(jìn)一步地，該上部法蘭盤的第一圓柱外壁具有環(huán)形槽，供穿入緊固件穿入。
[0018]進(jìn)一步地，該第二圓柱在對(duì)應(yīng)第一圓柱環(huán)形槽的位置設(shè)有多個(gè)螺紋孔，供穿入緊固件穿入，該穿入緊固件為調(diào)節(jié)旋鈕。
[0019]進(jìn)一步地，該上部法蘭盤和下部法蘭盤分別具有與第一圓孔和第二圓孔相通的長槽口，以便于上部法蘭盤和下部法蘭盤的裝卸。
[0020]進(jìn)一步地，該調(diào)節(jié)螺柱與鎖緊螺柱均固定于下部法蘭盤。
[0021]進(jìn)一步地，該調(diào)節(jié)螺柱與鎖緊螺柱均通過定位銷固定于下部法蘭盤，且該定位銷伸出于下部法蘭盤的上表面，以作為滾輪的限位件。
[0022]進(jìn)一步地，該上部法蘭盤與下部法蘭盤安裝完畢后，該定位銷與相鄰滾輪之間的距離為0.5-5cm。
[0023]本發(fā)明提供的立式外點(diǎn)火裝置的定位機(jī)構(gòu)，具有以下技術(shù)效果:
[0024]1.通過本發(fā)明的定位機(jī)構(gòu)可以實(shí)現(xiàn)外點(diǎn)火腔室在X、y、z三維空間內(nèi)任意方位的定位以及旋轉(zhuǎn)角度的定位；
[0025]2.本發(fā)明的定位機(jī)構(gòu)，通過導(dǎo)向軸、調(diào)節(jié)螺柱、鎖緊螺柱以及穿入緊固件實(shí)現(xiàn)軸向和徑向的定位，定位效果優(yōu)異；
[0026]3.本發(fā)明的定位機(jī)構(gòu)，通過滾輪和定位銷的限位，可使外點(diǎn)火腔室的最大調(diào)節(jié)角度維持在5°以內(nèi)，限位效果優(yōu)異；
[0027]4.本發(fā)明的定位機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡單、安裝方便，不需要工具即可完成定位操作，適于工業(yè)化生產(chǎn)。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0028]為能更清楚理解本發(fā)明的目的、特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)，以下將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的較佳實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述，其中:
[0029]圖1是現(xiàn)有立式工藝腔室與立式外點(diǎn)火裝置的連接示意圖；
[0030]圖2是本發(fā)明定位機(jī)構(gòu)與外點(diǎn)火裝置的連接示意圖；
[0031]圖3是本發(fā)明定位機(jī)構(gòu)第一實(shí)施例的立體圖；
[0032]圖4是本發(fā)明定位機(jī)構(gòu)第一實(shí)施例的立體分解圖；
[0033]圖5是本發(fā)明定位機(jī)構(gòu)第一實(shí)施例中上部法蘭盤的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0034]圖6是本發(fā)明定位機(jī)構(gòu)第一實(shí)施例中下部法蘭盤的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0035]圖7是本發(fā)明定位機(jī)構(gòu)第一實(shí)施例操作過程的俯視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0036]請(qǐng)參閱圖2，本發(fā)明的定位機(jī)構(gòu)27安裝于立式外點(diǎn)火裝置22的加熱器23底部。
[0037]請(qǐng)繼續(xù)參閱圖3至圖6，本實(shí)施例立式外點(diǎn)火裝置的定位機(jī)構(gòu)，其包括:
[0038]上部法蘭盤1，用于與外點(diǎn)火裝置22的加熱器23底部通過螺釘12固定，其具有第一圓孔44，供外點(diǎn)火裝置的進(jìn)氣管穿過，該第一圓孔44處向下延伸形成第一圓柱45，如圖5所示，為了更清晰地顯示上部法蘭盤I的結(jié)構(gòu)，圖5是將圖3和圖4中的上部法蘭盤I上下顛倒后顯示的；
[0039]下部法蘭盤2，其具有第二圓孔54，供外點(diǎn)火裝置的進(jìn)氣管穿過，該第二圓孔54處向下延伸形成第二圓柱55，供上部法蘭盤I的第一圓柱45插入，該第二圓柱55側(cè)壁還設(shè)有三個(gè)調(diào)節(jié)旋鈕11，用于固定該第一圓柱45的位置，如圖6所示；
[0040]底部安裝板3，用于與外點(diǎn)火裝置的底部固定；
[0041]導(dǎo)向軸5，固定于下部法蘭盤2，并貫穿底部安裝板3，使下部法蘭盤2可相對(duì)于底部安裝板3沿著導(dǎo)向軸5上下位移；
[0042]調(diào)節(jié)螺柱7，一端固定于下部法蘭盤2，另一端具有調(diào)節(jié)螺母9并抵貼底部安裝板3，用于調(diào)節(jié)下部法蘭盤2與底部安裝板3的間距，起到軸向調(diào)整的作用，如圖4所示；
[0043]鎖緊螺柱6，固定于下部法蘭盤2并貫穿底部安裝板3，其貫穿處具有鎖緊螺母8，用于固定下部法蘭盤2與底部安裝板3的間距，起到軸向定位的作用，防止裝置的軸向竄動(dòng)，如圖4所示。
[0044]通過這樣的結(jié)構(gòu)設(shè)置，上部法蘭盤I可以帶動(dòng)加熱器和點(diǎn)火腔室進(jìn)行小范圍的水平方向上的移動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)整；調(diào)整好后，通過調(diào)節(jié)旋鈕11實(shí)現(xiàn)上部法蘭盤I的徑向和軸向的緊固定位；導(dǎo)向軸5、調(diào)節(jié)螺柱7和鎖緊螺柱6則可以實(shí)現(xiàn)加熱器和點(diǎn)火腔室的軸向移動(dòng)調(diào)整和定位，從而實(shí)現(xiàn)X、Y、Z三維空間內(nèi)任意方位的定位以及旋轉(zhuǎn)角度的定位。
[0045]本實(shí)施例中，調(diào)節(jié)螺柱7和鎖緊螺柱6均與導(dǎo)向軸5平行，以便精確實(shí)現(xiàn)軸向位移。
[0046]本實(shí)施例中，上部法蘭盤I上平均分布開設(shè)有3個(gè)滾輪通孔43，并向下設(shè)有3個(gè)鋼珠滾輪10，以使得上部法蘭盤I的水平位移更加方便、穩(wěn)定，第一圓柱45的外徑要比第二圓柱55的內(nèi)徑要小一些,使得第一圓柱45插入第二圓柱55之后與第二圓柱55具有平均在2cm左右的間隙，這樣，上部法蘭盤I就能與下部法蘭盤2產(chǎn)生水平的位移。下部法蘭盤2上開設(shè)有3個(gè)軸孔52，分別用于定位安裝導(dǎo)向軸5、調(diào)節(jié)螺柱7和鎖緊螺柱6。
[0047]本實(shí)施例中，上部法蘭盤I的第一圓柱45外壁具有環(huán)形槽42，下部法蘭盤2的第二圓柱55在對(duì)應(yīng)環(huán)形槽42的位置開設(shè)有3個(gè)螺紋孔53，調(diào)節(jié)旋鈕11穿入螺紋孔53并穿入環(huán)形槽42內(nèi)，以實(shí)現(xiàn)徑向和軸向的同時(shí)精確定位。在其他實(shí)施例中，沒有環(huán)形槽，仍然可以實(shí)現(xiàn)上部法蘭盤的徑向定位，但上部法蘭盤可能產(chǎn)生軸向滑動(dòng)。
[0048]本實(shí)施例中，上部法蘭盤I具有與第一圓孔44相通的第一長槽口 41，下部法蘭盤2具有與第二圓孔54相通的第二長槽口 51，安裝后兩個(gè)長槽口位于相同的位置，用于點(diǎn)火腔室的安裝拆卸，給點(diǎn)火腔室的進(jìn)氣管提供安裝空間。在其他實(shí)施例中，沒有該長槽口，則可將法蘭盤從進(jìn)氣管的下端套入安裝。
[0049]本實(shí)施例中，直線軸承4通過螺釘固定在底部安裝板3上，導(dǎo)向軸5貫穿于于直線軸承4上；調(diào)節(jié)螺柱7與鎖緊螺柱6均通過定位銷(未示出)固定于下部法蘭盤2，且該定位銷伸出于下部法蘭盤2的上表面，以作為鋼珠滾輪10的限位件。上部法蘭盤I與下部法蘭盤2安裝完畢后，該定位銷與相鄰鋼珠滾輪之間的距離為2cm左右。
[0050]本實(shí)施例中，底部安裝板3是固定于外點(diǎn)火裝置的底部，在其他實(shí)施例中，底部安裝板亦可以固定于外點(diǎn)火裝置的其他部位，因?yàn)橥恻c(diǎn)火裝置本身是固定不動(dòng)的，只要該底部安裝板與外點(diǎn)火裝置相固定(如底部、側(cè)壁等殼體)，就能保證底部安裝板的固定位置，從而通過調(diào)節(jié)上述機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)加熱器和點(diǎn)火腔室的位移。
[0051]在其他實(shí)施例中，調(diào)節(jié)螺柱亦可固定在底部安裝板上，而將調(diào)節(jié)螺母抵貼下部法蘭盤；鎖緊螺柱亦可固定在底部安裝板上并貫穿下部法蘭盤，而將鎖緊螺母設(shè)于下部法蘭盤的貫穿處。
[0052]操作過程中，將加熱器固定在上部法蘭盤I上，并將上部法蘭盤I通過第一圓柱和第二圓柱放置在下部法蘭盤2之上，使鋼珠滾輪10與下部法蘭盤2的表面接觸抵貼，這樣上部法蘭盤I就可以在鋼珠滾輪10的作用下進(jìn)行小范圍的移動(dòng)以及轉(zhuǎn)動(dòng)了，同時(shí)帶動(dòng)加熱器和點(diǎn)火腔室進(jìn)行小范圍的移動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0053]同時(shí)，擰動(dòng)調(diào)節(jié)螺母9可以使調(diào)節(jié)螺柱7帶動(dòng)下部法蘭盤2上下移動(dòng)，再帶動(dòng)上部法蘭盤I以及加熱器和點(diǎn)火腔室上下移動(dòng)，而導(dǎo)向軸5可以承擔(dān)整個(gè)機(jī)構(gòu)的徑向力，使機(jī)構(gòu)不發(fā)生偏移。
[0054]當(dāng)上下移動(dòng)到指定安裝位置時(shí)，將鎖緊螺母8向下旋緊，與底部安裝板3接觸，就可以使整個(gè)機(jī)構(gòu)在軸向定位，不發(fā)生上下竄動(dòng)；在下部法蘭盤2的螺紋孔53中擰入三個(gè)調(diào)節(jié)旋鈕11，可以將上部法蘭盤I固定住，進(jìn)而將加熱器和點(diǎn)火腔室固定住。
[0055]由于鋼珠滾輪10以及調(diào)節(jié)螺柱7、鎖緊螺柱6和導(dǎo)向軸5的角度設(shè)定，使得調(diào)整螺母9、鎖緊螺母8以及調(diào)節(jié)旋鈕11都有足夠的操作空間。如圖7所示，由于鋼珠滾輪10以及調(diào)節(jié)螺柱7、鎖緊螺柱6和導(dǎo)向軸5的角度設(shè)定，調(diào)節(jié)螺柱7、鎖緊螺柱6頂部的定位銷突出下部法蘭盤2 —定距離(如Icm)，圖中下方兩個(gè)鋼珠滾輪10的上面2cm左右即是調(diào)節(jié)螺柱7和鎖緊螺柱6的定位銷，這樣可以使上部法蘭盤I順時(shí)針或者逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)5°之后就與鋼珠滾輪10發(fā)生接觸，限制其轉(zhuǎn)動(dòng)，這樣可以防止點(diǎn)火腔室的旋轉(zhuǎn)角度過大，對(duì)其造成損傷，起到旋轉(zhuǎn)限位的作用。
【權(quán)利要求】
1.一種立式外點(diǎn)火裝置的定位機(jī)構(gòu)，其特征在于，其包括: 上部法蘭盤，用于與外點(diǎn)火裝置的加熱器底部固定，其具有第一圓孔，供外點(diǎn)火裝置的進(jìn)氣管穿過，該第一圓孔處向下延伸形成第一圓柱； 下部法蘭盤，其具有第二圓孔，供外點(diǎn)火裝置的進(jìn)氣管穿過，該第二圓孔處向下延伸形成第二圓柱，供上部法蘭盤的第一圓柱插入，該第二圓柱側(cè)壁還設(shè)有多個(gè)穿入緊固件，用于固定該第一圓柱的位置； 底部安裝板，固定于外點(diǎn)火裝置上； 導(dǎo)向軸，固定于下部法蘭盤，并貫穿底部安裝板，使下部法蘭盤可相對(duì)于底部安裝板沿著導(dǎo)向軸上下位移； 調(diào)節(jié)螺柱，固定于下部法蘭盤并抵貼底部安裝板，或固定于底部安裝板上并抵貼下部法蘭盤，其抵貼處具有調(diào)節(jié)螺母，用于調(diào)節(jié)下部法蘭盤與底部安裝板的間距； 鎖緊螺柱，固定于下部法蘭盤并貫穿底部安裝板，或固定于底部安裝板上并貫穿下部法蘭盤，其貫穿處具有鎖緊螺母，用于固定下部法蘭盤與底部安裝板的間距。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的立式外點(diǎn)火裝置的定位機(jī)構(gòu)，其特征在于:該調(diào)節(jié)螺柱和鎖緊螺柱均與導(dǎo)向軸平行。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的立式外點(diǎn)火裝置的定位機(jī)構(gòu)，其特征在于:該上部法蘭盤向下設(shè)有數(shù)個(gè)滾輪，該第一圓柱插入第二圓柱并與第二圓柱具有間隙，以使上部法蘭盤能與下部法蘭盤產(chǎn)生水平位移。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的立式外點(diǎn)火裝置的定位機(jī)構(gòu)，其特征在于:該滾輪為鋼珠滾輪，并平均分布于上部法蘭盤的下表面，該第一圓柱與第二圓柱的間隙為0.5-5cm。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的立式外點(diǎn)火裝置的定位機(jī)構(gòu)，其特征在于:該上部法蘭盤的第一圓柱外壁具有環(huán)形槽，供穿入緊固件穿入。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的立式外點(diǎn)火裝置的定位機(jī)構(gòu)，其特征在于:該第二圓柱在對(duì)應(yīng)第一圓柱環(huán)形槽的位置設(shè)有多個(gè)螺紋孔，供穿入緊固件穿入，該穿入緊固件為調(diào)節(jié)旋鈕。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的立式外點(diǎn)火裝置的定位機(jī)構(gòu)，其特征在于:該上部法蘭盤和下部法蘭盤分別具有與第一圓孔和第二圓孔相通的長槽口，以便于上部法蘭盤和下部法蘭盤的裝卸。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的立式外點(diǎn)火裝置的定位機(jī)構(gòu)，其特征在于:該調(diào)節(jié)螺柱與鎖緊螺柱均固定于下部法蘭盤。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的立式外點(diǎn)火裝置的定位機(jī)構(gòu)，其特征在于:該調(diào)節(jié)螺柱與鎖緊螺柱均通過定位銷固定于下部法蘭盤，且該定位銷伸出于下部法蘭盤的上表面，以作為滾輪的限位件。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的立式外點(diǎn)火裝置的定位機(jī)構(gòu)，其特征在于:該上部法蘭盤與下部法蘭盤安裝完畢后，該定位銷與相鄰滾輪之間的距離為0.5-5cm。
【文檔編號(hào)】F23Q13/00GK103925616SQ201410174585
【公開日】2014年7月16日 申請(qǐng)日期:2014年4月28日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月28日
【發(fā)明者】譚瑞雷, 董金衛(wèi) 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司