專利名稱：有機(jī)吸附轉(zhuǎn)輪的熱回收線上清洗設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種清洗設(shè)備，尤其是指一種有機(jī)吸附轉(zhuǎn)輪的熱回收線上清洗設(shè)備。
公知的揮發(fā)性有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)，實(shí)務(wù)操作上有一嚴(yán)重的問題，會(huì)影響降低吸附轉(zhuǎn)輪的效率，即轉(zhuǎn)輪運(yùn)轉(zhuǎn)一段時(shí)間會(huì)積存凝結(jié)狀的揮發(fā)有機(jī)物液，而導(dǎo)致轉(zhuǎn)輪的再生不完全，吸附能力下降，嚴(yán)重則影響轉(zhuǎn)輪壽命，至于為什么會(huì)再轉(zhuǎn)輪表面產(chǎn)生凝結(jié)液態(tài)的原因，推測與下列因素有關(guān)第一、進(jìn)入濃度在時(shí)間上不均勻，有時(shí)高過設(shè)計(jì)吸附濃度，無法負(fù)荷；第二、進(jìn)入轉(zhuǎn)輪氣體濃度不均，使某部分轉(zhuǎn)輪體承受過大負(fù)荷的濃度；第三、有些揮發(fā)性有機(jī)物進(jìn)入時(shí)已經(jīng)冷凝成為液滴狀，進(jìn)入后即附著于轉(zhuǎn)輪表面；第四、再生溫度不足，再生脫附不良，或加熱氣流溫度不均勻，部分區(qū)域溫度過低；第五、有些有機(jī)物是設(shè)計(jì)時(shí)所沒有考慮進(jìn)去的成分，也可能是微量，未予考慮，但累積而成；第六、以及其他等等。但實(shí)務(wù)上追論原因有其困難性，且就是知道原因常常也難以解決，這就造成必須定期去清洗轉(zhuǎn)輪的任務(wù)。而不幸的是，轉(zhuǎn)輪通常都有直徑約三至四米，目前傳統(tǒng)清洗轉(zhuǎn)輪必須停機(jī)然后，由人員進(jìn)入轉(zhuǎn)輪箱體噴水清洗吸附側(cè)，再進(jìn)行烘干轉(zhuǎn)輪，而且洗過的水已受污染不能任意排放，所以，不但有停機(jī)的問題，造成生產(chǎn)線也要停機(jī)，對半導(dǎo)體24小時(shí)生產(chǎn)，這是第一點(diǎn)不能忍受的，又產(chǎn)生的廢水是另一大問題。有如上的問題，對使用維護(hù)者產(chǎn)生極大不便與困擾。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供的一種有機(jī)吸附轉(zhuǎn)輪的熱回收線上清洗設(shè)備，包含一液對氣熱交換器，一水泵，一水箱，一流體控制閥，一逆止閥，一耐溫蒸氣管路，一個(gè)以上的噴嘴頭；清洗液供給是以一水泵與一水箱的組合方式供給，并有一液對氣熱交換器，位于噴嘴頭與逆止閥之間，且具有一個(gè)以上噴嘴頭裝設(shè)于吸附轉(zhuǎn)輪的再生區(qū)側(cè)。
所述的有機(jī)吸附轉(zhuǎn)輪的熱回收線上清洗設(shè)備，其中水箱是圓桶狀、圓球狀或立方體形狀的盛液容器。
所述的有機(jī)吸附轉(zhuǎn)輪的熱回收線上清洗設(shè)備，其中一水泵與一水箱的組合方式是架設(shè)于一定高度的水箱利用重力的給水方式。
所述的有機(jī)吸附轉(zhuǎn)輪的熱回收線上清洗設(shè)備，其中液對氣熱交換器為殼管式。
所述的有機(jī)吸附轉(zhuǎn)輪的熱回收線上清洗設(shè)備，其中清洗液是水或含揮發(fā)性有機(jī)物的水溶液。
所述的有機(jī)吸附轉(zhuǎn)輪的熱回收線上清洗設(shè)備，其中流體控制閥是電磁閥。
所述的有機(jī)吸附轉(zhuǎn)輪的熱回收線上清洗設(shè)備，其中吸附轉(zhuǎn)輪的吸附劑是活性炭或沸石。
如上所述，本實(shí)用新型是一種有機(jī)吸附轉(zhuǎn)輪的熱回收線上清洗設(shè)備，具有改良后的優(yōu)點(diǎn)為1、線上清洗轉(zhuǎn)輪，生產(chǎn)線不必停機(jī)且人員不需進(jìn)入，可設(shè)定為手動(dòng)或自動(dòng)作業(yè)，負(fù)責(zé)維護(hù)的廠務(wù)人員得以簡便操作，定期維護(hù)。
2、可利用本系統(tǒng)行每月保養(yǎng)或隔周保養(yǎng)，維持轉(zhuǎn)輪的高效率運(yùn)轉(zhuǎn)在90％以上。
3、使用熱交換器獲取免費(fèi)熱源加熱生成蒸氣，降低能源消耗及省能源費(fèi)用。
4、使系統(tǒng)排放廢氣溫度下降減少環(huán)境熱污染。
5、可使用年度保養(yǎng)清洗轉(zhuǎn)輪廢水作清洗水的來源，同時(shí)解決清洗廢液的排放處理問題。
6、定期清潔，帶走微粒，防止微粒堵塞及化學(xué)聚合，延長轉(zhuǎn)輪使用壽命。
足見本實(shí)用新型確實(shí)具功效，并改善公知的系統(tǒng)使之有較佳的功能與優(yōu)點(diǎn)，并兼具環(huán)保效果。
具體實(shí)施方式
為明白的說明本實(shí)用新型，特就
如下。
圖1所示為，公知的揮發(fā)性有機(jī)廢氣濃縮焚化處理系統(tǒng)，其中揮發(fā)性有機(jī)廢氣(voc)是通過吸附轉(zhuǎn)輪50的吸附處理側(cè)51，被吸附于涂覆在吸附轉(zhuǎn)輪表面積上的吸附劑，氣流于是成為干凈氣流而可由煙囪90排放，同時(shí)，轉(zhuǎn)輪則連續(xù)以約20rph慢速轉(zhuǎn)動(dòng)，而進(jìn)入氣流的一部份，引導(dǎo)通過吸附式處理設(shè)備的吹凈(purge)側(cè)53，接著被第二熱交換器32加熱到再生溫度，例如190攝氏度，再通過吸附式處理設(shè)備的再生處理側(cè)52，進(jìn)行再生脫附的功能，此時(shí)因被吸附的揮發(fā)性有機(jī)物質(zhì)受熱成功脫附到氣流中，因此得到濃縮到較高濃度的揮發(fā)性有機(jī)氣流。例如，吸附式處理設(shè)備的再生處理側(cè)52面積通常被設(shè)計(jì)成轉(zhuǎn)輪50面積的十二分之一，風(fēng)面比約近于一，所得到濃縮比就在約十一～十二倍左右。得到的濃縮廢氣再通過第一熱交換器31被預(yù)熱，最后送入焚化爐10，有機(jī)氣體被分解及燃燒成為水及二氧化碳為主的物質(zhì)，氣流再經(jīng)過熱交換器31、32回收熱后，并入煙囪90排放到大氣。
圖2為有機(jī)吸附轉(zhuǎn)輪的三個(gè)操作區(qū)域立體示意圖，顯示其立體的區(qū)域劃分情形，并標(biāo)示轉(zhuǎn)輪轉(zhuǎn)動(dòng)方向，如圖，所示為逆時(shí)針方向。
接下來以圖3說明本實(shí)用新型。
本實(shí)用新型主要是一種有機(jī)吸附轉(zhuǎn)輪的熱回收線上清洗設(shè)備，實(shí)用新型主要包含一液對氣熱交換器，一水泵，一水箱，一流體控制閥，一逆止閥，一耐溫蒸氣管路，一個(gè)以上的噴嘴頭。清洗液供給是以一水泵與一水箱的組合方式供給，并有一液對氣熱交換器，位于噴嘴頭與逆止閥之間，且具有一個(gè)以上噴嘴頭裝設(shè)于吸附轉(zhuǎn)輪的再生區(qū)側(cè)。
在圖3中，水箱77用來盛裝清洗液，通常清洗液為水，可由補(bǔ)水管線79，及經(jīng)過補(bǔ)水閥78控制流入水箱。水源可以是自來水，井水，但需要經(jīng)過一些處理，除去傷害轉(zhuǎn)輪吸附劑的成分才行，例如不能有硫酸根離子。由于吸附轉(zhuǎn)輪50至少每年年修都需清洗保養(yǎng)，清洗后的水溶液為廢液，每次產(chǎn)生廢水約三至十公噸，也可倒入用來作本案的清洗液。因?yàn)閱?dòng)本設(shè)備時(shí)，清洗液將經(jīng)由水泵76送出，流體控制閥75將會(huì)打開，使清洗液水，流經(jīng)逆止閥74，進(jìn)入液對氣熱交換器71，液對氣熱交換器71的氣體是來自揮發(fā)性有機(jī)廢氣濃縮焚化處理系統(tǒng)的焚化爐燃燒排氣，雖經(jīng)過公知系統(tǒng)的熱回收后，排氣溫度仍有約240攝氏度，并假設(shè)水溫進(jìn)來為攝氏20度，那么熱交換效率只需37％，出口水溫便可為20+(240-20)×37％＝101.4攝氏度。一大氣壓水的沸點(diǎn)為100攝氏度，若采用殼管式熱交換器效率為50-60％的液對氣熱交換器是可以輕易做到的，并且由于廢氣量相當(dāng)大，舉例以一個(gè)55000NCMH的八寸晶圓廠VOC廢氣排量，保守計(jì)算焚化燃燒的排量約有十三分之一以上，即4230NCMH，所以推到實(shí)務(wù)上可以工程計(jì)算采用適當(dāng)容量的設(shè)計(jì)，使清洗液流過熱交換器71后成為蒸氣型態(tài)。理論上蒸氣的溫度設(shè)計(jì)愈接近190攝氏度再生溫度，則再生效果愈佳。逆止閥74扮演的角色是防止高溫高壓的蒸氣回流，并迫使蒸氣經(jīng)耐溫管路72往噴嘴頭73移動(dòng)，經(jīng)由噴嘴頭73噴出至再生區(qū)52。由于學(xué)理上與轉(zhuǎn)輪制造廠商均指出，吸附轉(zhuǎn)輪的再生以高溫蒸氣再生，將優(yōu)于以熱干空氣的再生方式，水蒸氣并有助于溶解凝結(jié)態(tài)的有機(jī)物，因此本實(shí)用新型的設(shè)計(jì)可以更將轉(zhuǎn)輪再生與清干凈。我們會(huì)將噴嘴頭73放置于再生氣流的入口處，以便蒸氣順流而過清洗轉(zhuǎn)輪。轉(zhuǎn)輪的轉(zhuǎn)速慢，約在每小時(shí)18轉(zhuǎn)，所以清洗液流率的需求不大。例如清洗時(shí)間需求即可設(shè)為轉(zhuǎn)輪轉(zhuǎn)一圈時(shí)間，一圈約需4分鐘；也可設(shè)為8分鐘或12分鐘，依噴水量及有機(jī)物于轉(zhuǎn)輪50的表面積上積存量而決定的。裝設(shè)本實(shí)用新型之后，操作者可以每月定時(shí)進(jìn)行線上不斷線清潔轉(zhuǎn)輪，生產(chǎn)線不必停機(jī)，又操作方便，轉(zhuǎn)輪清洗后效率可迅速提升，保證轉(zhuǎn)輪的高效率運(yùn)轉(zhuǎn)在法規(guī)規(guī)定的90％以上，并因?yàn)榍逑炊〞r(shí)進(jìn)行，可以防止微粒雜質(zhì)進(jìn)入堵塞轉(zhuǎn)輪或防止有機(jī)物累積聚合破壞轉(zhuǎn)輪，而達(dá)到延長使用壽命功效。清洗液經(jīng)過熱回收熱交換器32蒸發(fā)后成為氣態(tài)，便隨廢氣處理系統(tǒng)風(fēng)管進(jìn)入焚化爐10，經(jīng)高溫分解為二氧化碳及水，無害排出，因此清洗液無二次公害。每年年修轉(zhuǎn)輪大保養(yǎng)的清洗廢水液，約三至十公噸，可以引來存放到水箱77，藉著本實(shí)用新型設(shè)備每月的定時(shí)線上清洗而消化處理掉，解決環(huán)保排放困擾。又因?yàn)闊峤粨Q器71回收排出熱氣，使廢氣處理系統(tǒng)排放廢氣溫度下降，亦減少環(huán)境熱污染。
雖然，本發(fā)明以上述實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本實(shí)用新型，任何熟悉此項(xiàng)技藝，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可做些許的更動(dòng)與潤飾，并不因?yàn)榇艘粚?shí)施例所限。
權(quán)利要求1.一種有機(jī)吸附轉(zhuǎn)輪的熱回收線上清洗設(shè)備，包含一液對氣熱交換器，一水泵，一水箱，一流體控制閥，一逆止閥，一耐溫蒸氣管路，一個(gè)以上的噴嘴頭；其特征在于清洗液供給是以一水泵與一水箱的組合方式供給，并有一液對氣熱交換器，位于噴嘴頭與逆止閥之間，且具有一個(gè)以上噴嘴頭裝設(shè)于吸附轉(zhuǎn)輪的再生區(qū)側(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)吸附轉(zhuǎn)輪的熱回收線上清洗設(shè)備，其特征在于其中水箱是圓桶狀、圓球狀或立方體形狀的盛液容器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)吸附轉(zhuǎn)輪的熱回收線上清洗設(shè)備，其特征在于其中一水泵與一水箱的組合方式是架設(shè)于一定高度的水箱利用重力的給水方式。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)吸附轉(zhuǎn)輪的熱回收線上清洗設(shè)備，其特征在于其中液對氣熱交換器為殼管式。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)吸附轉(zhuǎn)輪的熱回收線上清洗設(shè)備，其特征在于其中清洗液是水。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)吸附轉(zhuǎn)輪的熱回收線上清洗設(shè)備，其特征在于其中清洗液是含揮發(fā)性有機(jī)物的水溶液。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)吸附轉(zhuǎn)輪的熱回收線上清洗設(shè)備，其特征在于其中流體控制閥是電磁閥。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)吸附轉(zhuǎn)輪的熱回收線上清洗設(shè)備，其特征在于其中吸附轉(zhuǎn)輪的吸附劑是活性炭或沸石。
專利摘要本實(shí)用新型主要是一種有機(jī)吸附轉(zhuǎn)輪的熱回收線上清洗設(shè)備，包含一液對氣熱交換器，一水泵，一水箱，一流體控制閥，一逆止閥，一耐溫蒸氣管路，一個(gè)以上的噴嘴頭，其特征在于清洗液供給是以一水泵與一水箱的組合方式供給，并有一液對氣熱交換器，位于噴嘴頭與逆止閥之間，且具有一個(gè)以上噴嘴頭裝設(shè)于吸附轉(zhuǎn)輪的再生區(qū)側(cè)。本實(shí)用新型提供有機(jī)廢氣濃縮焚化處理系統(tǒng)的線上清洗轉(zhuǎn)輪，生產(chǎn)線不必停機(jī)且人員不需進(jìn)入，可設(shè)定為手動(dòng)或自動(dòng)作業(yè)，負(fù)責(zé)維護(hù)的廠務(wù)人員輕松愉快，并延長轉(zhuǎn)輪使用壽命。
文檔編號(hào)F23G7/00GK2564246SQ0224236
公開日2003年8月6日 申請日期2002年8月15日 優(yōu)先權(quán)日2002年8月15日
發(fā)明者扶亞民, 鄭石治 申請人:華懋科技股份有限公司