基板輸送裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種基板輸送裝置，該基板輸送裝置能夠從第一輸送單元向第二輸送單元輸送基板，且不會(huì)因?yàn)樵诙鄠€(gè)輸送單元之間產(chǎn)生間隙而導(dǎo)致刻劃后的基板落下或彎曲。第一輸送單元(14)由三根平皮帶(14a～14c)構(gòu)成，第二輸送單元(15)由四根平皮帶(15a～15d)構(gòu)成。這些平皮帶配置為其一部分從側(cè)面觀察彼此重疊。由此，通過(guò)使第一輸送單元、第二輸送單元(14、15)同步地進(jìn)行動(dòng)作，能夠使基板(30)不脫落地從第二輸送單元(15)輸送到第一輸送單元(14)。
【專利說(shuō)明】
基板輸送裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及輸送脆性材料基板的基板輸送裝置，尤其涉及向刻劃裝置、切割裝置輸送基板的基板輸送裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在為了脆性材料基板例如平板顯示面板等面板的單位基板而將母基板分?jǐn)嗖⒓庸さ姆謹(jǐn)嘌b置中，使用在基板上形成劃線的刻劃裝置、和將刻劃后的基板切割的切割(文V彳夕)裝置。而且，使用為了將基板輸送到刻劃裝置、或者從刻劃裝置輸送至切割裝置而具有多個(gè)基板輸送單元的基板輸送裝置。
[0003]在專利文獻(xiàn)I中，示出了使刻劃頭下降并進(jìn)行按壓，在將母基板朝向相同方向輸送的同時(shí)進(jìn)行刻劃的刻劃裝置。在這樣的刻劃裝置中，為了搬入或者搬出基板而設(shè)有多個(gè)輸送單元，每個(gè)輸送單元在不同的時(shí)機(jī)輸送基板。
[0004]圖1是示出上述現(xiàn)有的刻劃裝置的一個(gè)例子的立體圖。如圖1所示，在刻劃裝置100中，第一輸送單元101、第二輸送單元102、刻劃處理部103、第三輸送單元104在y軸方向上相鄰設(shè)置，進(jìn)而，在第二輸送單元102與第三輸送單元104之間設(shè)有吸附工作臺(tái)105。另外，在第一輸送單元101的右側(cè)的下游方向設(shè)有未圖示的切割裝置。第一輸送單元101、第二輸送單元102需要在彼此不同的時(shí)機(jī)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，因而作為輸送單元被分別構(gòu)成。
[0005]并且，在第三輸送單元104和第二輸送單元102從上游向下游、即向y軸方向輸送基板110的同時(shí)，并將刻劃輪按壓到基板的單面或兩面上，從而形成劃線。
[0006]在先技術(shù)文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)
[0008]專利文獻(xiàn)I:日本特開(kāi)2013-14488號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009 ]發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題
[0010]然而，近年來(lái)基板的小型化、薄型化不斷發(fā)展。因此，如圖2所示，當(dāng)將小且薄的基板從一個(gè)輸送單元轉(zhuǎn)移至另一個(gè)輸送單元時(shí)，有時(shí)在輸送單元之間，如圖2的(a)所示小的基板會(huì)落下、或者如圖2的(b)所示薄的基板會(huì)彎曲。另外，在輸送的基板為形成有用于使端子部分露出的劃線的粘合基板的情況下，也存在如圖2的(C)所示僅覆蓋端子部分的端構(gòu)件從兩個(gè)輸送單元的間隙落下，有可能對(duì)輸送裝置、后續(xù)的刻劃裝置造成不良影響這一問(wèn)題點(diǎn)。
[0011]本發(fā)明是著眼于上述現(xiàn)有的問(wèn)題點(diǎn)而作成的，其目的在于，在從一個(gè)輸送單元向另一個(gè)輸送單元轉(zhuǎn)移基板時(shí)，基板也不會(huì)脫落或彎曲，能夠正常地輸送基板。
[0012]用于解決技術(shù)問(wèn)題的方案
[0013]為了解決該問(wèn)題，本發(fā)明的基板輸送裝置具備:第一輸送單元，從上游向下游輸送被載置的基板；以及第二輸送單元，與所述第一輸送單元的上游側(cè)相鄰設(shè)置，且在與所述第一輸送單元相同的方向上輸送所述基板，所述第一輸送單元的上游側(cè)端部和所述第二輸送單元的下游側(cè)端部以從側(cè)面觀察重疊的方式而配置。
[0014]在此，所述第一輸送單元和所述第二輸送單元可以分別具有多個(gè)輸送構(gòu)件，并且在所述第一輸送單元的上游側(cè)端部與所述第二輸送單元的下游側(cè)端部重疊的部分中，所述第一輸送單元的輸送構(gòu)件與所述第二輸送單元的輸送構(gòu)件交替配置。
[0015]在此，所述第一輸送單元和所述第二輸送單元各自的所述多個(gè)輸送構(gòu)件可以是平帶。
[0016]在此，所述第二輸送單元的上游設(shè)有在所述基板上形成劃線的刻劃單元，所述基板輸送裝置可以通過(guò)所述第一輸送單元和所述第二輸送單元輸送利用該刻劃單元形成有劃線的所述基板。
[0017]在此，所述基板輸送裝置還可以包括在所述刻劃單元的上游側(cè)的、將所述基板從上游向下游輸送的第三輸送單元。
[0018]發(fā)明效果
[0019]根據(jù)具有上述特征的本發(fā)明，能夠得到下述效果:即使是小的基板、薄的基板，在從一個(gè)輸送單元向另一輸送單元輸送基板時(shí)也能夠進(jìn)行轉(zhuǎn)移，且基板不會(huì)脫落或彎曲、端構(gòu)件不會(huì)落下。
【附圖說(shuō)明】
[0020]圖1是示出現(xiàn)有的刻劃裝置的一個(gè)例子的立體圖。
[0021]圖2的(a)至(C)是示出從輸送單元轉(zhuǎn)移基板時(shí)的狀態(tài)的概略圖。
[0022]圖3的(a)和(b)是示出本實(shí)施方式的基板輸送裝置的一個(gè)例子的俯視圖和側(cè)視圖。
[0023]圖4的(a)和(b)是示出本發(fā)明的實(shí)施方式的基板輸送裝置的基板的輸送過(guò)程(之一)的俯視圖。
[0024]圖5的(a)和(b)是示出本發(fā)明的實(shí)施方式的基板輸送裝置的基板的輸送過(guò)程(之二)的俯視圖。
[0025]圖6是本發(fā)明的實(shí)施方式的變形例的基板輸送裝置的俯視圖。
[0026]圖7是本發(fā)明的實(shí)施方式的另一變形例的基板輸送裝置的俯視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0027]首先，對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的基板輸送裝置10進(jìn)行說(shuō)明。如圖3的(a)的俯視圖、圖3的(b)的側(cè)視圖所示，基板輸送裝置10在y軸方向上平行的一對(duì)框架11、12之間具有臺(tái)座13，在臺(tái)座13上設(shè)有第一輸送單元14，和在該第一輸送單元14的上游側(cè)設(shè)有第二輸送單元15。此外，在圖3的(b)中，省略了框架11、12和臺(tái)座13而示出。如圖3的(a)所示，第一輸送單元14由三根作為輸送構(gòu)件的平皮帶14a、14b、14c構(gòu)成。這些平皮帶設(shè)置為在y軸方向上平行地相隔一定間隔。另外，第二輸送單元15由設(shè)置為在y軸方向上平行地相隔一定間隔的四根平皮帶15a、15b、15c、15d構(gòu)成。這些平皮帶的上表面在相同平面上。另外，如圖3的(a)所示，構(gòu)成為各根平皮帶的一部分從X軸方向觀察重疊。即，構(gòu)成為:平皮帶14a的左端進(jìn)入平皮帶15a、15b的右端之間、平皮帶14b的左端進(jìn)入平皮帶15b、15c的右端之間，平皮帶14c的左端進(jìn)入平皮帶15c、15d的右端之間。
[0028]另外，在第二輸送單元15的上游側(cè)設(shè)有橫梁(t''一Λ)16，橫梁16朝下設(shè)有多個(gè)旋轉(zhuǎn)自由的刻劃頭，且該多個(gè)刻劃頭沿橫梁16自由移動(dòng)。該刻劃頭在由輸送單元輸送基板過(guò)程中在y軸方向上進(jìn)行刻劃，另外，在輸送停止中，通過(guò)使刻劃頭沿橫梁16移動(dòng)，從而能夠在X軸方向上進(jìn)行刻劃。
[0029]接著，在刻劃用的橫梁16的上游側(cè)設(shè)有吸附工作臺(tái)17。吸附工作臺(tái)17在其表面上設(shè)有多個(gè)吸引孔18。吸引孔18經(jīng)由預(yù)定的吸引路徑而與設(shè)置于刻劃裝置外部的栗等吸引構(gòu)件連接。吸附工作臺(tái)17是通過(guò)以在上表面上載置有基板的狀態(tài)驅(qū)動(dòng)吸引構(gòu)件而從吸引孔18吸入空氣、并通過(guò)負(fù)壓吸附并固定基板的工作臺(tái)。
[0030]并且，在該吸附工作臺(tái)17的上游側(cè)設(shè)有第三輸送單元20ο該第三輸送單元20由設(shè)置為在y軸方向上平行地相隔一定間隔的四根平皮帶20a、20b、20c、20d構(gòu)成。在此，第一輸送單元?第三輸送單元14、15、20構(gòu)成為:通過(guò)未圖示的控制器分別在相同或不同的時(shí)機(jī)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。
[0031]接著，對(duì)基板輸送裝置10的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。首先，當(dāng)對(duì)基板30進(jìn)行刻劃時(shí)，將基板30載置于圖4的(a)所示的臺(tái)座13上設(shè)置的第三輸送單元20、即平皮帶20a?20d上。然后，如圖4的(b)所示，使第二輸送單元、第三輸送單元15、20同步地進(jìn)行動(dòng)作而在y軸方向上輸送基板30，并將未圖示的刻劃頭按壓到基板30上，從而能夠形成在y軸方向上平行的劃線。此時(shí)，在刻劃頭為多個(gè)的情況下，能夠平行地形成多條劃線。
[0032]接著，在使基板30朝向-y軸方向移動(dòng)而返回到第三輸送單元20上之后，使刻劃頭沿橫梁16在X軸方向上移動(dòng)，從而能夠形成在X軸方向上平行的劃線。其后，暫時(shí)解除吸附，使基板30在y軸方向上移動(dòng)預(yù)定距離后，再次使刻劃頭沿橫梁16在X軸方向上移動(dòng)。通過(guò)反復(fù)進(jìn)行這樣的處理，能夠形成多條在X軸方向上平行的劃線。此時(shí)，第二輸送單元和第三輸送單元15、20同步地朝向y軸方向或-y軸方向輸送基板30。由此，若在基板上形成呈網(wǎng)格狀地劃線，則刻劃工序結(jié)束。
[0033]在刻劃工序結(jié)束后，為了將基板30輸送至y軸方向下游的未圖示的切割裝置中，而使第二、第三輸送單元15、20以相同速度進(jìn)行動(dòng)作。然后，若在如圖5的(a)所示基板30完全地轉(zhuǎn)移到第二輸送單元15的平皮帶15a?15d上，則停止第三輸送單元20。接著，使第一輸送單元、第二輸送單元14、15以相同速度進(jìn)行動(dòng)作，并在y軸方向上輸送基板30。此時(shí)，平皮帶15a?15d和14a?14d的一部分從X軸方向觀察下重疊，且上表面也一致，因此，刻劃完成的基板30在從第二輸送單元15轉(zhuǎn)移至第一輸送單元14上時(shí)不會(huì)出現(xiàn)脫落或彎曲。另外，即使端子部分在已經(jīng)完全地分離的情況下也不會(huì)脫落，且能夠使基板30轉(zhuǎn)移到第一輸送單元14上。然后，若在如圖5的(b)所示基板30完全地載置于第一輸送單元14的平皮帶14a?14c上，則停止第二輸送單元15。
[0034]此外，在該實(shí)施方式中，將第一輸送單元14的輸送構(gòu)件設(shè)為三根平皮帶，將第二輸送單元15的輸送構(gòu)件設(shè)為四根平皮帶，但并不限定于該數(shù)量。例如如圖6的變形例所示，也可以由平皮帶14a?14d構(gòu)成第一輸送單元，由平皮帶15a?15c構(gòu)成第二輸送單元。另外，平皮帶的寬度也可以不同。例如如圖7所示，也可以利用寬幅的平皮帶14f、15f構(gòu)成第一輸送單元14、第二輸送單元15中的任意一個(gè)，并在平皮帶14f、15f的周圍配置其它的平皮帶14e、14g、15e、15g。
[0035]另外，在該實(shí)施方式中，將輸送單元的輸送構(gòu)件由平皮帶而構(gòu)成，但也可以是其它的輸送構(gòu)件。也可以采用例如構(gòu)成為滾輪的上部稍微露出于表面，且通過(guò)使各滾輪同步旋轉(zhuǎn)而輸送基板的輸送單元。
[0036]進(jìn)而，在該實(shí)施方式中，對(duì)刻劃裝置中安裝有第一輸送單元、第二輸送單元的構(gòu)成進(jìn)行了說(shuō)明，但是只要如圖3所示配置為第一輸送單元14的左端與第二輸送單元15的右端從X軸方向觀察重疊即可，且并非僅適用于刻劃裝置。
[0037]工業(yè)上的可利用性
[0038]本發(fā)明能夠有效地適用于基板的刻劃裝置、切割裝置。
[0039]符號(hào)說(shuō)明
[0040]10輸送裝置[0041 ] 11、12 框架
[0042]13臺(tái)座
[0043]14第一輸送單元
[0044]14a?14g平皮帶
[0045]15a?15g平皮帶
[0046]15第二輸送單元
[0047]16橫梁
[0048]17吸附工作臺(tái)
[0049]18吸引孔
[0050]20第三輸送單元[0051 ] 20a、20b、20c、20d 平皮帶
[0052] 30 基板
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種基板輸送裝置，包括: 第一輸送單元，從上游向下游輸送被載置的基板；以及 第二輸送單元，與所述第一輸送單元的上游側(cè)相鄰設(shè)置，且在與所述第一輸送單元相同的方向上輸送所述基板， 所述第一輸送單元的上游側(cè)端部和所述第二輸送單元的下游側(cè)端部以從側(cè)面觀察重疊的方式而配置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板輸送裝置，其中， 所述第一輸送單元和所述第二輸送單元分別具有多個(gè)輸送構(gòu)件，并且在所述第一輸送單元的上游側(cè)端部與所述第二輸送單元的下游側(cè)端部重疊的部分中，所述第一輸送單元的輸送構(gòu)件與所述第二輸送單元的輸送構(gòu)件交替配置。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板輸送裝置，其中， 所述第一輸送單元和所述第二輸送單元各自的所述多個(gè)輸送構(gòu)件是平帶。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板輸送裝置，其中， 所述第二輸送單元的上游設(shè)有在所述基板上形成劃線的刻劃單元，所述基板輸送裝置通過(guò)所述第一輸送單元和所述第二輸送單元輸送利用該刻劃單元形成有劃線的所述基板。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板輸送裝置，其中， 所述基板輸送裝置還包括在所述刻劃單元的上游側(cè)的、將所述基板從上游向下游輸送的第三輸送單元。
【文檔編號(hào)】B65G49/06GK106044220SQ201610024342
【公開(kāi)日】2016年10月26日
【申請(qǐng)日】2016年1月14日 公開(kāi)號(hào)201610024342.6, CN 106044220 A, CN 106044220A, CN 201610024342, CN-A-106044220, CN106044220 A, CN106044220A, CN201610024342, CN201610024342.6
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