專利名稱：剝離膜方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及疊置在印刷電路板之類的載體上的剝離膜方法及裝置。
電子設(shè)備中使用的印刷電路板包括絕緣底板和布線。布線是在絕緣底板的任何一面或兩個面上用如銅的金屬材料制成的，并具有給定的圖形。這類印刷電路板是用以下的工藝制成的。
由光敏樹脂(光刻膠)層和透光樹脂膜(保護膜)構(gòu)成的疊層件，是通過壓輥在絕緣底板上設(shè)置的導(dǎo)電層上熱壓構(gòu)成的。隨后，再將布線圖形膜放置在構(gòu)成的疊層構(gòu)件上，并使光刻膠層通過布線圖形膜和透光樹脂膜曝光，經(jīng)過給定的時間周期。剝掉透光樹脂膜之后，使已曝光的光刻膠層顯影。由此形成刻蝕掩模圖形。然后，刻蝕掉不需要的導(dǎo)電層部分。因而，形成了具有給定布線圖形的印刷電路板。
通常，有許多方法和裝置用于在印刷電路板制造工藝中自動剝離上述的保護膜。例如，日本專利(特許)公開平成6-3550中公開了一種薄膜剝離裝置，它包括一個浮起裝置，用該浮起裝置的振動器的振動棒拍擊疊層薄膜(由分別設(shè)置在印刷電路板上的刻膠光層和透光膜構(gòu)成)的端部，由此，使透光膜從光刻膠層上浮起。
當(dāng)兩個疊層薄膜分別放在印刷電路板的正表面和背面時，按相同的方式，在印刷電路板的正面和背面分別設(shè)置兩個振動棒，使其彼此相對。因此，振動棒的引出端通過疊層薄膜同時拍擊印刷電路的正面和背面。印刷電路板從正面和背面受到相同的力。由此防止印刷電路板變形。
然而，如上所述，當(dāng)兩個疊層薄膜覆蓋在印刷電路板的正面和背面時，覆蓋位置可以彼此相對變化。這時，會在印刷電路板的推進方向上的疊層薄膜端部位置出現(xiàn)與其剝離位置有關(guān)的問題。為了吸收能預(yù)知的那么大的變化，期望用一個相當(dāng)大的打擊將振動棒的引出端從相互移動膜的端部位置上移開，用棒的引出端可靠地拍擊疊層薄膜的端部。由此，使保護膜浮起。
這時，用傳感器檢測疊層薄膜的端部位置，以確定振動器的振動棒所加振動的起始點。然而，若起始點非?？拷∷㈦娐钒宓耐七M方向上的引出端、則振動棒的引出端可在偏離該電路板處拍擊電路板。這會引起兩個振動棒的引出端彼此無用的敲打而使振動棒自己損壞。
為一對振動棒，如上述常規(guī)剝離裝置中一樣，以彼此相對的方式，設(shè)置在薄膜電路板的下面和背面上時，那末，也會引起電路板變形。因此，必須按相當(dāng)高的精度來設(shè)置上下兩個振動棒的位置。
本發(fā)明克服上述常規(guī)剝離膜方法和裝置中存在的缺陷。本發(fā)明的目的是提供一種膜的剝離方法和裝置，以防止由于振動棒相互敲打而造成正面和背面振動棒的損壞，甚至在振動棒所加的振動范圍大時，也能防止振動棒的損壞，也允許在設(shè)定階段內(nèi)使振動器的棒端位置之間可以移位。
為實現(xiàn)上述目的，按本發(fā)明，提供了一種剝離膜方法，其中兩種疊層薄膜，分別由覆蓋在印刷電路板的正面和背面的光刻膠層和透光膜構(gòu)成，兩個振動器，每個包括以這樣方式分別設(shè)置在印刷電路板上、下面的振動棒，使得振動棒分別從印刷電路板的正面和背面圍繞印刷電路板，并使振動棒的引出端以電路板位于其間而彼此相對地設(shè)置，振動棒的振動加到覆蓋在電路板的正面和背面上的各個疊層薄膜的端部，由此，使透光膜的一部分從相應(yīng)的光刻膠層浮起，并且，將透光膜從透光膜的浮起的部分剝落，該方法包括下列步驟設(shè)定正面和背面振動棒引出端相對于電路板的位置，以使振動棒沿著電路板表面相互偏位。背面和正面的承托件分別放置在通過電路板和疊層薄膜的分別對著正面振動棒引出端和背面振動棒引出端的位置，背面和正面承托件沿著電路板和兩個疊層薄膜分別與所述的相互面對的正面和背面振動棒引出端同步移動。
振動棒引出端加到疊層薄膜上的振動運動的起始點可以分別設(shè)定為電路板正面和背面上的疊層薄膜的端部、并與相鄰的電路板的端緣隔開，正面和背面振動棒引出端以及背面和正面承托件可以從加到疊層薄膜上的振動運動的起始點移開一個給定的距離。而且，背面和正面的承托件可以是在振動棒移動方向與疊層薄膜接觸的可滾動的輥子。
此外，為實現(xiàn)上述目的，按本發(fā)明，提供了一種剝離膜裝置，它包括膜浮起裝置，兩個疊層薄膜，每個由光刻膠層和透光層組成，分別覆蓋在電路板的正面和背面之后，包括振動棒的兩個振動器按這樣的方式分別放置在電路板的上邊和下邊，它們分別從電路板的正面和背面圍繞電路板，并且，振動棒的引出端以電路板位于其間而彼此相對地設(shè)置。使振動棒的振動運動加在分別覆蓋在印刷電路板正面和背面上的疊層薄膜的端部、由此，使透光膜的一部分從它們各自的光刻膠層上浮起，用于剝離透光膜的浮起部分的膜剝離膜裝置，其中，設(shè)定正面和背面振動棒引出端相對于電路板的位置，以使它們沿電路板表面彼此偏位，而且，膜剝離裝置中還包括分別設(shè)置在通過電路板和疊層薄膜對著正面和背面振動棒引出端的位置上的背面和正面的承托用件，該承托件與電路板和疊層薄膜接觸并沿著它們與相對的正面和背面振動棒的引出端同步移動。
按照本發(fā)明，用背面和正面振動器的支承件分別支承背面和正面的承托件。可以用硬橡膠構(gòu)成背面和正面的承托件，該承托件也可以是輥子。
膜浮起裝置可以是包括棒運動裝置的結(jié)構(gòu)，棒運動裝置在電路板的推進方向相對移動正面和背面的振動棒引出端。此外，膜浮起裝置可以包括膜引出端傳感器和控制裝置。膜引出端傳感器分別檢測電路板推進方向的正面和背面疊層薄膜的引出端。檢測裝置根據(jù)膜引出端傳感器的輸出信號檢測在推進方向上與電路板引出端隔開的原有的疊層薄膜的引出端，并將棒移動裝置控制在被檢測的引出端的正面和背面的棒引出端位置，并將它們從電路板推進方向中的位置移開給定距離。
每個疊層薄膜傳感器包括一對導(dǎo)電接點，它們在電路板的寬度方向上相互隔開，并能與電路板表面和分別覆蓋在電路板上的疊層薄膜接觸。當(dāng)該對導(dǎo)電接點分別與設(shè)置在電路板表面上的導(dǎo)電層接觸時，疊層薄膜傳感器掠過疊層薄膜上，當(dāng)導(dǎo)電接點斷開時，輸出薄膜檢測信號。
按本發(fā)明的方法，當(dāng)用振動棒的引出端拍擊疊層薄膜時，背面和正面的承托件用作接收件。由于背面和正面的承托件分別位于通過疊層薄膜和電路板與正面和背面振動棒引出端相對的位置，甚至當(dāng)正面和背面振動棒的引出端位放置成在沿電路板表面彼此偏位，并用偏位的引出端在不同位置拍擊電路板的正面和背面，電路板也不會變形。當(dāng)設(shè)定正面和背面振動棒引出端的位置時，允許它們的位置之間有一些差別。而且，由于正面和背面振動棒引出端不是彼此相對，甚至當(dāng)振動棒引出端從電路板上滑脫時，它們也不會彼此無用地拍擊而造成相互損壞。
甚至電路板上的正面和背面的疊層薄膜端部的位置相互之間有很大差別時，仍能可靠地剝離該膜。
若承托件是在棒移動方向上能滾動接觸的輥，承托件不會在運動中磨損該膜。而且，當(dāng)承托件與相應(yīng)的棒引出端直接接觸并相對于該棒引出端滾動時，承托件不會為棒引出端拍擊的同樣位置，因而，損壞很小。
按本發(fā)明的裝置，即使正面和背面棒引出端的位置相互偏位，電路板也不會變形。因此，可以允許正面和背面棒引出端的位置偏移。而且，即使棒在脫離電路板的位置振動，正面和背面棒引出端將不會彼此無用地相互拍打而造成彼此損壞。
若正面和背面棒同步運動，那么背面和正面承托件與它們一起運動，因此，背面和正面承托件總是分別位于與相應(yīng)的正面和背面棒引出端相對的位置。
若用硬橡膠構(gòu)成承托件，它們能緩沖相對的棒引出端沖擊。而且，由于它們與電路板和疊層薄膜表面接觸，與它們各自對著的棒引出端之間的某些位置差異是可以允許的。
若正面和背面承托件是輥子，當(dāng)棒運動時，它們不會磨損膜表面。而且，當(dāng)無用地拍擊時，棒引出端不會重復(fù)地拍打同一位置。因此，承托件受的損壞很小。
用棒移動裝置可以使與它們相對的棒引出端和承托輥規(guī)定在覆蓋在電路板上的疊層薄膜的任何位置上。甚至當(dāng)正面和背面疊層薄膜之間的覆蓋位置不同時，也能使棒引出端可靠地運行，而使薄膜浮起。
用膜引出端傳感器檢測正面和背面疊層薄膜的引出端位置。用與電路板的引出端隔開的一個引出端作為基準(zhǔn)，確定正面和背面棒引出端的位置。在控制裝置的控制下，使正面和背面引出端在給定范圍內(nèi)運動，同時，它們拍擊正面和背面的疊層薄膜，由此，可靠地浮起膜。
當(dāng)給疊層薄膜傳感器中設(shè)置的一對導(dǎo)電接點移動在疊層薄膜上時，可檢測疊層薄膜的引出端。


圖1是按本發(fā)明的剝離膜裝置的實施例的主要部分放大側(cè)視圖；圖2是本發(fā)明的上述實施例的剝離膜裝置的后視圖；圖3是相應(yīng)于圖2所示III-III線部分的側(cè)視圖；圖4是在傳感器周圍的上述剝離膜裝置的部分側(cè)視圖；圖5是上述實施例中用的薄膜引出端傳感器的放大透視圖；和圖6A至6E是展示上述薄膜引出端傳感器的操作的總剖視圖。
現(xiàn)在，將參考附圖，對本發(fā)明的膜剝離方法和裝置的實施例如下說明。
按圖1所示的本實施例，提供一種剝離膜裝置10，其中，有兩個疊層薄膜12A，12B，每個疊層膜由光刻膠層11A和透光樹脂膜11B構(gòu)成，分別覆蓋在電路板14的正面和背面，以沿著通路14A推進。一對正面和背面振動器16A和16B，分別包括正面和背面棒18A和18B，分別位于電路板14的上面和下面，設(shè)置的方式是使它們分別從電路板14的正面和背面圍繞電路板。正面和背面棒18A和18B的引出端以電路板14位于它們之間的彼此相對地設(shè)置。剝離裝置10包括膜浮起裝置20，它將正面和背面棒18A，18B的振動運動加到正面和背面迭層薄膜12A，12B的端部，由此，使透光樹脂11B的一部分從光刻膠層11A浮起，剝離膜裝置22用于剝離透光樹脂膜11B的已浮起部分。而且，按本剝離膜裝置10，正面和背面棒18A，18B的引出端相對于電路板14的位置設(shè)置在電路板14的寬度方向上，沿電路板14的表面彼此偏離，并垂直于電路板14的推進方向。
背面承托輥24B和正面承托輥24A分別位于通過電路板14和兩上疊層薄膜12A，12B與正面和背面棒18A和18B相對的位置。這些輥子與彼此相對的正面和背面輥18A和18B同步地，與電路板14和疊層薄膜12A滾動接觸并沿著它們運動。用正面振動器16A的支撐件26A支撐正面承托輥24A，用背面振動器16B的支撐件26B支撐背面?zhèn)溆幂?4B。用硬橡膠環(huán)構(gòu)成每個正面和背面承托輥24A，24B，硬橡膠環(huán)可轉(zhuǎn)動地支撐在垂直于電路板14的推進方向的方向上伸出的轉(zhuǎn)軸上。
以相同方式分別位于圖1中上、下的兩個膜剝離裝置22與正面和背面振動器16A、16B對應(yīng)，并分別包括空氣噴咀22A、22B，每個噴咀有平的和扇形的引出端部分?？諝鈬娋?2A、22B分別固定至支撐件26A、26B上，并按空氣噴咀的軸分別外切正面和背面?zhèn)溆幂?4A和24B的弧的方式定位于電路板14的通路14A的各邊上。通氣管25A、25B用于分別給空氣噴咀22A、22B提供氣壓。
用支撐件26A和26B通過支撐架28A和28B分別支撐正面和背面承托輥24A和24B。支撐架28A、28B分別包括與棒18A、18B的軸平行延伸的細長孔29。支撐架28A、28B用設(shè)置在棒支撐件26A、26B中的螺栓27嵌入細長孔29中。由此可在棒軸方向任意調(diào)節(jié)支撐架28A、28B的位置。
棒支撐件26A，26B均被支撐成通過垂直延伸的直導(dǎo)軌30A、30B能在垂直方向上任意調(diào)節(jié)。直導(dǎo)軌30A、30B分別安裝成其固定側(cè)件31分別固定在橫梁32A、32B上，并且，其垂直的可移動件33分別可滑動地支撐在固定側(cè)件31上，分別用彈簧34A、34B向上頂住它們。
橫梁32A、32B分別水平安裝在通路14A的上面和下面，并與電路板14的引出端平行。橫梁32A、32B的兩端在其長度方向上從裝置的右側(cè)壁和左側(cè)壁35伸出，因此，如圖2和3所示。橫梁32A、32B在其伸出端分別連接到上面和下面的齒條36A和36B上端和下端。
上面的和下面的齒條36A和36B分別與齒輪38嚙合，齒輪38與通過線路14A處于同一水平位置，這樣，它們能在與通路14A垂直的方向上并且同步地接近或離開通路14A。更具體地說，氣動缸40連接到上面的齒條36A，并用儲氣筒40通過上面的橫梁32A驅(qū)動上面的齒條36A，下面的齒條36B通過齒輪38與上面的齒條36A同時被驅(qū)動。上面的齒條36A，下面的齒條36B，齒輪38和氣動缸40分別位于上面的和下面的橫梁32A、32B的兩端，并安裝成能與其左、右部分同步地垂直移動橫梁32A、32B，并同時保持其水平狀態(tài)。
此外，每個橫梁32A、32B均設(shè)置一對左、右的正面振動器16A，一對左右的背面振動器16B，一對左右的正面承托輥24A，一對左右的背面承托輥24B。每個振動器上安裝兩個空氣噴咀22A，和兩個空氣噴咀22B。因此，按本實施例的結(jié)構(gòu)，一個承托輥和兩個空氣噴咀可以隨一個振動器一起運動。
圖2和3中，數(shù)字40A和40B分別指示垂直延伸的導(dǎo)桿，它們可滑動地延伸通過橫梁32A、32B，以對它們定向。用可動的滑塊42支撐的導(dǎo)桿40A和40B別穿過固定塊41A和41B可動滑塊43支撐更上面和下面的齒條36A、36B，齒輪38，導(dǎo)桿40A、40B。該滑塊42也被支撐成使得其可沿設(shè)置在側(cè)壁35外邊上的導(dǎo)軌46A和設(shè)置在側(cè)壁35的部分中的導(dǎo)軌46B平行于通路14A移動。而且，在上面的導(dǎo)軌46A中，按與可動滑塊42相同的能平行于通路14A移動的方式，設(shè)置第二個可動滑塊48。
第二個可動滑塊48的下端與饋送電路板14的輸送滾輪50運行連接的小齒輪50A嚙合，并接到由小齒輪50A驅(qū)動的水平延伸齒條52，由此，第二個可動滑塊48與輸送滾輪50輸送的電路板14同步推進。第二可動滑塊48中，設(shè)置有一個氣動缸54，氣動缸54包括與可動滑塊42連接的桿54A。氣動缸54允許可動滑塊42沿著通過線路14A在給定范圍內(nèi)相對第二個可動滑塊48移動。用圖3中所示控制裝置56控制氣動缸54來控制可動滑塊42與第二可動滑塊48之間的相對位置。安裝在側(cè)壁44的邊上的第二儲氣筒58的桿58A連接到第二可動滑塊48。因此，用第二氣動缸58可使第二可動滑塊48沿通路14A與齒條52一起往復(fù)移動。因此，用第二氣動缸58通過齒條52和小齒輪50A48同步地驅(qū)動電路板14與第二可動滑塊。
有關(guān)剝離膜工作完成，輸送出電路板之后，第二氣動缸58使齒條52和第二可動滑塊48回到它們等待下一個電路板的等待位置。在該操作中，給小齒輪50A中裝配一單向軸承(未畫出)，以防止輸送滾輪50反向。
上面的和下面的第二橫梁60A、60B由與其構(gòu)成一個整體的可動滑塊42支撐。第二橫梁60A和60B位于與上面和下面的橫梁32A、32B平行并與它們相等距離的位置，它們固定在通路14方向上。如圖2和4所示，用可動滑塊42通過氣動缸61A、61B分別支撐薄膜引出端傳感器62A、62B和電路板引出端傳感器64。這些傳感器與剝離膜傳感器66A、66B一起設(shè)置在上述各對左右和前后桿18A、18B之間。它們按薄膜引出端傳感器62A、62B，電路板引出端傳感器64，剝離膜傳感器66A、66B的順序安裝在通路14A的方向上。
如圖5所示，薄膜引出端傳感器62A、62B每個包括一對導(dǎo)電接點68A、68B，導(dǎo)電接點68A，68B在電路板的寬度方向上彼此隔開。在分別覆蓋在電路板14的正面和背面的導(dǎo)電層引出端與導(dǎo)電接點接時便可使之導(dǎo)電。意即，當(dāng)使導(dǎo)電接點68A、68B上升到相應(yīng)的疊層薄膜的引出端部分時，停止導(dǎo)電，然后，薄膜引出端傳感器62A、62B分別將引出端檢測信號輸出給控制裝置56。
電路板引出端傳感器64是光傳感器，當(dāng)電路板引出端屏蔽了傳感器64之間的光時，該傳感器檢測電路板14的引出端，將檢測信號輸出到控制裝置56。剝離膜傳感器66A，66B是光傳感器，它檢測由膜浮起裝置20和剝離膜裝置22剝離的膜。當(dāng)薄膜引出端傳感器62A、62B處于檢測中時，氣動缸61A、61B使它們接近通路14A。它們檢測過薄膜引出端之后，立即反向，并用氣動缸61A、61B使其回到與通路14A隔開的原始位置。
下面，將說明按本發(fā)明的上述裝置的操作。
首先，以第二可動滑塊48用第二氣動缸58定位并固定在其等待位置作為標(biāo)準(zhǔn)，用氣動缸54將可動滑塊42移動并定位在通路方向上，如圖4所示。而且，用氣動缸將薄膜引出端傳感器62A，62B在通過方向上以圖6(A)所示狀態(tài)推出到圖6(B)所示狀態(tài)，借此，準(zhǔn)備檢測電路板14的導(dǎo)電層。在該狀態(tài)下，用輸送輥沿著通路14A在傳感器、薄膜浮起裝置20和剝離膜裝置22的方向上輸送其正面和背面上覆蓋有疊層薄膜12A、12B的電路板14。
當(dāng)電路板14的引出端，如圖6(C)所示，進入上面的和下面的導(dǎo)電接點之間時，打開它們，然后到達圖4中65所指示的電路板引出端檢測線，這過程用電路板引出端傳感器64檢測。響應(yīng)該檢測，上面和下面的薄膜引出端傳感器62A、62B的導(dǎo)電接點68A、68B與電路板14的導(dǎo)電層(銅箔)69接觸，進入導(dǎo)電狀態(tài)。隨后，疊層薄膜12A、12B與薄膜引出端傳感器62A、62B中的一個或兩個的導(dǎo)電接點68A、68B接觸，由此截斷導(dǎo)電接點68A、68B的導(dǎo)電。當(dāng)控制裝置56決定，薄膜引出端傳感器62A、62B檢測覆蓋在電路板14的正面和背面的兩個疊層薄膜12A、12B的引出端時，用氣動缸筒58吸引第二個可動滑塊48，由此，用小齒輪50A通過齒條52同步地推進電路板14與第二個可動滑塊48。隨后，用氣動缸40通過齒條36A、36B驅(qū)動上、下橫梁32A、32B，由此確定正面和背面振動器16A、16B，正面和背面振動棒18A、18B，正面和背面承托輥24A、24B，和空氣噴咀22A、22B的垂直位置。而其設(shè)定位置，應(yīng)使振動棒的引出端與薄膜表面上的薄膜引出端的內(nèi)部接觸。
就在電路板14推進和上、下薄膜引出端傳感器62A、62B斷開時，空氣壓力輸入第二氣動缸58、氣動缸40和振動器16A、16B，并在短時間后便將空氣壓力同樣加給氣動缸54。與此同時，從空氣噴咀22A、22B噴出空氣壓力。在該操作中，除去將薄膜引出端傳感器62A、62B壓靠在電路板14上的氣動缸61A、61B中的空氣。因此，這些傳感器62A、62B處于離開電路板14的位置。
當(dāng)可動滑塊42和第二可動滑塊開始水平運動時，開始引起振動器16A、16B作振動運動，正面的和背面的振動棒18A、18B與電路板14接觸。隨后，驅(qū)動可動滑塊42，使與第二可動滑塊48之間的距離縮小。
在上述操作中，氣動缸54拉動可動滑塊42一個設(shè)定的距離。因而，正面和背面的振動棒18A、18B的引出端與疊層薄膜12A、12B和電路板14同步運動、并且只在按預(yù)先設(shè)定的距離上拍擊疊層薄膜12A、12B，正面和背面的振動棒18A、18B的引出端在電路板14的引出端方向運動。若在這些運動中正面的和背面的振動棒的沖擊設(shè)定的那樣大，那么，在疊層薄膜12A、12B和電路板14的引出端之間的距離的差異可被吸收。這就有可能使該棒可靠地拍擊疊層薄膜的引出端。
當(dāng)正面的和背面的振動棒18A、18B拍擊疊層薄膜12A、12B的引出端時，隨后，疊層薄膜12A、12B的透光樹脂膜11B從光刻膠層11A上浮起。若從噴咀22A、22B向浮起部分噴出空氣壓力。隨后，已浮起的部分剝離。剝離后，用膜傳輸裝置(未畫出)從剝離的部分開始順序地從電路板14除去透光樹脂薄膜11B，并排出通過線路的外部。
在該操作中，盡管在電路板14的寬度方向上正面和背面振動棒18A、18B偏位、承托輥24B、24A分別安裝在通過電路板14的正面和背面振動棒18A、18B的相對邊上。因而，即使振動棒從其正面和背面同時拍擊電路板14，也不會使電路板14變形。
而且，當(dāng)儲氣筒54通過可動滑塊42使正面和背面振動棒18A、18B相對電路板14運動時，即使振動棒18A、18B通過電路板14的引出端、也不可能使正面和背面振動棒18A、18彼此拍擊，從而可防止振動棒因無用時拍擊造成的損壞。
而且，由于對著正面和背面振動棒18A、18B放置的背面和正面承托輥24B、24A是分別用硬橡膠制成的。它們可與電路板14和疊層薄膜12A，12B表面接觸，因此，即使承托輥的位置稍稍偏離所對著的振動棒。在振動棒拍擊時，電路板也能被可靠地夾住。
剝掉透光膜11B之后，電路板通過第二可動滑塊48的位置，隨后，從裝置中退出。氣動缸58使可動滑塊42，第二可動滑塊48、和齒條52隨后分別回到各自的等待位置。重復(fù)該過程，以剝離更多的膜。
如上所述，在上述實施例中，承托輥24A、24B是用硬橡膠制成的。然而，并不限于此。承托輥也可以用軟橡膠，金屬，橡膠板件之類的材料造成，只要這些材料能承受振動棒18A、18B的引出端加到電路板14的沖擊即可。
而且，在上述實施例中，用振動器支撐件26A、26B支撐承托輥24A、24B。然而，本發(fā)明并不限于此。承托輥可以單獨被支撐，只要它們能與所面對的振動棒引出端同同步地運動即可。
圖1-3示出的詳細結(jié)構(gòu)，僅表示實現(xiàn)膜的浮起，膜的剝離，和振動棒運動的典型情況，但它并不構(gòu)成一種限制形式。應(yīng)理解為，能完成膜的浮起，膜的剝離或振動棒運動的構(gòu)件的任何組合將在本發(fā)明的組合中均可合格地工作，從最廣義上說，申請人傾向于，本發(fā)明限制于能使膜浮起，剝離膜或使振動棒運動的專門結(jié)構(gòu)。
盡管結(jié)合具體實施例詳細說明了本發(fā)明，該說明并不意味著其構(gòu)成受到某種限制，對本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，所公開的實施例的各種改型，以及本發(fā)明的其它實施例，在參照本發(fā)明的說明書后，將變得顯然。因此，設(shè)想所附權(quán)利要求所覆蓋任何這樣的改型或?qū)嵤├淙氡景l(fā)明的合法范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種剝離膜方法，其中，有兩個疊層薄膜，每個疊層薄膜由光刻膠層和透光膜組成，分別涂覆在電路板的正面和背面，兩個振動器，每個振動器包括振動棒，分別位于電路板的上面和下面，放置的方式是，振動棒分別從電路板的正面和背面圍繞電路板，而且，振動棒的引出端相面對地放置在位于振動棒之間的電路板的位置，振動棒的振動運動加到覆蓋在電路板正面和背面上的各個疊層薄膜的端部，由此，使透光膜的一部分從相聯(lián)的光刻膠層浮起，從透光膜的浮起部分開始剝掉膜，所述方法包括工藝步驟設(shè)定所述正面和背面振動棒引出端相對于所述電路板的位置，以使它們沿所述電路板表面相互偏移，將背面和正面的承托件設(shè)置在這樣的位置上，以便使所述正面振動棒的引出端和所述背面振動棒的引出端通過所述電路板和所述疊層薄膜與背面和正面承托件相對；和使所述背面和正面承托件分別沿所述電路板和兩個疊層薄膜與所對著的正面和背面振動棒的引出端同步運動。
2.按權(quán)利要求1的膜剝離方法，其特征在于，所述振動棒引出端加給所述疊層薄膜的所述振動運動的起始點設(shè)定為與相鄰電路板的末端隔開一段距離的所述電路板所述正面和背面上的所述疊層薄膜的端部；和其中，所述正面和背面振動棒引出端以及所述背面和正面承托件從所述起始點移動給定的距離的同時，所述振動運動加到所述疊層薄膜上。
3.按權(quán)利要求1或2的膜剝離方法，其特征在于，所述背面和正面承托件是在所述振動棒的移動方向內(nèi)與所述疊層薄膜可滾動接觸的輥子。
4.一種剝離兩個疊層薄膜的剝離膜裝置，每個疊層膜由光刻膠層和透光膜組成，分別覆蓋在電路板的正面和背面，包括兩個振動器，每個振動器包括分別位于電路板上面和下面的振動棒，設(shè)置的方式是，振動棒分別從電路板的正面和背面圍繞電路板；其特征在于，所述正面和背面振動棒引出端以電路板位于其間而彼此相對地設(shè)置，并設(shè)定它們沿著所述電路板表面彼此偏離開；在通過所述電路板和所述疊層薄膜對著所述正面和背面振動棒引出端的位置上分別設(shè)置背面和正面承托件，并能與所述電路板和所述疊層薄膜接觸并沿所述電路板和所述疊層薄膜與所述的相對的正面和背面振動棒引出端同步接觸運動；一種膜浮起裝置，將振動棒的振動運動加到分別覆蓋在電路板正面和背面上的疊層薄膜的端部，以此，使透光膜的一部分從相應(yīng)的光刻膠層上浮起；和一種剝離膜裝置，用于剝離透光膜的浮起部分中的膜。
5.按權(quán)利要求4的剝離膜裝置，其特征在于，用所述背面和正面振動器的支撐件分別支撐所述背面和正面承托件。
6.按權(quán)利要求5的剝離膜裝置，其特征在于，所述正面和背面承托件分別用硬橡膠制成。
7.按權(quán)利要求6的剝離膜裝置，其特征在于，所述背面和正面承托件分別是輥子。
8.按權(quán)利要求7的剝離膜裝置，其特征在于，所述膜浮起裝置包括振動棒運動裝置，用于使所述正面和背面振動棒引出端在所述電路板的推進方向上相對運動。
9.按權(quán)利要求8的剝離膜裝置，其特征在于，所述膜浮起裝置包括膜引出端傳感器，分別用于檢測在所述電路板推進方向上的所述正面和背面疊層薄膜的引出端；和一個控制裝置，用于在推進方向上，按從所述膜引出端傳感器來的輸出信號檢測從所述電路板引出端延伸出的疊層薄膜的引出端，并用于控制所述振動棒運動裝置以將所述正面和背面振動棒引出端放置在所述檢測的引出端的位置上，并將它們在所述電路板推進方向上從所述位置移動給定的距離。
10.按權(quán)利要求9的剝離膜裝置，其特征在于，每個所述疊層薄膜傳感器包括一對導(dǎo)電接點，該導(dǎo)電接點位于所述電路板上，在所述電路板的寬度方向上相互隔開，并與所述電路板表面和分別覆蓋在所述電路板上的所述疊層薄膜接觸，且，當(dāng)所述的一對導(dǎo)電接點與分別設(shè)置在所述電路板的所述表面上的導(dǎo)電層接觸時，所述疊層薄膜傳感器掠過所述疊層薄膜上，而，當(dāng)導(dǎo)電斷開時，輸出薄膜檢測信號。
11.按權(quán)利要求6的剝離膜裝置，其特征在于，所述膜浮起裝置包括振動棒運動裝置，用于使所述正面和背面振動棒引出端在所述電路板的推進方向上相對運動。
12.按權(quán)利要求11的剝離膜裝置，其特征在于，所述膜浮起裝置包括膜引出端傳感器，分別用于檢測在所述電路板的推進方向上所述正面和背面疊層薄膜的引出端；和一個控制裝置，用于在推進方向上，按從所述膜引出端傳感器來的輸出信號檢測從所述電路板的引出端延伸出的疊層薄膜的引出端，并用于控制所述振動棒運動裝置以將正面和背面振動棒引出端的位置在所述檢測的引出端的位置上，并將它們在所述電路板推進方向上從所述位置移動給定的距離。
13.按權(quán)利要求12的剝離膜裝置，其特征在于，每個所述疊層薄膜傳感器包括一對導(dǎo)電接點，位于所述電路板上，在所述電路板的寬度方向上相互隔開，并與所述電路板表面和分別覆蓋在所述電路板上的所述疊層薄膜接觸，且當(dāng)所述一對導(dǎo)電接點與分別設(shè)置在所述電路板的所述表面上的導(dǎo)電層接觸時，所述疊層薄膜傳感器掠過所述疊層薄膜上，而當(dāng)導(dǎo)電斷開時，輸出薄膜檢測信號。
14.按權(quán)利要求5的剝離膜裝置，其特征在于，所述背面和正面承托件分別是輥子。
15.按權(quán)利要求14的剝離膜裝置，其特征在于，所述膜浮起裝置包括振動棒移動裝置，用于使正面和背面振動棒引出端在所述電路板推進方向上相對運動。
16.按權(quán)利要求15的剝離膜裝置，其中所述膜浮起裝置包括膜引出端傳感器，分別用于檢測在所述電路板推進方向上所述正面和背面疊層薄膜的引出端；和一個控制裝置，用于在推進方向上，按從所述膜引出端傳感器來的輸出信號檢測從所述電路板的引出端延伸出的疊層薄膜的引出端，并用于控制所述振動棒運動裝置所述正面和背面振動棒引出端放置在所述檢測的引出端的位置上，并，將它們在所述電路板推進方向上從所述位置移動給定的距離。
17.按權(quán)利要求16的剝離膜裝置，其特征在于，每個所述疊層薄膜傳感器包括一對導(dǎo)電接點，該導(dǎo)電接點位于所述電路板，在所述電路板的寬度方向上相互隔開，并與所述電路板表面和分別覆蓋在所述電路板上的疊層薄膜接觸，且當(dāng)所述的一對導(dǎo)電接點與分別設(shè)置在所述電路板的所述表面上的導(dǎo)電層接觸時，其中所述疊層薄膜傳感器掠過所述疊層薄膜上，而，當(dāng)導(dǎo)電斷開時，輸出薄膜檢測信號。
18.按權(quán)利要求5的剝離膜裝置，其特征在于，所述膜浮動裝置包括振動棒運動裝置，用于使所述正面和背面振動棒引出端在所述電路板的推進方向上，相對運動。
19.按權(quán)利要求18的剝離膜裝置，其特征在于，所述膜浮動裝置包括膜引出端傳感器，分別用于檢測在所述電路板的推進方向上所述正面和背面疊層薄膜的引出端；和一個控制裝置，用于在推進方向上，按從所述膜引出端傳感器來的輸出信號檢測從所述電路板的引出端延伸出的疊層薄膜的引出端，并用于控制所述振動棒裝置以所述正面和背面振動棒引出端放置，在所述檢測引出端放置上，并將它們在所述電路板的推進方向上從所述位置移動給定的距離。
20.按權(quán)利要求19的剝離膜裝置，其特征在于，每個所述疊層薄膜傳感器包括一對導(dǎo)電接點，該導(dǎo)電接點位于所述電路板上在所述電路板的寬度方向上相互隔開，并與所述電路板和分別覆蓋在所述電路板上的所述疊層薄膜接觸且當(dāng)所述一對導(dǎo)電接點與分別設(shè)置在所述電路板的所述表面上的導(dǎo)電層接觸時，其中所述疊層薄膜傳感器掠過所述疊層薄膜上，而當(dāng)導(dǎo)電斷開時，輸出薄膜檢測信號。
21.按權(quán)利要求4的剝離膜裝置，其特征在于，所述背面和正面承托分別用硬橡膠制成。
22.按權(quán)利要求21的剝離膜裝置，其特征在于，所述背面和正面承托件分別是輥子。
23.按權(quán)利要求22的剝離膜裝置，其特征在于，所述膜浮起裝置包括振動棒運動裝置，用于使所述正面和背面振動棒引出端在所述電路板的推進方向上相對運動。
24.按權(quán)利要求23的剝離膜裝置，其特征在于，所述膜浮起裝置包括膜引出端傳感器，分別用于檢測在所述電路板的推進方向中所述正面和背面迭層薄膜的引出端；和一個控制裝置，用于在推進方向上，按從所述膜引出端傳感器來的輸出信號檢測從所述電路板的引出端延伸出的疊層薄膜的引出端，并用于控制所述振動棒運動裝置以將所述正面和背面振動棒引出端放置在所述檢測的引出端的位置上，并將它們在所述電路板的推進方向上從所述位置移動給定的距離。
25.按權(quán)利要求24的剝離膜裝置，其特征在于，每個所述疊層薄膜傳感器包括一對導(dǎo)電接點，該導(dǎo)電接點位于所述電路板上，在所述電路板的寬度方向上相互隔開，并與所述電路板的表面和分別覆蓋在所述電路板上的所述疊層薄膜接觸，且當(dāng)所述的一對導(dǎo)電接點與分別設(shè)置在所述電路板的所述表面上的導(dǎo)電層接觸時，其中所述疊層薄膜傳感器掠過所述疊層薄膜上，而當(dāng)導(dǎo)電斷開時，輸出薄膜檢測信號。
26.按權(quán)利要求21的剝離膜裝置，其特征在于，所述膜浮起裝置包括振動棒運動裝置，用于使所述正面和背面振動棒引出端在所述電路板的推進方向上相對運動。
27.按權(quán)利要求26的剝離膜裝置，其中所述膜浮起裝置包括膜引出端傳感器，分別用于檢測在所述電路板的推進方向上的所述正面和背面疊層薄膜的引出端，和一個控制裝置，用于在推進方向上，按從所述膜引出端傳感器來的輸出信號檢測從所述電路板的引出端延伸出的迭層薄膜的引出端、并用于控制所述振動棒運動裝置以將所述正面和背面振動棒引出端放置在所述檢測的引出端的位置上，并用于將它們在所述電路板推進方向上從所述位置移動給定的距離。
28.按權(quán)利要求27的剝離膜裝置，其特征在于，每個所述疊層薄膜傳感器、包括一對導(dǎo)電接點、該導(dǎo)電接點位于所述電路板上，在所述電路板的寬度方向上相互隔開，并與所述電路板表面和分別覆蓋在所述電路板上的所述疊層薄膜接觸，且當(dāng)所述的一對導(dǎo)電接點與分別設(shè)置在所述電路板的所述表面上的導(dǎo)電層接觸時，其中所述疊層薄膜傳感器掠過所述迭層薄膜上，而當(dāng)導(dǎo)電斷開時，輸出薄膜檢測信號。
29.按權(quán)利要求4的剝離膜裝置，其特征在于，所述背面和正面承托件分別是輥子。
30.按權(quán)利要求29的剝離膜裝置，其特征在于，所述膜浮起裝置包括振動棒運動裝置，用于使所述正面和背面振動棒引出端在所述電路板推進方向上相對運動。
31.按權(quán)利要求30的剝離膜裝置，其特征在于，所述膜浮起裝置包括膜引出端傳感器，分別用于檢測在所述電路板的推進方向上的所述正面和背面疊層薄膜的引出端；和一個控制裝置，用于在推進方向上，按從所述膜引出端傳感器的來輸出信號檢測從所述電路板的引出端延伸出的疊層薄膜的引出端，并用于控制所述振動棒運動裝置以將所述正面和背面振動棒引出端放置在所述檢測的引出端的位置上，并將它們在所述電路板的推進方向上從所述位置移動給定的距離。
32.按權(quán)利要求31的剝離膜裝置，其特征在于，每個所述疊層薄膜傳感器包括一對導(dǎo)電接點，該導(dǎo)電接點位于電路板上，在電路板的寬度方向隔開，并與所述電路板表面和分別覆蓋在所述電路板上的所述疊層薄膜接觸，且當(dāng)所述的一對導(dǎo)電接點與分別設(shè)置在所述電路板的所述表面上的導(dǎo)電層接觸時，所述疊層薄膜傳感器掠過所述疊層薄膜上，且當(dāng)導(dǎo)電斷開時，輸出薄膜檢測信號。
33.按權(quán)利要求4的剝離膜裝置，其特征在于，所述膜浮起裝置包括振動棒運動裝置，用于使所述正面和背面振動棒引出端所述電路板的推進方向上相對運動。
34.按權(quán)利要求33的剝離膜裝置，其特征在于，所述膜浮起裝置包括膜引出端傳感器，分別用于檢測在所述電路板的推進方向上的所述正面和背面疊層薄膜的引出端；和一個控制裝置，用于在推進方向上，按從所述膜引出端傳感器來的輸出信號檢測從所述電路板的引出端延伸出的疊層薄膜的引出端，并用于控制所述振動棒運動裝置以將的所述正面和背面振動棒引出端放置在所述檢測的引出端的位置上，并將它們在所述電路板推進方向上從所述位置移動給定的距離。
35.按權(quán)利要求34的剝離膜裝置，其特征在于，每個所述迭層薄膜傳感器包括一對導(dǎo)電接點，該導(dǎo)電接點位于所述電路板上，在所述電路板的寬度方向上相互隔開，并能與所述電路板表面和分別覆蓋在所述電路板上的所述疊層薄膜接觸，且當(dāng)所述一對導(dǎo)電接點與分別設(shè)置在所述電路板的所述表面上的導(dǎo)電層接觸時，所述疊層薄膜傳感器掠過所述疊層薄膜上，而當(dāng)導(dǎo)電斷開時，輸出薄膜檢測信號。
全文摘要
一種剝離膜方法和裝置，當(dāng)振動器的振動棒從電路板的正面和背面拍出其上覆蓋的疊層薄膜以便剝離該膜時，能吸收正面和背面疊層薄膜的覆蓋位置中的振動，而且當(dāng)它們彼此無用拍擊時，能防止振動器振動棒的損壞。振動器位于電路板的正面和背面上覆蓋有疊層薄膜的電路板的正面和背面上，而背面和正面承托輥于分別對著正面和背面振動器的振動棒的位置，背面和正面承托輥分別與正面和背面振動棒同步運動。
文檔編號B65H41/00GK1115958SQ9510650
公開日1996年1月31日 申請日期1995年5月15日 優(yōu)先權(quán)日1994年6月6日
發(fā)明者住成夫, 北川健次 申請人:蘇馬呂株式會社