本實(shí)用新型涉及一種取料裝置，尤其涉及一種芯片光刻機(jī)的光刻版取料裝置。

背景技術(shù)：

在集成電路芯片的生產(chǎn)過(guò)程中，芯片的設(shè)計(jì)圖形在硅片表面光刻膠上的曝光轉(zhuǎn)印(光刻)是其中最重要的工序之一，該工序所用的設(shè)備稱為光刻機(jī)(曝光機(jī))。光刻機(jī)是集成電路加工過(guò)程中最關(guān)鍵的設(shè)備。

而光刻版的取料裝置包括底座和固定于底座上的兩個(gè)插板，插板上設(shè)置有負(fù)壓抽吸口，插板位于光刻版的下方，插板將光刻版負(fù)壓吸附穩(wěn)當(dāng)后水平移動(dòng)到光刻版吸附底座的上方，然后取料裝置下降將光刻版防止在光刻版吸附底座上，然后取料裝置的插板水平移出。光刻版吸附底座包括處于光刻版左右兩側(cè)的座體，座體真空吸附將光刻版的下板面的左右邊緣，插板處于左右座體的中部，插板水平移動(dòng)并不妨礙。然由于光刻工藝的提升和改進(jìn)，光刻版上的上下表面會(huì)粘結(jié)有版膜，版膜的厚度薄，目前的取料裝置結(jié)構(gòu)并不適用粘結(jié)有版膜的光刻版，插板在插入光刻版的下方進(jìn)行取料時(shí)，容易對(duì)版膜表面磨損或撕裂，從而使其無(wú)法滿足后續(xù)的光刻要求。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是：提供一種芯片光刻機(jī)的光刻版取料裝置，該取料裝置可通過(guò)第一吸板和第二吸板的開(kāi)合從光刻版的兩側(cè)進(jìn)入到光刻版的下方并直接吸附光刻版，第一吸板和第二吸板并不接觸版膜，從而避免了版膜的磨損或撕裂，保證了正常的光刻操作。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是：一種芯片光刻機(jī)的光刻版取料裝置，包括支座，所述支座上安裝有第一吸板和第二吸板，所述第一吸板和第二吸板的滑動(dòng)方向相同，所述支座上設(shè)置有分別與第一吸板和第二吸板連接的同步開(kāi)合機(jī)構(gòu)，所述第一吸板和第二吸板上均設(shè)置有負(fù)壓抽吸口，該負(fù)壓抽吸口與負(fù)壓抽吸系統(tǒng)連接，所述負(fù)壓抽吸口與光刻版的下板面的邊緣對(duì)應(yīng)，所述第一吸板或第二吸板由開(kāi)合動(dòng)力裝置驅(qū)動(dòng)，所述第一吸板和第二吸板的內(nèi)側(cè)均設(shè)置有用于避讓光刻版吸附底座的避讓凹口。

作為一種優(yōu)選的方案，所述同步開(kāi)合機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于支座上的同步擺輪，所述同步擺輪上安裝有第一銷軸和第二銷軸，所述第一銷軸和第二銷軸相對(duì)于同步擺輪的擺動(dòng)中心成中心對(duì)稱布置，所述第一吸板上設(shè)置有與第一銷軸適配的第一條孔，第二吸板上設(shè)置有與第二銷軸適配的第二條孔，所述第一銷軸和第二銷軸分別約束于第一條孔和第二條孔內(nèi)。

作為一種優(yōu)選的方案，所述底座上設(shè)置有限位條孔，所述第一吸板和第二吸板上分別設(shè)置有位于限位條孔內(nèi)的第一限位銷和第二限位銷。

作為一種優(yōu)選的方案，所述底座與第一吸板之間或底座與第二吸板之間設(shè)置有合攏復(fù)位彈性件。

作為一種優(yōu)選的方案，所述第一吸板的長(zhǎng)度比第二吸板的長(zhǎng)度長(zhǎng)，所述第一吸板上的避讓凹口為一個(gè)大避讓凹口，第二吸板上的避讓缺口為兩個(gè)小避讓凹口，第一吸板上設(shè)置了兩個(gè)負(fù)壓抽吸口且位于大避讓凹口的兩側(cè)，第二吸板上設(shè)置了兩個(gè)負(fù)壓抽吸口且位于遠(yuǎn)離支座的小避讓凹口的兩側(cè)，第一吸板上的兩個(gè)負(fù)壓抽吸口的連線與第二吸板上的兩個(gè)負(fù)壓抽吸口的連線平行，第二吸板上的兩個(gè)負(fù)壓抽吸口處于大避讓凹口范圍內(nèi)。

作為一種優(yōu)選的方案，所述開(kāi)合動(dòng)力裝置包括一個(gè)開(kāi)合氣缸，所述開(kāi)合氣缸固定于支座上，開(kāi)合氣缸的活塞桿與所述第一吸板或第二吸板連接。

作為一種優(yōu)選的方案，所述底座上設(shè)置有第一供氣連接頭和第二供氣連接頭，所述第一吸板上設(shè)置有第一進(jìn)氣接頭，所述第二吸板上設(shè)置有第二進(jìn)氣接頭，所述第一供氣連接頭和第一進(jìn)氣接頭之間通過(guò)軟管連通，所述第二供氣連接頭與第二進(jìn)氣接頭通過(guò)軟管連通，第一吸板板體和第二吸板的板體內(nèi)均設(shè)置有通氣通道。

采用了上述技術(shù)方案后，本實(shí)用新型的效果是：由于所述支座上安裝有第一吸板和第二吸板，所述第一吸板和第二吸板的滑動(dòng)方向相同，所述支座上設(shè)置有分別與第一吸板和第二吸板連接的同步開(kāi)合機(jī)構(gòu)，所述第一吸板和第二吸板上均設(shè)置有負(fù)壓抽吸口，該負(fù)壓抽吸口與負(fù)壓抽吸系統(tǒng)連接，所述負(fù)壓抽吸口與光刻版的下板面的邊緣對(duì)應(yīng)，所述第一吸板或第二吸板由開(kāi)合動(dòng)力裝置驅(qū)動(dòng)，所述第一吸板和第二吸板的內(nèi)側(cè)均設(shè)置有用于避讓光刻版吸附底座的避讓凹口，因此，在實(shí)際的取料過(guò)程中，該取料裝置的第一吸板和第二吸板張開(kāi)，第一吸板和第二吸板之間的間距大于光刻版的寬度，取料裝置下降使第一吸板和第二吸板處于光刻版的下方，第一吸板和第二吸板合攏，第一吸板和第二吸板與光刻版的下板面邊緣對(duì)應(yīng)，該邊緣正好也是光刻版吸附底座的吸附邊緣，版膜的尺寸小于光刻版的尺寸，從而在光刻版板面邊緣形成方便吸附的部位；取料裝置上升將光刻版抬起，然后取料裝置將光刻版移動(dòng)到骨干刻板吸附底座上，然后取料裝置下降，此時(shí)第一吸板和第二吸板上的避讓凹口剛好實(shí)現(xiàn)避讓，方便將光刻版放置在光刻版吸附底座上，然后取料裝置的第一吸板和第二吸板打張開(kāi)，第一吸板和第二吸板超過(guò)光刻版的方位后上升，這樣該取料裝置在取料的過(guò)程中不會(huì)與光刻版的版膜接觸，避免版膜磨損或撕裂，從而確保光刻機(jī)的正常工作，保證了良好的光刻效果。

又由于所述同步開(kāi)合機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于支座上的同步擺輪，所述同步擺輪上安裝有第一銷軸和第二銷軸，所述第一銷軸和第二銷軸相對(duì)于同步擺輪的擺動(dòng)中心成中心對(duì)稱布置，所述第一吸板上設(shè)置有與第一銷軸適配的第一條孔，第二吸板上設(shè)置有與第二銷軸適配的第二條孔，所述第一銷軸和第二銷軸分別約束于第一條孔和第二條孔內(nèi)，該同步開(kāi)合機(jī)構(gòu)動(dòng)作準(zhǔn)確可靠，開(kāi)合距離準(zhǔn)確。

又由于所述底座上設(shè)置有限位條孔，所述第一吸板和第二吸板上分別設(shè)置有位于限位條孔內(nèi)的第一限位銷和第二限位銷，利用限位條孔可限定開(kāi)合的極限位置，從而進(jìn)一步的確保開(kāi)合位置準(zhǔn)確。

又由于所述底座與第一吸板之間或底座與第二吸板之間設(shè)置有合攏復(fù)位彈性件。這樣，利用合攏復(fù)位彈性件即可帶動(dòng)第一吸板和第二吸板同步合攏，動(dòng)作穩(wěn)定可靠，并且避一旦開(kāi)合動(dòng)力裝置出現(xiàn)故障時(shí)，第一吸板和第二吸板會(huì)因?yàn)閺椥粤Χ諗n，這樣避免光刻版從第一吸板和第二吸板上掉落。

又由于所述第一吸板的長(zhǎng)度比第二吸板的長(zhǎng)度長(zhǎng)，所述第一吸板上的避讓凹口為一個(gè)大避讓凹口，第二吸板上的避讓缺口為兩個(gè)小避讓凹口，第一吸板上設(shè)置了兩個(gè)負(fù)壓抽吸口且位于大避讓凹口的兩側(cè)，第二吸板上設(shè)置了兩個(gè)負(fù)壓抽吸口且位于遠(yuǎn)離支座的小避讓凹口的兩側(cè)，第一吸板上的兩個(gè)負(fù)壓抽吸口的連線與第二吸板上的兩個(gè)負(fù)壓抽吸口的連線平行，第二吸板上的兩個(gè)負(fù)壓抽吸口處于大避讓凹口范圍內(nèi)，這樣，第一吸板和第二吸板的負(fù)壓抽吸口分布合理，光刻版的受力合理。

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明。

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是圖1的局部放大示意圖；

圖3是光刻版取料狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意圖；

附圖中：1.支座；2.第一吸板；3.第二吸板；4.同步擺輪；5.開(kāi)合氣缸；6.限位條孔；7.第一限位銷；8.第二限位銷；9.合攏復(fù)位彈性件；10.第二銷軸；11.第二條孔；12.第一銷軸；13.第一條孔；14.大避讓凹口；15.小避讓凹口；16.光刻版；17.版膜；18.第一供氣連接頭；19.第一進(jìn)氣接頭；20.第二供氣連接頭；21.第二進(jìn)氣接頭。

具體實(shí)施方式

下面通過(guò)具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。

如圖1至圖3所示，一種芯片光刻機(jī)的光刻版16取料裝置，包括支座1，所述支座1上安裝有第一吸板2和第二吸板3，所述第一吸板2和第二吸板3的滑動(dòng)方向相同，具體的，支座1上設(shè)置有平行設(shè)置的第一導(dǎo)軌和第二導(dǎo)軌，所述第一吸板2上設(shè)置有與第一導(dǎo)軌配合的滑塊，第二吸板3設(shè)置有與第二導(dǎo)軌上配合的滑塊。

所述支座1上設(shè)置有分別與第一吸板2和第二吸板3連接的同步開(kāi)合機(jī)構(gòu)，如圖1和圖2所示，所述同步開(kāi)合機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于支座1上的同步擺輪4，所述同步擺輪4上安裝有第一銷軸12和第二銷軸10，所述第一銷軸12和第二銷軸10相對(duì)于同步擺輪4的擺動(dòng)中心成中心對(duì)稱布置，所述第一吸板2上設(shè)置有與第一銷軸12適配的第一條孔13，第二吸板3上設(shè)置有與第二銷軸10適配的第二條孔11，所述第一銷軸12和第二銷軸10分別約束于第一條孔13和第二條孔11內(nèi)，所述第一吸板2或第二吸板3由開(kāi)合動(dòng)力裝置驅(qū)動(dòng)，本實(shí)施例中，開(kāi)合動(dòng)力裝置驅(qū)動(dòng)是與第二吸板3水平滑動(dòng)，例如第二吸板3向圖紙左側(cè)滑動(dòng)時(shí)，第二吸板3會(huì)帶動(dòng)第二銷軸10向左方向滑動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)同步擺輪4擺動(dòng)，第一銷軸12則與第二銷軸10的運(yùn)行方向相反，第一條孔13和第二條孔11方便第一銷軸12和第二銷軸10在圖紙上下方向上移動(dòng)，保證動(dòng)作的順暢和同步。

所述底座上設(shè)置有限位條孔6，所述第一吸板2和第二吸板3上分別設(shè)置有位于限位條孔6內(nèi)的第一限位銷7和第二限位銷8，該限位條孔6的長(zhǎng)度可現(xiàn)實(shí)第一吸板2和第二吸板3的打開(kāi)寬度，并且第一吸板2和第二吸板3收攏后時(shí)，第一限位銷7和第二限位銷8相互接觸實(shí)現(xiàn)限位，當(dāng)然，也可以通過(guò)第一條孔13和第二條孔11的長(zhǎng)度控制實(shí)現(xiàn)限位。

所述第一吸板2和第二吸板3上均設(shè)置有負(fù)壓抽吸口，該負(fù)壓抽吸口與負(fù)壓抽吸系統(tǒng)連接，所述負(fù)壓抽吸口與光刻版16的下板面的邊緣對(duì)應(yīng)，如圖3所示，在正常工作時(shí)，光刻版16的上版面和下版面均粘結(jié)有版膜17，版膜17的尺寸比光刻版16的尺寸小，因此，版膜17的邊緣與光刻版16的邊緣構(gòu)成了方便真空吸附的間距，該間距也方便光刻版16吸附底座的吸附，所述第一吸板2和第二吸板3的內(nèi)側(cè)均設(shè)置有用于避讓光刻版16吸附底座的避讓凹口。

如圖1所示，所述第一吸板2的長(zhǎng)度比第二吸板3的長(zhǎng)度長(zhǎng)，所述第一吸板2上的避讓凹口為一個(gè)大避讓凹口14，第二吸板3上的避讓缺口為兩個(gè)小避讓凹口15，而光刻版16吸附底座中左側(cè)的吸附座體是處于大避讓凹口14的范圍內(nèi)，方便避讓，而光刻版16吸附底座中右側(cè)的兩個(gè)吸附座體分別處于小避讓凹口15的范圍內(nèi)。這樣，第一吸板2和第二吸板3可上下升降，并不受到光刻版16吸附底座的干涉。

第一吸板2上設(shè)置了兩個(gè)負(fù)壓抽吸口且位于大避讓凹口14的兩側(cè)，第二吸板3上設(shè)置了兩個(gè)負(fù)壓抽吸口且位于遠(yuǎn)離支座1的小避讓凹口15的兩側(cè)，第一吸板2上的兩個(gè)負(fù)壓抽吸口的連線與第二吸板3上的兩個(gè)負(fù)壓抽吸口的連線平行，第二吸板3上的兩個(gè)負(fù)壓抽吸口處于大避讓凹口14范圍內(nèi)。

所述底座上設(shè)置有第一供氣連接頭18和第二供氣連接頭20，所述第一吸板2上設(shè)置有第一進(jìn)氣接頭19，所述第二吸板3上設(shè)置有第二進(jìn)氣接頭21，所述第一供氣連接頭18和第一進(jìn)氣接頭19之間通過(guò)軟管連通，所述第二供氣連接頭20與第二進(jìn)氣接頭21通過(guò)軟管連通，第一吸板2板體和第二吸板3的板體內(nèi)均設(shè)置有通氣通道，該通氣通道將第一進(jìn)氣接頭19與第一吸板2上的負(fù)壓抽吸口連通、將第二進(jìn)氣接頭21與第二吸板3上的負(fù)壓抽吸口連通。

所述底座與第一吸板2之間或底座與第二吸板3之間設(shè)置有合攏復(fù)位彈性件9，底座上和第二吸板3上均設(shè)置有連接銷，合攏復(fù)位彈性件9安裝于連接銷之間。

作為一種優(yōu)選的方案，所述開(kāi)合動(dòng)力裝置包括一個(gè)開(kāi)合氣缸5，所述開(kāi)合氣缸5固定于支座1上，開(kāi)合氣缸5的活塞桿與所述第一吸板2或第二吸板3連接。

本實(shí)用新型中的光刻版16取料裝置可適應(yīng)帶有版膜17的光刻版16的取料要求，取料時(shí)不會(huì)對(duì)版膜17造成破壞，保證光刻版16的完整，確保光刻效果。

以上所述實(shí)施例僅是對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式的描述，不作為對(duì)本發(fā)明范圍的限定，在不脫離本發(fā)明設(shè)計(jì)精神的基礎(chǔ)上，對(duì)本發(fā)明技術(shù)方案作出的各種變形和改造，均應(yīng)落入本發(fā)明的權(quán)利要求書確定的保護(hù)范圍內(nèi)。