本公開(kāi)的實(shí)施例大體涉及在用于處理基板的系統(tǒng)中利用的傳送腔室。更具體而言，本文所述的實(shí)施例涉及傳送腔室蓋以及與所述傳送腔室蓋相關(guān)聯(lián)的致動(dòng)器。

背景技術(shù)：

有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)用于制造用于顯示信息的電視機(jī)屏、計(jì)算機(jī)監(jiān)視器、移動(dòng)電話等。典型的OLED可以包括位于兩個(gè)電極之間的諸個(gè)有機(jī)材料層，這些層全都以形成具有單獨(dú)可供能的像素的矩陣顯示面板的方式被沉積在基板上。OLED一般被置于兩個(gè)玻璃面板之間，并且密封這兩個(gè)玻璃面板邊緣以在其中封裝OLED。

隨著市場(chǎng)對(duì)平板技術(shù)的接受，對(duì)更大的顯示器、增加的產(chǎn)量以及更低的制造成本的需求已驅(qū)使設(shè)備制造商為平板顯示器制造方開(kāi)發(fā)適應(yīng)更大尺寸的玻璃基板的新系統(tǒng)。另外，以高效且具有成本效益的方式維護(hù)各種系統(tǒng)部件的能力可有助于改善與操作此類設(shè)備相關(guān)聯(lián)的成本。然而，由于采用了此類大型設(shè)備來(lái)處理大面積基板，因此，此類系統(tǒng)的接取和維護(hù)變得耗時(shí)且困難。例如，為了移除傳送腔室的蓋以提供進(jìn)行清潔和維護(hù)的通路，就需要升降架(crane)。升降架的必要性是對(duì)于可構(gòu)造制造設(shè)施所具有的靈活性的額外成本，并且通常限制了可構(gòu)造的制造設(shè)施所具有的靈活性。另外，設(shè)備的增加的尺寸可能阻礙升降架的操作。

因此，本領(lǐng)域中需要用于傳送腔室的改進(jìn)的蓋和致動(dòng)器組件。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種腔室蓋裝置、傳送腔室裝置以及用于提升蓋的裝置，其可解決上面提及的所有技術(shù)缺陷。

在一個(gè)實(shí)施例中，提供腔室蓋裝置。所述腔室蓋裝置可以包括：蓋體；一個(gè)或多個(gè)臂，所述一個(gè)或多個(gè)臂耦接至所述蓋體；以及一個(gè)或多個(gè)齒輪箱，所述一個(gè)或多個(gè)齒輪箱通過(guò)一個(gè)或多個(gè)第一軸耦接至所述一個(gè)或多個(gè)臂。電機(jī)還可通過(guò)一個(gè)或多個(gè)第二軸耦接至所述一個(gè)或多個(gè)齒輪箱。

較佳地，所述蓋體是矩形圓頂狀結(jié)構(gòu)。更較佳地，所述蓋體耦接有一個(gè)或多個(gè)角撐構(gòu)件，并且所述一個(gè)或多個(gè)角撐構(gòu)件被配置成在結(jié)構(gòu)上加強(qiáng)所述圓頂狀結(jié)構(gòu)；或者，所述蓋體包含鋁材。

較佳地，所述一個(gè)或多個(gè)臂通過(guò)一個(gè)或多個(gè)支架耦接至所述蓋體。

較佳地，所述一個(gè)或多個(gè)第一軸包括軸承組件，所述軸承組件配置成允許所述一個(gè)或多個(gè)臂相對(duì)于所述一個(gè)或多個(gè)第一軸轉(zhuǎn)動(dòng)。

較佳地，所述一個(gè)或多個(gè)齒輪箱包括多個(gè)齒輪，所述多個(gè)齒輪配置成在所述一個(gè)或多個(gè)第二軸與所述一個(gè)或多個(gè)第一軸之間轉(zhuǎn)換轉(zhuǎn)動(dòng)力。

較佳地，所述裝置進(jìn)一步包括：一個(gè)或多個(gè)銷構(gòu)件，所述一個(gè)或多個(gè)銷構(gòu)件穿過(guò)所述一個(gè)或多個(gè)臂而設(shè)置。

較佳地，所述裝置進(jìn)一步包括：指示器銷支架，所述指示器銷支架耦接至所述蓋體的外圍處。

在另一實(shí)施例中，提供傳送腔室裝置。所述傳送腔室裝置可以包括：腔室體，所述腔室體在其中限定有容積；以及蓋，蓋可轉(zhuǎn)動(dòng)地耦接所述腔室體。一個(gè)或多個(gè)撐桿構(gòu)件可鄰近蓋耦接至所述腔室體，并且一個(gè)或多個(gè)臂可耦接至蓋和所述腔室體。一個(gè)或多個(gè)齒輪箱可以通過(guò)一個(gè)或多個(gè)第一軸耦接至所述一個(gè)或多個(gè)臂，并且電機(jī)可以通過(guò)一個(gè)或多個(gè)第二軸耦接至所述一個(gè)或多個(gè)齒輪箱。

較佳地，蓋是包含鋁材的矩形圓頂狀結(jié)構(gòu)。

較佳地，所述一個(gè)或多個(gè)臂通過(guò)一個(gè)或多個(gè)第一支架耦接至所述蓋。更較佳地，所述一個(gè)或多個(gè)臂通過(guò)一個(gè)或多個(gè)第二支架耦接至所述腔室體。還要較佳地，所述一個(gè)或多個(gè)臂從所述一個(gè)或多個(gè)第二支架，通過(guò)所述一個(gè)或多個(gè)撐桿構(gòu)件中的至少一個(gè)而延伸至所述一個(gè)或多個(gè)第一支架。

較佳地，所述裝置進(jìn)一步包括：傳感器，所述傳感器耦接至所述腔室體。更較佳地，所述裝置進(jìn)一步包括：指示器銷，所述指示器銷耦接至蓋體的外圍處，所述指示器銷配置成與所述傳感器對(duì)接并接觸所述傳感器。

較佳地，所述一個(gè)或多個(gè)齒輪箱包括多個(gè)齒輪，所述多個(gè)齒輪配置成在所述一個(gè)或多個(gè)第二軸與所述一個(gè)或多個(gè)第一軸之間轉(zhuǎn)換轉(zhuǎn)動(dòng)力。

較佳地，蓋配置成從與所述腔室體接觸的第一位置轉(zhuǎn)動(dòng)至從所述第一位置偏離150°的第二位置。更較佳地，所述一個(gè)或多個(gè)第一軸限定蓋的轉(zhuǎn)動(dòng)軸。

在又一實(shí)施例中，提供用于提升蓋的裝置。所述裝置可以包括耦接至多個(gè)第一支架和多個(gè)第二支架的多個(gè)臂。多個(gè)第一軸可以通過(guò)所述多個(gè)第二支架耦接至所述多個(gè)臂，并且多個(gè)齒輪箱可耦接至所述多個(gè)第一軸。一個(gè)或多個(gè)第二軸可耦接至所述多個(gè)齒輪箱，并且電機(jī)可耦接至所述一個(gè)或多個(gè)第二軸。

附圖說(shuō)明

因此，為了詳細(xì)地理解本公開(kāi)的上述特征結(jié)構(gòu)的方式，可以通過(guò)參照實(shí)施例來(lái)獲取對(duì)上文簡(jiǎn)要概述的本公開(kāi)的更具體的描述，在所附附圖中示出實(shí)施例中的一些。然而，應(yīng)當(dāng)注意，所附附圖僅示出示例性的實(shí)施例，并且因此不應(yīng)被視為限制本公開(kāi)的范圍，因?yàn)楸竟_(kāi)可以允許其他等效實(shí)施例。

圖1示出處理系統(tǒng)中的傳送腔室的示意性平面圖。

圖2示出傳送腔室的平面圖。

圖3示出圖2的傳送腔室的側(cè)視圖。

圖4示出傳送腔室蓋和致動(dòng)器組件的部分側(cè)視圖。

圖5示出圖4的傳送腔室蓋的內(nèi)部的立體圖。

圖6示出指示器銷和傳感器的側(cè)視圖。

為了便于理解，在可能的情況下，已使用了完全相同的附圖標(biāo)記來(lái)指定各圖所共有的完全相同的元件。構(gòu)想了一個(gè)實(shí)施例的元件和特征可有益地并入其他實(shí)施例，而無(wú)需進(jìn)一步敘述。

具體實(shí)施方式

本公開(kāi)的實(shí)施例涉及傳送腔室，所述傳送腔室具有蓋和致動(dòng)器組件。所述蓋能夠可轉(zhuǎn)動(dòng)地耦接至所述傳送腔室，并且所述致動(dòng)器組件可將所述蓋打開(kāi)和關(guān)閉以允許進(jìn)出所述傳送腔室的內(nèi)部。所述致動(dòng)器組件一般包括支架(bracket)，所述支架將臂耦接至所述蓋和所述腔室體。多個(gè)軸以及齒輪箱可耦接在所述臂與電機(jī)之間。所述電機(jī)可轉(zhuǎn)動(dòng)所述軸以打開(kāi)和關(guān)閉所述蓋。還公開(kāi)了用于確定蓋位置的傳感器。

圖1示出處理系統(tǒng)100中的傳送腔室102的示意性平面圖。處理系統(tǒng)100一般可配置成用于在顯示器型基板上制造OLED器件。傳送腔室102可居中地定位在處理系統(tǒng)100內(nèi)，并且多個(gè)處理腔室108可耦接至傳送腔室102。負(fù)載鎖定腔室104也可耦接至傳送腔室102，并且負(fù)載鎖定腔室104可配置成可操作地耦接至工廠接口106。

負(fù)載鎖定腔室104可耦接至真空生成裝置(未示出)，并且生成與傳送腔室102內(nèi)維持的環(huán)境類似的壓力環(huán)境。在操作中，可將基板從工廠接口106傳送至負(fù)載鎖定腔室104，并且隨后傳送進(jìn)傳送腔室102中。傳送腔室102內(nèi)的機(jī)械臂可往返于耦接至傳送腔室102的一個(gè)或多個(gè)處理腔室108來(lái)傳送基板。在一個(gè)實(shí)施例中，傳送腔室102可以是八邊形的。雖然示出五個(gè)處理腔室108，但是構(gòu)想了更多或更少數(shù)量的處理腔室108可耦接至傳送腔室102。在某些實(shí)施例中，掩模腔室(未示出)也可耦接至傳送腔室102。

圖2示出傳送腔室102的平面圖。傳送腔室102包括腔室體204，所述腔室體204限定位于其中的容積。蓋206能夠可轉(zhuǎn)動(dòng)地耦接腔室體204。蓋206可以主要為矩形形狀，然而，構(gòu)想了可利用其他形狀。蓋206的至少部分可以是圓頂形(參照?qǐng)D5更詳細(xì)地示出)，并且角撐(gusset)構(gòu)件210可耦接至圓頂狀部分以改善蓋206的結(jié)構(gòu)完整性。在一個(gè)實(shí)施例中，蓋206可由鋁材制造，然而，構(gòu)想了也可利用其他材料，諸如，不銹鋼。一般來(lái)說(shuō)，為蓋206和腔室體204的制造而選擇的材料可以是相同的材料。

一個(gè)或多個(gè)撐桿(brace)構(gòu)件208還可耦接腔室體204。撐桿構(gòu)件208可以鄰近蓋206線性地設(shè)置。在一個(gè)實(shí)施例中，撐桿構(gòu)件208可設(shè)置在蓋206的任一側(cè)。例如，可鄰近矩形形狀的蓋206的長(zhǎng)側(cè)來(lái)設(shè)置撐桿構(gòu)件208。撐桿構(gòu)件208可配置成用于改善腔室體204的結(jié)構(gòu)完整性，在蓋206的打開(kāi)和關(guān)閉期間尤其如此。在一個(gè)實(shí)施例中，撐桿構(gòu)件208可由鋁材形成，然而，構(gòu)想了也可利用其他合適的材料。

致動(dòng)器組件202可耦接在腔室體204與蓋206之間。致動(dòng)器組件202一般包括一個(gè)或多個(gè)第一支架214、一個(gè)或多個(gè)臂212、一個(gè)或多個(gè)第一軸220、222、一個(gè)或多個(gè)齒輪箱216、一個(gè)或多個(gè)第二軸224以及電機(jī)218。一個(gè)或多個(gè)第一支架214可耦接至蓋206。第一支架214可通過(guò)多個(gè)緊固構(gòu)件(諸如，螺桿或螺栓等)耦接至蓋206。第一支架214還可耦接至一個(gè)或多個(gè)臂212。臂212可由任何合適的裝置(諸如，通過(guò)焊接等)來(lái)緊固至第一支架214。臂212可以從第一支架214延伸至一個(gè)或多個(gè)第二支架406，將參考圖4更詳細(xì)地描述這一個(gè)或多個(gè)第二支架406。臂212能夠可轉(zhuǎn)動(dòng)地耦接至一個(gè)或多個(gè)第一軸220、222。第一軸220、222可以延伸穿過(guò)臂212，并且臂212可相對(duì)于這一個(gè)或多個(gè)第一軸220、222轉(zhuǎn)動(dòng)。在一個(gè)實(shí)施例中，第一軸220、222可與軸承對(duì)接，這些軸承配置成允許第一軸220、222以及由此的臂212圍繞第一軸220、222的中心線轉(zhuǎn)動(dòng)。

第一軸220、222還可耦接至一個(gè)或多個(gè)齒輪箱216。齒輪箱216可耦接至腔室體204和/或撐桿208中的一個(gè)。齒輪箱216可以容納多個(gè)齒輪，在轉(zhuǎn)動(dòng)這些齒輪時(shí)，這些齒輪在第一軸220、222上施加轉(zhuǎn)動(dòng)力。該齒輪箱還可耦接至一個(gè)或多個(gè)第二軸224。第二軸224可耦接至電機(jī)218，該電機(jī)218配置成轉(zhuǎn)動(dòng)第二軸224。在操作中，電機(jī)218可在第二軸224上生成轉(zhuǎn)動(dòng)力。第二軸224的轉(zhuǎn)動(dòng)力可轉(zhuǎn)換到齒輪箱216內(nèi)容納的多個(gè)齒輪。這些齒輪可進(jìn)一步將轉(zhuǎn)動(dòng)力轉(zhuǎn)換到第一軸220、222上。第一軸220、222隨后可將轉(zhuǎn)動(dòng)力轉(zhuǎn)換到臂212，取決于所期望的操作，這可使蓋206打開(kāi)或關(guān)閉。

圖3示出圖2中示出的傳送腔室102的側(cè)視圖。蓋206示出為處于關(guān)閉的位置。蓋206的圓頂形狀也在圖3中更清楚地示出?？捎芍聞?dòng)器組件202將處于閉合位置的蓋206打開(kāi)至圖4中所示的打開(kāi)的位置。

圖4示出蓋206和致動(dòng)器組件202的部分側(cè)視圖，其中蓋206處于打開(kāi)的位置。致動(dòng)器組件202可配置成將蓋206從關(guān)閉的位置(在圖3中示出)移至打開(kāi)的位置。在一個(gè)實(shí)施例中，可將處于打開(kāi)的位置的蓋206從閉合的位置轉(zhuǎn)動(dòng)約100°與約180°之間的角度，諸如，約150°。蓋206可圍繞由一個(gè)或多個(gè)第一軸220、222限定的軸轉(zhuǎn)動(dòng)。能夠?qū)⑸w206轉(zhuǎn)動(dòng)成超過(guò)垂直于該蓋的閉合的位置的位置的能力提供了通過(guò)設(shè)施升降架進(jìn)行的改善的清潔。因此，當(dāng)蓋206處于打開(kāi)的位置時(shí)，制造設(shè)施升降架可圍繞設(shè)施自由地移動(dòng)。

上文所提到的一個(gè)或多個(gè)第二支架406可耦接至腔室體204和/或撐桿構(gòu)件208。第一軸220、222可延伸穿過(guò)第二支架406，使得臂212可耦接至第一軸220、222。在一個(gè)實(shí)施例中，第二支架406可以包括止擋構(gòu)件404。止擋構(gòu)件404可耦接至第二支架406，并且可以具有配置成接觸臂212的至少一個(gè)斜切或倒角的邊緣。在一個(gè)實(shí)施例中，止擋構(gòu)件404定位成使得當(dāng)蓋206處于打開(kāi)的位置時(shí)，臂212接觸該止擋構(gòu)件404。

銷構(gòu)件402也可耦接至臂212。銷構(gòu)件402可以延伸穿過(guò)第二支架406，并且可配置成當(dāng)蓋206處于打開(kāi)的位置時(shí)，將臂212鎖定在適當(dāng)?shù)奈恢?。在一個(gè)實(shí)施例中，銷構(gòu)件402可以是由彈簧加載的，使得當(dāng)蓋206處于打開(kāi)的位置時(shí)，銷構(gòu)件402可以接合第二支架406中形成的孔(未示出)。銷構(gòu)件402可以延伸穿過(guò)第二支架的孔，并且將臂212鎖定在適當(dāng)?shù)奈恢??？梢赃x擇性地使銷構(gòu)件402脫離，以便允許致動(dòng)器組件202將蓋206返回至關(guān)閉的位置。

指示器銷支架408也可耦接至蓋206。指示器銷支架408可由各種耦接裝置(諸如，通過(guò)螺桿、螺栓/螺母、以及焊接等)緊固至蓋206的外圍處。指示器銷支架408可以延伸超過(guò)蓋206的外圍，使得指示器銷608(參見(jiàn)圖6)可以接合傳感器組件602。

圖5示出蓋206的內(nèi)部的立體圖。如先前所提及，蓋206可以包括可由蓋206的內(nèi)表面502限定的圓頂狀部分。一般來(lái)說(shuō)，在基板的傳送和處理期間，傳送腔室被維持在真空下。因此，蓋206必須能夠在結(jié)構(gòu)上耐受高真空度。多個(gè)桁架(truss)構(gòu)件504可沿內(nèi)表面502橫跨蓋206的內(nèi)部。桁架構(gòu)件504可在矩形形狀的蓋206的長(zhǎng)側(cè)之間延伸，并且桁架構(gòu)件504可耦接至內(nèi)表面502并與該內(nèi)表面502接觸。在一個(gè)實(shí)施例中，桁架構(gòu)件504可焊接至內(nèi)表面502。一個(gè)或多個(gè)孔506可形成在桁架構(gòu)件504中的每一個(gè)桁架構(gòu)件中?？?06可以減少蓋206的重量，這可提供由致動(dòng)器組件202對(duì)蓋206的改進(jìn)的打開(kāi)和關(guān)閉操作。

圖6示出指示器銷支架408和傳感器組件602的側(cè)視圖。如先前所提及，指示器銷支架408耦接至蓋206，并且延伸超過(guò)蓋206的外圍。接頭(joint)構(gòu)件606可耦接至指示器銷支架408，并且指示器銷608可從接頭構(gòu)件606延伸。在一個(gè)實(shí)施例中，接頭構(gòu)件606可以容納耦接至指示器銷608的彈簧(未示出)。

塊構(gòu)件604可耦接至腔室體204，并且傳感器組件602可耦接至塊構(gòu)件604。塊構(gòu)件可配置成定位傳感器組件602以接收指示器銷608。傳感器組件602可以包括傳感器610，諸如，接近度傳感器，該傳感器被配置成感測(cè)指示指示器銷608相對(duì)于蓋206的位置的度量。如圖6所示，蓋206位于閉合的位置，并且指示器銷608完全設(shè)置在傳感器610內(nèi)。當(dāng)指示器銷608接合傳感器610時(shí)，信號(hào)可發(fā)送至傳送腔室控制裝置。該信號(hào)可提供蓋206被正確地定位的指示以進(jìn)行真空操作。當(dāng)由致動(dòng)器組件202提升蓋206時(shí)，指示器銷608可以移離傳感器610。另外，蓋206從閉合的位置處略微位移的量也可由傳感器610檢測(cè)。因此，傳感器組件602可將指示蓋206處于用于真空操作的所需位置的信號(hào)提供給傳送腔室控制裝置。

總而言之，該傳送腔室致動(dòng)器組件可允許以高效的方式來(lái)打開(kāi)和關(guān)閉傳送腔室蓋?？纱蜷_(kāi)和關(guān)閉蓋以允許對(duì)傳送腔室的維護(hù)通路。蓋可打開(kāi)至允許更有效地使用升降架的位置。因此，腔室停機(jī)時(shí)間可以減少，這有助于對(duì)其中利用傳送腔室的處理系統(tǒng)的產(chǎn)量的改善。

盡管上述內(nèi)容是針對(duì)本公開(kāi)的實(shí)施例，但也可設(shè)計(jì)本公開(kāi)的其他和進(jìn)一步的實(shí)施例而不背離本公開(kāi)的基本范圍，并且本公開(kāi)的范圍由所附權(quán)利要求書(shū)來(lái)確定。