專利名稱：5片盒整體傳輸結構的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及ー種基片傳輸裝置，屬于自動化檢測傳輸領域，尤其涉及ー種5片盒整體傳輸結構。
技術背景在半導體集成電路制造行業(yè)，特別設計LED生產和太陽能電池芯片的生產過程中，對基片的平整度，翹曲度這些指標有很高的要求，因此經常需要檢測基片的平整度與厚度，在這過程中，將基片傳輸分類的過程就需要額外的。目前，市場上主要采用的通過人工完成相關的基片檢測工作。這主要是因為人工成本低的緣故。人工檢測時，在傳輸分類過程中難免會造成晶片受到污染，這樣増加了次品率，不利于降低成本。因此，提供一種成本低廉，通過又能自動化傳輸分類基片的裝置就顯得尤為重要了。

實用新型內容本實用新型的目的是避免現(xiàn)有技術中的傳輸設備成本過高的問題，通過簡化結構來降低設備的制造成本，保證設備在提高生產效率的同時，極大降低對晶片污染并提高良品率。本實用新型公開ー種5片盒整體傳輸結構，包括機架，其中掃描工作臺，設置在所述機架的一端，所述掃描工作臺上設置有承片臺；5個片盒升降機構，呈單列設置在所述機架的另一端；導軌系統(tǒng)，在所述掃描臺和所述片盒升降機構之間。上述的傳輸結構，其中，所述導軌系統(tǒng)頂部設置有ー旋轉機械手，所述旋轉機械手包括兩個直臂，所述兩直臂夾角大于90度。上述的傳輸結構，其中，所述導軌系統(tǒng)包括第一向導軌和第二向導軌，所述第二向導軌位于所述第一向導軌上，所述第一向導軌和第二向導軌在水平面上互相垂直。上述的傳輸結構，其中，所述5個片盒升降機構環(huán)繞所述導軌系統(tǒng)的ー側。上述的傳輸結構，其中，所述機架上套有ー個透明罩體，所述罩體與所述機架接合處密封。上述的傳輸結構，其中，所述片盒升降機構包括片架升降電機，設置在所述機架里；片架升降絲杠，底端連接所述片架升降電機，頂端豎直；片盒，其底端豎直方向上設置有螺紋，連接所述片架升降絲杠。本實用新型通過設置5個片盒升降機構方便用于分選不同的基片，導軌系統(tǒng)通過第一向和第二向導軌移動，使導軌系統(tǒng)頂端的機械手靠近所述5個片盒升降機構中的任意一個或掃描工作平臺。

通過閱讀參照以下附圖對非限制性實施例所作的詳細描述，本實用新型及其特征、外形和優(yōu)點將會變得更明顯。在全部附圖中相同的標記指示相同的部分。并未刻意按照比例繪制附圖，重點在于示出本實用新型的主在附圖中，為清楚明了，放大了部分部件。圖I示出了根據本實用新型的，ー種5片盒整體傳輸結構的俯視圖。
具體實施方式
以下結合附圖及具體實施方式
對本實用新型進行進一歩詳細說明。此處所描述的具體實施方式
僅用于解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型的保護范圍。參考圖I示出了根據本實用新型的，ー種5片盒整體傳輸結構的俯視圖。其中，機架100上設置有掃描工作臺4，掃描工作臺4設置在所述機架100的一端，所述掃描工作臺4上設置有承片臺I ;5個片盒升降機構6，設置在所述機架100的另一端；導軌系統(tǒng)9，設置在所述掃描臺4和所述片盒升降機構6之間。進ー步地，所述導軌系統(tǒng)9頂部設置有ー旋轉機械手8，所述旋轉機械手8包括兩個直臂，所述兩直臂夾角大于90度。旋轉機械手8可以通過導軌系統(tǒng)9在掃描工作臺4和片盒升降機構6之間移動，從而實現(xiàn)基片(圖I中未標示)的傳輸。在一個優(yōu)選例中，所述導軌系統(tǒng)9包括第一向導軌2和第二向導軌3，所述第二向導軌3位于所述第一向導軌2上,所述第一向導軌2和第二向導軌3在水平面上互相垂直。旋轉機械手8的底端固定在所述第二向導軌3上，第二向導軌3設置在第一向導軌2上，所述機架100上設置有一第一向滑槽，第一向導軌2連接所述第一向滑槽，使得所述第一向導軌2可沿第一向移動，所述第一向導軌2上設置有第二向滑槽，使得所述第二向導軌3可沿第二向移動，這樣，旋轉機械手8就可以移動至ニ維平面上需要的位置。所述5個片盒升降機構環(huán)繞所述導軌系統(tǒng)的ー側，如圖I所示，這樣的設計使得旋轉機械手8和每ー個片盒升降機構的距離都相近，避免旋轉機械手8做大幅度的位移，參考圖I中特別標示的第一片盒升降機構10和第二片盒升降機構7，這兩個片盒升降機構是5個片盒升降機構中最兩端的片盒升降機構，其傾斜一定角度，正對所述旋轉機械手8，旋轉機械手8相距第一片盒升降機構10、相距第二片盒升降機構7約等于旋轉機械手8相距另外三個片盒升降機構的距離，再又一個優(yōu)選例中，5個片盒升降機構的排布成類似圓弧狀。為了保證本實用新型在傳輸過程中與外界隔離，機架100上套有ー個透明罩體(圖I中未標示)，所述罩體與所述機架接合處密封，不僅可以避免基片被污染，同時也方便工作人員觀察本實用新型的工作狀態(tài)。更進一歩地，所述片盒升降機構6包括片架升降電機(圖I中未標示)，設置在所述機架100里；片架升降絲杠(圖I中未標示)，其底端連接所述片架升降電機；片盒5，其底 端豎直方向上設置有螺紋，連接所述片架升降絲杠的頂端。本實用新型使用吋，首先，旋轉機械手8從ー個片盒升降機構6中的片盒5里取出基片，旋轉移動到掃描平臺4的承片臺I的位置。由旋轉機械手8將基片放置到承片臺I上。然后完成需要的檢測步驟，檢測完畢后，由旋轉機械手8將基片放置在設定的片盒升降機構6中一個機構的片盒5里，片盒在升降系統(tǒng)電機的帶動升降，片盒5中放置的基片逐次被裝滿或取空，更具需要再更換空片盒或裝有帶檢測基片的片盒。本實用新型通過設置5個片盒用于分類基片，可以根據需要將基片的類別設置成5種，通過機械手的設置可以高效完成傳輸過程，又因為設置有ー個透明罩體蓋住本實用新型，因此在傳輸過程中可以很好的防止人工操作時會發(fā)生的基片污染。 本領域技術人員應該理解，本領域技術人員結合現(xiàn)有技術以及上述實施例可以實現(xiàn)所述變化例，在此不予贅述。這樣的變化例并不影響本實用新型的實質內容，在此不予贅述。以上對本實用新型的較佳實施例進行了描述。需要理解的是，本實用新型并不局限于上述特定實施方式，其中未盡詳細描述的設備和結構應該理解為用本領域中的普通方式予以實施；任何熟悉本領域的技術人員，在不脫離本實用新型技術方案范圍情況下，都可利用上述掲示的方法和技術內容對本實用新型技術方案作出許多可能的變動和修飾，或修改為等同變化的等效實施例，這并不影響本實用新型的實質內容。因此，凡是未脫離本實用新型技術方案的內容，依據本實用新型的技術實質對以上實施例所做的任何簡單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本實用新型技術方案保護的范圍內。
權利要求1.ー種5片盒整體傳輸結構，包括機架，其特征在干 掃描工作臺，設置在所述機架的一端，所述掃描工作臺上設置有承片臺； 5個片盒升降機構，設置在所述機架的另一端； 導軌系統(tǒng)，在所述掃描臺和所述片盒升降機構之間。
2.根據權利要求I所述的傳輸結構，其特征在于，所述導軌系統(tǒng)頂部設置有一旋轉機械手，所述旋轉機械手包括兩個直臂，所述兩直臂夾角大于90度。
3.根據權利要求I或2所述的傳輸結構，其特征在于，所述導軌系統(tǒng)包括第一向導軌和第二向導軌，所述第一向導軌和第二向導軌在水平面上互相垂直。
4.根據權利要求2所述的傳輸結構，其特征在于，所述5個片盒升降機構環(huán)繞所述導軌系統(tǒng)的ー側。
5.根據權利要求2所述的傳輸結構，其特征在于，所述機架上套有ー個透明罩體，所述罩體與所述機架接合處密封。
6.根據權利要求2所述的傳輸結構，其特征在于，所述片盒升降機構包括 片架升降電機，設置在所述機架里； 片架升降絲杠，底端連接所述片架升降電機，頂端豎直； 片盒，其底端豎直方向上設置有螺紋，連接所述片架升降絲杠。
專利摘要本實用新型提供一種5片盒整體傳輸結構，包括機架，其特征在于還包括掃描工作臺，設置在所述機架的一端，所述掃描工作臺上設置有承片臺；5個片盒升降機構，設置在所述機架的另一端；導軌系統(tǒng)，在所述掃描臺和所述片盒升降機構之間。本實用新型通過設置5個片盒升降機構方便用于分選不同的基片。
文檔編號B65G49/06GK202389946SQ20112026544
公開日2012年8月22日 申請日期2011年7月26日 優(yōu)先權日2011年7月26日
發(fā)明者丁天祥, 李正賢 申請人:上海卓晶半導體科技有限公司