專(zhuān)利名稱(chēng)：板狀體搬送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及具備送風(fēng)式支撐裝置和推進(jìn)力賦予裝置而構(gòu)成的板狀體搬送裝置，送風(fēng)式支撐裝置向著板狀體的下表面供給空氣而以非接觸狀態(tài)支撐板狀體，推進(jìn)力賦予裝置相對(duì)于板狀體賦予搬送方向的推進(jìn)力。
背景技術(shù)：
涉及的板狀體搬送裝置，由送風(fēng)式支撐裝置向著板狀體的下表面供給空氣并以非接觸狀態(tài)支撐板狀體，由推進(jìn)力賦予裝置相對(duì)于該板狀體賦予搬送方向的推進(jìn)力，沿著搬送方向搬送板狀體。而且，在這樣的板狀體搬送裝置中，一直以來(lái)，存在著一種板狀體搬送裝置，該板狀體搬送裝置通過(guò)遍及板狀體的下表面的以非接觸狀態(tài)支撐的范圍全體以對(duì)置的狀態(tài)設(shè)置空氣噴出部，并且遍及板狀體的下表面的以非接觸狀態(tài)支撐的范圍全體供給從空氣噴出部向著上方噴出的空氣，從而由送風(fēng)式支撐裝置以非接觸狀態(tài)支撐板狀體(例如，參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。專(zhuān)利文獻(xiàn)1 日本特開(kāi)2005-(^9359號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
然而，由于在上述的現(xiàn)有的板狀體搬送裝置中，遍及板狀體的下表面的以非接觸狀態(tài)支撐的范圍全體供給從空氣噴出部向著上方噴出的空氣，因而從空氣噴出部噴出的范圍較廣，所以，從空氣噴出部向著上方噴出的空氣量變多，結(jié)果，由于從空氣供給源供給的空氣量必須變多，因而空氣供給源成為能夠供給大量的空氣的大型裝置。本發(fā)明是鑒于上述實(shí)際情況而做出的，其目的在于，提供一種板狀體搬送裝置，該板狀體搬送裝置能夠謀求空氣供給源的小型化，同時(shí)利用來(lái)自空氣供給源的空氣的供給而恰當(dāng)?shù)匾苑墙佑|狀態(tài)支撐板狀體。本發(fā)明涉及的板狀體搬送裝置具備以下向著板狀體的下表面供給空氣而以非接觸狀態(tài)支撐板狀體的送風(fēng)式支撐裝置；相對(duì)于板狀體賦予搬送方向的推進(jìn)力的推進(jìn)力賦予裝置。前述送風(fēng)式支撐裝置具備空氣噴出部和一對(duì)引導(dǎo)板部而構(gòu)成，空氣噴出部沿著前述搬送方向備置，將從空氣供給源供給的空氣向著上方噴出，一對(duì)引導(dǎo)板部為了沿著板狀體的下表面在與前述搬送方向交叉的寬度方向上引導(dǎo)從前述空氣噴出部噴出至板狀體的下表面的空氣，以相對(duì)于前述空氣噴出部鄰接于前述寬度方向的兩側(cè)的狀態(tài)進(jìn)行配置，在前述一對(duì)引導(dǎo)板部的一方或雙方的前述寬度方向的從前述空氣噴出部離開(kāi)的一側(cè)的端部，具備突條部，前述突條部，在比被搬送的板狀體的下表面更位于下方的高度從前述引導(dǎo)板部的上表面突出至上方，并沿著前述搬送方向形成。即，空氣從空氣供給源被供給至空氣噴出部，該空氣從空氣供給部向著上方噴出。 而且，從空氣噴出部向著上方噴出的空氣被供給至板狀體的下表面，被供給至該板狀體的下表面的空氣在引導(dǎo)板部和板狀體之間的空間沿著引導(dǎo)板部的上表面和板狀體的下表面而在寬度方向上流動(dòng)。S卩，在設(shè)有空氣噴出部的位置，能夠利用從空氣噴出部向著上方噴出的空氣以非接觸狀態(tài)支撐板狀體的下表面，另外，在設(shè)有引導(dǎo)板部的位置，能夠利用形成于該引導(dǎo)板部上的空氣層以非接觸狀態(tài)支撐板狀體的下表面。而且，由于在以非接觸狀態(tài)支撐板狀體的下表面的空氣噴出部和引導(dǎo)板部之中，空氣的噴出僅在空氣噴出部即可，因而能夠減少?gòu)乃惋L(fēng)式支撐裝置供給至板狀體的下表面的空氣量，由于能夠使從空氣供給源供給的空氣量變少，因而能夠謀求空氣供給源的小型化。而且，沿著引導(dǎo)板部的上表面流動(dòng)至外側(cè)的空氣由于突條部的存在而難以從引導(dǎo)板部的端部排氣，所以在板狀體的端部也容易形成空氣層，容易由形成于引導(dǎo)板部上的空氣層以非接觸狀態(tài)恰當(dāng)?shù)刂伟鍫铙w。所以，完成了能夠提供一種板狀體搬送裝置，該板狀體搬送裝置能夠謀求空氣供給源的小型化，同時(shí)利用來(lái)自空氣供給源的空氣的供給以非接觸狀態(tài)恰當(dāng)?shù)刂伟鍫铙w。在本發(fā)明涉及的板狀體搬送裝置的實(shí)施方式中，優(yōu)選地，作為前述推進(jìn)力賦予裝置，具備一對(duì)推進(jìn)力賦予裝置，該一對(duì)推進(jìn)力賦予裝置為接觸支撐板狀體的與搬送方向交叉的前述寬度方向的一端部而相對(duì)于板狀體賦予搬送方向的推進(jìn)力的一端側(cè)的推進(jìn)力賦予裝置，以及接觸支撐板狀體的前述寬度方向的另一端部而相對(duì)于板狀體賦予搬送方向的推進(jìn)力的另一端側(cè)的推進(jìn)力賦予裝置，前述送風(fēng)式支撐裝置在平面視圖中配設(shè)于前述一對(duì)推進(jìn)力賦予裝置之間，前述送風(fēng)式支撐裝置的前述一對(duì)引導(dǎo)板部之中的一方或雙方延伸至前述推進(jìn)力賦予裝置的附近。S卩，由一端側(cè)的推進(jìn)力賦予裝置接觸支撐板狀體的寬度方向的一端部，由另一端側(cè)的推進(jìn)力賦予裝置接觸支撐板狀體的寬度方向的另一端部，由一對(duì)推進(jìn)力賦予裝置接觸支撐板狀體的寬度方向的兩端部。所以，通過(guò)由一對(duì)推進(jìn)力賦予裝置接觸支撐板狀體的寬度方向的兩端部，從而以穩(wěn)定的狀態(tài)支撐板狀體，并相對(duì)于該支撐的板狀體的兩端部賦予推進(jìn)力，因而能夠以穩(wěn)定的狀態(tài)沿著搬送方向搬送板狀體。而且，由于送風(fēng)式支撐裝置在平面視圖中配設(shè)于一對(duì)推進(jìn)力賦予裝置之間，送風(fēng)式支撐裝置的一對(duì)引導(dǎo)板部之中的一方或雙方延伸至推進(jìn)力賦予裝置的附近，由于能夠由送風(fēng)式支撐裝置以非接觸狀態(tài)支撐直至由板狀體的推進(jìn)力支撐裝置接觸支撐的部分的附近，因而能夠利用推進(jìn)力賦予裝置和送風(fēng)式支撐裝置恰當(dāng)?shù)刂伟鍫铙w。在本發(fā)明涉及的板狀體搬送裝置的實(shí)施方式中，優(yōu)選地，前述一對(duì)引導(dǎo)板部之中的一方的引導(dǎo)板部形成為在前述寬度方向上比另一方的引導(dǎo)板部更寬，僅在前述一對(duì)引導(dǎo)板部之中的前述一方具備前述突條部。S卩，由于一方的引導(dǎo)板部的寬度方向的寬度形成為比另一方的引導(dǎo)板部的寬度方向的寬度更寬，因而從空氣噴出部噴出的空氣容易流動(dòng)至另一方的引導(dǎo)板部側(cè)，難以流動(dòng)至一方的引導(dǎo)板部側(cè)。但是，從空氣噴出部流動(dòng)至一方的引導(dǎo)板部側(cè)的空氣，由于突條部的存在而被阻止了流動(dòng)，因而難以從端部排氣。因此，在一方的引導(dǎo)板部上也能夠容易形成空氣層。所以，在一方的引導(dǎo)板部，通過(guò)具備突條部而容易在引導(dǎo)板部上形成空氣層，在另一方的引導(dǎo)板部，通過(guò)形成得較窄而容易在引導(dǎo)板部上形成空氣層，容易由形成于一對(duì)引導(dǎo)板部上的空氣層以非接觸狀態(tài)恰當(dāng)?shù)刂伟鍫铙w。在本發(fā)明涉及的板狀體搬送裝置的實(shí)施方式中，優(yōu)選地，前述送風(fēng)式支撐裝置以
5沿著前述寬度方向隔開(kāi)間隔的狀態(tài)并列地備置一對(duì)，在前述一對(duì)送風(fēng)式支撐裝置之間，形成有將前述板狀體上的空氣排氣至前述板狀體的下方的空間的排氣用的間隙，前述一對(duì)送風(fēng)式支撐裝置的各自的前述一對(duì)引導(dǎo)板部的、在前述寬度方向上離前述排氣用的間隙較近的一方的引導(dǎo)板部，形成為在前述寬度方向上比離前述排氣用的間隙較遠(yuǎn)的一方的引導(dǎo)板部更窄，僅在前述一對(duì)引導(dǎo)板部之中的離前述排氣用的間隙較遠(yuǎn)的一方的引導(dǎo)板部，具備前述突條部。S卩，由于離排氣用的間隙較遠(yuǎn)的一方的(即外側(cè)的)引導(dǎo)板部的寬度方向的寬度形成為比離排氣用的間隙較近的一方的(即內(nèi)側(cè)的)引導(dǎo)板部的寬度方向的寬度更寬，因而從空氣噴出部噴出的空氣容易流動(dòng)至內(nèi)側(cè)方的引導(dǎo)板部側(cè)，難以流動(dòng)至外側(cè)的引導(dǎo)板部側(cè)。但是，從空氣噴出部流動(dòng)至外側(cè)的引導(dǎo)板部側(cè)的空氣，由于突條部的存在而被阻止了流動(dòng)，因而難以從端部排氣。因此，在外側(cè)的引導(dǎo)板部上，也能夠容易形成空氣層。所以，在外側(cè)的引導(dǎo)板部，通過(guò)具備突條部而容易在引導(dǎo)板部上形成空氣層，在內(nèi)側(cè)的引導(dǎo)板部，通過(guò)形成得較窄而容易在引導(dǎo)板部上形成空氣層，容易由形成于一對(duì)引導(dǎo)板部上的空氣層以非接觸狀態(tài)恰當(dāng)?shù)刂伟鍫铙w。在本發(fā)明涉及的板狀體搬送裝置的實(shí)施方式中，優(yōu)選地，前述空氣供給源由風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元(fan filter unit)構(gòu)成，將電動(dòng)式送風(fēng)風(fēng)機(jī)和除塵過(guò)濾器一體地組裝而構(gòu)成該風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元。S卩，由于能夠僅通過(guò)設(shè)置將電動(dòng)式送風(fēng)風(fēng)機(jī)和除塵過(guò)濾器一體地組裝的風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元而設(shè)置空氣供給源，因而送風(fēng)式支撐裝置的設(shè)置簡(jiǎn)單，由此，能夠謀求板狀體搬送裝置的制作的容易化。在本發(fā)明涉及的板狀體搬送裝置的實(shí)施方式中，優(yōu)選地，設(shè)有形成來(lái)自前述空氣供給源的空氣被壓入的腔室空間的腔室部，在前述腔室部的上部具備前述空氣噴出部，前述空氣供給源配設(shè)在位于板狀體的搬送路徑的寬度內(nèi)的位置，并配設(shè)在以在平面視圖中不與前述腔室部的前述噴出口重疊的方式相對(duì)于前述腔室部沿水平方向錯(cuò)開(kāi)的位置。S卩，來(lái)自空氣供給源的空氣在引導(dǎo)通路部流動(dòng)而被壓入腔室部的腔室空間，因而，即使在從空氣供給源的空氣產(chǎn)生脈動(dòng)(pulsation)，由于通過(guò)腔室空間的緩沖作用 (cushioning)而吸收該脈動(dòng)，因而也能夠抑制從噴出口噴出的空氣的脈動(dòng)。而且，空氣供給源配設(shè)在以在平面視圖中不與腔室部的噴出口重疊的方式相對(duì)于腔室部沿水平方向錯(cuò)開(kāi)的位置。所以，即使破損的板狀體的破片等異物從噴出口侵入腔室空間內(nèi)，由于該異物不直接落下至空氣供給源，因而能夠使異物難以侵入空氣供給源。艮口， 由于能夠預(yù)先將侵入的異物留在腔室部，因而能夠容易地進(jìn)行僅僅除去腔室空間內(nèi)的異物即可等的異物的除去作業(yè)。再者，在本發(fā)明涉及的板狀體搬送裝置的實(shí)施方式中，優(yōu)選地，前述突條部沿著前述搬送方向直線(xiàn)狀地連續(xù)地延伸。


圖1是板狀體搬送裝置的立體圖。圖2是板狀體搬送裝置的縱剖正面圖。圖3是送風(fēng)式支撐裝置的縱剖正面圖。
圖4是腔室部的縱剖正面圖。圖5是其它實(shí)施方式的送風(fēng)式支撐裝置的正面圖。符號(hào)說(shuō)明1板狀體2送風(fēng)式支撐裝置3推進(jìn)力賦予裝置9送風(fēng)風(fēng)機(jī)10除塵過(guò)濾器11空氣供給源14腔室部16引導(dǎo)板部16a內(nèi)側(cè)的引導(dǎo)板部16b外側(cè)的引導(dǎo)板部17排氣路20空氣噴出部27突條部
具體實(shí)施例方式以下，基于附圖，說(shuō)明以搬送作為板狀體的矩形的基板，具體為平板顯示器 (flat-panel display)用的玻璃基板的方式構(gòu)成本發(fā)明涉及的板狀體搬送裝置的情況。如圖1所示，板狀體搬送裝置H具備送風(fēng)式支撐裝置2和推進(jìn)力賦予裝置3而構(gòu)成，送風(fēng)式支撐裝置2向著玻璃基板1的下表面供給清潔空氣而以非接觸狀態(tài)支撐玻璃基板1，推進(jìn)力賦予裝置3接觸支撐玻璃基板1的下表面，相對(duì)于玻璃基板1賦予搬送方向的推進(jìn)力。此外，板狀體搬送裝置H，沿著搬送方向并列設(shè)置多臺(tái)板狀體搬送單元U而構(gòu)成，該板狀體搬送單元U具備送風(fēng)式支撐裝置2和推進(jìn)力賦予裝置3。推進(jìn)力賦予裝置3構(gòu)成為沿著搬送方向并列設(shè)置多個(gè)旋轉(zhuǎn)輥6，并使各個(gè)旋轉(zhuǎn)輥6 被與其對(duì)應(yīng)的電動(dòng)馬達(dá)7分別旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)而相對(duì)于玻璃基板1賦予搬送方向的推進(jìn)力，其中， 旋轉(zhuǎn)輥6接觸支撐玻璃基板1的下表面的與搬送方向垂直的寬度方向的端部。也能夠由一個(gè)電動(dòng)馬達(dá)經(jīng)由傳動(dòng)機(jī)構(gòu)而旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)多個(gè)旋轉(zhuǎn)輥，以代替這樣的構(gòu)成。另外，作為推進(jìn)力賦予裝置3，具備一對(duì)推進(jìn)力賦予裝置3，S卩，接觸支撐玻璃基板 1的下表面的寬度方向的一端部而相對(duì)于玻璃基板1賦予搬送方向的推進(jìn)力的一端側(cè)的推進(jìn)力賦予裝置3，以及接觸支撐玻璃基板1的下表面的寬度方向的另一端部而相對(duì)于玻璃基板1賦予搬送方向的推進(jìn)力的另一端側(cè)的推進(jìn)力賦予裝置3。而且，利用這一對(duì)推進(jìn)力賦予裝置3，從下方接觸支撐玻璃基板1的下表面的寬度方向的兩端部，并且，相對(duì)于該兩端部賦予搬送方向的推進(jìn)力。如圖2或圖3所示，送風(fēng)式支撐裝置2，在平面視圖中，配設(shè)于一對(duì)推進(jìn)力賦予裝置3之間。而且，送風(fēng)式支撐裝置2配設(shè)于全體位于玻璃基板1的搬送路徑的寬度內(nèi)的位置，向玻璃基板1的下表面的寬度方向的中間部供給清潔空氣而以非接觸狀態(tài)支撐玻璃基板1。
S卩，如圖2或圖3所示，板狀體搬送裝置H構(gòu)成為在由推進(jìn)力賦予裝置3接觸支撐玻璃基板1的寬度方向的兩端部并由送風(fēng)式支撐裝置2非接觸支撐玻璃基板1的寬度方向的中央部的狀態(tài)下，通過(guò)由推進(jìn)力賦予裝置3相對(duì)于玻璃基板1的寬度方向的兩端部賦予搬送方向的推進(jìn)力，從而沿著搬送方向搬送玻璃基板1。[送風(fēng)式支撐裝置]接著，說(shuō)明送風(fēng)式支撐裝置2。 如圖3所示，送風(fēng)式支撐裝置2具備空氣供給用的空氣供給源11、腔室部14、引導(dǎo)通路部15以及引導(dǎo)板部16而構(gòu)成。腔室部14，形成來(lái)自空氣供給源11的空氣被壓入的腔室空間12，并具備從該腔室空間12向著上方噴出空氣的噴出口 13。引導(dǎo)通路部15將從空氣供給源11供給的空氣引導(dǎo)至腔室部14。引導(dǎo)板部16為了沿著玻璃基板1的下表面流動(dòng)引導(dǎo)從噴出口 13向著玻璃基板1的下表面噴出的空氣而以鄰接于腔室部14的狀態(tài)配設(shè)。 在此，以這樣的含義使用“壓入”的表述從空氣供給源11導(dǎo)入至腔室空間12內(nèi)的空氣的壓力以成為比腔室部14的外部更高的方式被導(dǎo)入。由于該壓力，空氣從噴出口 13噴出。送風(fēng)式支撐裝置2構(gòu)成為將從空氣供給源11供給的空氣通過(guò)引導(dǎo)通路部15而引導(dǎo)至沿著搬送方向設(shè)置的腔室部14，并將在腔室部14中脈動(dòng)被抑制的空氣從噴出口 13向著上方噴出。而且，在由送風(fēng)式支撐裝置2非接觸支撐玻璃基板1的狀態(tài)下，向著玻璃基板1的下表面供給從噴出口 13向著上方噴出的空氣，向著該玻璃基板1的下表面供給的空氣，在引導(dǎo)板部16和玻璃基板1之間的空間沿著引導(dǎo)板部16的上表面和玻璃基板1的下表面而在寬度方向上流動(dòng)。通過(guò)這樣使空氣流動(dòng)而在引導(dǎo)板部16和玻璃基板1之間形成空氣層，從而不僅能夠在設(shè)有向著玻璃基板1的下表面噴出空氣的腔室部14的位置以非接觸狀態(tài)支撐玻璃基板1，而且在其橫側(cè)方的設(shè)有引導(dǎo)板部16的位置也能夠以非接觸狀態(tài)支撐玻璃基板1。送風(fēng)式支撐裝置2，以相互隔開(kāi)間隔的狀態(tài)沿著寬度方向并列地備置一對(duì)，在一對(duì)送風(fēng)式支撐裝置2之間，形成有將引導(dǎo)板部16上的空氣排氣至引導(dǎo)板部16的下方的空間的排氣路17(有時(shí)候稱(chēng)為中央部的排氣路17a，相當(dāng)于本申請(qǐng)的排氣路或排氣用的間隙)。 另外，一對(duì)送風(fēng)式支撐裝置2分別以相對(duì)于推進(jìn)力賦予裝置3相互隔開(kāi)間隔的狀態(tài)備置，在送風(fēng)式支撐裝置2和推進(jìn)力賦予裝置3之間，也形成有將引導(dǎo)板部16上的空氣排氣至引導(dǎo)板部16的下方的空間的排氣路17 (有時(shí)候稱(chēng)為端部的排氣路17b)。順便提及，送風(fēng)式支撐裝置2以連續(xù)的狀態(tài)沿著搬送方向并列設(shè)置，在沿著搬送方向鄰接的腔室部14彼此之間或沿著搬送方向鄰接的引導(dǎo)板部16彼此之間，未形成間隙。接著，進(jìn)一步說(shuō)明送風(fēng)式支撐裝置2的各個(gè)部分，一對(duì)送風(fēng)式支撐裝置2，除了在寬度方向的中央位置相對(duì)于沿著搬送方向延伸的假想線(xiàn)對(duì)稱(chēng)地構(gòu)成的方面以外同樣地構(gòu)成，因而說(shuō)明位于寬度方向的一側(cè)的送風(fēng)式支撐裝置2，關(guān)于位于另一側(cè)的送風(fēng)式支撐裝置 2，則省略說(shuō)明。另外，在說(shuō)明送風(fēng)式支撐裝置2的各個(gè)部分時(shí)，有時(shí)候?qū)挾确较虻男纬捎兄醒氩康呐艢饴?7a的一側(cè)稱(chēng)為內(nèi)側(cè)、將寬度方向的形成有端部的排氣路17b的一側(cè)稱(chēng)為外側(cè)而進(jìn)行說(shuō)明。[空氣供給源]空氣供給源11，由風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元構(gòu)成，將電動(dòng)式送風(fēng)風(fēng)機(jī)9和除塵過(guò)濾器10 —體地組裝而構(gòu)成該風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元構(gòu)成，送風(fēng)風(fēng)機(jī)9圍繞縱軸心旋轉(zhuǎn)，并以覆蓋該送風(fēng)風(fēng)機(jī)9的上方的方式配設(shè)有除塵過(guò)濾器10。通過(guò)這樣地配置空氣供給源11，從而配置成通過(guò)使送風(fēng)風(fēng)機(jī)9旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，從而供給空氣供給源11的下方的空氣，并使該供給的空氣通過(guò)除塵過(guò)濾器10而作為清潔空氣排氣至空氣供給源11的上方，向著上方供給空氣。順便提及，空氣供給源11在平面視圖中形成為矩形，空氣供給源11的寬度方向的寬度為送風(fēng)式支撐裝置2的寬度方向的寬度的1/2 1/3左右，空氣供給源11的搬送方向的寬度為送風(fēng)式支撐裝置2的搬送方向的寬度的1/2左右?？諝夤┙o源11，以形成于該空氣供給源11的供給面(上表面)的供給口 18在平面視圖中不與腔室部14的噴出口 13重疊的方式，配設(shè)在相對(duì)于腔室部14錯(cuò)開(kāi)至寬度方向的外側(cè)的位置。另外，空氣供給源11，以在橫側(cè)面視圖中不與腔室部14重疊的方式，配設(shè)在相對(duì)于腔室部14錯(cuò)開(kāi)至上下方向的下側(cè)的位置。這樣地設(shè)置的空氣供給源11，以其寬度方向的內(nèi)側(cè)端部的上端接近腔室部14的寬度方向的外側(cè)端部的下端的狀態(tài)進(jìn)行設(shè)置。順便提及，空氣供給源11的內(nèi)側(cè)端部和腔室部14的外側(cè)端部在平面視圖中重疊。[引導(dǎo)通路部]引導(dǎo)通路部15由導(dǎo)管構(gòu)成，該導(dǎo)管以連通空氣供給源11的供給口 18和形成于腔室部14的外側(cè)的橫側(cè)面的導(dǎo)入口 19的狀態(tài)進(jìn)行設(shè)置。如果進(jìn)一步說(shuō)明，則引導(dǎo)通路部15的一方的端部，通過(guò)與位于供給口 18的周?chē)目諝夤┙o源11的框體連接而連接至空氣供給源11的供給面，引導(dǎo)通路部15的另一方的端部，通過(guò)與位于導(dǎo)入口 19的周?chē)那皇也?4的側(cè)板連接而連接至腔室部14的外側(cè)的橫側(cè)面部14a。引導(dǎo)通路部15的上表面部分，以越是寬度方向的內(nèi)側(cè)，則越位于更高位置的方式形成為傾斜狀，搬送方向視圖中的引導(dǎo)通路部15的形狀形成為三角形。對(duì)于這樣地形成的引導(dǎo)通路部15而言，搬送方向視圖中的上下方向的通路寬度形成為在寬度方向上越是內(nèi)側(cè)(腔室部14側(cè))則越比外側(cè)(空氣供給源11的外側(cè)端部側(cè))更寬。即，引導(dǎo)通路部15 的通路寬度，以越是空氣的通氣量變多的寬度方向的內(nèi)側(cè)則越寬的方式形成。順便提及，引導(dǎo)通路部15的、配置于搬送方向的前端的前面部分和配置于后端的后面部分，形成為以沿著寬度方向的姿勢(shì)鉛垂地直立設(shè)置并相互平行，對(duì)于引導(dǎo)通路部15 而言，平面視圖中的寬度方向的寬度在內(nèi)側(cè)和外側(cè)形成為相同寬度。另外，引導(dǎo)通路部15 的搬送方向的通路寬度形成為與供給口 18或?qū)肟?19的搬送方向的寬度相同的寬度。[腔室部]如圖4所示，腔室部14，形成為沿搬送方向傾倒的橫放姿勢(shì)的四角箱狀，沿著搬送方向設(shè)置，由其內(nèi)部空間形成腔室空間12。即，形成腔室部14的內(nèi)部空間的上表面部14b、 一對(duì)橫側(cè)面部14a以及下表面部14c沿搬送方向延伸。腔室部14的上表面部14b由沖孔金屬(punching metal)構(gòu)成，由形成于該沖孔金屬的孔形成噴出口 13。這樣，在腔室部14的上部，形成有多個(gè)向著上方噴出空氣的噴出口 13，在腔室部14的上部，為了將從空氣供給源11供給的空氣向著上方噴出，沿著搬送方向具備由多個(gè)噴出口 13構(gòu)成的空氣噴出部20。腔室部14的、配置于搬送方向的前端的前面部分和配置于后端的后面部分，形成為以沿著寬度方向的姿勢(shì)鉛垂地直立設(shè)置并相互平行。而且，腔室部14構(gòu)成為將由引導(dǎo)通路部15引導(dǎo)來(lái)的空氣從導(dǎo)入口 19導(dǎo)入至腔室空間12內(nèi)，并以抑制該導(dǎo)入的空氣的脈動(dòng)的狀態(tài)從多個(gè)噴出口 13向著上方噴出。導(dǎo)入口 19從腔室部14的下表面部14c形成至設(shè)定高度高的位置，在腔室部14的下表面部14c和導(dǎo)入口 19之間形成臺(tái)階差。對(duì)于下表面部Hc而言，寬度方向的外側(cè)部分的上表面形成為平坦面，寬度方向的內(nèi)側(cè)部分的上表面形成為越是外側(cè)則越位于上方的傾斜面。而且，在腔室部14，從下表面部14c至內(nèi)側(cè)的橫側(cè)面部14a，形成有維護(hù)用開(kāi)口 21， 并且，具備使該維護(hù)用開(kāi)口 21開(kāi)閉自如的蓋部件22。而且，蓋部分22由固定部件固定于腔室部14，并且以能夠不使用工具進(jìn)行裝卸而開(kāi)閉維護(hù)用開(kāi)口 21的方式構(gòu)成，其中，固定部件由蝶形螺栓等構(gòu)成。S卩，對(duì)于腔室部14而言，即使破損的玻璃基板1的破片等異物從噴出口 13侵入腔室空間12內(nèi)，也能夠由腔室部14的下表面部14c，尤其是下表面部14c的膨出至下方的寬度方向的外側(cè)部分阻擋該異物。而且，構(gòu)成為，由于引導(dǎo)通路部15連接于腔室部14的橫側(cè)面部14a，并且，在導(dǎo)入口 19和下表面部Hc之間形成有臺(tái)階差，因而能夠防止異物侵入至引導(dǎo)通路部15，由此，能夠防止異物侵入至空氣供給源11。而且，被腔室部14的下表面部 14c阻擋的異物構(gòu)成為通過(guò)卸下蓋部件22而使維護(hù)用開(kāi)口 21開(kāi)口，從而將腔室空間12內(nèi)的異物通過(guò)維護(hù)用開(kāi)口 21而取出至外部。另外，在腔室部14，具備風(fēng)量檢測(cè)裝置24，該風(fēng)量檢測(cè)裝置M檢測(cè)從空氣供給源 11供給的空氣的供給量為設(shè)定量以下的情況。該風(fēng)量檢測(cè)裝置M具備搖動(dòng)體25和檢測(cè)體沈而構(gòu)成，搖動(dòng)體25以圍繞沿著搬送方向的軸心搖動(dòng)自如的方式被懸掛支撐，檢測(cè)體26由投光器和受光器構(gòu)成，搖動(dòng)體25和檢測(cè)體沈，比腔室部14的外側(cè)的橫側(cè)面部1 的導(dǎo)入口 19更被支撐于上方位置。另外，搖動(dòng)體25以在鉛垂姿勢(shì)下端比導(dǎo)入口 19的上端更位于下方的方式設(shè)置，如果空氣供給源11 工作而從空氣供給源11供給空氣，則搖動(dòng)體25從鉛垂姿勢(shì)切換為搖動(dòng)至內(nèi)側(cè)的傾斜姿勢(shì)。而且，在從空氣供給源11恰當(dāng)?shù)毓┙o空氣的狀態(tài)下，當(dāng)搖動(dòng)體25搖動(dòng)至設(shè)定角度以上時(shí)，檢測(cè)體沈成為檢測(cè)搖動(dòng)體25的檢測(cè)狀態(tài)。另外，在由于除塵過(guò)濾器10的堵塞等而不從空氣供給源11恰當(dāng)?shù)毓┙o空氣，供給的空氣的供給量為設(shè)定量(例如，搬送的玻璃基板1有可能撓曲至下方而與送風(fēng)式支撐裝置2接觸的某個(gè)供給量)以下的狀態(tài)下，當(dāng)搖動(dòng)體25僅搖動(dòng)設(shè)定角度以下時(shí)，檢測(cè)體沈成為未檢測(cè)搖動(dòng)體25的非檢測(cè)狀態(tài)。[引導(dǎo)板部]如圖2或圖3所示，引導(dǎo)板部16，為了沿著玻璃基板1的下表面在寬度方向上引導(dǎo)從腔室部14 (空氣噴出部20)向著玻璃基板1的下表面噴出的空氣，以相對(duì)于腔室部14鄰接于寬度方向的兩側(cè)的狀態(tài)配置一對(duì)。而且，在一對(duì)引導(dǎo)板部16的一方的外側(cè)的端部，具備突條部27，突條部27形成為在比被搬送的玻璃基板1的下表面更位于下方的高度從引導(dǎo)板部16的上表面突出至上方，并且，沿著搬送方向直線(xiàn)狀地連續(xù)地延伸。進(jìn)一步說(shuō)明，一對(duì)引導(dǎo)板部16的各個(gè)引導(dǎo)板部，以沿著被搬送的玻璃基板1的下表面的方式以水平姿勢(shì)設(shè)置其上表面。順便提及，腔室部14，以沿著被搬送的玻璃基板1的下表面的方式設(shè)置其上表面，一對(duì)引導(dǎo)板部16和腔室部14，以各自的上表面成為同一面的狀態(tài)進(jìn)行配置。而且，一對(duì)引導(dǎo)板部16之中的與腔室部14的外側(cè)鄰接的外側(cè)的(即離排氣路17 較遠(yuǎn)的一方的)引導(dǎo)板部16b，其寬度方向的外側(cè)的端部延伸至推進(jìn)力賦予裝置3的附近， 與腔室部14的內(nèi)側(cè)鄰接的內(nèi)側(cè)的(即離排氣路17較近的一方的)引導(dǎo)板部16a，其寬度方向的內(nèi)側(cè)的端部延伸至板狀體搬送裝置H的寬度方向的中央部的附近。另夕卜，內(nèi)側(cè)的引導(dǎo)板部16a形成為在寬度方向上比外側(cè)的引導(dǎo)板部16b更窄。通過(guò)這樣地形成一對(duì)引導(dǎo)板部16的寬度，腔室部14以與端部的排氣路17b相比更偏向中央部的排氣路17a側(cè)的狀態(tài)進(jìn)行配置，從腔室部14噴出的空氣被供給至玻璃基板1的中央附近的下表面。順便提及，內(nèi)側(cè)的引導(dǎo)板部16a的寬度方向的寬度，形成為腔室部14的寬度方向的寬度的1/3 1/4左右的寬度，外側(cè)的引導(dǎo)板部16b的寬度方向的寬度，形成為腔室部14 的寬度方向的寬度的2. 5倍左右的寬度。而且，在外側(cè)的引導(dǎo)板部16b的外側(cè)的端部，沿著搬送方向遍及引導(dǎo)板部16的全部寬度而具備突條部27。順便提及，在內(nèi)側(cè)的引導(dǎo)板部16a，不具備突條部27。S卩，由于從腔室部14至端部的排氣路17b的距離比從腔室部14到中央部的排氣路17a的距離更長(zhǎng)，因而從腔室部14噴出的空氣容易流動(dòng)至內(nèi)側(cè)，難以流動(dòng)至外側(cè)。但是， 從腔室部14流動(dòng)至外側(cè)的空氣由于突條部27的存在而難以從端部的排氣路17b排氣，所以在腔室部14的外側(cè)，也容易形成空氣層。在引導(dǎo)板部16，以比引導(dǎo)板部16的上表面突出至更上方的狀態(tài)且以相對(duì)于被搬送的玻璃基板1在下方離開(kāi)的狀態(tài)設(shè)有支撐體觀(guān)，構(gòu)成為能夠由支撐體觀(guān)將撓曲至下方的玻璃基板1支撐在引導(dǎo)板部16的上表面的更上方，其中，該玻璃基板1由于由送風(fēng)式支撐裝置2的故障等引起的送風(fēng)式支撐裝置2的支撐力降低的情況等而撓曲至下方。而且，支撐體觀(guān)由旋轉(zhuǎn)自如的樹(shù)脂制的球體構(gòu)成，在內(nèi)側(cè)的引導(dǎo)板部16a的內(nèi)側(cè)的端部、外側(cè)的引導(dǎo)板部16b的寬度方向的中央部以及外側(cè)的引導(dǎo)板部16b的內(nèi)側(cè)的端部， 分別沿著搬送方向隔開(kāi)設(shè)定間隔而設(shè)置。如以上說(shuō)明的，在本實(shí)施方式中，在位于腔室部14的寬度方向的兩側(cè)的內(nèi)側(cè)的引導(dǎo)板部16a和外側(cè)的引導(dǎo)板部16b之中的、寬度方向的寬度較寬的外側(cè)的引導(dǎo)板部16b的端部，具備突條部27。通過(guò)這樣地在外側(cè)的引導(dǎo)板部16b具備突條部27，使得從腔室部14 流動(dòng)至外側(cè)的空氣由于突條部27的存在而難以從端部的排氣路17b排氣，在腔室部14的外側(cè)，也容易形成空氣層。[其他實(shí)施方式](1)雖然在上述實(shí)施方式中，將內(nèi)側(cè)的引導(dǎo)板部16a形成為在寬度方向上比外側(cè)的引導(dǎo)板部16b更窄而構(gòu)成，但是，如圖5(a)所示，也可以將內(nèi)側(cè)的引導(dǎo)板部16a形成為在寬度方向上比外側(cè)的引導(dǎo)板部16b更寬而構(gòu)成，另外，也可以將內(nèi)側(cè)的引導(dǎo)板部16a和外側(cè)的引導(dǎo)板部16b的寬度方向的寬度形成為相同寬度而構(gòu)成。(2)雖然在上述實(shí)施方式中，將一對(duì)送風(fēng)式支撐裝置2以相互隔開(kāi)間隔的狀態(tài)設(shè)置并在一對(duì)送風(fēng)式支撐裝置2之間形成排氣路17，但是如圖5(b)所示，也可以將一對(duì)送風(fēng)式支撐裝置2以密接的狀態(tài)設(shè)置并在一對(duì)送風(fēng)式支撐裝置2之間不形成排氣路17。另外，雖然將送風(fēng)式支撐裝置2沿著寬度方向并列設(shè)置一對(duì)而構(gòu)成，但是如圖5(c)所示，也可以將送風(fēng)式支撐裝置2沿著寬度方向僅僅設(shè)置一個(gè)而不是并列設(shè)置多個(gè)， 另外，也可以將送風(fēng)式支撐裝置2沿著寬度方向并列設(shè)置多個(gè)而構(gòu)成。順便提及，在沿著寬度方向僅僅設(shè)置一個(gè)送風(fēng)式支撐裝置2的情況下，送風(fēng)式支撐裝置2的一對(duì)引導(dǎo)板部16的雙方延伸至推進(jìn)力賦予手段3的附近。(3)雖然在上述實(shí)施方式中，僅在一對(duì)弓I導(dǎo)板部16之中的一方的引導(dǎo)板部16具備突條部，但是如圖5(c)所示，也可以在一對(duì)引導(dǎo)板部16之中的雙方的引導(dǎo)板部16具備突條部27。另外，雖然在上述實(shí)施方式中，僅在一對(duì)引導(dǎo)板部16之中的外側(cè)的引導(dǎo)板部16b 具備突條部27，但是如圖5(a)所示，也可以?xún)H在一對(duì)引導(dǎo)板部16之中的內(nèi)側(cè)的引導(dǎo)板部 16a具備突條部27。(4)雖然在上述實(shí)施方式中，由風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元構(gòu)成空氣供給源11，但是也可以由壓縮機(jī)等構(gòu)成空氣供給源11。(5)雖然在上述實(shí)施方式中，作為推進(jìn)力賦予裝置3，設(shè)置了一端側(cè)的推進(jìn)力賦予裝置3和另一端側(cè)的推進(jìn)力賦予裝置3，但是，作為推進(jìn)力賦予裝置3，也可以?xún)H設(shè)置一端側(cè)的推進(jìn)力賦予裝置3或另一端側(cè)的推進(jìn)力賦予裝置3中的任一方的推進(jìn)力賦予裝置3，另外，作為推進(jìn)力賦予裝置3，也可以設(shè)置接觸支撐玻璃基板1的寬度方向的中央部并相對(duì)于板狀體賦予推進(jìn)力的中央側(cè)的推進(jìn)力賦予裝置3。(6)雖然在上述實(shí)施方式中，以在平面視圖中不與腔室部14的噴出口 13重疊的方式將空氣供給源11配設(shè)在相對(duì)于腔室部14沿著水平方向錯(cuò)開(kāi)的位置，但是也可以以在平面視圖中與腔室部14的噴出口 13重疊的方式將空氣供給源11配設(shè)在腔室部14的下方的位置。另外，雖然在上述實(shí)施方式中，在送風(fēng)式支撐裝置2設(shè)置了腔室部14，但是也可以構(gòu)成為不在送風(fēng)式支撐裝置2設(shè)置腔室部14，將從空氣供給源11供給的空氣直接地從空氣噴出部20噴出。
1權(quán)利要求
1.一種板狀體搬送裝置，具備送風(fēng)式支撐裝置，向著板狀體的下表面供給空氣而以非接觸狀態(tài)支撐板狀體；以及推進(jìn)力賦予裝置，相對(duì)于板狀體賦予搬送方向的推進(jìn)力，其中，所述送風(fēng)式支撐裝置具備空氣噴出部，沿著所述搬送方向備置，將從空氣供給源供給的空氣向著上方噴出；以及一對(duì)引導(dǎo)板部，為了沿著板狀體的下表面在與所述搬送方向交叉的寬度方向上引導(dǎo)從所述空氣噴出部噴出至板狀體的下表面的空氣，以相對(duì)于所述空氣噴出部鄰接于所述寬度方向的兩側(cè)的狀態(tài)進(jìn)行配置，在所述一對(duì)引導(dǎo)板部的一方或雙方的所述寬度方向的從所述空氣噴出部離開(kāi)的一側(cè)的端部，具備突條部，所述突條部，在比被搬送的板狀體的下表面更位于下方的高度從所述引導(dǎo)板部的上表面突出至上方，并沿著所述搬送方向形成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的板狀體搬送裝置，其特征在于，作為所述推進(jìn)力賦予裝置，具備一對(duì)推進(jìn)力賦予裝置，該一對(duì)推進(jìn)力賦予裝置為接觸支撐板狀體的與搬送方向交叉的所述寬度方向的一端部而相對(duì)于板狀體賦予搬送方向的推進(jìn)力的一端側(cè)的推進(jìn)力賦予裝置，以及接觸支撐板狀體的所述寬度方向的另一端部而相對(duì)于板狀體賦予搬送方向的推進(jìn)力的另一端側(cè)的推進(jìn)力賦予裝置，所述送風(fēng)式支撐裝置，在平面視圖中，配設(shè)在所述一對(duì)推進(jìn)力賦予裝置之間， 所述送風(fēng)式支撐裝置的所述一對(duì)引導(dǎo)板部之中的一方或雙方延伸至所述推進(jìn)力賦予裝置的附近。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的板狀體搬送裝置，其特征在于，所述一對(duì)引導(dǎo)板部之中的一方的引導(dǎo)板部形成為在所述寬度方向上比另一方的引導(dǎo)板部更寬，僅在所述一對(duì)弓I導(dǎo)板部之中的所述一方的引導(dǎo)板部，具備所述突條部。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的板狀體搬送裝置，其特征在于，所述送風(fēng)式支撐裝置，以沿著所述寬度方向隔開(kāi)間隔的狀態(tài)并列地備置一對(duì)，在所述一對(duì)送風(fēng)式支撐裝置之間，形成將所述板狀體上的空氣排氣至所述板狀體的下方的空間的排氣用的間隙，所述一對(duì)送風(fēng)式支撐裝置的各自的所述一對(duì)引導(dǎo)板部的、在所述寬度方向上離所述排氣用的間隙較近的一方的引導(dǎo)板部，形成為在所述寬度方向上比離所述排氣用的間隙較遠(yuǎn)的一方的引導(dǎo)板部更窄，僅在所述一對(duì)引導(dǎo)板部之中的離所述排氣用的間隙較遠(yuǎn)的一方的引導(dǎo)板部，具備所述突條部。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 4中的任一項(xiàng)所述的板狀體搬送裝置，其特征在于，所述空氣供給源由風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元構(gòu)成，將電動(dòng)式送風(fēng)風(fēng)機(jī)和除塵過(guò)濾器一體地組裝而構(gòu)成所述風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元。
6.根據(jù)權(quán)利要求1 4中的任一項(xiàng)所述的板狀體搬送裝置，其特征在于，設(shè)有腔室部，所述腔室部形成來(lái)自所述空氣供給源的空氣被壓入的腔室空間，在所述腔室部的上部，具備所述空氣噴出部，所述空氣供給源，配設(shè)在位于板狀體的搬送路徑的寬度內(nèi)的位置，并配設(shè)在以在平面視圖中不與所述腔室部的所述噴出口重疊的方式相對(duì)于所述腔室部沿水平方向錯(cuò)開(kāi)的位置。
7.根據(jù)權(quán)利要求1 4中的任一項(xiàng)所述的板狀體搬送裝置，其特征在于，所述突條部沿著所述搬送方向直線(xiàn)狀地連續(xù)地延伸。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種板狀體搬送裝置，該板狀體搬送裝置能夠利用來(lái)自小型的空氣供給源的空氣的供給而以非接觸狀態(tài)恰當(dāng)?shù)刂伟鍫铙w。具備空氣噴出部和一對(duì)引導(dǎo)板部而構(gòu)成向著板狀體的下表面供給空氣而以非接觸狀態(tài)支撐板狀體的送風(fēng)式支撐裝置，該空氣噴出部沿著搬送方向備置并將從空氣供給源供給的空氣向著上方噴出，該一對(duì)引導(dǎo)板部以相對(duì)于空氣噴出部鄰接于寬度方向的兩側(cè)的狀態(tài)進(jìn)行配置，在一對(duì)引導(dǎo)板部的一方的寬度方向的從空氣噴出部離開(kāi)的一側(cè)的端部，具備突條部，在比被搬送的板狀體的下表面更位于下方的高度，從引導(dǎo)板部的上表面突出至上方并沿著搬送方向形成突條部。
文檔編號(hào)B65G1/04GK102556565SQ201110437310
公開(kāi)日2012年7月11日 申請(qǐng)日期2011年12月5日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月6日
發(fā)明者中尾多通夫, 斎田克彥, 池田大介, 辻起久, 飯塚雪夫 申請(qǐng)人:株式會(huì)社大福