專利名稱：晶圓盒的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及包裝存儲裝置，具體涉及一種用于包裝存儲晶圓片的晶圓
厶
JUL 。
背景技術：
在集成電路生產(chǎn)制造過程中，為確保晶圓片的安全儲存、搬移，避免破損
和污染，廣泛運用晶圓盒作為晶圓片的承載及運輸工具。具體請參見圖1A至圖1B，其為現(xiàn)有技術的晶圓盒的示意圖，該晶圓盒100包括盒體IIO、底座120以及盒蓋130，盒體UO為圓盒形，用于儲放晶圓片，底座120設置于盒體110底部，盒蓋130可蓋合于所述盒體110上。晶圓盒100還包括支撐條140，支撐條140以輻射狀設置于所述底座120的內(nèi)圓周上，支撐條140的數(shù)量為四條，固定支撐底座120。操作人員在打開或蓋合盒蓋130的過程中，可將手指卡在支撐條140上進行旋獰操作。
但在操作人員使用晶圓盒100的過程中發(fā)現(xiàn)，四條支撐條不足以起到加固支撐晶圓盒100的底座120的作用，致使底座120硬度不夠，而給操作人員旋擰操作晶圓盒100帶來許多困難。另外，需要出貨的晶圓片，放置到晶圓盒IOO后，需要將晶圓盒100進行真空包裝，在真空包裝晶圓盒100的過程中，由于支撐條140的支撐力度不足，導致底座120較軟，而在真空抽射時非常容易變形，從而給晶圓片的存儲帶來一定的危險，經(jīng)常發(fā)生晶圓片破碎的情況。并且，在晶圓盒100的使用過程中，幾個晶圓盒無法固定在一起，因此每個晶圓盒只能單獨使用一個包裝袋包裝出貨，增加了包裝及運輸?shù)某杀尽?br>
實用新型內(nèi)容
本實用新型所要解決的技術問題是提供一種晶圓盒，解決現(xiàn)有 術的晶圓盒只能單獨使用一個包裝袋進行包裝出貨的問題，并解決現(xiàn)有技術的晶圓盒支撐條無法支撐加固所述晶圓盒的底座的問題。
為解決上述技術問題，本實用新型提供一種晶圓盒，包括盒體；底座，為環(huán)形，設置于所述盒體底部；以及盒蓋，蓋合于所述盒體上；所述底座內(nèi)壁設有第一螺紋,所述盒蓋外壁的上部設有第二螺紋，'所述第一螺紋與所述第二螺紋相匹配。
可選的，所述晶圓盒還包括支撐條，所述支撐條以輻射狀設置于所述底座的內(nèi)圓周上，所述支撐條數(shù)量為八條。
可選的，所述支撐條與所述底座為一體結構。
可選的，所述底座與所述盒體為一體結構。
與現(xiàn)有技術相比，本實用新型所提供的晶圓盒的有益效果是
1. 所述晶圓盒的底座內(nèi)壁設有螺紋，所述晶圓盒的盒蓋外壁的上部設有螺紋，多個晶圓盒可通過所述螺紋固定在一起，從而能放入同一個包裝袋中進行包裝出貨，提高了包裝效率，并且減少了包裝及運輸?shù)某杀尽?br> 2. 增加支撐條的數(shù)量，加大了底座支撐固定的力度，便于操作人員旋擰所述盒蓋，提高了打開或蓋合所述盒蓋的效率，并保證在真空包裝過程中所述底座不變形，確保晶圓片的存儲安全。


圖1A為現(xiàn)有技術的晶圓盒的結構示意圖；圖1B為現(xiàn)有技術的晶圓盒側視圖2 A為本實用新型 一 實施例所提供的晶圓盒的結構示意圖；圖2B為本實用新型一實施例所提供的晶圓盒的側視圖。
具體實施方式
以下結合附圖和具體實施例對本實用新型所提出的晶圓盒作進一步詳細說明。
請參考圖2A至圖2B，其為本實用新型一實施例所提供的晶圓盒的示意圖，該晶圓盒200包括盒體210、底座220以及盒蓋230。其中所述盒體210為圓盒形，用于存儲晶圓片，所述底座220為圓環(huán)形，設置于所述盒體210底部，所述底座220與所述盒體210為一體結構。所述盒蓋230為圓蓋形，當把晶圓片放置到所述盒體210后，可以將盒蓋230蓋入到所述盒體210上，避免晶圓片破損和污染。所述晶圓盒200還包括支撐條240，所述支撐條240呈輻射狀設置于所述底座220的內(nèi)圓周上，所述支撐條240與所述底座220為一體結構。所述底座220的內(nèi)壁設有第一螺紋221，所述盒蓋230外壁的上部設有第二螺紋231,所述第一螺紋221與所述第二螺紋231相匹配，所述底座220與所述盒蓋230可通過所述第一螺紋221以及第二螺紋231螺接在一起，這樣可使兩個晶圓盒通過所述螺紋旋轉固定在一起，需要真空包裝的兩個晶圓盒可以放入同一個包裝袋中，進行包裝出貨，減少了包裝及運輸?shù)某杀尽?br> 當然，在實際操作中也可將更多的晶圓盒依靠所述螺紋螺接在一起，放入同一個包裝袋進行真空包裝，可提高包裝效率并且節(jié)約成本。
在本實施例中，所述支撐條240的數(shù)量為八條，呈輻射狀設置于所述底座220的內(nèi)圓周上，所述底座220與所述支撐條240為 一體結構。所述支撐條240加固支撐所述底座220,操作人員在打開或蓋合盒蓋230的過程中，可將手指卡在支撐條240上進行旋擰操作。同時，晶圓盒200在真空包裝的過程中，由于底座220得到了很好的固定支撐，不易變形，可確保盒體210內(nèi)存儲的晶圓片的安全。
在本實用新型的其它實施例中，結合實際需要，所述支撐條的數(shù)量也可多于八條。
綜上所述，本實用新型所提供的晶圓盒，包括盒體、底座以及盒蓋，還包括支撐條，所述底座的內(nèi)壁設有第一螺紋，所述盒蓋外壁的上部設有第二螺紋，所述盒蓋與所迷底座通過所述第一螺紋以及第二螺紋螺接在一起，這樣多個晶圓盒即可固定在一起，可放入同一個包裝袋中包裝出貨，節(jié)約了包裝及運輸成本，所述支撐條的數(shù)量為八條，從而加大底座支撐固定的力度，便于操作人員旋擰操作所述晶圓盒，并可保證在真空包裝過程中底座不變形，確保晶圓片的存儲安全。本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本發(fā)實用新型權利要求及其等同技術的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權利要求1、一種晶圓盒，包括盒體；底座，為環(huán)形，設置于所述盒體底部；以及盒蓋，蓋合于所述盒體上；其特征在于，所述底座內(nèi)壁設有第一螺紋，所述盒蓋外壁的上部設有第二螺紋，所述第一螺紋與所述第二螺紋相匹配。
2、 如權利要求1所述的晶圓盒，其特征在于，還包括支撐條，所述支撐條 以輻射狀設置于所述底座的內(nèi)圓周上，所述支撐條數(shù)量為八條。
3、 如權利要求2所述的晶圓盒，其特征在于，所述支撐條與所述底座為一 體結構。
4、 如權利要求1所述的晶圓盒，其特征在于，所述底座與所述盒體為一體 結構。
專利摘要本實用新型提供一種晶圓盒，用于存儲晶圓片，其包括盒體、設置于所述盒體底部的底座以及盒蓋，還包括設置于所述底座內(nèi)周上的支撐條，所述底座的內(nèi)壁設有第一螺紋，所述盒蓋外壁的上部設有第二螺紋，所述盒蓋與所述底座通過所述螺紋螺接，可使多個晶圓盒固定在一起，放入同一個包裝袋中包裝出貨，節(jié)約了包裝及運輸成本，所述支撐條的數(shù)量為八條，從而加大底座支撐固定的力度，便于操作人員旋擰所述盒蓋，并可保證在真空包裝過程中底座不變形，確保晶圓片的存儲安全。
文檔編號B65D85/30GK201323191SQ20082015689
公開日2009年10月7日 申請日期2008年12月10日 優(yōu)先權日2008年12月10日
發(fā)明者莊祈龍, 寒 時, 俊 許, 高海林 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司