專利名稱：基板運(yùn)送裝置以及基板運(yùn)送方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于單張運(yùn)送例如半導(dǎo)體晶片及平板顯示器用玻璃 板等的基板的基板運(yùn)送裝置以^i^運(yùn)送方法。
本發(fā)明對(duì)于2006年9月11日提出申請(qǐng)的特愿2006-245829號(hào)主張優(yōu) 先權(quán)，并在此引用其內(nèi)容。
背景技術(shù)：
在設(shè)置在制造半導(dǎo)體裝置的工廠及制造液晶裝置、PDP、 EL裝置等的 平板顯示器的工廠等的基板運(yùn)送裝置中，運(yùn)送半導(dǎo)體晶片及玻璃板等的基 板且使用裝栽器及機(jī)械手臂等在薄膜形成裝置、蝕刻裝置、試驗(yàn)裝置等的 各種處理裝置和運(yùn)送經(jīng)路之間進(jìn)行基板的交接。在這樣的基板運(yùn)送裝置 中，基板一般是在收納在能夠收納多張基板的盒中的狀態(tài)下進(jìn)行運(yùn)送的 (參照專利文獻(xiàn)l)。
近年隨著液晶電視等的平板顯示器的大畫面化而將基板大型化。因 此，收納M的盒等也大型化/重量化，使運(yùn)送速度降低，所以例如導(dǎo)致 制品庫存的增大等，難以進(jìn)行高效率地運(yùn)送。
因此，高速地一張張地運(yùn)送M的單張運(yùn)送受到關(guān)注(參照專利文獻(xiàn)1)。
專利文獻(xiàn)1:特開平9-58844號(hào)/>報(bào)
但是，在單^il送基板時(shí)，與借助盒運(yùn)送時(shí)相比增加了運(yùn)送的個(gè)體數(shù)。 因此，為了實(shí)現(xiàn)和以往相同或比以往向上的處理速度而必須更高速地運(yùn)送 基板。
特別是在主輸送器和與該主輸送器水平地分支的分支輸送器之間的 基板的交接速度，在使基板的高速運(yùn)送實(shí)現(xiàn)時(shí)變得非常重要，因此，使主 輸送器和分支輸送器之間的基板的交接速度提升的技術(shù)受到期待。
此外，在單張運(yùn)送玻璃板的基板運(yùn)送裝置中，在主輸送器和分支輸送 器之間，有時(shí)需要不使相對(duì)于行進(jìn)方向的朝向發(fā)生變化地交接基板。
在將基板收納至盒中而進(jìn)行運(yùn)送的以往的基板運(yùn)送裝置中，例如，在送器時(shí)，暫時(shí)停止在主輸送器上運(yùn)送的盒的運(yùn)送，在使盒轉(zhuǎn)動(dòng)后將其交接 至分支輸送器。
但是，在單張運(yùn)送基板的基板運(yùn)送裝置中，若利用同樣的方法進(jìn)行基 板的交接，則需要進(jìn)行停止基板的運(yùn)送的工序和將停止的基板交接至分支 輸送器的工序，所以在主輸送器和分支輸送器之間的基板的交接需要花費(fèi) 時(shí)間。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述的問題點(diǎn)而提出的，目的在于在主輸送器和分支輸 送器之間不使基板的行進(jìn)方向發(fā)生變化地交接基板時(shí)，使主輸送器和分支 輸送器之間的基板的交接速度提升。
為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明的基板運(yùn)送裝置具有主輸送器，單^: 送基板；分支輸送器，從上述主輸送器水平地分支；a交接部，使上述
同時(shí)將上述基板從上述主輸送器交接至上述分支輸送器或者從上述分支 輸送器交接至上述主輸送器。
根據(jù)該a運(yùn)送裝置，從上述主輸送器到上述分支輸送器或者從上述 分支輸送器到上述主輸送器的基板的交接時(shí)，借助基板交接部，^J41水 平地轉(zhuǎn)動(dòng)以維持(不發(fā)生變化)基板的相對(duì)于行進(jìn)方向的朝向，同時(shí)進(jìn)行 基板的交接。
此外，在本發(fā)明的基板運(yùn)送裝置中能夠采用如下的構(gòu)成上述基長(zhǎng)交 接部具有頂部，把持上述基板的外緣；驅(qū)動(dòng)部，以既定的旋轉(zhuǎn)軸為中心 ^使該頂部水平地轉(zhuǎn)動(dòng)；臂部， 一端與上述頂部連接且另一端部與上述驅(qū)動(dòng) 部連接。
此外，在本發(fā)明的基板運(yùn)送裝置中能夠采用如下的構(gòu)成具有在由上 述M交接部進(jìn)行的上述a的交接期間從下方支承上述基板的支承部.
此外，在本發(fā)明的基板運(yùn)送裝置中能夠采用如下的構(gòu)成上述支承部 使用壓縮空氣使上述基板浮起且支承基板。
接著，本發(fā)明的基板運(yùn)送方法為，借助主輸送器單^送基板，使上 述主輸送器上的上述基板水平地轉(zhuǎn)動(dòng)以維持上迷基板的相對(duì)于行進(jìn)方向 的朝向，同時(shí)將其從上述主輸送器給出到水平地分支的分支輸送器上，
根據(jù)該基板運(yùn)送方法，使基板水平地轉(zhuǎn)動(dòng)以維持基板的相對(duì)于行進(jìn)方向的朝向，同時(shí)將其從主輸送器交接至分支輸送器上。
接著，本發(fā)明的基板運(yùn)送方法為，借助從主輸送器水平地分支的分支
輸送器運(yùn)送勤si，使上述分支輸送器上的上述基板水平地轉(zhuǎn)動(dòng)以維持上述
基板的相對(duì)于行進(jìn)方向的朝向，同時(shí)將其交接到主輸送器上，
根據(jù)該基板運(yùn)送方法，水平地轉(zhuǎn)動(dòng)基板以佳羞板的相對(duì)于行進(jìn)方向的
朝向不變化，同時(shí)將其從分支輸送器交接至主輸送器上。
根據(jù)本發(fā)明，使上逸基板水平地轉(zhuǎn)動(dòng)以維持(不發(fā)生變化)基板的相
對(duì)于行進(jìn)方向的朝向，同時(shí)將其從主輸送器交接至分支輸送器或者從分支
輸送器交接至主輸送器。因此，在主輸送器或分支輸送器上不必佳i板停
止而能夠高速地進(jìn)行14l的交接。
因此，根據(jù)本發(fā)明，不使基板的行進(jìn)方向發(fā)生變化地在主輸送器和分 支輸送器之間交接基板時(shí)，能夠使主輸送器和分支輸送器之間的基板的交 接速度提升.


圖i是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的基板運(yùn)送裝置的示意圖。
圖2是表示主輸送器的詳細(xì)構(gòu)成的圖，
圖3是表示分支輸送器的板交接部和分支部分的構(gòu)成的圖。
圖4A是表示本發(fā)明的笫一實(shí)施方式的基板運(yùn)送裝置的動(dòng)作(將玻璃
板從主輸送器引入至分支輸送器時(shí))的圖.
圖4B是表示本發(fā)明的笫一實(shí)施方式的基板運(yùn)送裝置的動(dòng)作(將玻璃 板從主輸送器引入至分支輸送器時(shí))的圖。
圖4C是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的基板運(yùn)送裝置的動(dòng)作(將玻璃 板從主輸送器引入至分支輸送器時(shí))的圖。
圖4D是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的基板運(yùn)送裝置的動(dòng)作(將玻璃 板從主輸送器引入至分支輸送器時(shí))的圖。
圖5A是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的基板運(yùn)送裝置的動(dòng)作(將玻璃
板從分支輸送器交接至主輸送器時(shí))的圖。
圖5B是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的基板運(yùn)送裝置1的動(dòng)作(將玻
璃板從分支輸送器交接至主輸送器時(shí))的圖。
圖5C^^表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的基板運(yùn)送裝置1的動(dòng)作(將玻 璃板從分支輸送器交接至主輸送器時(shí))的圖。圖5D是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的基板運(yùn)送裝置1的動(dòng)作(將玻 璃板從分支輸送器交接至主輸送器時(shí))的圖。
圖6是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式的基板運(yùn)送裝置中的分支輸送器 的板交接部和分支部分的構(gòu)成的圖。
附圖標(biāo)記說明p玻璃板(基板)
1基板運(yùn)送裝置
10主輸送器
12空氣浮起單元
15輸送部
20分支輸送器
40板交接部(！^L交接部)
41臂部
42頂部
43馬達(dá)(驅(qū)動(dòng)部)
200自由輥單元(支承部)
具體實(shí)施例方式
以下，參照

本發(fā)明的ML運(yùn)送裝置以;5L^板運(yùn)送方法的一實(shí)
施方式。另外，以下的附圖中，為了令各部件為能夠識(shí)別的大小而將各部 件的比例尺進(jìn)行了適宜地變更。 (笫一實(shí)施方式)
圖1是表示本第1實(shí)施方法的基tSL運(yùn)送裝置1的示意圖。 基板運(yùn)送裝置l是在制造液晶裝置、PDP、 EL裝置等的平板顯示器的 工廠中一張張地單張運(yùn)送玻璃板P的裝置，具有主輸送器10、相對(duì)于 主輸送器10在水平面內(nèi)分支的多個(gè)分支輸送器20、在主輸送器10和分 支輸送器20之間進(jìn)行玻璃板P的交接的板交接部40、總括地控制這些的 未圖示的控制部等。
主輸送器10是水平地栽置玻璃板P且在一定的速度下將其向沿著其 表面的方向運(yùn)送的裝置，包括利用空氣使玻璃板P浮起而非接觸地支承玻 璃板的空氣浮起單元12 (支承部)和輸送部15等(參照?qǐng)D2以及圖3),
6由此，在本實(shí)施方式中，本發(fā)明中的支承部的功能被組裝入主輸送器10
的一部分中。
主輸送器io被大致直線狀地配置在工廠的清潔室內(nèi)的地板面上.并
且，在主輸送器10的多個(gè)位置上相對(duì)于主輸送器10大致垂直且水平地連 結(jié)有分支輸送器20的一端。
分支輸送器20是與主輸送器10相同地水平地載置玻璃板P且在一定 的速度下將其向沿著其表面的方向運(yùn)送的裝置，包括空氣浮起單元12(支 承部)和輸送部15等。由此，在本實(shí)施方式中，本發(fā)明中的支承部的功 能也被組裝入分支輸送器20的一部分中，
在分支輸送器20的另一端側(cè)上配置/連結(jié)有薄膜形成裝置5、蝕刻裝 置6、試驗(yàn)裝置7等各種處理裝置。在薄膜形成裝置5、蝕刻裝置6、試 驗(yàn)裝置7等各種處理裝置上分別平行配置有兩個(gè)分支輸送器20.
例如，與薄膜形成裝置5連結(jié)的分支輸送器21、 22(分支輸送器20) 中，分支輸送器21是用于將玻璃板P運(yùn)入至薄膜形成裝置5中的輸送器， 分支輸送器22是用于將玻璃板P從薄膜形成裝置5中運(yùn)出的輸送器。
同樣，分支輸送器23、 25 (分支輸送器20)是用于將玻璃板P運(yùn)入 至蝕刻裝置6、試驗(yàn)裝置7中的輸送器，分支輸送器24、 26 (分支輸送器 20)是用于將玻璃板P從蝕刻裝置6、試驗(yàn)裝置7中運(yùn)出的輸送器.
另外，將玻璃板P運(yùn)入至各種處理裝置中的分支輸送器21、 23、 25 相對(duì)于將玻璃板P從各種處理裝置中運(yùn)出的分支輸送器22、 24、 26而被 配置在主輸送器10的上游側(cè)。
板交接部40分別相對(duì)于將玻璃板P運(yùn)入至各種處理裝置中的分支輸 送器21、 23、 25而被配置在主輸送器IO的上游側(cè)，以及相對(duì)于將玻璃板 P從各種處理裝置中運(yùn)出的分支輸送器22、 24、 26而被配置在主輸送器 IO的下游側(cè)，
這些板交接部40是使玻璃板P水平地轉(zhuǎn)動(dòng)以維持玻璃板P相對(duì)于行 進(jìn)方向的朝向、同時(shí)將玻璃板P從主輸送器10交接至分支輸送器20或?qū)?玻璃板P從分支輸送器20交接至主輸送器10的裝置.
圖2是表示主輸送器10的詳細(xì)構(gòu)成的圖.
主輸送器10如上所述，是利用空氣使玻璃板P浮起且將其向水平方 向的一個(gè)方向運(yùn)送的裝置，包括空氣浮起單元12和輸送部15等.
空氣浮起單元12是具有平面狀的上表面的部件，在其上表面(栽置
7面)上以大致均等的配置密度形成噴出壓縮空氣的多個(gè)流體噴出孔13,空氣浮起單元12被形成為俯視矩形狀，且以其長(zhǎng)度方向與玻璃板P的運(yùn)送方向一致的方式設(shè)定，此外，空氣浮起單元12的橫向方向(寬度方向)形成為比玻璃板P的寬度方向(與運(yùn)送方向垂直的方向)稍窄.
并且，壓縮空氣被從未圖示的壓縮空氣供給裝置供給至空氣浮起單元12，從而使壓縮空氣從各流體噴出孔13噴出。從而，借助從各流體噴出孔13噴出的壓縮空氣使栽置在空氣浮起單元12上的玻璃板P浮起而能夠非接觸地支承玻璃板P,
輸送部15具有多個(gè)輥16和安裝在該多個(gè)輥16周圍的帶17。此外，在帶17的表面上沿著帶17的長(zhǎng)度方向(主輸送器10的運(yùn)送方向)以均等的間隔設(shè)置有多個(gè)突起18。
輸送部15沿著玻璃板P的運(yùn)送方向被配置在空氣浮起單元12的兩側(cè)。并且， 一對(duì)的輸送部15的配置間隔(距離)與玻璃板P的寬度方向大致相同。
輸送部15的各輥16的上端以位于同一水平面上的方式配置，從而設(shè)置在帶17的表面上的突起18配置為位于比空氣浮起單元12的上表面稍稍靠上方的位置。并且，突起18與栽置在空氣浮起單元12上的玻璃板P的下表面的外緣(寬度方向的兩端側(cè))抵接。
輸送部15的各輥16借助未圖示的馬達(dá)等而以同一的旋轉(zhuǎn)速度向同一方向旋轉(zhuǎn)。從而能夠借助空氣浮起單元12非接觸地支承玻璃板P且能夠借助輸送部15沿著空氣浮起單元12運(yùn)送玻璃板P.
此外，輸送部15構(gòu)成為能夠借助未圖示的升降裝置向上下方向移動(dòng)。
在借助升降裝置使輸送部15上升時(shí)，各突起18位于比空氣浮起單元12的上表面稍稍靠上方的位置。此時(shí)，輸送部15的突起18與玻璃板P的下表面抵接而能夠運(yùn)送玻璃板P。
另一方面，在使輸送部15下降時(shí)，各突起18位于比空氣浮起單元12的上表面靠下方的位置.此時(shí)，輸送部15 (各突起18)從玻璃板P分離，玻璃板P處于完全地被非接觸支承在空氣浮起單元12上的狀態(tài).因此，只要不在玻璃板P上施加外力，玻璃板P就能夠在停止在空氣浮起單元12上的狀態(tài)下被保持。
并且，主輸送器10構(gòu)成為連結(jié)多個(gè)空氣浮起單元12和輸送部15.即，使各空氣浮起單元12和各輸送部15相互地接近且沿著水平方向并列配置。此時(shí)，各空氣浮起單元12的上表面(栽置面)調(diào)整為位于同一水平面。
此外，分支輸送器20也包括主輸送器10所具有的空氣浮起單元12和輸送部15。另外，如圖1所示，在本實(shí)施方式中，分支輸送器20包括單一的空氣浮起單元12和隔著該空氣浮起單元12配置的兩個(gè)輸送部15，但是也可以包括多個(gè)空氣浮起單元12以及輸送部15。
圖3是表示主輸送器10和分支輸送器21的分支部分的構(gòu)成的圖。如該圖所示，在相對(duì)于分支輸送器21的主輸送器10的上游側(cè)處設(shè)置有板交接部40。
板交接部40具有臂部41、頂部42、馬達(dá)43(驅(qū)動(dòng)部)，臂部41一端與頂部42連接且另一端與馬達(dá)43連接，并且被水平地配置。
頂部42構(gòu)成為能夠把持玻璃板P的外緣部分，更具體而言能夠把持玻璃板P的寬度方向的一邊附近?？梢晕奖３植ＡО錚的側(cè)表面從而把持玻璃板P,也可以夾持玻璃板P的上表面和下表面從而把持玻璃板P。
馬達(dá)43是以垂直的轉(zhuǎn)動(dòng)軸L為中心水平地轉(zhuǎn)動(dòng)頂部42的裝置，經(jīng)由臂部41向如圖3所示的箭頭方向(以及箭頭相反方向)轉(zhuǎn)動(dòng)頂部42。
并且，借助具有這樣的構(gòu)成的板交接部40，轉(zhuǎn)動(dòng)主輸送器10上的玻璃板P以使玻璃板P的相對(duì)于行進(jìn)方向的朝向不發(fā)生變化，同時(shí)將其交接至分支輸送器20上.
另外，設(shè)置在相對(duì)于分支輸送器23、 25的主輸送器10的上游側(cè)上的板交接部40也具有同樣的構(gòu)成，轉(zhuǎn)動(dòng)主輸送器10上的玻璃板P以使玻璃板P的相對(duì)于行進(jìn)方向的朝向不發(fā)生變化，同時(shí)將其交接至分支輸送器20上。
此外，設(shè)置在相對(duì)于分支輸送器22、 24、 26的主輸送器10的下游側(cè)上的板交接部40也具有與圖3所示的板交接部40相同的構(gòu)成，但是，轉(zhuǎn)動(dòng)分支輸送器20上的玻璃板P以使玻璃板P的相對(duì)于行進(jìn)方向的朝向不發(fā)生變化，同時(shí)將其交接至主輸送器10上，這一點(diǎn)與圖3所示的板交接部40不同。
接著，說明基板運(yùn)送裝置l的動(dòng)作(基板運(yùn)送方法)。參照?qǐng)D4A~圖4D說明將在主輸送器10上運(yùn)送的玻璃板P交接至分支輸送器20上的情況(相對(duì)于分支輸送器21、 23、 25,iU殳置在主輸送器10的上游側(cè)的板交接部40的動(dòng)作)。
首先，將壓縮空氣供給到主輸送器10以及分支輸送器20的各空氣浮起單元12,使壓縮空氣從各流體噴出孔13噴出。此外，驅(qū)動(dòng)輸送部15，使各輥16以一定的旋轉(zhuǎn)速度旋轉(zhuǎn)。此時(shí)，借助未圖示的升降裝置使各輸送部15上升。
并且，在主輸送器10的上游側(cè)， 一張張地栽置玻璃板P，從而玻璃板P被單張運(yùn)送。
并且，如圖4A所示，若主輸送器10上的玻璃板P移動(dòng)到板交接部40的頂部42所到達(dá)的位置，則板交接部40的頂部42移動(dòng)到分支輸送器20的一端，把持主輸送器10上的玻璃板P的外緣。之后，主輸送器10以及分支輸送器20的輸送部15借助未圖示的升降裝置下降。此時(shí)，玻璃板P被從各空氣浮起單元12的各流體噴出孔13噴出的壓縮空氣浮起支承.
并且，如圖4B以及圖4C所示，把持玻璃板P的頂部42借助馬達(dá)43而經(jīng)由臂部41在水平面內(nèi)被轉(zhuǎn)動(dòng)，從而玻璃板P被從主輸送器IO上運(yùn)送至分支輸送器20上。此時(shí)，玻璃板P的行進(jìn)方向從主輸送器10的行進(jìn)方向變化為分支輸送器21、 23、 25的行進(jìn)方向，但是由于玻璃板P轉(zhuǎn)動(dòng)，所以玻璃板P的相對(duì)于行進(jìn)方向的先頭沒有發(fā)生變化.
即，根據(jù)本實(shí)施方式的基板運(yùn)送裝置1，主輸送器10上的玻璃板P被水平地轉(zhuǎn)動(dòng)以使玻璃板P的相對(duì)于行進(jìn)方向的朝向不發(fā)生變化，同時(shí)被交接至分支輸送器20上。
另外，在本實(shí)施方式中，頂部42構(gòu)成為不能向與輸送部15的旋轉(zhuǎn)方向相同的方向移動(dòng)，所以為了防止玻璃板P和輸送部15發(fā)生摩擦，而優(yōu)選在把持玻璃板P的外緣時(shí)停止輸送部15的驅(qū)動(dòng).但是，在能夠使玻璃板P和輸送部15不發(fā)生摩擦的情況(例如，能夠在頂部42把持玻璃板P的同時(shí)下降輸送部15的情況、能夠在下降輸送部15之后頂部42把持玻璃板P的情況、頂部能夠向與輸送部15的旋轉(zhuǎn)方向相同的方向移動(dòng)的情況等)下，不一定需要在把持玻璃板P的外緣時(shí)停止輸送部15的驅(qū)動(dòng)。
并且，如圖4D所示，若玻璃板P被運(yùn)送至分支輸送器20上，則主輸送器10以及分支輸送器20的輸送部15借助未圖示的升降裝置再次上升。之后，基于板交接部40的頂部42的玻璃板P的把持被解除，玻璃板P被分支輸送器20向從主輸送器10分離的方向運(yùn)送。
10另外，在本實(shí)施方式中，在解除基于頂部42的玻璃板P的把持時(shí)，與上述的把持玻璃板P的外緣時(shí)相同，為了防止玻璃板P和輸送部15發(fā)生摩擦而優(yōu)選停止輸送部15的驅(qū)動(dòng)。
另外，玻璃板P被分支輸送器20運(yùn)送，且被交接至薄膜形成裝置5、蝕刻裝置6、試驗(yàn)裝置7等各種處理裝置中。
另外，被交接至各處理裝置(薄膜形成裝置5、蝕刻裝置6、試驗(yàn)裝置7等)中的玻璃板P，在各種處理裝置中實(shí)施既定的處理之后被向各處理裝置的外部運(yùn)出。
接著，參照?qǐng)D5A ~圖5D說明將玻璃板P從分支輸送器20交接至主輸送器10的情況(相對(duì)于分支輸送器22、 24、 26 ,皮設(shè)置在主輸送器10的下游側(cè)的板交接部40的動(dòng)作)。
將玻璃板P從分支輸送器20交接至主輸送器10的動(dòng)作是使將玻璃板P從主輸送器10交接至分支輸送器20的動(dòng)作大致反轉(zhuǎn)的動(dòng)作。
首先，將壓縮空氣供給至主輸送器10以及分支輸送器20的各空氣浮起單元12， ^^縮空氣從各流體噴出孔13噴出。此外，驅(qū)動(dòng)輸送部15,使各輥16在一定的旋轉(zhuǎn)速度下旋轉(zhuǎn)。此時(shí)，借助未圖示的升降裝置使輸送部15上升
接著，玻璃板P被從薄膜形成裝置5、蝕刻裝置6、試驗(yàn)裝置7等的各種處理裝置交接至分支輸送器20上。玻璃板P被分支輸送器20運(yùn)送，移動(dòng)到板交接部40的頂部42所到達(dá)的位置。并且，如圖5A所示，板交接部40的頂部42把持分支輸送器20上的玻璃板P的外緣。之后，主輸送器10以及分支輸送器20的輸送部15借助未圖示的升降裝置下降。此時(shí)，玻璃板P被從各空氣浮起單元12的各流體噴出孔13噴出的壓縮空氣浮起支承。
并且，如圖5B、圖5C以及圖5D所示，把持玻璃板P的頂部42借助馬達(dá)43而經(jīng)由臂部41在水平面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)，從而玻璃板P被從分支輸送器20上運(yùn)送至主輸送器10上。此時(shí)，玻璃板P的行進(jìn)方向從分支輸送器22、24、 26的行進(jìn)方向變化為主輸送器10的行進(jìn)方向，但是由于玻璃板P被轉(zhuǎn)動(dòng)，所以玻璃板P的相對(duì)于行進(jìn)方向的先頭沒有發(fā)生變化。
即，根據(jù)本實(shí)施方式的基板運(yùn)送裝置1，分支輸送器20上的玻璃板P被水平地轉(zhuǎn)動(dòng)以使玻璃板P的相對(duì)于行進(jìn)方向的朝向不發(fā)生變化，同時(shí)被交接至主輸送器10上。
ii如以上說明那樣，本實(shí)施方式的基板運(yùn)送裝置l具有主輸送器IO，單張運(yùn)送玻璃板P;分支輸送器20,相對(duì)于主輸送器10水平地分支；板交接部40,水平地轉(zhuǎn)動(dòng)玻璃板P以使玻璃板P的相對(duì)于行進(jìn)方向的朝向不發(fā)生變化，同時(shí)將玻璃板P從主輸送器10交接至分支輸送器20或者從分支輸送器20交接至主輸送器10。
根據(jù)這樣的本實(shí)施方式的基板運(yùn)送裝置1以及基板運(yùn)送方法，水平地轉(zhuǎn)動(dòng)玻璃板P以使玻璃板P的相對(duì)于行進(jìn)方向的朝向不發(fā)生變化，同時(shí)將玻璃板P從主輸送器10交接至分支輸送器20或者從分支輸送器20交接至主輸送器10。因此，無需為了使玻璃板P的相對(duì)于行進(jìn)方向的朝向一致而在主輸送器10或分支輸送器20上使玻璃板P停止，能夠高速地進(jìn)行玻璃板P的交接，
因此，根據(jù)本實(shí)施方式的基板運(yùn)送裝置1以^L&板運(yùn)送方法，在主輸送器IO和分支輸送器20之間不使玻璃板P的行進(jìn)方向發(fā)生變化地交接玻璃板P時(shí)，能夠使主輸送器10和分支輸送器20之間的玻璃板P的交接速度提升，
此夕卜，在本實(shí)施方式的^4SL運(yùn)送裝置1中，使用噴出壓縮空氣的各空氣浮起單元12而從下方支承在主輸送器10和分支輸送器20之間被交接的玻璃板P,
如此，在交接時(shí)從下方支承玻璃板P，從而能夠抑制玻璃板P發(fā)生彎曲。
此外，使用壓縮空氣浮起支承玻璃板P，從而在等同于沒有摩擦阻力的狀態(tài)下，在主輸送器10和分支輸送器20之間交接玻璃板P.因此，即使在高速化了交接速度時(shí)也不會(huì)產(chǎn)生由于施加沖擊而導(dǎo)致的玻璃板P的損傷。
(第二實(shí)施方式)
接著，說明本發(fā)明的第二實(shí)施方式.另外，在該笫二實(shí)施方式的說明中，省略或者簡(jiǎn)略化有關(guān)與上述笫一實(shí)施方式相同的部分的說明。
圖6是表示本實(shí)施方式的基板運(yùn)送裝置中的主輸送器10和分支輸送器21的分支部分的構(gòu)成的圖。如該圖所示，在本實(shí)施方式中，主輸送器10以及分支輸送器21構(gòu)成為，替代上述第一實(shí)施方式中的空氣浮起單元12而具有配列多個(gè)球狀自由輥300 (支承部)的自由輥單元200.
根據(jù)具有這樣的構(gòu)成的本實(shí)施方式的基板運(yùn)送裝置，在主輸送器10和分支輸送器20之間進(jìn)行玻璃板P的交接時(shí)，玻璃板P被球狀自由輥300從下方支承，
因此，根據(jù)本實(shí)施方式的基板運(yùn)送裝置，與上述第一實(shí)施方式的基板運(yùn)送裝置1相同，在主輸送器10和分支輸送器20之間進(jìn)行玻璃板P的交接時(shí)能夠抑制玻璃板P發(fā)生彎曲。
另外，上述實(shí)施方式所示的各構(gòu)成部件的諸形狀或組合或者動(dòng)作順序等是一例，在不脫離本發(fā)明的宗旨的范圍內(nèi)能夠基于設(shè)計(jì)要求等進(jìn)行種種變更。
例如，在上述實(shí)施方式中，說明了主輸送器10和分支輸送器20被配置為直角的構(gòu)成。但是，本發(fā)明并不限定于此，也能夠適用于主輸送器10和分支輸送器20以不同的角度被配置的構(gòu)成。
此外，在上述實(shí)施方式中，輸送部15構(gòu)成為借助未圖示的升降裝置下降從而在主輸送器IO和分支輸送器20之間交接玻璃板P時(shí)能夠防止玻璃板P與輸送部15接觸。但是，本發(fā)明并不限定于此，也可以代替輸送部15下降而借助空氣浮起單元12上升來防止玻璃板P與輸送部15發(fā)生接觸。此時(shí)，交接側(cè)的輸送器的空氣浮起單元12的上表面位于與上升之后的空氣浮起單元12的上表面為同一面的位置。
在上述實(shí)施方式中，說明了單張運(yùn)送玻璃板P的情況，但是并不限定于此。例如，也可以是半單體晶片等薄的板狀部件.
在上述實(shí)施方式中，說明了在分支輸送器20的另一端側(cè)配置/連結(jié)薄膜形成裝置5、蝕刻裝置6、試驗(yàn)裝置7等的各種處理裝置的情況，但是并不限定于此。也可以是在分支輸送器20的下游側(cè)(另一端側(cè))還連結(jié)分支輸送器20的情況。
此外，除了薄膜形成裝置5、蝕刻裝置6、試驗(yàn)裝置7等的各種處理裝置之外，也可以配置暫時(shí)地保存多個(gè)玻璃板P等的a的儲(chǔ)料器。
在上述的實(shí)施方式中，說明了在薄膜形成裝置5、蝕刻裝置6、試驗(yàn)裝置7等的各種處理裝置上配置運(yùn)入玻璃板P的分支輸送器21、 23、 25和運(yùn)出玻璃板P的分支輸送器22、 24、 26的情況，但是并不限定于此。也可以是一個(gè)分支輸送器20進(jìn)行玻璃板P的運(yùn)入/運(yùn)出的情況。
此外，在上述實(shí)施方式中，說明了使用壓縮空氣浮起支承玻璃板P的情況，但是并不限定于此。例如，也可以借助將在空間內(nèi)傳播的振動(dòng)波施加在玻璃板P上而浮起支承玻璃板P。產(chǎn)業(yè)上的利用可能性
基于本發(fā)明的基板運(yùn)送裝置以;s^L運(yùn)送方法，能夠利用于在主輸送
器和分支輸送器之間不佳羞板的行進(jìn)方向發(fā)生變化地交接^L時(shí)，使主輸
送器和分支輸送器之間的基板的交接速度提升。
1權(quán)利要求
1. 一種基板運(yùn)送裝置，具有主輸送器，單張運(yùn)送基板；分支輸送器，從上述主輸送器水平地分支；基板交接部，使上述基板水平地轉(zhuǎn)動(dòng)以維持上述基板的相對(duì)于行進(jìn)方向的朝向，同時(shí)將上述基板從上述主輸送器交接至上述分支輸送器或者從上述分支輸送器交接至上述主輸送器。
2. 如權(quán)利要求l所述的基板運(yùn)送裝置，其特征在于，上述^交接 部具有頂部，把持上述基板的外緣；驅(qū)動(dòng)部，以既定的旋轉(zhuǎn)軸為中心使該頂部水平地轉(zhuǎn)動(dòng)； 臂部， 一端與上述頂部連接且另一端部與上述驅(qū)動(dòng)部連接。
3. 如權(quán)利要求l所述的基板運(yùn)送裝置，其特征在于，具有在由上述 基板交接部進(jìn)行的上述基板的交接期間從下方支承上述基板的支承部.
4. 如權(quán)利要求3所述的基板運(yùn)送裝置，其特征在于，上述支承部使 用壓縮空氣使上述基板浮起而支承上述。
5. —種基板運(yùn)送方法， 借助主輸送器單^:送基板，使上述主輸送器上的上述基板水平地轉(zhuǎn)動(dòng)以維持上述基板的相對(duì)于 行進(jìn)方向的朝向，同時(shí)將上述J41從上述主輸送器交接到水平地分支的分 支輸送器上，
6. —種^4l運(yùn)送方法，借助從主輸送器水平地分支的分支輸送器運(yùn)逸基板， 使上述分支輸送器上的上述基板水平地轉(zhuǎn)動(dòng)以維持上述基板的相對(duì) 于行進(jìn)方向的朝向，同時(shí)將上述基板交接到主輸送器上。
全文摘要
一種基板運(yùn)送裝置，具有主輸送器，單張運(yùn)送基板；分支輸送器，從上述主輸送器水平地分支；基板交接部，一邊使上述基板水平地轉(zhuǎn)動(dòng)以維持上述基板的相對(duì)于行進(jìn)方向的朝向，一邊將上述基板從上述主輸送器交接至上述分支輸送器或者從上述分支輸送器交接至上述主輸送器。
文檔編號(hào)B65G49/07GK101512748SQ200780033198
公開日2009年8月19日 申請(qǐng)日期2007年2月15日 優(yōu)先權(quán)日2006年9月11日
發(fā)明者平田賢輔, 村山晉, 水野智夫 申請(qǐng)人:株式會(huì)社Ihi