專利名稱：硅片籃的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種用于硅片加工生產(chǎn)中，硅片的放置、存載及周轉(zhuǎn)的工藝周轉(zhuǎn)裝置。
背景技術(shù)：
隨著半導體科學技術(shù)的飛速的發(fā)展，硅片的廣泛應(yīng)用涉及到現(xiàn)代社會的各行各業(yè)。因此，硅片的生產(chǎn)加工量不斷攀升，隨之形成大規(guī)模流水生產(chǎn)。通常待加工硅片放置于周轉(zhuǎn)裝置中，通過生產(chǎn)線由機械手操作，進行每道工序的流水加工作業(yè)?，F(xiàn)有的周轉(zhuǎn)裝置主要是采用框式結(jié)構(gòu)的硅片盒來放置硅片。這種硅片盒根據(jù)不同硅片的徑向尺寸設(shè)計出對應(yīng)尺寸的盒子，以便加工使用。然而，隨著大規(guī)模加工生產(chǎn)的需求，以及不同規(guī)格尺寸硅片的出現(xiàn)，傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)的硅片盒，已不能滿足需要，其存在以下明顯的缺點1、一種硅片盒不能放置不同規(guī)格的硅片，即不同規(guī)格的硅片必須放置于不同規(guī)格的硅片盒中，生產(chǎn)加工中需要配置多種規(guī)格的硅片盒，以致加工成本大幅度升高；2、單個硅片盒安放硅片的數(shù)量較少，最多才能放置25片硅片。要想加大硅片盒的容積，擴大放置數(shù)量，則由于硅片盒的變形較大，無法滿足機械化生產(chǎn)的工藝要求；3、隨著硅片加工工藝的改進和完善，現(xiàn)有硅片盒已不能適應(yīng)硅片自動干燥工藝的生產(chǎn)要求。
為了滿足硅片大規(guī)模生產(chǎn)的需要，并適應(yīng)新工藝的要求，業(yè)界非常希望能夠出現(xiàn)一種能同時適應(yīng)多種規(guī)格，大存載量、價格便宜的硅片存載及周轉(zhuǎn)裝置。
實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是要解決現(xiàn)有硅片加工生產(chǎn)過程中，硅片的存載、周轉(zhuǎn)裝置規(guī)格繁雜、互相不通用、不能滿足大規(guī)模生產(chǎn)加工需要及不能適應(yīng)新工藝要求的技術(shù)問題，提出一種通用性強，可適應(yīng)多種規(guī)格硅片、能滿足大規(guī)模加工需求以及成本低廉的硅片籃。
為解決上述問題，本實用新型的技術(shù)方案是構(gòu)造一種硅片籃，其包括設(shè)于兩端的固定板、設(shè)于固定板下部的可作上下位置調(diào)整的支撐桿，所述固定板中部的兩側(cè)縱向分別設(shè)有數(shù)個安裝槽孔，該安裝槽孔中設(shè)有可沿固定板橫向作位置調(diào)整的插片桿，該插片桿的外表面設(shè)有可插放硅片的凹槽。
其中，所述固定板的頂端卡接一壓桿。
所述兩側(cè)的插片桿可以沿所述固定板的橫向同時作位置調(diào)整，也可以一側(cè)的插片桿固定連接，另一側(cè)的插片桿沿所述固定板的橫向作位置調(diào)整。
所述插片桿外表面的凹槽為梯形凹槽。
本實用新型的較佳實施例，所述的安裝槽孔為設(shè)有三個位置的橫向三環(huán)連接形狀的安裝槽孔。
所述的固定板、壓桿、支撐桿和插片桿由耐腐蝕和耐高溫的聚偏二氟乙烯(PVDF)、聚四氟乙烯(PTFE)、四氟乙稀-全氟烷基乙稀醚共聚物(PFA)或耐腐蝕而不耐高溫的聚丙稀塑材(PP)制作。
所述插片桿、壓桿、支撐光桿的芯部可以設(shè)有一金屬桿。
本實用新型由兩側(cè)的插片桿和下部的支撐桿用來支撐和限定硅片，通過調(diào)整兩側(cè)插片桿之間的距離，來適應(yīng)放置不同尺寸規(guī)格的硅片；在固定板的頂端卡接一壓桿可以防止加工或轉(zhuǎn)運時硅片的向上串動；插片桿外表面設(shè)置的梯形凹槽，可以方便平穩(wěn)順利將硅片插入或取出；采用由耐腐蝕和耐高溫的PVDF、PTFE及PFA塑材制作的硅片盒的零件，可以滿足強腐蝕和高溫處理的加工工藝要求；在插片桿、壓桿、支撐光桿的芯部設(shè)置一金屬桿，加強了本實用新型的剛度和強度，在各種環(huán)境下，尤其是高溫環(huán)境下不易變形，并可以滿足各種生產(chǎn)工藝的要求，本產(chǎn)品可放置多于100片的硅片。本實用新型使得硅片存放量大大增加，一套裝置可適用多種規(guī)格的硅片。并且結(jié)構(gòu)簡單，加工方便，從而使得硅片加工生產(chǎn)的綜合成本大大降低，完全適合大規(guī)模機械化生產(chǎn)的需要。
以下結(jié)合附圖和較佳實施例對本實用新型作詳細的說明，其中


圖1是本實用新型較佳實施例的立體圖；圖2是本實用新型實施例的主視圖；圖3是圖2的側(cè)視圖；圖4是本實用新型實施例固定板的主視圖；圖5是本實用新型較佳實施例插片桿凹槽的放大圖。
具體實施方式
圖1、圖2和圖3示出了本實用新型較佳實施例的結(jié)構(gòu)，所述的硅片籃，其包括設(shè)于兩端的固定板1、用螺釘8連接于該固定板1下部的可作上下三個位置調(diào)整的支撐桿3。固定板1中部的兩側(cè)縱向分別設(shè)有三排橫向的安裝槽孔4(請參閱圖4)，該安裝槽孔中用螺釘8連接有可沿固定板1橫向作位置調(diào)整的插片桿5，兩插片桿的外表面分別設(shè)有相對的可插放硅片的梯形凹槽6(請參閱圖5)，所述固定板1的頂端卡接一可以自由卡入或取出的壓桿7。
如圖4所示，所述的安裝槽孔4為設(shè)有三個位置的橫向三環(huán)連接形狀的安裝槽孔。插片桿5沿安裝槽孔4可同時作橫向三個位置的調(diào)整，即將兩邊的插片桿靠攏到最近的第一位置時，硅片籃可用于放置103×103規(guī)格硅片9。當將插片桿5置于其他位置時，硅片籃又可以放置125×125規(guī)格硅片10或156×156規(guī)格硅片11(如圖3所示)。將安裝槽孔4設(shè)計成三環(huán)連接形狀，便于插片桿5的定位，以確保插片桿5之間距離的精確。本實用新型另一實施例中，也可以將一側(cè)插片桿4固定連接，此時的安裝槽孔4就是一個圓孔(圖中未示出)，另一側(cè)的插片桿4可沿固定板1的橫向作位置調(diào)整。這同樣可以改變兩插片桿之間的距離，達到放置不同規(guī)格硅片的目的。固定板1、支撐桿3、壓桿7和插片桿5可由耐腐蝕和耐高溫的聚偏二氟乙烯(PVDF)、聚四氟乙烯(PTFE)、四氟乙稀-全氟烷基乙稀醚共聚物(PFA)、也可由耐腐而不耐高溫的聚丙稀塑材(PP)制作。插片桿5、支撐光桿3、壓桿7注塑成型，而且在其芯部同時設(shè)置一金屬桿(圖中未示出)。
當然，也可將安裝槽孔4設(shè)計成其他的形狀，也可根據(jù)需要設(shè)置安裝槽孔4或支撐桿3縱向及橫向位置的數(shù)量，只要可以使得插片桿能作橫向的位置調(diào)整、支撐桿3作縱向的位置的調(diào)整，以達到放置不同規(guī)格硅片的目的，都是本實用新型所表達的內(nèi)容。
本實用新型使用時，先根據(jù)不同硅片的規(guī)格調(diào)整好兩側(cè)插片桿5之間的距離以及支撐桿3位置，以適應(yīng)放置不同尺寸規(guī)格的硅片。將頂部的壓桿7取掉，將硅片沿兩插片桿相對的梯形凹槽6自由放入或取出，利用兩側(cè)的插片桿和下部的支撐桿來支撐和限制硅片的移動。硅片放好后，再將壓桿7卡入固定板1的頂端，這樣可以防止加工或轉(zhuǎn)運時，硅片的向上串動。在插片桿5、支撐光桿3、壓桿7的芯部設(shè)置一加強金屬桿，使得本結(jié)構(gòu)的硅片盒不僅可放置多于100片的硅片，而且剛度和強度好，在各種環(huán)境下，都不易變形。采用由耐腐蝕和耐高溫的聚偏二氟乙烯(PVDF)、聚四氟乙烯(PTFE)、四氟乙稀-全氟烷基乙稀醚共聚物(PFA)塑材制作的硅片盒的零件，可以滿足強腐蝕和高溫處理的加工工藝的要求。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，加工方便，從而使得硅片加工生產(chǎn)的綜合成本大大降低，完全適合大規(guī)模自動化生產(chǎn)的需要。
權(quán)利要求1.一種硅片籃，其特征在于，包括設(shè)于兩端的固定板(1)設(shè)于該固定板(1)下部的可作上下位置調(diào)整的支撐光桿(3)所述固定板(1)中部的兩側(cè)縱向分別設(shè)有數(shù)個安裝槽孔(4)，該安裝槽孔中設(shè)有可沿固定板(1)橫向作位置調(diào)整的插片桿(5)，該插片桿的外表面設(shè)有可插放硅片的凹槽(6)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片籃，其特征在于，所述固定板(1)的頂端卡接一壓桿(7)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片籃，其特征在于，所述兩側(cè)的插片桿(5)沿所述固定板(1)的橫向可同時作位置調(diào)整或一側(cè)插片桿(5)固定連接，另一側(cè)的插片桿(5)可沿所述固定板(1)的橫向作位置調(diào)整。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅片籃，其特征在于，所述插片桿外表面的凹槽(6)為梯形凹槽。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項所述的硅片籃，其特征在于，所述的安裝槽孔(4)為設(shè)有三個位置的橫向三環(huán)連接形狀的安裝槽孔。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的硅片籃，其特征在于，所述的固定板(1)、支撐桿(3)和插片桿(5)可由耐腐蝕、耐高溫的聚偏二氟乙烯(PVDF)、聚四氟乙烯(PTFE)、四氟乙稀-全氟烷基乙稀醚共聚物(PFA)或耐腐蝕而不耐高溫的聚丙稀(PP)塑材制作。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的硅片籃，其特征在于，所述插片桿(5)、支撐光桿(3)、壓桿(7)的芯部設(shè)有一金屬桿。
專利摘要本實用新型公開了一種用于硅片生產(chǎn)加工中，存載、周轉(zhuǎn)硅片的硅片籃，其包括設(shè)于兩端的固定板(1)、分別設(shè)于該固定板上端兩側(cè)的固定桿(2)、設(shè)于該固定板(1)下部的可作上下位置調(diào)整的支撐桿(3)，所述固定板(1)中部的兩側(cè)縱向分別設(shè)有數(shù)個安裝槽孔(4)，該安裝槽孔中設(shè)有可沿固定板(1)橫向作位置調(diào)整的插片桿(5)，該插片桿的外表面設(shè)有可插放硅片的凹槽(6)，所述固定板(1)的頂端卡接一壓桿(7)。本實用新型通過調(diào)整插片桿及支撐桿的位置，使得一套硅片盒可適用多種規(guī)格的硅片，并且硅片存放量大大增加，從而使得硅片加工生產(chǎn)的綜合成本大大降低，完全適合大規(guī)模自動化生產(chǎn)的需要。
文檔編號B65D85/30GK2833883SQ20052006674
公開日2006年11月1日 申請日期2005年11月8日 優(yōu)先權(quán)日2005年11月8日
發(fā)明者左國軍, 黃進權(quán) 申請人:深圳市捷佳創(chuàng)精密設(shè)備有限公司