專利名稱：基板的輸送裝置以及輸送方法
技術領域：
本發(fā)明涉及用于輸送在處理部由處理液處理的基板的輸送裝置以及輸送方法。
背景技術：
在用于液晶顯示裝置的玻璃制的基板上形成電路圖形。為了在基板上形成電路圖形采用光刻技術。光刻技術是眾所周知的那樣在上述基板上涂抗蝕劑，通過形成了電路圖形的掩模向該抗蝕劑上照射光。
接下來，除去抗蝕劑中沒有被光照射的部分或者被光照射的部分，蝕刻基板的除去了抗蝕劑的部分，在蝕刻后通過多次反復進行除去抗蝕劑等的一系列工序，在上述基板上形成電路圖形。
在這樣的光刻技術，具有在上述基板上通過用顯像液、蝕刻液或者在蝕刻后除去抗蝕劑的剝離液等的作為處理液的藥液處理基板的工序、和在通過藥液進行處理之后利用作為處理液的清洗液進行清洗的工序等，在清洗以后還需要將附著殘留在基板上的清洗液除去的干燥工序。
在對基板進行上述一系列處理的情況下，上述基板通過軸線為水平配置的輸送輥以水平的狀態(tài)輸送到處理部，在那里用處理液進行處理。
但是，在最近用于液晶顯示裝置的玻璃制基板有大型化和薄型化的趨勢。所以，如果水平輸送基板的話，由于輸送輥之間的基板的彎曲變大，所以產生各個處理腔室內的處理不能對基板的板面整體均勻地進行的問題。而且，在基板的上面殘留大量處理液的狀態(tài)下，由于基板被從處理部搬出，在回收處理液進行再利用的情況下，處理液的消費量變多，造成生產費用的提高。
所以，最近通過將基板以設定的角度傾斜而進行輸送，使供給到基板板面上的處理液順暢地流動。由此，隨著基板從處理部帶出來的處理液的量變少，可以均勻地處理基板的整體板面。
在處理部使基板傾斜而一邊輸送一邊處理的情況下，使以水平狀態(tài)輸送過來的基板傾斜到設定的角度而供給到處理部。這樣，基板在處理部被處理后，將從傾斜狀態(tài)恢復到水平后，移交到下一道工序。
迄今為止，為了使基板傾斜，或者使傾斜了的基板恢復到水平，在上述處理部的搬入側和搬出側各配置1臺長度尺寸比基板大而可以調節(jié)傾斜角度的輸送機。這樣，在搬入側，基板被供給水平狀態(tài)的搬入輸送機后，使該搬入輸送機傾斜到與以規(guī)定的傾斜角度設置在處理部的搬運輸送機的傾斜角度相同的角度后將基板移交給處理部。
另外，在搬出側，使搬出輸送機以設定的傾斜角度待機，在該搬出輸送機接受了從處理部搬出的基板后，倒伏成水平，進行向下一道工序的移交。
但是，在搬入側和搬出側，由各自1個輸送機將基板以發(fā)定的角度傾斜后移交到處理部，或接受了在處理部處理了的基板后恢復到水平的話，在搬入側至少基板的長度尺寸的二分之一以上被移送到處理部的輸送機為止，不能使搬入側的搬入輸送機倒伏回到水平而接受下一個基板。所以，會產生到搬入輸送機可以接受下一個基板為止所需的生產間隔時間，即移交所需的生產間隔時間變長的問題。
另外，在搬出側，由于搬出輸送機在從處理部的搬送輸送機接受了基板并倒伏成水平后，到從搬出輸送機送出整個基板為止，不能使該搬出輸送機傾斜到規(guī)定的傾斜角度而接受下一個基板，所以與搬入側同樣地，也產生基板移送所需的生產間隔時間變長的問題。

發(fā)明內容
本發(fā)明就是要提供在處理部將基板以設定角度傾斜而輸送的情況下，可以縮短基板移送所需的生產間隔時間的基板輸送裝置以及輸送方法。
本發(fā)明是基板的輸送裝置，它是輸送在處理部處理的基板的輸送裝置，其特征在于，具有將以水平狀態(tài)送來的基板傾斜到設定的傾斜角度后，移交到上述處理部的搬入移交部；
接受在該搬入移交部傾斜到設定角度的上述基板，以該傾斜角度在上述處理部內輸送的傾斜輸送部；和從上述傾斜輸送部接受以設定的傾斜角度在上述處理部內輸送并處理過的基板后，恢復到水平狀態(tài)的搬出移交部，上述搬入移交部和搬出移交部的至少一方，具有由沿基板的輸送方向依次并列設置、并可以分別設定基板的傾斜角度的多個輸送機構成的角度變換單元。
本發(fā)明是基板的輸送方法，它是輸送在處理部處理的基板的輸送方法，其特征在于，具有將以水平狀態(tài)送來的基板搬入上述處理部的搬入工序；將搬入到上述處理部的基板傾斜到設定的角度而輸送的輸送工序；和接受在上述處理部處理過的基板的搬出工序，上述搬入工序和搬出工序的至少一個工序，具有變換基板傾斜角度的角度變換工序。
根據該發(fā)明，由于上述搬入移交部和搬出移交部的至少一方，設置由多個輸送機構成的角度變換單元，所以在搬入移交部上使基板傾斜而移交到處理部的同時，可以以水平狀態(tài)接受新的基板，在搬出移交部上將從處理部搬出的基板以水平狀態(tài)搬出的同時，可以以傾斜狀態(tài)接受在處理部處理過的基板。所以可以縮短向基板的處理部搬入或者從處理部搬出等的移交所需的生產間隔時間。


圖1是表示該發(fā)明的一個實施方式的處理裝置的簡要說明圖。
圖2是是處理腔室的縱斷面圖。
圖3是設在搬入側和搬出側的輸送機的平面圖。
圖4是從圖3所示的輸送機的寬度方向的一側看的側面圖。
圖5A-圖5C是搬入移交部的基板的交接的說明圖。
圖6A-圖6C是搬出移交部的基板的交接的說明圖。
符號說明3搬入移交部；4傾斜輸送部；5搬出移交部；6處理腔室；31第一搬入輸送機；32第二搬入輸送機；33第一搬出輸送機；34第二搬出輸送機；56驅動缸。
具體實施例方式
以下參照圖紙說明本發(fā)明的實施方式。
圖1表示基板W的處理裝置1的簡要構成，本發(fā)明的輸送裝置2被用于該處理裝置1上。輸送裝置2由搬入移交部3、傾斜輸送部4、搬出移交部5構成，上述傾斜輸送部4被設在用于對基板W用例如蝕刻液等的處理液進行處理的用作處理部的處理腔室6內。
圖2是上述處理腔室6的縱斷面圖。該處理腔室6沿基板W的輸送方向的一個端面形成用虛線表示的搬入口7，在另一個端面上形成搬出口(未被圖示)。在處理腔室6內在與基板W的輸送方向相交叉的寬度方向的兩端部分別設置支撐部件8。在這些支撐部件8上相對于上述寬度方向以設定的角度，例如5-15度的角度傾斜地設置上述傾斜輸送部4。
上述傾斜輸送部4在上述支撐部件8上具有寬度方向的兩端部被支撐的框架11。該框架11的寬度方向的一個端部被上述支撐部件8直接支撐，寬度方向的另一個端部通過角度調整部件10而支撐。由此，上述框架11以與上述寬度方向成設定的角度，例如5-15度的范圍內的角度而傾斜。另外，框架11的傾斜角度不限于5-15度的范圍內，既可以小于也可以大于那個范圍。
在上述框架11上，將軸線沿著框架11的寬度方向的多個輸送軸12(僅圖示一根)沿著與寬度方向交叉的基板W的輸送方向以設定的間隔按照可以轉動地進行設置。在輸送軸12以規(guī)定間隔設置有支撐基板W的下面的多個輸送輥13。所以，下面被支撐在輸送輥13上的基板W以與框架11相同的角度傾斜而被輸送。
在位于上述框架11的傾斜方向的上端側的寬度方向一側的外面，傳動軸14按照使軸線沿基板W的輸送方向可轉動地架設。在該傳動軸14的中部設置從動齒輪15。驅動齒輪16與該從動齒輪15相嚙合。該驅動齒輪16與被設置在處理腔室6外部的驅動源17的出力軸18相嵌接。
雖然沒有圖示詳細的部分，在上述輸送軸12的位于上述輸送軸14一側的端部上設置第一傘齒輪。第一傘齒輪與設置在上述輸送軸12上的第二傘齒輪相嚙合。所以，上述驅動源17動作而通過上述驅動齒輪16以及從動齒輪15而使上述傳動軸14轉動，通過上述第一、第二傘齒輪轉動驅動上述輸送軸12。由此，輸送支撐在輸送軸13上的基板W。
另外，在框架11內，與輸送軸12的傾斜方向下端部相對應的位置上設置支撐基板W的傾斜方向下端面、即與輸送方向交叉的寬度方向的一個側面的徑向輥19。
被在處理腔室6內輸送的基板W的上方，沿基板W的寬度方向的多個噴淋管21(僅圖示了一個)相對于基板的輸送方向按照規(guī)定間隔進行設置。在各個噴淋管21上按照設定的間隔設置多個噴嘴22。上述噴淋管21通過連通管24與母管23連接。該母管23連通蝕刻液等的處理液的供應源(未圖示)。由此，從上述噴嘴22向被輸送到處理腔室6內的基板W上噴射處理液。
在上述處理腔室6的搬入側設置上述搬入移交部3，在搬出側設置上述搬出移交部5。如圖1所示的那樣，搬入移交部3由沿基板W的輸送方向依次并列設置的第一搬入輸送機31和第二搬入輸送機32構成，搬出移交部5由沿基板W的輸送方向依次并列設置的第一搬出輸送機33和第二搬出輸送機34構成。
在上述搬入移交部3的上游側設置搬入水平輸送機3a，在上述搬出移交部5的下游側設置搬出水平輸送機5a。
另外，第一搬入輸送機31和第二搬入輸送機32以及第一搬出輸送機33和第二搬出輸送機34分別構成變換基板W角度的角度變換單元。
上述各輸送機31-34僅僅是配置位置不同，構成是一樣的，以下，參照圖3以及圖4進行說明。即，上述輸送機31-34具有矩形框形的框架36。該框架36按照與設在上述處理腔室6內的傾斜輸送部4的框架11尺寸相同地進行設定，在那個框架的寬度方向兩端部上沿與寬度方向相垂直的方向架設支撐板37。另外，在這種實施方式中，各個輸送機31-34的框架36的沿基板W的輸送方向的長度尺寸比該基板W的尺寸小，而且設定得比基板W的長度尺寸的大約一半要長。
在一對支撐板37以設定的間隔架設兩端部由軸承38可轉動地支撐的多個輸送軸39。在各個輸送軸39上沿軸方向以設定的間隔設置多個輸送輥41。在從一方的支撐板37突出的各個輸送軸39的一端部上設置第一傘齒輪42。
在上述框架36的上述輸送軸39的一端部側，沿輸送軸39的配置方向可轉動地支撐傳動軸43。在該傳動軸43上，設置與上述第一傘齒輪42相嚙合的第二傘齒輪44。
在上述傳動軸43的軸方向中途部設置從動輪45。在上述框架36的外側面上，在與上述從動輪45相對應的部位上設置驅動源46。在該驅動源46的出力軸47上設置驅動輪48，在該驅動輪48和上述從動輪45上設置如圖3的虛線所示的鏈條49。
所以，如果上述驅動源46動作的話，由于通過拉伸設置在驅動輪48和從動輪45上的鏈條49轉動驅動上述傳動軸43，所以通過與在被設置該傳動軸43上的第二傘齒輪44以及與第二傘齒輪44相嚙合的第一傘齒輪42沿設定方向轉動驅動輸送軸39。由此，被設在各個輸送軸39上的輸送輥41支撐的基板W沿設定方向輸送。
如圖4所示的那樣，在上述框架36的下面?zhèn)龋c該框架36大小幾乎相同的下部框架51由連接部件52以設定的間隔并行地分離并連接。
作為與設置在上述框架36上的輸送軸39的軸方向的一個端部相對應的、下部框架51的寬度方向的一個端部，在與該寬度方向相交叉的方向的兩個端部分別設置支撐軸53(僅圖示一個)使軸線與輸送軸39的軸線垂直交叉。
構成上述搬入移交部3以及搬出移交部5的架臺54的上面的寬度方向的一個端部上設置支撐部件55。上述支撐軸53可轉動地那撐在該支撐部件55上。由此，上述框架36在架臺54的上面，可以與下部框架51一起沿作為輸送軸39的軸方向的基板W的寬度方向搖動。
在上述架臺54上，與上述下部框架51的寬度方向的另一個端部相對應的部位上，沿軸線垂直地設置構成搖動機構的驅動缸56。該驅動缸56的驅動軸57的前端部沿與框架36的寬度方向相交叉的方向設置長的安裝板58。在該安裝板58的兩端部上分別設置輥子59(僅圖示一個)。一對輥子59在下部框架51的寬度方向的另一個端部上，與設置在與該寬度方向相交叉的方向上的接觸板61相接觸。
所以，如果上述驅動缸56動作而該驅動軸57向突出方向驅動的話，輥子59通過接觸板61將下部框架51的寬度方向的另一個端部壓上，所以設置了輸送輥41的框架36的寬度方向的另一端部與該下部框架51一起上升。
即，框架36利用驅動缸56以寬度方向的一個端部為支點而使寬度方向另一個端部向比該一端部高的方向傾斜?？蚣?6的傾斜角度按照成為與設在上述處理腔室6內的傾斜輸送部4的框架11相同的傾斜角度來設定。而圖4表示了框架36傾斜的狀態(tài)。
接下來，參照圖5A-圖5C和圖6A-圖6C，對于通過使用了上述構成的輸送裝置2的處理裝置1進行基板W處理的情況進行說明。
未被處理的或者在前面的工序中進行了處理的基板W如圖5A所示，通過搬入水平輸送機3a以水平狀態(tài)輸送給搬入移交部3的第一搬入輸送機31上。這時，搬入移交部3的第一搬入輸送機31和第二搬入輸送機32以水平狀態(tài)接受基板W。
基板W被第一搬入輸送機31向第二搬入輸送機32的方向輸送。如圖5B所示的那樣沿基板W的輸送方向的長度方向的前端部搭載到第二搬入輸送機32上后，第一搬入輸送機31和第二搬入輸送機32按照成為與處理腔室6內的傾斜輸送部4相同的傾斜角度的方式由驅動缸56向傾斜方向驅動。
這時，第一、第二搬入輸送機31、32一邊輸送基板W一邊傾斜。另外，這時雖然基板W的后端部在水平搬入輸送機3a上，但是由于基板W長度的1/2以上在第一、第二搬入輸送機31、32之上，基板W通過這些搬入輸送機31、32而傾斜。
如圖5C所示的那樣，基板W在傾斜的狀態(tài)下被輸送到第二搬入輸送機32上，留在第一搬入輸送機31上的基板W的長度尺寸在全長的1/2以下的話，第一搬入輸送機31被驅動而從傾斜狀態(tài)恢復到水平狀態(tài)。
這時，由于留在第一輸送機31上的基板W的長度尺寸在全長的大約1/2以下，所以基板W被第二輸送機32可靠地支撐。所以，基板W被可靠地移交給與第二搬入輸送機32以相同傾斜角度傾斜的傾斜輸送部4。
即，在基板W的一部分留在第一搬入輸送機31上的狀態(tài)下即使第一搬入輸送機31倒伏為水平狀態(tài)，基板W也不會從第二搬入輸送機32落下而將被輸送到傾斜輸送部4。
第一搬入輸送機31倒伏為水平狀態(tài)的話，下一個基板W被水平搬入輸送機3a以水平狀態(tài)供給到第一搬入輸送機31，而通過第一搬入輸送機31輸送第二片基板W。與此幾乎同時，最初的基板W被從第二搬入輸送機32移交給傾斜輸送部4的輸送輥13，該第二搬入輸送機32受驅動而從傾斜狀態(tài)恢復到水平狀態(tài)。
第二搬入輸送機32成為水平狀態(tài)后，與第一搬入輸送機31一起接受被第一搬入輸送機31以水平狀態(tài)輸送過來的第二片基板W。然后，這些搬入輸送機31、32被從水平狀態(tài)驅動到傾斜狀態(tài)后將第二片基板W輸送到處理腔室6內，另外如果留在第一搬入輸送機32上的第二片基板W的長度尺寸小于等于1/2的話，第一搬入輸送機31倒伏為水平狀態(tài)，第三片基板W被輸送到該輸送機31上，如此重復以上的動作。
這樣，搬入移交部3由可以角度調整成水平狀態(tài)和傾斜狀態(tài)的第一搬入輸送機31和第二搬入輸送機32構成。所以，基板W被供給和輸送到倒伏為水平狀態(tài)下的第一、第二搬入輸送機31、32上，該基板W的留在第一搬入輸送機31上的長度尺寸在1/2以下的話，在通過第二搬入輸送機32以傾斜的狀態(tài)輸送基板W的時候，可以將第一搬入輸送機31倒伏為水平狀態(tài)，以水平狀態(tài)接受下一片基板W。
即，由于搬入移交部3是，在該第一搬入輸送機31以水平狀態(tài)從搬入水平輸送機3a接受基板W的同時，依靠第二搬入輸送機32移交到處理腔室6的傾斜輸送部4，所以與分開地進行基板W的接受和移交的情況相比，可以縮短生產間隔時間。
對于被移交給處理腔室6內的傾斜輸送部4的基板W，從噴嘴22向其上面噴射處理液。由于基板W是以設定的角度傾斜地輸送，所以供給到基板W上面的處理液可以設定的速度從寬度方向的上端向下端平穩(wěn)地流動。所以，處理液難于殘留在基板W的上面，由于處理液沿設定方向流動，所以在提高處理速度的同時，可以提高處理的均勻性。
這樣被在處理腔室6內處理后被傾斜輸送部4輸送的基板W被移交到搬出移交部5后輸送到下一道工序。為了將基板W從傾斜輸送部4向搬出移交部5移交按以下那樣進行。即，搬出移交部5的第一搬出輸送機33和第二搬出輸送機34以與傾斜輸送部4相同的角度傾斜，等待在處理腔室6內處理的基板W的搬出。
在處理腔室6內處理的基板W如圖6A所示的那樣被以傾斜的狀態(tài)移交到第一搬出輸送機33上，從該第一搬出輸送機33向第二搬出輸送機34輸送。如圖6B所示的那樣，如基板W被從傾斜輸送部4搬出并輸送到第一、第二搬出輸送機33、34上，這些第一、第二搬出輸送機33、34從傾斜狀態(tài)驅動為水平狀態(tài)。然后，基板W以水平狀態(tài)在第一、第二搬出輸送機33、34上輸送。
如圖6C所示，基板W的后端從第一搬出輸送機33離開的話，該第一搬出輸送機33被從水平方向驅動為傾斜狀態(tài)。然后，接受通過上述傾斜輸送部4以設定的傾斜角度從處理腔室6搬出來的下一個基板W。
在第一搬出輸送機33接受下一個基板W的時候，基板W被從第二搬出輸送機34移交給水平搬出輸送機5a并被搬出。如果將基板W移交到水平搬出輸送機5a，第二搬出輸送機34從水平狀態(tài)被驅動為與第一搬出輸送機33相同的傾斜角度。
由此，被從傾斜輸送部4搬出來的下一片基板W，通過第一搬出輸送機33和第二搬出輸送機34被以設定的傾斜角度傾斜而搬出，后端從傾斜輸送部4離開的話，這些搬出輸送機33、34從傾斜狀態(tài)倒伏為水平狀態(tài)。
這樣，基板W的后端從第一搬出輸送機33離開的話，該第一輸送機33被從水平狀態(tài)驅動為傾斜狀態(tài)，接受被從處理腔室6搬出來的基板W，重復這樣的動作。
這樣，通過由第一搬出輸送機33和第二搬出輸送機34構成搬出移交部5，在第二搬出輸送機34倒伏為水平的狀態(tài)下，在將基板W移交給水平搬出輸送機5a的時候，可以使第一搬出輸送機33傾斜而接受被處理腔室6的傾斜輸送部4搬出的基板W。
即，搬出移交部5由于可以一邊通過第一搬出輸送機33接受從處理腔室6搬出的基板W，一邊通過第二搬出輸送機34向水平搬出輸送機5a移交，所以與分別進行從傾斜輸送部4接受基板W和向水平搬出輸送機34移交基板W的情況相比，可以縮短生產間隔時間另外，雖然在上述的一個實施方式中的處理腔室6的搬入側和搬出側上，分別并列設置水平狀態(tài)的和可以立起為設定的傾斜角度的2個輸送機，但是也可以僅僅在搬入側和搬出側中的某一方上設置2個輸送機。即使這樣，在使基板W在處理腔室內傾斜而處理基板的情況下，也可以縮短移交基板所需的生產間隔時間。
另外，構成搬入移交部和搬出移交部的輸送機的數量不限于2個，也可以是3個或者3個以上。
另外，雖然在搬入移交部的上游側和搬出移交部的下游側設置水平輸送機而進行基板的移交，但是替代水平輸送機也可以使用機器人進行。
權利要求
1.一種基板的輸送裝置，輸送在處理部處理的基板，其特征在于，具有將以水平狀態(tài)送來的基板傾斜到設定的傾斜角度而移交到所述處理部的搬入移交部；接受被在該搬入移交部傾斜到設定角度的所述基板后，以該傾斜角度在所述處理部內輸送的傾斜輸送部；和從所述傾斜輸送部接受以設定的傾斜角度在所述處理部內輸送并被處理過的基板，恢復到水平狀態(tài)的搬出移交部，所述搬入移交部和搬出移交部的至少一方，具有沿基板的輸送方向順序并列設置并由可以分別設定基板的傾斜角度的多個輸送機構成的角度變換單元。
2.如權利要求1所述的基板的輸送裝置，其特征在于，所述搬入移交部的角度變換單元由沿基板的輸送方向順次并列設置的第一搬入輸送機和第二搬入輸送機構成，第一、第二搬入輸送機以水平狀態(tài)接受基板并傾斜到設定的角度，將基板輸送到所述傾斜輸送部，而且，在基板的長度尺寸的大約一半從第一搬入輸送機離開的時候，使該第一搬入輸送機倒伏成可進行下一個基板的移交的水平狀態(tài)。
3.如權利要求1所述的基板的輸送裝置，其特征在于，所述搬出移交部的角度變換單元由沿基板的輸送方向順次并列設置的第一搬出輸送機和第二搬出輸送機構成，第一、第二搬出輸送機以在設定的角度傾斜的狀態(tài)接受基板并倒伏成水平后輸送基板，并且，在基板從第一搬出輸送機離開的時候，使該第一搬入輸送機立起為可進行下一個基板的移交的傾斜狀態(tài)。
4.一種基板的輸送方法，輸送在處理部處理的基板，其特征在于，具有將以水平狀態(tài)送來的基板搬入所述處理部的搬入工序；將搬入到所述處理部的基板傾斜到設定的傾斜角度并輸送的輸送工序；和接受在所述處理部處理過的基板的搬出工序，所述搬入工序和搬出工序的至少一方的工序，具有變換基板傾斜角度的角度變換工序。
5.如權利要求4所述的基板的輸送方法，其特征在于，所述搬入工序的角度變換工序，具有以水平狀態(tài)接受基板的第一工序；使以水平狀態(tài)接受的基板傾斜的第二工序；和將傾斜后的基板移交到所述處理部并與所述第一工序同時進行的第三工序。
6.如權利要求4所述的基板的輸送方法，其特征在于，所述搬出工序的角度變換工序，具有從所述輸送工序以使基板傾斜的狀態(tài)接受基板的第一工序；使以傾斜狀態(tài)所接受的基板置為水平的第二工序；和將置為水平的基板搬出并與所述第一工序同時進行的第三工序。
全文摘要
本發(fā)明提供一種在使基板傾斜后在處理腔室進行處理時，可有效地進行基板對處理腔室的移交的基板輸送裝置，具有將以水平狀態(tài)送來的基板傾斜到設定的傾斜角度后，移交到處理腔室(6)的搬入移交部(3)；接受在搬入移交部傾斜到設定角度的所述基板后，以該傾斜角度在所述處理部內輸送的傾斜輸送部(4)；和從傾斜輸送部接受以設定的傾斜角度在所述處理部腔室內輸送的處理過的基板后，恢復到水平狀態(tài)的搬出移交部(5)，搬入移交部和搬出移交部的至少一方，由在沿基板的輸送方向依次并列設置并可分別設定基板的傾斜角度而且按照長度尺寸以比基板的沿輸送方向的長度尺寸短而設定的第一、第二搬入或者搬出輸送機(31－34)組成。
文檔編號B65G49/06GK1705097SQ200510074898
公開日2005年12月7日 申請日期2005年6月3日 優(yōu)先權日2004年6月3日
發(fā)明者西部幸伸, 磯明典, 原曉, 布施陽一 申請人:芝浦機械電子株式會社