專利名稱：輸送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種備有向輸送物的下表面供給清潔空氣、以非接觸狀態(tài)支承上述輸送物的送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)，和對(duì)受該送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)支承的上述輸送物施加輸送方向上的推進(jìn)力的推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)的輸送裝置。
背景技術(shù)：
這種輸送裝置，是用于輸送液晶顯示器用的玻璃基板等的輸送物的裝置，通過(guò)由推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)對(duì)由送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)以非接觸狀態(tài)支承的輸送物施加推進(jìn)力來(lái)輸送輸送物。
在以前的輸送裝置中，通過(guò)使推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)對(duì)與輸送物的輸送方向正交的橫寬方向的兩端側(cè)施加推進(jìn)力，使輸送物以水平姿勢(shì)或大致水平姿勢(shì)得到輸送(例如，參照特開(kāi)2002-321820號(hào)公報(bào))。此外，以前，在這種裝置中，也有通過(guò)輸送機(jī)構(gòu)支承輸送物為起立姿勢(shì)的裝置(例如，參照特開(kāi)2002-308423號(hào)公報(bào))。
在上述那樣的輸送裝置中，在推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)中需要備有以下一對(duì)機(jī)構(gòu)對(duì)輸送物的橫寬方向上的一端側(cè)施加推進(jìn)力的機(jī)構(gòu)和對(duì)橫向方向上的與一端側(cè)相反側(cè)的另一端側(cè)施加推進(jìn)力的機(jī)構(gòu)；或需要從該一對(duì)機(jī)構(gòu)中的一個(gè)向另一個(gè)傳遞動(dòng)力的機(jī)構(gòu)，從而使推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)的構(gòu)成變得復(fù)雜，推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)的重量變重。
本發(fā)明的目的在于，提供能夠使推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)的構(gòu)成變得簡(jiǎn)單、推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)的重量變輕的輸送裝置。
此外，在例如將液晶用的玻璃基板作為輸送物輸送的情況下，在裁斷時(shí)使玻璃基板成為水平姿勢(shì)比較容易進(jìn)行裁斷。另一方面，在檢查傷痕或缺陷等時(shí)玻璃基板為起立姿勢(shì)比較容易進(jìn)行檢查。因而，優(yōu)選為包括備有以水平姿勢(shì)或大致水平姿勢(shì)支承、輸送玻璃基板的輸送機(jī)構(gòu)的水平輸送裝置，和備有以起立姿勢(shì)支承、輸送玻璃基板的輸送機(jī)構(gòu)的起立輸送裝置。即、如果一邊通過(guò)水平輸送裝置的輸送機(jī)構(gòu)以水平姿勢(shì)支承以水平狀態(tài)被裁斷的玻璃基板一邊向輸送方向輸送，并將該被輸送的水平姿勢(shì)的玻璃基板從水平輸送裝置交接到起立輸送裝置，從而一邊通過(guò)該起立輸送裝置的輸送機(jī)構(gòu)以起立姿勢(shì)支承一邊對(duì)被輸送的玻璃基板進(jìn)行檢查，則裁斷與檢查兩方面的作業(yè)都容易進(jìn)行、比較方便。
并且，作為用于在水平輸送裝置的輸送機(jī)構(gòu)與起立輸送裝置的輸送機(jī)構(gòu)之間交接玻璃基板的輸送裝置，考慮有一邊通過(guò)與受水平輸送裝置的輸送機(jī)構(gòu)支承的玻璃基板的側(cè)部碰抵來(lái)限制位置偏移，一邊以碰抵狀態(tài)拾取下表面、并且改變?cè)撌叭『蟮牟ＡЩ宓淖藙?shì)、交接到起立輸送裝置的交接機(jī)構(gòu)。但是，在這種構(gòu)成的輸送裝置的情況下，將玻璃基板在水平輸送裝置的輸送機(jī)構(gòu)與起立輸送裝置的輸送機(jī)構(gòu)之間交接時(shí)，有可能容易損傷玻璃基板。
此外，在構(gòu)成輸送輸送物的輸送線時(shí)，如果能夠切換為以水平姿勢(shì)或大致水平姿勢(shì)輸送輸送物的狀態(tài)、和以起立姿勢(shì)輸送輸送物的狀態(tài)，則例如在輸送較薄而容易破損的輸送物時(shí)，形成以水平姿勢(shì)或大致水平姿勢(shì)輸送輸送物的狀態(tài)，來(lái)抑制輸送物的破損，此外，在輸送較厚而結(jié)實(shí)的輸送物時(shí)，形成以起立姿勢(shì)輸送輸送物的狀態(tài)，從而容易目視輸送過(guò)程中的輸送物等，成為能夠獲得以水平姿勢(shì)或大致水平姿勢(shì)輸送輸送物的優(yōu)點(diǎn)和以起立姿勢(shì)輸送輸送物的優(yōu)點(diǎn)的構(gòu)成，是較好的。
因而，本發(fā)明的第2目的在于，提供在構(gòu)成能夠切換為以水平姿勢(shì)或大致水平姿勢(shì)輸送輸送物的狀態(tài)和以起立姿勢(shì)輸送輸送物的狀態(tài)的輸送線時(shí)、能夠方便地使用的輸送裝置。
此外，進(jìn)一步的目的在于，提供能有效地進(jìn)行一邊在水平姿勢(shì)或大致水平姿勢(shì)與起立姿勢(shì)之間改變輸送物的姿勢(shì)、一邊輸送的輸送系統(tǒng)。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的輸送裝置，根據(jù)技術(shù)方案1的特征，是備有向輸送物的下表面供給清潔空氣、以水平姿勢(shì)或大致水平姿勢(shì)并以非接觸狀態(tài)支承上述輸送物的送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)，和對(duì)由該送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)支承的上述輸送物施加輸送方向上的推進(jìn)力的推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)的輸送裝置，上述推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)為對(duì)上述輸送物的與上述輸送方向正交的橫寬方向的一端側(cè)施加推進(jìn)力的單側(cè)驅(qū)動(dòng)式。
即、由于推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)構(gòu)成為單側(cè)驅(qū)動(dòng)式而構(gòu)成，所以只要是對(duì)一端側(cè)施加推進(jìn)力的構(gòu)成就可以，而不需要對(duì)相反側(cè)的另一端側(cè)施加推進(jìn)力。因而，達(dá)成了能夠提供一種能夠使推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)的構(gòu)成變簡(jiǎn)潔、并減輕推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)的重量的輸送裝置。
根據(jù)技術(shù)方案2的特征，備有碰抵在上述輸送物的被施加推進(jìn)力的一端側(cè)的側(cè)面上、用于阻擋在上述橫寬方向上移動(dòng)的輸送物的阻擋部，上述送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)，以上述橫寬方向的另一端側(cè)比受上述推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)施加推進(jìn)力的一端側(cè)位于上方的傾斜姿勢(shì)支承上述輸送物。
因此，輸送物在輸送物的自重作用下向斜下方被施加推進(jìn)力而要沿著輸送物的斜度移動(dòng)，但通過(guò)阻擋部碰抵在輸送物的側(cè)面上能夠限制該移動(dòng)。
因而，由于能夠通過(guò)阻擋部限制輸送物向橫寬方向的一側(cè)移動(dòng)、能夠通過(guò)輸送物的自重的作用使輸送物向橫寬方向的另一端側(cè)的移動(dòng)變得困難，所以在輸送輸送物時(shí)發(fā)生輸送物向橫寬方向偏移、傾斜等的可能性變小，能夠平滑地輸送輸送物。
根據(jù)技術(shù)方案3的特征，上述送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)的清潔空氣供給部配置為，在上述輸送方向觀察時(shí)、越與受上述推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)施加推進(jìn)力的一端側(cè)相對(duì)應(yīng)的一側(cè)越位于下方，從而以上述傾斜姿勢(shì)支承上述輸送物。
因而，由于能夠不改變送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)的構(gòu)成而以傾斜姿勢(shì)支承輸送物，所以能夠提供容易做成以傾斜姿勢(shì)支承輸送物的構(gòu)成的輸送裝置。
根據(jù)技術(shù)方案4的特征，上述送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)對(duì)上述橫寬方向的另一端側(cè)比對(duì)受上述推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)施加推進(jìn)力的一端側(cè)更多地供給清潔空氣，從而以上述傾斜姿勢(shì)支承上述輸送物。
即、由于不需要改變送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)的姿勢(shì)、并且?guī)缀醪桓淖兯惋L(fēng)式支承機(jī)構(gòu)的構(gòu)成、而能夠?qū)⑤斔臀镏С袨閮A斜姿勢(shì)，所以容易將送風(fēng)裝置改變?yōu)閷⑤斔臀镏С谐蓛A斜姿勢(shì)的構(gòu)成。
根據(jù)技術(shù)方案5的特征，備有碰抵在與上述輸送物的受上述推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)施加推進(jìn)力的一端側(cè)在橫寬方向上相反側(cè)的側(cè)面上、限制上述輸送物向橫寬方向移動(dòng)的限制部。
由于通過(guò)限制部能夠限制輸送物向橫寬方向的離開(kāi)推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)的一側(cè)移動(dòng)，所以能夠以更穩(wěn)定的狀態(tài)輸送輸送物。
根據(jù)技術(shù)方案6的特征，上述限制部構(gòu)成為，能夠在上述橫寬方向上進(jìn)行位置調(diào)節(jié)。
即、通過(guò)根據(jù)輸送物的橫寬方向的大小而對(duì)限制部在橫寬方向上進(jìn)行位置調(diào)節(jié)，消除了如下的情況如果輸送物的橫寬方向上的大小變大、則限制部成為障礙而不能輸送輸送物，或如果輸送物的橫寬方向上的大小變小、則不能充分地在橫寬方向上對(duì)輸送物進(jìn)行限制等，從而能夠?qū)M寬方向的大小不同的各種尺寸的輸送物進(jìn)行平滑地輸送。
根據(jù)技術(shù)方案7的特征，上述推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)備有接觸支承上述輸送物的下表面并施加推進(jìn)力的接觸式的驅(qū)動(dòng)部。
即、由于通過(guò)推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)的接觸式的驅(qū)動(dòng)部、一邊支承輸送物的下表面一邊施加推進(jìn)力，所以通過(guò)與送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)的聯(lián)動(dòng)來(lái)支承輸送物、由此能夠以更穩(wěn)定的狀態(tài)支承輸送物，此外，由于在輸送物的厚度方向的自重的作用下輸送物的下表面被推壓在驅(qū)動(dòng)部上，所以增大了摩擦力，也能夠可靠地進(jìn)行對(duì)輸送物施加推進(jìn)力，能夠平滑地輸送輸送物。
根據(jù)技術(shù)方案8的特征，上述驅(qū)動(dòng)部備有上述阻擋部。
即、由于阻擋部裝備在驅(qū)動(dòng)部上，所以不需要另外設(shè)置阻擋部，能夠不使輸送裝置的構(gòu)成那么復(fù)雜化地裝備阻擋部，此外，由于在輸送物的厚度方向的自重的作用下輸送物的下表面被推壓在驅(qū)動(dòng)部上、在輸送物的橫寬方向的自重的作用下輸送物的側(cè)面被推壓在驅(qū)動(dòng)部上，所以進(jìn)一步增大了摩擦力，也能夠更可靠地對(duì)輸送物施加推進(jìn)力，能夠平滑地輸送輸送物。
根據(jù)技術(shù)方案9的特征，將送風(fēng)單元在上述輸送方向上排列而構(gòu)成上述送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)，該送風(fēng)單元一體地組裝除去塵埃的除塵過(guò)濾器和通過(guò)該除塵過(guò)濾器向上述輸送物的下表面供給清潔空氣的送風(fēng)機(jī)構(gòu)。
因而，由于僅通過(guò)在輸送物的輸送方向上排列、裝備將送風(fēng)裝置與除塵過(guò)濾器一體地組裝的送風(fēng)單元，就能夠設(shè)置向被輸送的輸送物的下表面供給清潔空氣、以非接觸狀態(tài)支承輸送物的送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)，所以送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)的設(shè)置也變得簡(jiǎn)單。因而，能夠提供可實(shí)現(xiàn)容易制造的輸送裝置。
進(jìn)而，用于達(dá)成本發(fā)明的第2目的的輸送裝置，根據(jù)技術(shù)方案10的特征，是備有對(duì)通過(guò)由送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)向輸送物的下表面供給清潔空氣而支承為非接觸狀態(tài)的輸送物、通過(guò)推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)施加輸送方向上的推進(jìn)力而構(gòu)成的輸送機(jī)構(gòu)的輸送裝置，上述輸送機(jī)構(gòu)可以改變?yōu)橐运阶藙?shì)或大致水平姿勢(shì)支承上述輸送物的水平輸送狀態(tài)和以起立姿勢(shì)支承輸送物的起立輸送狀態(tài)。
即、在將輸送機(jī)構(gòu)改變?yōu)樗捷斔蜖顟B(tài)的狀態(tài)下，能夠一邊通過(guò)送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)以水平姿勢(shì)或大致水平姿勢(shì)并以非接觸狀態(tài)支承輸送物、一邊通過(guò)推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)施加輸送方向上的推進(jìn)力；在將輸送機(jī)構(gòu)改變?yōu)槠鹆⑤斔蜖顟B(tài)的狀態(tài)下，能夠一邊通過(guò)送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)以起立姿勢(shì)并以非接觸狀態(tài)支承輸送物、一邊通過(guò)推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)施加輸送方向上的推進(jìn)力。
因而，在構(gòu)成了可在水平輸送裝置的輸送機(jī)構(gòu)和起立輸送裝置的輸送機(jī)構(gòu)之間交接輸送物的輸送系統(tǒng)的情況下，由于通過(guò)在該水平輸送裝置的輸送機(jī)構(gòu)和起立輸送裝置的輸送機(jī)構(gòu)之間的輸送物的交接中使用技術(shù)方案1所述的輸送裝置(以下、為了與水平輸送裝置及起立輸送裝置區(qū)別而將技術(shù)方案1的輸送裝置稱為姿勢(shì)改變用輸送裝置)，在水平輸送裝置的輸送機(jī)構(gòu)與姿勢(shì)改變用輸送裝置的輸送機(jī)構(gòu)之間輸送輸送物時(shí)、以及在起立輸送裝置的輸送機(jī)構(gòu)與姿勢(shì)改變用輸送裝置的輸送機(jī)構(gòu)之間輸送輸送物時(shí)、以及在使輸送物從水平姿勢(shì)改變?yōu)槠鹆⒆藙?shì)及從起立姿勢(shì)向水平姿勢(shì)改變姿勢(shì)時(shí)，能夠通過(guò)送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)以非接觸狀態(tài)支承輸送物，所以在水平輸送裝置的輸送機(jī)構(gòu)和起立輸送裝置的輸送機(jī)構(gòu)之間交接輸送物時(shí)能夠降低損傷輸送物的可能性。
此外，通過(guò)排列、裝備多個(gè)姿勢(shì)改變用輸送裝置、構(gòu)成可在姿勢(shì)改變用輸送裝置的輸送機(jī)構(gòu)彼此間交接的輸送輸送物的輸送線，在例如輸送較薄且易破損的輸送物時(shí)，形成以水平姿勢(shì)或大致水平姿勢(shì)輸送輸送物的水平輸送狀態(tài)，來(lái)抑制輸送物的破損；此外，在輸送較厚且結(jié)實(shí)的輸送物時(shí)，形成以起立姿勢(shì)輸送輸送物的起立輸送狀態(tài)，從而在輸送過(guò)程中容易目視輸送物等，能夠得到以水平姿勢(shì)或大致水平姿勢(shì)輸送輸送物的優(yōu)點(diǎn)和以起立姿勢(shì)輸送輸送物的優(yōu)點(diǎn)。
因而，在構(gòu)成以水平姿勢(shì)或大致水平姿勢(shì)輸送輸送物后改變?yōu)槠鹆⒆藙?shì)輸送等、一邊改變輸送物的姿勢(shì)一邊輸送的輸送系統(tǒng)時(shí)，以及在構(gòu)成能夠切換為以水平姿勢(shì)或大致水平姿勢(shì)輸送輸送物的狀態(tài)和以起立姿勢(shì)輸送輸送物的狀態(tài)的輸送線時(shí)，達(dá)成了可以得到能夠提供可方便地使用的輸送裝置的輸送裝置。
根據(jù)技術(shù)方案11的特征，上述輸送機(jī)構(gòu)通過(guò)圍繞沿著上述輸送方向的橫軸芯的擺動(dòng)，能夠改變?yōu)樯鲜鏊捷斔蜖顟B(tài)和上述起立輸送狀態(tài)。
由此，能夠謀求可將輸送機(jī)構(gòu)改變?yōu)樗阶藙?shì)狀態(tài)和起立姿勢(shì)狀態(tài)的構(gòu)成的簡(jiǎn)潔化。
根據(jù)技術(shù)方案12的特征，在將上述輸送機(jī)構(gòu)從上述水平輸送狀態(tài)改變?yōu)樯鲜銎鹆⑤斔蜖顟B(tài)時(shí)，上述送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)減少向上述輸送物的下表面供給的清潔空氣量。
由于與水平狀態(tài)相比、起立姿勢(shì)情況下送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)對(duì)輸送物的支承力較小就足夠了，所以如果通過(guò)送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)向起立姿勢(shì)的輸送物的下表面供給與向水平姿勢(shì)的輸送物的下表面供給的量等量的正?？諝?，則輸送物過(guò)度上浮，在以起立姿勢(shì)輸送輸送物的情況下有可能使其向與送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)的存在側(cè)的相反側(cè)翻轉(zhuǎn)、或在用蓋板覆蓋輸送物的上方的情況下有可能接觸到該蓋板。
所以，通過(guò)隨著輸送機(jī)構(gòu)從水平輸送狀態(tài)改變姿勢(shì)為起立輸送狀態(tài)、使送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)向輸送物的下表面供給清潔空氣的供給量減少，能夠降低對(duì)輸送物的支承力，能夠?qū)斔臀锕┙o適應(yīng)其姿勢(shì)的清潔空氣的供給量，在使輸送機(jī)構(gòu)成為起立輸送狀態(tài)時(shí)，能夠消除輸送物向與送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)存在側(cè)的相反側(cè)翻轉(zhuǎn)、或與其它物體接觸的可能性。
根據(jù)技術(shù)方案13的特征，上述推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)為備有對(duì)上述輸送物的下表面的與上述輸送方向正交的橫寬方向的一端側(cè)接觸支承、并施加推進(jìn)力的接觸式的驅(qū)動(dòng)部的單側(cè)驅(qū)動(dòng)式。
即、作為推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)，只要是對(duì)輸送物的橫寬方向的一端側(cè)施加推進(jìn)力的構(gòu)成就可以，由于不需要對(duì)上述一端側(cè)的橫寬方向上的相反側(cè)的另一端側(cè)施加推進(jìn)力，所以能夠謀求構(gòu)成的簡(jiǎn)潔化及輕量化。
此外，由于通過(guò)推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)的接觸式的驅(qū)動(dòng)部一邊支承輸送物的下表面一邊施加推進(jìn)力，所以通過(guò)由與送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)的協(xié)同來(lái)支承輸送物、能夠以更穩(wěn)定的狀態(tài)支承輸送物，此外，由于在輸送物的厚度方向的自重的作用下輸送物的下表面被推壓在驅(qū)動(dòng)部上，所以增大了摩擦力、也能夠可靠地對(duì)輸送物施加推進(jìn)力，能夠平滑地輸送輸送物。
根據(jù)技術(shù)方案14的特征，備有碰抵在對(duì)上述輸送物施加推進(jìn)力的一端側(cè)的側(cè)面上、在上述水平輸送狀態(tài)下限制上述輸送物向上述橫寬方向移動(dòng)、在上述起立輸送狀態(tài)下支承上述輸送物的限制支承部，上述送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)，在上述水平輸送狀態(tài)下、以上述橫寬方向的另一端側(cè)比受上述推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)施加推進(jìn)力的一端側(cè)位于上方的傾斜姿勢(shì)支承上述輸送物。
即、在輸送機(jī)構(gòu)為水平輸送狀態(tài)下，由于以橫寬方向的另一端側(cè)比施加推進(jìn)力的一端側(cè)位于上方的傾斜姿勢(shì)進(jìn)行支承，所以雖然輸送物在其自重的作用下向斜下方被施加推進(jìn)力而要沿著輸送物的斜度移動(dòng)，但通過(guò)限制支承部碰抵在輸送物的側(cè)面上能夠限制該移動(dòng)。此外，在輸送機(jī)構(gòu)為起立輸送狀態(tài)下，能夠利用限制支承部來(lái)支承起立姿勢(shì)的輸送物。由此，能夠通過(guò)部件的多用途化而使構(gòu)成簡(jiǎn)潔化。
根據(jù)技術(shù)方案15的特征，將送風(fēng)單元在上述輸送方向上排列而構(gòu)成上述送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)，該送風(fēng)單元一體地組裝了除去塵埃的除塵過(guò)濾器和通過(guò)該除塵過(guò)濾器向上述輸送物的下表面供給清潔空氣的送風(fēng)機(jī)構(gòu)。
即、由于僅通過(guò)將送風(fēng)機(jī)構(gòu)與除塵過(guò)濾器一體地組裝的送風(fēng)單元在輸送物的輸送方向上排列配置、就能夠設(shè)置向被輸送的輸送物的下表面供給清潔空氣并以非接觸狀態(tài)支承輸送物的送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)，所以送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)的設(shè)置也變得簡(jiǎn)單，因而，能夠提供可容易制造的輸送裝置。
根據(jù)技術(shù)方案16的特征，上述送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)構(gòu)成為，備有允許通過(guò)了上述除塵過(guò)濾器的清潔空氣通過(guò)、進(jìn)而阻止異物向上述除塵過(guò)濾器一側(cè)落下而進(jìn)行遮蔽的遮蔽體，上述遮蔽體構(gòu)成為，備有允許通過(guò)了上述除塵過(guò)濾器的清潔空氣通過(guò)的多孔體，和位置比該多孔體靠上述除塵過(guò)濾器一側(cè)的過(guò)濾器。
即、由于備有允許通過(guò)了除塵過(guò)濾器的清潔空氣通過(guò)、并阻止異物向除塵過(guò)濾器落下的遮蔽體，所以通過(guò)該遮蔽體的多孔體能夠阻止較大的異物向除塵過(guò)濾器一側(cè)落下、從而能夠防止除塵過(guò)濾器的破損，此外，通過(guò)遮蔽體的過(guò)濾器能夠阻止較小的異物向除塵過(guò)濾器一側(cè)落下。進(jìn)而，在將玻璃基板作為輸送物輸送的情況下，為了對(duì)該被輸送的玻璃基板進(jìn)行傷痕或缺陷等的檢查而要求輸送裝置的輸送面、即與被輸送的玻璃基板的下表面對(duì)置的面為黑色，但通過(guò)使遮蔽體為黑色能夠容易地使輸送面為黑色。
根據(jù)技術(shù)方案17的特征，在上述輸送機(jī)構(gòu)的輸送上游側(cè)或輸送下游側(cè)，設(shè)有以水平或起立姿勢(shì)輸送輸送物、并在與該輸送機(jī)構(gòu)之間輸送輸送物的輸送姿勢(shì)固定型的輸送裝置。
因而，由于在水平輸送裝置的輸送機(jī)構(gòu)與起立輸送裝置的輸送機(jī)構(gòu)之間交接輸送物時(shí)能夠抑制損傷輸送物的可能性，所以達(dá)成了能夠提供可良好地進(jìn)行一邊將輸送物的姿勢(shì)在水平姿勢(shì)或大致水平姿勢(shì)與起立姿勢(shì)之間改變一邊輸送的輸送系統(tǒng)。
圖1是實(shí)施方式1的板狀體輸送裝置的立體圖。
圖2是實(shí)施方式1的輸送單元的正面剖視圖。
圖3是實(shí)施方式1的輸送單元的正面剖視的部分放大圖。
圖4是實(shí)施方式1的輸送單元的正面剖視的部分放大圖。
圖5是實(shí)施方式1的輸送單元的側(cè)面剖視圖。
圖6是實(shí)施方式1的輸送單元的俯視圖。
圖7是實(shí)施方式1的存放框的側(cè)面剖視圖。
圖8是實(shí)施方式1的推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)的正面剖視圖。
圖9是實(shí)施方式1的推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)的側(cè)面剖視圖。
圖10是實(shí)施方式2的輸送單元的正面剖視圖。
圖11是實(shí)施方式2的輸送單元的正面剖視的部分放大圖。
圖12是實(shí)施方式2的輸送單元的俯視圖。
圖13是實(shí)施方式2的輸送單元的俯視圖。
圖14是實(shí)施方式3的輸送單元的正面剖視圖。
圖15是實(shí)施方式3的以傾斜姿勢(shì)支承玻璃基板的作用圖。
圖16是實(shí)施方式4的輸送系統(tǒng)的立體圖。
圖17是實(shí)施方式4的姿勢(shì)改變用輸送單元的立體圖。
圖18是實(shí)施方式4的姿勢(shì)改變用輸送單元的后視圖。
圖19是實(shí)施方式4的姿勢(shì)改變用輸送單元的部分放大圖。
圖20是實(shí)施方式4的姿勢(shì)改變用輸送單元的側(cè)視圖。
圖21是實(shí)施方式4的姿勢(shì)改變用輸送單元的俯視圖。
圖22是實(shí)施方式4的推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)的側(cè)視圖。
圖23是實(shí)施方式4的推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)的后視圖。
圖24是實(shí)施方式4的推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)的部分放大圖。
圖25是表示實(shí)施方式4的調(diào)風(fēng)板的26是表示實(shí)施方式4的姿勢(shì)改變用輸送機(jī)構(gòu)的水平輸送狀態(tài)和起立輸送狀態(tài)的圖。
圖27是表示實(shí)施方式4的將玻璃基板從水平輸送單元移載到姿勢(shì)改變用輸送單元上的狀態(tài)的圖。
圖28是表示實(shí)施方式4的將玻璃基板從姿勢(shì)改變用輸送單元移載到起立輸送單元上的狀態(tài)的圖。
圖29是實(shí)施方式4的輸送系統(tǒng)的控制方塊圖。
圖30是實(shí)施方式4的輸送系統(tǒng)的流程圖。
圖31是改變了實(shí)施方式4的姿勢(shì)改變用輸送機(jī)構(gòu)的橫軸芯位置的狀態(tài)的圖。
圖32是其它實(shí)施方式的輸送單元的正面剖視圖。
圖33是其它實(shí)施方式的輸送單元的正面剖視的部分放大圖。
具體實(shí)施例方式
下面，基于
使用玻璃基板2作為輸送物的一例的本發(fā)明的實(shí)施例。以下說(shuō)明了多個(gè)實(shí)施方式，但將多個(gè)實(shí)施方式中所公示的特征組合，只要不發(fā)生矛盾，也包含在本發(fā)明的范圍中。
實(shí)施方式1
如圖1所示，在輸送裝置H中，上下2級(jí)的輸送單元1沿著玻璃基板2的輸送方向排列。為了將位于輸送方向上游側(cè)的輸送單元1所移載的玻璃基板2輸送到位于下游側(cè)的輸送單元1，一邊用送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3對(duì)其支承，一邊通過(guò)推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)4施加推進(jìn)力。將玻璃基板2從別的地方向位于上游側(cè)的輸送單元1的移載、及從位于下游側(cè)的輸送單元1向別的地方的移載，是通過(guò)未圖示的裝置來(lái)進(jìn)行的。此外，在上下2級(jí)的輸送單元中，上游側(cè)的單元能夠圍繞沿著輸送方向的橫軸芯P擺動(dòng)。
上側(cè)的輸送單元1和下側(cè)的輸送單元1上的輸送方向，既可以是同方向也可以是反方向，可以根據(jù)需要而改變。即、例如，使上側(cè)的輸送單元1與下側(cè)的輸送單元1的輸送方向?yàn)橥较?，能夠在上?cè)的輸送單元1和下側(cè)的輸送單元1中進(jìn)行相同的工序。此外，使下側(cè)的輸送單元1為與上側(cè)的輸送單元1的輸送方向的反方向，在通過(guò)上側(cè)的輸送單元1輸送的玻璃基板2為不合格的情況下，能夠通過(guò)下側(cè)的輸送單元1將其返回到輸送源等。
如圖2、圖3所示，各輸送單元1分別備有向玻璃基板2的下表面2a供給清潔空氣、以大致水平姿勢(shì)將玻璃基板2支承為非接觸狀態(tài)的送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3，對(duì)玻璃基板2施加輸送方向的推進(jìn)力的推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)4，和存放這些送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3及推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)4的箱體7。并且，推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)4為對(duì)與輸送方向正交的橫寬方向的一端側(cè)施加推進(jìn)力的單側(cè)驅(qū)動(dòng)式。以下，將該一端側(cè)稱為推進(jìn)側(cè)2b。
如圖2所示，上述箱體7備有支承送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3、俯視為大致長(zhǎng)方形的單元用框體9，在單元用框體9的橫寬方向的一端側(cè)上沿著輸送方向裝備的存放框8，在與存放框8相反側(cè)沿著輸送方向延伸的箱側(cè)壁10，和從存放框8的上端部到箱側(cè)壁10的上端部而裝備的輸送蓋板20。如圖4所示，上述存放框8構(gòu)成為，在輸送方向觀察為方筒狀。該方筒的2個(gè)側(cè)面由與單元用框體9相連的內(nèi)壁8a和可開(kāi)閉的存放蓋板8c構(gòu)成。由單元用框體9、存放框8、箱側(cè)壁10和輸送蓋板20形成輸送空間A。進(jìn)而，在存放框8內(nèi)形成存放空間B。上述單元用框體9，由具有框部件的支承框部分9a，和位置比該支承框部分9a靠下方、形成有將外部空氣導(dǎo)入到輸送空間A內(nèi)的空氣導(dǎo)入口11的板狀的板狀框部分9b構(gòu)成。在存放框8的下壁8b上，備有將存放空間B的空氣向外部排出的外部排出口21，并且備有在將該外部排出口21閉塞的狀態(tài)下具有送風(fēng)功能和除塵功能的輔助送風(fēng)單元23。通過(guò)該輔助送風(fēng)單元23將存放空間B內(nèi)的空氣向外部排出。
如圖2所示，上述箱體7以在輸送方向觀察、越靠備有存放框8的一側(cè)越位于下方的方式受傾斜用支承部件19支承為傾斜狀態(tài)。并且，通過(guò)使箱體7以傾斜狀態(tài)得到支承，送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3也以傾斜狀態(tài)受單元用框體9支承。在圖2中，為使輸送單元1的斜度易于明了，將包含送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3的輸送單元1整體傾斜5°而圖示，但在實(shí)施本發(fā)明時(shí)，輸送單元的斜度為0.5°左右較小的斜度就可以。
上述輸送空間A及上述存放空間B，通過(guò)在輸送方向上排列設(shè)置的上游側(cè)的輸送單元1和下游側(cè)的輸送單元1而相互連通。在位于輸送裝置H的最上游側(cè)的輸送單元1中，輸送空間A及存放空間B的上游側(cè)端部通過(guò)未圖示的閉塞部件閉塞。在位于最下游側(cè)的輸送單元1中，輸送空間A及存放空間B的下游側(cè)端部通過(guò)未圖示的閉塞部件閉塞。從而，輸送空間A通過(guò)單元用框體9，上述存放框8的內(nèi)壁8a、輸送蓋板20、和閉塞部件形成為大致密閉狀態(tài)，存放空間B通過(guò)存放框8和閉塞部件形成為大致密閉狀態(tài)。
如圖2所示，上述送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3設(shè)于輸送空間A中，是將風(fēng)扇過(guò)濾器單元14在輸送方向及正交于輸送方向的橫寬方向上排列而構(gòu)成的，該風(fēng)扇過(guò)濾器單元14一體地組裝了除去塵埃的除塵過(guò)濾器12、和通過(guò)該除塵過(guò)濾器12向玻璃基板2的下表面供給清潔空氣的送風(fēng)風(fēng)扇13。送風(fēng)風(fēng)扇13是送風(fēng)機(jī)構(gòu)的優(yōu)選的一例。并且，如圖6所示，在橫寬方向上排列了2個(gè)的風(fēng)扇過(guò)濾器單元14在輸送方向上排列3列，在送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3中備有共計(jì)6個(gè)風(fēng)扇過(guò)濾器單元14。
如果更詳細(xì)地描述上述送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3，則如圖3、圖4所示，上述風(fēng)扇過(guò)濾器單元14是將1個(gè)送風(fēng)風(fēng)扇13和覆蓋該1個(gè)送風(fēng)風(fēng)扇13的上方的1個(gè)除塵過(guò)濾器12一體地組裝而構(gòu)成的。位于該風(fēng)扇過(guò)濾器單元14的上部側(cè)、而作為對(duì)向上述玻璃基板2的下表面2a所供給的清潔空氣進(jìn)行調(diào)風(fēng)的清潔空氣供給部的調(diào)風(fēng)板15，如圖1、圖6所示，裝備成覆蓋6個(gè)風(fēng)扇過(guò)濾器單元14的上方。即、送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3由6個(gè)風(fēng)扇過(guò)濾器單元14和1個(gè)調(diào)風(fēng)板15構(gòu)成。送風(fēng)風(fēng)扇13由電動(dòng)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)。在調(diào)風(fēng)板15上，在位于風(fēng)扇過(guò)濾器單元的正上方的地方備有通過(guò)沖壓(punching press)形成的通氣孔15a。在此，所謂調(diào)風(fēng)，是指將空氣遍及較大范圍地均勻分配。此外，送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3所備有的6個(gè)送風(fēng)風(fēng)扇構(gòu)成為，以相同的旋轉(zhuǎn)速度進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3構(gòu)成為，通過(guò)調(diào)風(fēng)板15向玻璃基板2的下表面2a所供給的清潔空氣的量在輸送方向和橫寬方向上都供給大致等量的清潔空氣。
并且，如上述那樣，由于上述輸送單元1以在輸送方向觀察、越備有存放框8的一側(cè)越位于下方的傾斜狀態(tài)被支承，所以該輸送單元1的送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3設(shè)置為，在輸送方向觀察、越與玻璃基板2的推進(jìn)側(cè)2b相對(duì)應(yīng)的一側(cè)越位于下方。由此，如圖2～圖4所示，沿橫寬方向設(shè)置在送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3上的調(diào)風(fēng)板15也同樣地傾斜。
接著，說(shuō)明上述推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)4。如圖2所示，對(duì)上述玻璃基板2施加推進(jìn)力的推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)4構(gòu)成為對(duì)玻璃基板2的推進(jìn)側(cè)2b施加推進(jìn)力的單側(cè)驅(qū)動(dòng)式。在推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)4上備有接觸支承玻璃基板2的下表面2a、作為施加推進(jìn)力的驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)輥24。并且，在該驅(qū)動(dòng)輥24上，如圖4、圖9所示，備有碰抵在玻璃基板2的推進(jìn)側(cè)2b的側(cè)面上、作為向橫寬方向移動(dòng)的玻璃基板2的阻擋部的大徑部24a。
推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)4，如圖4、圖8、圖9、圖10所示，備有電動(dòng)馬達(dá)25，備有與該電動(dòng)馬達(dá)25的輸出齒輪嚙合的正齒輪28的傳動(dòng)軸27，和備有與傳動(dòng)軸27上裝備的輸出齒輪29嚙合的輸入齒輪30的多個(gè)輸出軸26。電動(dòng)馬達(dá)25及傳動(dòng)軸27配備在上述存放空間B內(nèi)，上述輸出軸26以分別向存放空間B一側(cè)及輸送空間A一側(cè)突出的狀態(tài)旋轉(zhuǎn)自如地支承在上述內(nèi)壁8a上。在輸出軸26的突出到存放空間B的部分上備有上述輸入齒輪30，在輸出軸26的突出到輸送空間A中的部分上備有上述驅(qū)動(dòng)輥24。
因而，從送風(fēng)風(fēng)扇13的下方吸入的空氣，在送風(fēng)風(fēng)扇13的作用下，通過(guò)除塵過(guò)濾器12、經(jīng)由調(diào)風(fēng)板15的通氣孔15a，被作為清潔空氣提供給玻璃基板2的下表面2a。通過(guò)該供給的清潔空氣支承玻璃基板2的下表面2a的大致整個(gè)區(qū)域。此外，推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)4，玻璃基板2的推進(jìn)側(cè)2b的下表面受驅(qū)動(dòng)輥24接觸支承。并且，通過(guò)驅(qū)動(dòng)輥24由電動(dòng)馬達(dá)25驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)，由此對(duì)玻璃基板2的推進(jìn)側(cè)2b施加朝向輸送方向的推進(jìn)力，來(lái)輸送玻璃基板2。
在輸送方向和橫寬方向上都從調(diào)風(fēng)板15向玻璃基板2的下表面2a供給大致等量的清潔空氣，玻璃基板2相對(duì)于調(diào)風(fēng)板15有一定的間隔地被支承。由此，由于調(diào)風(fēng)板15被設(shè)置為越與玻璃基板2的推進(jìn)側(cè)2b相對(duì)應(yīng)的一側(cè)越位于下方，所以玻璃基板2也以傾斜成另一端側(cè)2c比推進(jìn)側(cè)2b位于上方的姿勢(shì)得到支承。另外，該傾斜姿勢(shì)的玻璃基板2為0.5°左右的斜度，包含在大致水平姿勢(shì)中。
因而，玻璃基板2通過(guò)以傾斜姿勢(shì)得到支承，雖然在玻璃基板2的自重的作用下要向備有推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)4的一側(cè)移動(dòng)，但該玻璃基板2的移動(dòng)通過(guò)與驅(qū)動(dòng)輥2 4的大徑部24a碰抵而被限制。此外，由于玻璃基板2在玻璃基板2的自重的作用下向另一側(cè)移動(dòng)變得困難，所以在輸送結(jié)束時(shí)停止玻璃基板時(shí)等，能夠防止玻璃基板在橫寬方向上偏移、或相對(duì)于輸送方向姿勢(shì)變得傾斜。此外，由于在玻璃基板2的自重的作用下玻璃基板2被推壓在驅(qū)動(dòng)輥24上，能夠在驅(qū)動(dòng)輥空轉(zhuǎn)可能性較小的狀態(tài)下輸送玻璃基板2。也可以代替在驅(qū)動(dòng)輥24上設(shè)置大徑部24a，而利用以下說(shuō)明的如圖23所示的機(jī)構(gòu)。
實(shí)施方式2在上述實(shí)施方式1中，通過(guò)送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3以傾斜姿勢(shì)支承玻璃基板2，并通過(guò)在驅(qū)動(dòng)輥24上備有大徑部24a，防止了玻璃基板2向橫寬方向移動(dòng)，但也可以構(gòu)成為，防止由送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3以水平姿勢(shì)支承的玻璃基板2向橫寬方向的移動(dòng)。另外，對(duì)與實(shí)施方式1同樣地構(gòu)成的部分，附以與實(shí)施方式1相同的標(biāo)記，省略說(shuō)明。
如圖10所示，箱體7在輸送方向觀察時(shí)、通過(guò)水平用支承部件37支承為水平狀態(tài)，受該箱體7支承的送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3也以水平姿勢(shì)被支承。因而，調(diào)風(fēng)板15也以水平姿勢(shì)設(shè)置。
由此，在輸送方向上和橫寬方向上都從調(diào)風(fēng)板15向玻璃基板2的下表面2a供給大致等量的清潔空氣，玻璃基板2相對(duì)于調(diào)風(fēng)板15有一定的間隔地被支承。由此，由于調(diào)風(fēng)板15設(shè)置為水平狀態(tài)，所以玻璃基板2以水平姿勢(shì)被支承。
并且，在輸送空間A中，備有碰抵在與玻璃基板2的推進(jìn)側(cè)2b在橫寬方向上相反側(cè)的另一端側(cè)2c的側(cè)面上、而作為對(duì)玻璃基板2的向橫寬方向的移動(dòng)的限制部的多個(gè)限制輥33。該限制輥33分別可以在上述橫寬方向上進(jìn)行位置調(diào)節(jié)。
接著，說(shuō)明上述限制輥33的位置調(diào)節(jié)構(gòu)造。如圖11所示，上述限制輥33支承為圍繞設(shè)于輥支承框34上的縱軸芯旋轉(zhuǎn)自如。該輥支承框34通過(guò)受單元用框體9支承的電動(dòng)式馬達(dá)35在橫寬方向上滑動(dòng)移動(dòng)自如地構(gòu)成。因而，通過(guò)由馬達(dá)35使輥支承框34在橫寬方向上滑動(dòng)移動(dòng)，限制輥33構(gòu)成為可在橫寬方向上進(jìn)行位置調(diào)節(jié)。并且，在送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3上，在對(duì)應(yīng)輥支承框34的縱框部34a的地方形成有凹入部3a，以使上述輥支承框34與送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3不干涉。
因而，由于玻璃基板2的向橫寬方向的一側(cè)的移動(dòng)被驅(qū)動(dòng)輥24的大徑部24a限制，玻璃基板2的向橫寬方向的另一端側(cè)的移動(dòng)受限制輥33限制，所以在輸送結(jié)束時(shí)使玻璃基板2停止時(shí)等，能夠防止玻璃基板2在橫寬方向上偏移或相對(duì)于輸送方向姿勢(shì)發(fā)生傾斜。
并且，如圖12、圖13所示，通過(guò)調(diào)節(jié)限制輥33的橫寬方向上的位置、使驅(qū)動(dòng)輥24的大徑部24a與限制輥33的間隔與玻璃基板2的橫寬方向的大小一致，消除了被輸送的玻璃基板2旋轉(zhuǎn)、或向橫寬方向偏移，能夠受限于玻璃基板2的橫寬方向的大小而平滑地輸送。
實(shí)施方式3在上述實(shí)施方式1中，構(gòu)成為，在輸送方向觀察時(shí)、將送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3支承為傾斜姿勢(shì)，將清潔空氣供給部設(shè)置為越與玻璃基板2的另一端側(cè)2c相對(duì)應(yīng)的一側(cè)越位于上方的傾斜姿勢(shì)，而以傾斜姿勢(shì)支承玻璃基板2；但也可以構(gòu)成為，將調(diào)風(fēng)板15設(shè)置為，與受上述推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)4施加推進(jìn)力的推進(jìn)側(cè)2b相比，向上述橫寬方向的另一端側(cè)2c更多地供給清潔空氣，以上述傾斜姿勢(shì)支承玻璃基板2。另外，對(duì)于與實(shí)施方式1同樣地構(gòu)成者，賦以與實(shí)施方式1相同的標(biāo)記，省略說(shuō)明。
即、如圖14所示，上述箱體7在輸送方向觀察時(shí)，受水平用支承部件37支承為水平狀態(tài)，通過(guò)箱體7以水平狀態(tài)被支承，送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3也以水平姿勢(shì)被支承在單元用框體9上。因而，沿著橫寬方向設(shè)置在送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3上的調(diào)風(fēng)板15，在輸送方向觀察時(shí)、也設(shè)置為水平姿勢(shì)。即、將包含送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3的整個(gè)輸送單元1裝備為水平狀態(tài)。
構(gòu)成為，在送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3上備有的6個(gè)送風(fēng)風(fēng)扇13中，與位于在橫寬方向上備有推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)4一側(cè)的3個(gè)送風(fēng)風(fēng)扇13相比，位于相反側(cè)的3個(gè)送風(fēng)風(fēng)扇13以較快的旋轉(zhuǎn)速度驅(qū)動(dòng)、使得送風(fēng)量變多。并且，調(diào)風(fēng)板15設(shè)置為，在輸送方向觀察時(shí)、相對(duì)于在橫寬方向上排列的2個(gè)送風(fēng)風(fēng)扇13隔開(kāi)相同的間隔。即構(gòu)成為，送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3設(shè)置為橫寬方向的另一端側(cè)2c比上述推進(jìn)側(cè)2b更多地供給清潔空氣，以傾斜姿勢(shì)支承玻璃基板2。
總而言之，如圖15所示，通過(guò)對(duì)玻璃基板2的另一端側(cè)2c比對(duì)推進(jìn)側(cè)2b更多地供給清潔空氣、使玻璃基板2的另一端側(cè)2c比推進(jìn)側(cè)2b更高地浮起，使得玻璃基板2成為傾斜姿勢(shì)。
因而，與實(shí)施方式1同樣，由于玻璃基板2的向橫寬方向的一側(cè)的移動(dòng)被驅(qū)動(dòng)輥24的大徑部24a限制，在玻璃基板2的自重的作用下玻璃基板2的向橫寬方向的另一端側(cè)的移動(dòng)變得困難，所以在輸送結(jié)束時(shí)使玻璃基板2停止時(shí)等，能夠防止玻璃基板2在橫寬方向上偏移或相對(duì)于輸送方向姿勢(shì)發(fā)生傾斜等。此外，由于在玻璃基板2的自重的作用下、玻璃基板2被推壓在驅(qū)動(dòng)輥24上，所以能夠以驅(qū)動(dòng)輥24的空轉(zhuǎn)可能性較小的狀態(tài)輸送玻璃基板2。
實(shí)施方式4下面基于附圖針對(duì)將液晶用的玻璃板作為輸送物輸送的輸送系統(tǒng)說(shuō)明第4實(shí)施方式。關(guān)于與第1實(shí)施方式相同的部件，使用相同的參照標(biāo)記，省略說(shuō)明。
如圖16所示，在輸送系統(tǒng)H中設(shè)有以起立姿勢(shì)輸送玻璃基板2的起立輸送單元1C，設(shè)于該起立輸送單元1C的輸送上游側(cè)和輸送下游側(cè)兩側(cè)的、以大致水平姿勢(shì)輸送玻璃基板2的水平輸送單元1B，和在水平輸送單元1B與起立輸送單元1C之間交接玻璃基板2的姿勢(shì)改變用輸送單元1A。
即、姿勢(shì)改變用輸送單元1A的輸送機(jī)構(gòu)6a(以下稱為姿勢(shì)改變用輸送機(jī)構(gòu)6a)構(gòu)成為，能夠改變?yōu)橐源笾滤阶藙?shì)支承玻璃基板2的水平輸送狀態(tài)、和以起立姿勢(shì)支承玻璃基板2的起立輸送狀態(tài)。如果將其改變?yōu)樗捷斔蜖顟B(tài)，則能夠在與水平輸送單元1B之間相互輸送大致水平姿勢(shì)的玻璃基板2。此外，如果將姿勢(shì)改變用輸送機(jī)構(gòu)6a改變?yōu)槠鹆⑤斔蜖顟B(tài)，則能夠在與起立輸送單元1C之間相互輸送起立姿勢(shì)的玻璃基板2。在起立輸送單元1C的橫側(cè)，形成了對(duì)由起立輸送單元1C輸送的起立姿勢(shì)的玻璃基板2的損傷或裂紋等進(jìn)行檢查的檢查區(qū)域F。
即、構(gòu)成有能夠改變?yōu)橐源笾滤阶藙?shì)支承玻璃基板2的水平輸送狀態(tài)、和以起立姿勢(shì)支承玻璃基板2的起立輸送狀態(tài)的姿勢(shì)改變用輸送機(jī)構(gòu)6a的輸送裝置是姿勢(shì)改變用輸送單元1A，以大致水平姿勢(shì)支承玻璃基板2的輸送姿勢(shì)固定型的輸送裝置是水平輸送單元1B，以起立姿勢(shì)支承玻璃基板2的輸送姿勢(shì)固定型的輸送裝置是起立輸送單元1C。
此外，如圖29所示，在輸送系統(tǒng)H中還備有指示輸送系統(tǒng)H的運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始、運(yùn)轉(zhuǎn)停止及輸送停止的人為操作式的運(yùn)轉(zhuǎn)切換開(kāi)關(guān)S，及根據(jù)來(lái)自該運(yùn)轉(zhuǎn)切換開(kāi)關(guān)S的指示、來(lái)控制這些姿勢(shì)改變用輸送單元1A、水平輸送單元1B、起立輸送單元1C的運(yùn)轉(zhuǎn)的控制裝置E。
下面對(duì)姿勢(shì)改變用單元1A進(jìn)行說(shuō)明。
如圖17～圖19所示，姿勢(shì)改變用單元1A由上述姿勢(shì)改變用輸送機(jī)構(gòu)6a、和對(duì)其支承的支承框體5構(gòu)成。并且，姿勢(shì)改變用輸送機(jī)構(gòu)6a，通過(guò)位于橫寬方向的一端側(cè)、并圍繞沿著輸送方向的橫軸芯P擺動(dòng)，從而連結(jié)支承在上述支承框體5上，以能改變?yōu)橐源笾滤阶藙?shì)支承玻璃基板2的水平輸送狀態(tài)、和以起立姿勢(shì)支承玻璃基板2的起立輸送狀態(tài)。
在姿勢(shì)改變用輸送機(jī)構(gòu)6a中，與第1實(shí)施方式的裝置同樣，備有向玻璃基板2的下表面2a供給清潔空氣、以大致水平姿勢(shì)并以非接觸狀態(tài)支承玻璃基板2的送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3，對(duì)由該送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3所支承的玻璃基板2施加輸送方向上的推進(jìn)力的推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)4，和存放這些送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3及推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)4的箱體7。并且，推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)4構(gòu)成為僅對(duì)與輸送方向正交的橫寬方向的一端側(cè)施加推進(jìn)力的單側(cè)驅(qū)動(dòng)式。以下，將該與玻璃基板2的輸送方向正交的橫寬方向的一端側(cè)稱為推進(jìn)側(cè)2b。此外，如圖27、28所示，在玻璃基板2的輸送線路上備有檢測(cè)玻璃基板2是否存在的存在物傳感器T。該存在物傳感器T如果通過(guò)受光部沒(méi)有接收到投光部傳來(lái)的光，則檢測(cè)為在輸送線路上存在玻璃基板2，如果通過(guò)受光部接收到來(lái)自投光部的光，則檢測(cè)為在移動(dòng)線路上不存在玻璃基板2。另外，存在物傳感器T，其數(shù)量或設(shè)置部位可以根據(jù)需要改變，只要能夠檢測(cè)到姿勢(shì)改變用輸送機(jī)構(gòu)6a上是否存在整個(gè)玻璃基板2就可以。
上述箱體7、存放框8、存放空間A及B分別如圖18和圖19所示，實(shí)際上與第1實(shí)施方式中的相同。
如圖19、圖23所示，在存放框8的內(nèi)壁8a上備有作為限制支承部的限制支承輥17，該限制支承輥17碰抵在玻璃基板2的推進(jìn)側(cè)2b的側(cè)面上，在姿勢(shì)改變用輸送機(jī)構(gòu)6a為水平輸送狀態(tài)下限制玻璃基板2向橫寬方向的移動(dòng)、在姿勢(shì)改變用輸送機(jī)構(gòu)6a為起立輸送狀態(tài)下支承玻璃基板2，該限制支承輥17繞著稍傾斜的縱軸芯旋轉(zhuǎn)自如地構(gòu)成。
上述送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3與第1實(shí)施方式中的構(gòu)造大致相同，但在本實(shí)施方式中，如圖18、圖20、圖21所示，將在橫寬方向上排列的2個(gè)風(fēng)扇過(guò)濾器單元14在輸送方向上排列2列，在送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3上備有共計(jì)4個(gè)風(fēng)扇過(guò)濾器單元14。并且，在橫寬方向上排列的2個(gè)送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3構(gòu)成為能夠分別地改變清潔空氣的供給量，例如相對(duì)于存在推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)4的一側(cè)的送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3、使不存在推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)4的一側(cè)的送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3的送風(fēng)量較多。
位于風(fēng)扇過(guò)濾器14的上部側(cè)、作為允許通過(guò)了除塵過(guò)濾器12的清潔空氣通過(guò)、并阻止異物向除塵過(guò)濾器12一側(cè)落下而進(jìn)行遮蔽的遮蔽體的調(diào)風(fēng)板15，如圖17、圖21所示，以覆蓋4個(gè)風(fēng)扇過(guò)濾器14的上方的方式裝備。即、送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3由4個(gè)風(fēng)扇過(guò)濾器單元14和1個(gè)調(diào)風(fēng)板15構(gòu)成。并且，送風(fēng)風(fēng)扇13受裝備在其上的電動(dòng)馬達(dá)13a驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)。
如圖25所示，本實(shí)施方式的調(diào)風(fēng)板15構(gòu)成為，備有允許通過(guò)了除塵過(guò)濾器12的清潔空氣通過(guò)的多孔體42，和多個(gè)位置比該多孔體42靠除塵過(guò)濾器12一側(cè)的如圖25(B)或圖25(C)所示那樣的過(guò)濾器43。多孔體42通過(guò)沖孔而形成多個(gè)通氣孔42a，過(guò)濾器43以?shī)A在同樣構(gòu)成的2片多孔體42之間的狀態(tài)、且將突起部43a嵌合到上側(cè)的多孔體42的一個(gè)通氣孔42a中而以防止向橫向產(chǎn)生位置偏移的狀態(tài)進(jìn)行設(shè)置。
接著，本實(shí)施方式的推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)4，如圖19、圖22～圖24所示，推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)4構(gòu)成為，備有作為接觸支承玻璃基板2的下表面2a的推進(jìn)側(cè)2b并施加推進(jìn)力的接觸式的驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)輥24的單側(cè)驅(qū)動(dòng)式，與實(shí)施方式1所公開(kāi)的大致相同。
接著，說(shuō)明姿勢(shì)改變用輸送機(jī)構(gòu)6a改變姿勢(shì)為水平輸送狀態(tài)和起立輸送狀態(tài)的構(gòu)成。如圖26(A)、圖26(B)所示，在支承框體5上備有電動(dòng)式的擺動(dòng)用壓力缸45，將該擺動(dòng)用壓力缸45的前端連結(jié)到姿勢(shì)改變用輸送機(jī)構(gòu)6a的箱體7上，并通過(guò)該擺動(dòng)用壓力缸45伸縮，而構(gòu)成為，可以將姿勢(shì)改變用輸送機(jī)構(gòu)6a的姿勢(shì)改變?yōu)?，如圖26(A)所示那樣的、在輸送方向觀察時(shí)、越靠備有存放框8的一側(cè)越位于下方的稍微傾斜的水平輸送狀態(tài)，和如圖26(B)所示那樣的、在輸送方向觀察時(shí)、從垂直姿勢(shì)向水平輸送狀態(tài)一側(cè)稍微傾斜的起立輸送狀態(tài)。該擺動(dòng)用壓力缸45是以前就有的裝置，有油壓壓力缸、或空氣壓力缸。也可以代替擺動(dòng)用壓力缸45，而裝備具有與有齒輪的電動(dòng)馬達(dá)嚙合的齒的桿來(lái)作為驅(qū)動(dòng)器。
即、通過(guò)使姿勢(shì)改變用輸送機(jī)構(gòu)6a成為水平輸送狀態(tài)，送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3成為大致水平狀態(tài)，受該送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3支承的玻璃基板2以大致水平姿勢(shì)被支承。此外，通過(guò)使姿勢(shì)改變用輸送機(jī)構(gòu)6a成為起立輸送狀態(tài)，送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3也成為起立狀態(tài)，受該送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3支承的玻璃基板2以起立姿勢(shì)被支承。
并且，構(gòu)成為，隨著使姿勢(shì)改變用輸送機(jī)構(gòu)6a從水平輸送狀態(tài)向起立輸送狀態(tài)改變姿勢(shì)、從而姿勢(shì)改變用輸送機(jī)構(gòu)6a的角度變大，通過(guò)上述控制裝置E使由送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3向玻璃基板2的下表面2a供給的清潔空氣的量減少。此外，構(gòu)成為，隨著使姿勢(shì)改變用輸送機(jī)構(gòu)6a從起立輸送狀態(tài)向水平輸送狀態(tài)改變姿勢(shì)、從而姿勢(shì)改變用輸送機(jī)構(gòu)6a的角度變小，通過(guò)上述控制裝置E使由送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3向玻璃基板2的下表面2a供給的清潔空氣的量增大。
因而，在水平輸送狀態(tài)下，由送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3向玻璃基板2的下表面2a的大致整個(gè)區(qū)域供給較多量的清潔空氣，而以穩(wěn)定的狀態(tài)使玻璃基板2得到支承；在起立輸送狀態(tài)下，由送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3向玻璃基板2的下表面2a的大致整個(gè)區(qū)域供給較少量的清潔空氣，能夠使玻璃基板2不過(guò)度浮起地得到支承。
如果說(shuō)明玻璃基板2的輸送，則在水平輸送狀態(tài)和起立輸送狀態(tài)下都通過(guò)送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3支承玻璃基板2的下表面的大致整個(gè)面，并且，通過(guò)推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)4，由驅(qū)動(dòng)輥24接觸支承玻璃基板2的推進(jìn)側(cè)2b的下表面2a。進(jìn)而，即使在從水平輸送狀態(tài)向起立輸送狀態(tài)或從起立輸送狀態(tài)向水平輸送狀態(tài)改變的途中，也能夠通過(guò)送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3以非接觸狀態(tài)支承輸送物。
并且，通過(guò)由電動(dòng)馬達(dá)2 5驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)輥24旋轉(zhuǎn)，對(duì)推進(jìn)側(cè)2b施加朝向輸送方向的推進(jìn)力，來(lái)輸送玻璃基板2。
此外，在水平輸送狀態(tài)和起立輸送狀態(tài)下，玻璃基板2都利用送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3而以傾斜姿勢(shì)得到支承，在玻璃基板2的自重的作用下、要向橫寬方向上成為傾斜下方側(cè)的備有推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)4的一側(cè)移動(dòng)，但該玻璃基板2的移動(dòng)被上述限制支承輥17阻擋。因而，由于玻璃基板2的向橫寬方向的一側(cè)的移動(dòng)被限制支承輥17限制、玻璃基板2在玻璃基板2的自重的作用下而難以移動(dòng)向橫寬方向的另一端側(cè)，所以在輸送結(jié)束時(shí)使玻璃基板2制動(dòng)時(shí)等，能夠防止玻璃基板2在橫寬方向上偏移或相對(duì)于輸送方向姿勢(shì)發(fā)生傾斜等。
通過(guò)將姿勢(shì)改變用輸送單元1A的姿勢(shì)改變用輸送機(jī)構(gòu)6a改變?yōu)樗捷斔蜖顟B(tài)，如圖27所示，能夠在與設(shè)置在該姿勢(shì)改變用輸送單元1A的輸送上游側(cè)或輸送下游側(cè)的水平輸送單元1B之間輸送玻璃基板2。此外，通過(guò)將姿勢(shì)改變用輸送單元1A的姿勢(shì)改變用輸送機(jī)構(gòu)6a改變?yōu)槠鹆⑤斔蜖顟B(tài)，如圖28所示，能夠在與設(shè)置在該姿勢(shì)改變用輸送單元1A的輸送上游側(cè)或輸送下游側(cè)的起立輸送單元1C之間輸送玻璃基板2。
如果對(duì)水平輸送單元1B及起立輸送單元1C進(jìn)行說(shuō)明，則水平輸送單元1B構(gòu)成為，水平輸送機(jī)構(gòu)6b在以輸送方向觀察時(shí)、越靠備有存放框8的一側(cè)越位于下方的稍微傾斜的水平輸送狀態(tài)固定在水平用支承框體37上的狀態(tài)下得到支承；起立輸送單元1C構(gòu)成為，傾斜用輸送機(jī)構(gòu)6c在以輸送方向觀察時(shí)、從垂直姿勢(shì)稍微向水平輸送狀態(tài)側(cè)傾斜的起立輸送狀態(tài)固定的狀態(tài)下得到支承。另外，姿勢(shì)改變用輸送機(jī)構(gòu)6a和水平輸送機(jī)構(gòu)6b以及起立輸送機(jī)構(gòu)6c使用同樣構(gòu)成的輸送機(jī)構(gòu)而構(gòu)成，在姿勢(shì)改變用輸送機(jī)構(gòu)6a上設(shè)有存在物傳感器T。
接著對(duì)上述控制裝置E進(jìn)行說(shuō)明。如圖29所示，控制裝置E構(gòu)成為，基于來(lái)自運(yùn)轉(zhuǎn)切換開(kāi)關(guān)S的指示，對(duì)輸送系統(tǒng)H進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始、運(yùn)轉(zhuǎn)停止及輸送停止的控制。即、如果從運(yùn)轉(zhuǎn)切換開(kāi)關(guān)S指示運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始，則控制裝置E在各個(gè)姿勢(shì)改變用輸送單元1A、水平輸送單元1B、起立輸送單元1C中，分別使送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3、輔助送風(fēng)單元23、推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)4動(dòng)作，使輸送系統(tǒng)H的運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始。此外，如果從運(yùn)轉(zhuǎn)切換開(kāi)關(guān)S指示運(yùn)轉(zhuǎn)停止，則控制裝置E在各個(gè)姿勢(shì)改變用輸送單元1A、水平輸送單元1B、起立輸送單元1C中，分別使送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3、輔助送風(fēng)單元23、推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)4的動(dòng)作停止，使輸送系統(tǒng)H的運(yùn)轉(zhuǎn)停止。并且，如果從運(yùn)轉(zhuǎn)切換開(kāi)關(guān)S指示輸送停止，則控制裝置E在各個(gè)姿勢(shì)改變用輸送單元1A、水平輸送單元1B、起立輸送單元1C中，在維持著送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3的動(dòng)作的狀態(tài)下使推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)4停止，使輸送系統(tǒng)H停止玻璃基板2的輸送。
此外，控制裝置E構(gòu)成為，在從運(yùn)轉(zhuǎn)切換開(kāi)關(guān)S指示運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始的狀態(tài)下，基于上述存在物傳感器T的檢測(cè)結(jié)果，在姿勢(shì)改變用輸送單元1A中，改變送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3的清潔空氣的供給量、或使推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)4開(kāi)始動(dòng)作以及使動(dòng)作停止、或使擺動(dòng)用壓力缸45伸縮動(dòng)作，在水平輸送單元1B及起立輸送單元1C中，使推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)4開(kāi)始動(dòng)作及使動(dòng)作停止等。
另外，送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3的清潔空氣的供給量的改變，是通過(guò)改變送風(fēng)風(fēng)扇13的電動(dòng)馬達(dá)13a的驅(qū)動(dòng)速度來(lái)進(jìn)行的。
通過(guò)開(kāi)始輸送系統(tǒng)H的運(yùn)轉(zhuǎn)，玻璃基板2被從輸送上游側(cè)的水平輸送單元1B依次移載、輸送到輸送下游側(cè)的水平輸送單元1B上。并且，如果進(jìn)一步輸送玻璃基板2，則從輸送下游側(cè)的水平輸送單元1B移載到水平輸送狀態(tài)的姿勢(shì)改變用輸送單元1A上。
下面，基于圖30所示的流程圖說(shuō)明在通過(guò)運(yùn)轉(zhuǎn)切換開(kāi)關(guān)S指示運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始、而開(kāi)始了輸送系統(tǒng)H的運(yùn)轉(zhuǎn)的狀態(tài)下，控制裝置E對(duì)姿勢(shì)改變用輸送單元1A的控制動(dòng)作。另外，對(duì)從水平輸送單元1B經(jīng)由姿勢(shì)改變用輸送單元1A輸送到起立輸送單元1C上的情況進(jìn)行說(shuō)明，而對(duì)于從起立輸送單元1C經(jīng)由姿勢(shì)改變用輸送單元1A輸送到水平輸送單元1B上的情況則省略說(shuō)明。
如果將玻璃基板2從水平輸送單元1B輸送到姿勢(shì)改變用輸送單元1A上，存在物傳感器T若成為檢測(cè)到玻璃基板2的整體移載到姿勢(shì)改變用輸送單元1A上的檢測(cè)狀態(tài)，則使姿勢(shì)改變用輸送單元1A的推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)4的動(dòng)作停止。然后，為使姿勢(shì)改變用輸送機(jī)構(gòu)6a的狀態(tài)成為起立輸送狀態(tài)，而使擺動(dòng)用壓力缸45伸長(zhǎng)動(dòng)作并減少送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3的清潔空氣的供給量。
如果姿勢(shì)改變用輸送機(jī)構(gòu)6a成為起立輸送狀態(tài)，則在起立輸送單元1C的推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)4動(dòng)作的狀態(tài)下使姿勢(shì)改變用輸送單元1A的推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)4動(dòng)作，將玻璃基板2從姿勢(shì)改變用輸送單元1A輸送到起立輸送單元1C上。接著，如果在姿勢(shì)改變用輸送單元1A改變?yōu)槠鹆⑤斔蜖顟B(tài)以后的姿勢(shì)改變用輸送單元1A的推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)4所動(dòng)作的時(shí)間，超過(guò)了為將整個(gè)玻璃基板2從姿勢(shì)改變用輸送單元1A移載到起立輸送單元1C上所需的規(guī)定時(shí)間，則為使姿勢(shì)改變用輸送機(jī)構(gòu)6a的狀態(tài)成為水平輸送狀態(tài)，而使擺動(dòng)用壓力缸45縮短動(dòng)作并增大送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3的清潔空氣的供給量。
另外，如果姿勢(shì)改變用輸送機(jī)構(gòu)6a為水平輸送狀態(tài)的狀態(tài)以外、通過(guò)未圖示的水平輸送單元1B的檢測(cè)機(jī)構(gòu)檢測(cè)到后面的玻璃基板2被輸送過(guò)來(lái)，則將該玻璃基板2輸送到接近于姿勢(shì)改變用輸送單元1A之前為止的位置上，將水平輸送單元1B的推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)4的動(dòng)作停止，如果姿勢(shì)改變用輸送機(jī)構(gòu)6a改變?yōu)樗捷斔蜖顟B(tài)的狀態(tài)，則再次開(kāi)始水平輸送單元1B的推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)4的動(dòng)作。
其它實(shí)施方式(1)在上述實(shí)施方式1中，在輸送方向觀察時(shí)、為了將送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)支承為傾斜姿勢(shì)而使整個(gè)輸送單元成為傾斜姿勢(shì)，但也可以如圖16所示，構(gòu)成為，通過(guò)水平式支承部件37支承箱體7使其成為水平姿勢(shì)，使送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3以傾斜姿勢(shì)支承在該箱體7的單元用框體9上。
(2)在上述實(shí)施方式1～3中，由多個(gè)驅(qū)動(dòng)輥構(gòu)成了驅(qū)動(dòng)部，但也可以由同步帶等的環(huán)形帶狀體構(gòu)成。另外，在由環(huán)形帶狀體構(gòu)成驅(qū)動(dòng)部的情況下，也可以在環(huán)形帶狀體的作用面上沿著長(zhǎng)度方向形成一連串的突起部，將該突起部作為對(duì)在橫寬方向上移動(dòng)的輸送物的阻擋部。
(3)在上述實(shí)施方式2中，由多個(gè)限制輥構(gòu)成了限制部，但也可以由旋轉(zhuǎn)自如的環(huán)形帶狀體構(gòu)成，此外，也可以使限制部可向橫寬方向改變位置地支承在箱體上。即、例如，由限制輥構(gòu)成限制部，在使該限制輥支承在箱體的箱側(cè)壁上的情況下，也可以如圖33所示，使電動(dòng)壓力缸40支承在固定于箱側(cè)壁10上的支承框39上，使限制輥33旋轉(zhuǎn)自如地支承在該電動(dòng)壓力缸40的前端部上。
(4)在上述實(shí)施方式中，例示了將除塵過(guò)濾器和送風(fēng)機(jī)構(gòu)一體地進(jìn)行了組裝的送風(fēng)單元，但不一定需要將除塵過(guò)濾器和送風(fēng)風(fēng)扇一體地安裝，也可以設(shè)置將由送風(fēng)風(fēng)扇送來(lái)的空氣導(dǎo)引到除塵過(guò)濾器中的導(dǎo)引通路等、將除塵過(guò)濾器和送風(fēng)風(fēng)扇由分別單獨(dú)構(gòu)成來(lái)實(shí)施。
(5)在上述實(shí)施方式1及3中，將清潔空氣供給部?jī)A斜了0.5°，但也可以對(duì)應(yīng)成為對(duì)象的輸送物等、比該角度大或小地傾斜。另外，在圖2、圖3、圖4、圖8、圖16中，為了使清潔空氣供給部15的斜度容易明了，傾斜5°來(lái)圖示。
(6)在上述實(shí)施方式4中，使用姿勢(shì)改變用輸送單元1A在姿勢(shì)改變用輸送單元1A與起立輸送用輸送單元1B之間傳遞玻璃基板2而構(gòu)成了輸送系統(tǒng)H，但也可以構(gòu)成為僅備有姿勢(shì)改變用輸送單元1A的輸送線。
即、也可以將多個(gè)姿勢(shì)改變用輸送單元1A在輸送方向上排列而構(gòu)成輸送線，例如在輸送較薄而易破損的輸送物時(shí)，形成將輸送物以水平姿勢(shì)或大致水平姿勢(shì)輸送的水平輸送狀態(tài)，來(lái)抑制輸送物的破損，此外，在輸送較厚而結(jié)實(shí)的輸送物時(shí)，形成將輸送物以起立狀態(tài)輸送的起立輸送狀態(tài)，從而容易目視輸送途中的輸送物。
(7)在如上述其它實(shí)施方式(6)那樣構(gòu)成的情況下，也可以構(gòu)成為，使姿勢(shì)改變用輸送機(jī)構(gòu)6a的狀態(tài)能夠改變?yōu)榧由纤捷斔蜖顟B(tài)與起立輸送狀態(tài)之間的傾斜輸送狀態(tài)的3級(jí)以上。
(8)在上述實(shí)施方式4中，使姿勢(shì)改變用輸送機(jī)構(gòu)6a的擺動(dòng)軸芯P位于橫寬方向的一端側(cè)，但并不限于橫寬方向的一端側(cè)。即、也可以使姿勢(shì)改變用輸送機(jī)構(gòu)6a的擺動(dòng)軸芯P如圖31(A)所示那樣位于橫寬方向的中央部，或者如圖31(B)所示那樣位于從姿勢(shì)改變用輸送機(jī)構(gòu)6a向下方較遠(yuǎn)地離開(kāi)的地方。通過(guò)這樣構(gòu)成，能夠改變起立輸送狀態(tài)時(shí)的高度或改變前后位置。
此外，也可以將姿勢(shì)改變用輸送機(jī)構(gòu)6a的擺動(dòng)軸芯P在前后裝備多個(gè)、或在上下裝備多個(gè)而使其使用靈活性較好。
(9)在上述實(shí)施方式4中，由多個(gè)將除塵過(guò)濾器12和送風(fēng)風(fēng)扇13一體地組裝的風(fēng)扇過(guò)濾器單元14構(gòu)成了送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3，但也可以將除塵過(guò)濾器12與送風(fēng)風(fēng)扇13作為分體單獨(dú)組裝而構(gòu)成，從而構(gòu)成送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)。
(10)在上述實(shí)施方式4中，由多個(gè)驅(qū)動(dòng)輥24構(gòu)成了驅(qū)動(dòng)部，但也可以由同步帶等的環(huán)形帶狀體構(gòu)成驅(qū)動(dòng)部。
(11)在上述所有的實(shí)施方式中，以液晶用的玻璃基板作為輸送物，但也可以是半導(dǎo)體晶片等，輸送物的形狀或大小并不限定于實(shí)施方式。
權(quán)利要求
1.一種輸送裝置，是備有向輸送物的下表面供給清潔空氣、以水平姿勢(shì)或大致水平姿勢(shì)并以非接觸狀態(tài)支承上述輸送物的送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)，和對(duì)由該送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)支承的上述輸送物施加輸送方向上的推進(jìn)力的推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)的輸送裝置，其特征在于，上述推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)為對(duì)上述輸送物的與上述輸送方向正交的橫寬方向的一端側(cè)施加推進(jìn)力的單側(cè)驅(qū)動(dòng)式。
2.如權(quán)利要求1所述的輸送裝置，其特征在于，備有碰抵在上述輸送物的被施加推進(jìn)力的一端側(cè)的側(cè)面上、用于阻擋在上述橫寬方向上移動(dòng)的輸送物的阻擋部，上述送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)，以上述橫寬方向的另一端側(cè)比受上述推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)施加推進(jìn)力的一端側(cè)位于上方的傾斜姿勢(shì)支承上述輸送物。
3.如權(quán)利要求2所述的輸送裝置，其特征在于，上述送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)的清潔空氣供給部配置為，在上述輸送方向觀察時(shí)、越與受上述推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)施加推進(jìn)力的一端側(cè)相對(duì)應(yīng)的一側(cè)越位于下方，從而以上述傾斜姿勢(shì)支承上述輸送物。
4.如權(quán)利要求2所述的輸送裝置，其特征在于，上述送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)對(duì)上述橫寬方向的另一端側(cè)比對(duì)受上述推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)施加推進(jìn)力的一端側(cè)更多地供給清潔空氣，從而以上述傾斜姿勢(shì)支承上述輸送物。
5.如權(quán)利要求1所述的輸送裝置，其特征在于，備有碰抵在與上述輸送物的受上述推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)施加推進(jìn)力的一端側(cè)在橫寬方向上相反側(cè)的側(cè)面上、而限制上述輸送物向橫寬方向移動(dòng)的限制部。
6.如權(quán)利要求5所述的輸送裝置，其特征在于，上述限制部構(gòu)成為，能夠在上述橫寬方向上進(jìn)行位置調(diào)節(jié)。
7.如權(quán)利要求2所述的輸送裝置，其特征在于，上述推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)備有接觸支承上述輸送物的下表面并施加推進(jìn)力的接觸式的驅(qū)動(dòng)部。
8.如權(quán)利要求7所述的輸送裝置，其特征在于，上述驅(qū)動(dòng)部備有上述阻擋部。
9.如權(quán)利要求1所述的輸送裝置，其特征在于，送風(fēng)單元在上述輸送方向上排列而構(gòu)成上述送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)，該送風(fēng)單元一體地組裝了除去塵埃的除塵過(guò)濾器和通過(guò)該除塵過(guò)濾器向上述輸送物的下表面供給清潔空氣的送風(fēng)機(jī)構(gòu)。
10.一種輸送裝置，是備有對(duì)通過(guò)由送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)向輸送物的下表面供給清潔空氣而支承為非接觸狀態(tài)的輸送物、通過(guò)推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)施加輸送方向上的推進(jìn)力而構(gòu)成的輸送機(jī)構(gòu)的輸送裝置，其特征在于，上述輸送機(jī)構(gòu)可以改變?yōu)橐运阶藙?shì)或大致水平姿勢(shì)支承上述輸送物的水平輸送狀態(tài)和以起立姿勢(shì)支承輸送物的起立輸送狀態(tài)。
11.如權(quán)利要求10所述的輸送裝置，其特征在于，上述輸送機(jī)構(gòu)通過(guò)圍繞沿著上述輸送方向的橫軸芯的擺動(dòng)，能夠改變?yōu)樯鲜鏊捷斔蜖顟B(tài)和上述起立輸送狀態(tài)。
12.如權(quán)利要求10所述的輸送裝置，其特征在于，在將上述輸送機(jī)構(gòu)從上述水平輸送狀態(tài)改變?yōu)樯鲜銎鹆⑤斔蜖顟B(tài)時(shí)，使上述送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)減少向上述輸送物的下表面供給的清潔空氣量。
13.如權(quán)利要求10所述的輸送裝置，其特征在于，上述推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)為備有對(duì)上述輸送物的下表面的與上述輸送方向正交的橫寬方向的一端側(cè)接觸支承、并施加推進(jìn)力的接觸式的驅(qū)動(dòng)部的單側(cè)驅(qū)動(dòng)式。
14.如權(quán)利要求13所述的輸送裝置，其特征在于，備有碰抵在對(duì)上述輸送物施加推進(jìn)力的一端側(cè)的側(cè)面上、在上述水平輸送狀態(tài)下限制上述輸送物向上述橫寬方向移動(dòng)、在上述起立輸送狀態(tài)下支承上述輸送物的限制支承部，上述送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)，在上述水平輸送狀態(tài)下、以上述橫寬方向的另一端側(cè)比受上述推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)施加推進(jìn)力的一端側(cè)位于上方的傾斜姿勢(shì)支承上述輸送物。
15.如權(quán)利要求10所述的輸送裝置，其特征在于，送風(fēng)單元在上述輸送方向上排列而構(gòu)成上述送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)，該送風(fēng)單元一體地組裝了除去塵埃的除塵過(guò)濾器和通過(guò)該除塵過(guò)濾器向上述輸送物的下表面供給清潔空氣的送風(fēng)機(jī)構(gòu)。
16.如權(quán)利要求15所述的輸送裝置，其特征在于，上述送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)構(gòu)成為，備有允許通過(guò)了上述除塵過(guò)濾器的清潔空氣通過(guò)、并且阻止異物向上述除塵過(guò)濾器一側(cè)落下而進(jìn)行遮蔽的遮蔽體，上述遮蔽體構(gòu)成為，備有允許通過(guò)了上述除塵過(guò)濾器的清潔空氣通過(guò)的多孔體，和位置比該多孔體靠上述除塵過(guò)濾器一側(cè)的過(guò)濾器。
17.一種輸送系統(tǒng)，是備有權(quán)利要求10～16中任一項(xiàng)所述的輸送裝置的輸送系統(tǒng)，其特征在于，在上述輸送機(jī)構(gòu)的輸送上游側(cè)或輸送下游側(cè)設(shè)有以水平或起立姿勢(shì)輸送輸送物、并在與該輸送機(jī)構(gòu)之間輸送輸送物的輸送姿勢(shì)固定型的輸送裝置。
全文摘要
提供一種能夠使推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)的構(gòu)成變得簡(jiǎn)潔、并減輕推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)的重量的輸送裝置。備有向輸送物(2)的下表面供給清潔空氣、以水平姿勢(shì)或大致水平姿勢(shì)并以非接觸狀態(tài)支承輸送物(2)的送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)(3)，和對(duì)受該送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)(3)支承的輸送物(2)施加輸送方向上的推進(jìn)力的推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)(4)，使推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)(4)構(gòu)成為，對(duì)輸送物(2)的與輸送方向正交的橫寬方向的一端側(cè)(2b)施加推進(jìn)力的單側(cè)驅(qū)動(dòng)式。
文檔編號(hào)B65G13/00GK1583531SQ20041005762
公開(kāi)日2005年2月23日 申請(qǐng)日期2004年8月20日 優(yōu)先權(quán)日2003年8月21日
發(fā)明者池畑淑照, 大野隆佳, 森本雄一 申請(qǐng)人:株式會(huì)社大福