專利名稱：一種晶圓片儲(chǔ)放盒的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種晶圓片儲(chǔ)放盒，尤其涉及一種利用斜槽結(jié)構(gòu)對儲(chǔ)存、收藏的晶圓片進(jìn)行定位及固定，使之在卡式晶圓片槽中妥善的收藏和固定以達(dá)到安全的儲(chǔ)存的晶圓片儲(chǔ)放盒。
目前已知的相關(guān)技術(shù)，有以下方法，如中國專利ZL972210474，其揭示了一種就是采用一個(gè)利用五連桿結(jié)構(gòu)的晶圓片固定機(jī)構(gòu)。由于其在設(shè)計(jì)采用了五連桿結(jié)構(gòu)，在其工作時(shí)，會(huì)使固定機(jī)構(gòu)在對晶圓片進(jìn)行定位的過程中，施加給晶圓片片與之互相垂直的力。而對晶圓片來說，這個(gè)垂直于晶圓片平面的力，有可能造成晶圓片的破損。而且這種五連桿結(jié)構(gòu)也較復(fù)雜。
在其他類似的的設(shè)計(jì)中，也都存在零件過多，結(jié)構(gòu)復(fù)雜等問題。而且由于結(jié)構(gòu)的復(fù)雜化，同時(shí)也會(huì)帶來易產(chǎn)生粉塵的不良后果。
根據(jù)上述目的，根據(jù)本實(shí)用新型構(gòu)思的晶圓片儲(chǔ)放盒包括儲(chǔ)放晶圓片的盒體，所述盒體具有一個(gè)底盤；以及可蓋合于所述盒體上的盒蓋，在所述盒蓋內(nèi)設(shè)置有固定機(jī)構(gòu)；其特征在于，所述固定機(jī)構(gòu)包含固定在所述盒蓋內(nèi)側(cè)的導(dǎo)片，在所述導(dǎo)片上開設(shè)有斜槽；具有突起的推桿，所述推桿上的突起伸入到所述導(dǎo)片上的斜槽中，可沿所述斜槽滑動(dòng)；柔性推板，與所述推桿相連。
在如上所述的晶圓片儲(chǔ)放盒中，在所述導(dǎo)片上的斜槽的上端具有一段垂直槽。
如上所述，由于本實(shí)用新型的晶圓片儲(chǔ)放盒拋棄了連桿結(jié)構(gòu)，采用滑槽結(jié)構(gòu)，大大簡化了固定機(jī)構(gòu)的構(gòu)造，有利于降低成本，同時(shí)減少產(chǎn)生的粉塵。
下面將參照圖2、圖3和圖4詳細(xì)描述固定機(jī)構(gòu)50的結(jié)構(gòu)。
如圖3所示，固定機(jī)構(gòu)50由三個(gè)零件構(gòu)成，即導(dǎo)片51、推桿52和柔性推板53。在導(dǎo)片51上開設(shè)有斜槽54。在推桿52上，設(shè)置有突起55。如圖4所示，推桿52上的突起55與導(dǎo)片51上的斜槽54相對應(yīng)，可以伸入到斜槽54內(nèi)，且可沿斜槽54移動(dòng)。另外，柔性推板53與推桿52相連接，可以隨著推桿52的移動(dòng)而移動(dòng)。
如圖2所示，該固定機(jī)構(gòu)50固定在盒蓋20的內(nèi)側(cè)面，即通過導(dǎo)片51與盒蓋20的內(nèi)側(cè)面固定，柔性推板53鄰近放置在盒體10內(nèi)的晶圓片30。
圖2、圖5和圖6分別示出了盒蓋20蓋入到盒體10的各個(gè)過程。如圖2和圖5所示，當(dāng)盒蓋20蓋入到盒體10上時(shí)，首先推桿52與底盤40接觸，使推桿52沿導(dǎo)片51上的斜槽54移動(dòng)。由于斜槽54的斜度，使推桿52向圖中的左側(cè)移動(dòng)，從而帶動(dòng)與之相連的柔性推板53向左移動(dòng)，柔性推板53與晶圓片30接觸，從而在移動(dòng)的過程中，推動(dòng)晶圓片30排列在盒體10中，并使之整體排放。隨著盒蓋20的進(jìn)一步下降，推桿52進(jìn)一步向左移動(dòng)，直至斜槽54的頂端，盒蓋20與盒體10密封，此時(shí)柔性推板53也被推到最左側(cè)，固定住晶圓片30，使之不能移動(dòng)。在整個(gè)推動(dòng)過程中，柔性推板53的設(shè)計(jì)是與晶圓片30邊緣線接觸(最小的接觸面積)，且無垂直方向的移動(dòng)，減小了晶圓片受損的可能。
另外，如圖7所示，還可以將斜槽54的上端設(shè)計(jì)成垂直槽，即保留一部分非斜槽(例如3mm，該尺寸是可以根據(jù)需要而變化的)，這樣，當(dāng)盒蓋20與底盤40的蓋合剩下最后的一段時(shí)，由于該段垂直槽的設(shè)計(jì)，推桿52停止向左側(cè)移動(dòng)，保持在此位置至晶圓盒完全密封，從而可靠地完成晶圓片的定位、對齊和保持固定的功能。
綜上所述，本實(shí)用新型是以一種獨(dú)特的設(shè)計(jì)，簡化的固定機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)，同時(shí)達(dá)到了對晶圓片在卡式晶圓槽內(nèi)的定位、固定功能，使晶圓片在晶圓盒內(nèi)安全的儲(chǔ)臧，并減少粉塵的產(chǎn)生和污染。
權(quán)利要求1.一種晶圓片儲(chǔ)放盒包括儲(chǔ)放晶圓片的盒體，所述盒體具有一個(gè)底盤；以及可蓋合于所述盒體上的盒蓋，在所述盒蓋內(nèi)設(shè)置有固定機(jī)構(gòu)；其特征在于，所述固定機(jī)構(gòu)包含固定在所述盒蓋內(nèi)側(cè)的導(dǎo)片，在所述導(dǎo)片上開設(shè)有斜槽；具有突起的推桿，所述推桿上的突起伸入到所述導(dǎo)片上的斜槽中，可沿所述斜槽滑動(dòng)；柔性推板，與所述推桿相連。
2.如權(quán)利要求1所述的晶圓片儲(chǔ)放盒，其特征在于，在所述導(dǎo)片上的斜槽的上端具有一段垂直槽。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種晶圓片儲(chǔ)放盒。傳統(tǒng)的晶圓片儲(chǔ)放盒存在著結(jié)構(gòu)復(fù)雜的問題。本實(shí)用新型的儲(chǔ)放盒包括儲(chǔ)放晶圓片的盒體，所述盒體具有一個(gè)底盤；以及可蓋合于所述盒體上的盒蓋，在所述盒蓋內(nèi)設(shè)置有固定機(jī)構(gòu)；其特征在于，所述固定機(jī)構(gòu)包含固定在所述盒蓋內(nèi)側(cè)的導(dǎo)片，在所述導(dǎo)片上開設(shè)有斜槽；具有突起的推桿，所述推桿上的突起伸入到所述導(dǎo)片上的斜槽中，可沿所述斜槽滑動(dòng)；柔性推板，與所述推桿相連。
文檔編號B65D85/90GK2587800SQ0226044
公開日2003年11月26日 申請日期2002年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2002年9月29日
發(fā)明者崔慧生 申請人:崔慧生