專利名稱：用于膠合兩個(gè)基片的方法和裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于將兩個(gè)基片膠合成一個(gè)基片圓盤(pán)的一種方法和一種裝置，按此方法，在第一基片的一個(gè)待膠合的面上涂敷一種膠合劑，將第二個(gè)基片以它的待膠合的面放置在第一個(gè)基片上，并且按此方法，將兩個(gè)基片圍繞其中軸線加以旋轉(zhuǎn)以達(dá)到膠合劑離心甩出的目的。
上述這類方法和裝置均已在DE-A-40 41 199A1、Derwent-Abstrct94-246139/30以及EP 0 744 739 A1中公開(kāi)過(guò)，為了例如生產(chǎn)所謂的數(shù)字式影碟(亦簡(jiǎn)稱DVD)。數(shù)字式影碟由兩個(gè)基片或分基片組成，在這兩個(gè)基片的各自一個(gè)表面上存儲(chǔ)著數(shù)字視頻圖象信息，兩個(gè)基片以它們沒(méi)有信息的一面彼此膠合起來(lái)。為了將兩個(gè)基片接合成為一個(gè)基片圓盤(pán)，例如一個(gè)數(shù)字式影碟，需要一些很精準(zhǔn)地工作的裝置，這是因?yàn)閮蓚€(gè)基片不僅要位置非常準(zhǔn)確地疊置在一起，而且在整個(gè)盤(pán)面上的膠合過(guò)程必須是均勻的，沒(méi)有空氣夾雜或膠合劑層厚度不一的現(xiàn)象，以便獲得完善的基本圓盤(pán)。此外，用來(lái)膠合兩個(gè)基片的傳統(tǒng)裝置從結(jié)構(gòu)上說(shuō)是很不合算的，而且要占據(jù)一個(gè)很大的場(chǎng)地。
本發(fā)明的任務(wù)是提供，用以膠合兩個(gè)基片的一種方法和一種裝置，本方法或本裝置能夠?qū)蓚€(gè)基片可靠而均勻地膠合成為優(yōu)質(zhì)的基片圓盤(pán)，廢品率極低，而且裝置的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，生產(chǎn)效率高。
所提出的任務(wù)是通過(guò)開(kāi)頭述及的方法按本發(fā)明加以解決的，依此法，基片的至少一個(gè)待膠合的面，最好是那個(gè)要涂敷真正膠合劑的基片的待膠合的面，施加有一預(yù)涂層。這樣，就可顯著改善主膠合劑或主漆所需的滑動(dòng)能力，從而使得在整個(gè)面上的膠合劑分布不僅較快速，而且也較均勻。預(yù)涂層可以使得在待膠合的基片之間的膠合劑簡(jiǎn)單地很均勻地分布在整個(gè)待膠合面上，而且可以避免出現(xiàn)夾雜物如氣泡等。因此，兩個(gè)基片可在整個(gè)基片面上彼此牢固地粘結(jié)在一起，而且特別是所形成的基片圓盤(pán)在整個(gè)面上具有均一的厚度。
膠合劑最好是一種所謂的紫外線塑料漆，這種漆通過(guò)紫外光照射便可迅速硬化，而且在兩個(gè)基片之間可達(dá)到良好的膠粘效果。最好將膠合劑呈粘接環(huán)似地涂敷在一個(gè)基片的一個(gè)待膠合的面上，膠合劑然后通過(guò)離心旋轉(zhuǎn)過(guò)程而分布在整個(gè)基片面上。
在將第二個(gè)基片放好在第一個(gè)基片上之后，最好在第二個(gè)基片上施加一個(gè)可調(diào)節(jié)的準(zhǔn)確的壓力，該壓力可改善兩個(gè)基片之間的膠合劑的均勻分布。在這種情況下，最好經(jīng)過(guò)一個(gè)具有精密驅(qū)動(dòng)裝置的單臂取放器以精細(xì)的動(dòng)作將上面的待放置的基片準(zhǔn)確同心地放置在第一個(gè)基片上，并施加適當(dāng)?shù)膲毫Α?br> 按本發(fā)明，所提出的任務(wù)也是通過(guò)采取下述措施加以解決的至少兩個(gè)基片中的一個(gè)在放置到另一個(gè)基片上時(shí)，其邊緣部位要從另一個(gè)基片加以彎折開(kāi)。從而可以將膠合劑層或膠合劑中的氣泡或其它夾雜物更可靠地加以驅(qū)除。由于通過(guò)被放置的基片的彎折，所以該基片首先以它的中心部位放置好，然后才以完全釋放的形式所謂由里向外地滾壓過(guò)去，涂成環(huán)形的膠合劑于是被由里朝外地壓向基片邊緣，并加以滾壓，從而還可驅(qū)除氣泡和空氣夾雜物。
本發(fā)明的另一項(xiàng)解決方案在于已膠合的基片的邊緣在經(jīng)過(guò)膠合劑的離心旋轉(zhuǎn)甩出之后加以凈化。由于凈化過(guò)程之故，還可附帶地使基片圓盤(pán)邊緣獲得可靠的密封，這對(duì)于成品質(zhì)量的提高是很有幫助的。為了基片圓盤(pán)邊緣的凈化處理，最好配置一個(gè)膠合劑吸盡裝置，該裝置有彈性地壓緊在基片圓盤(pán)邊緣上。為了提高生產(chǎn)效率，基片邊緣的凈化處理須在膠合劑離心旋轉(zhuǎn)甩出之后立即進(jìn)行，不需要為邊緣凈化處理附帶地做基片圓盤(pán)的位置調(diào)整，或者說(shuō)不需要一個(gè)固有的凈化處理站。
膠合好的基片圓盤(pán)最好放在一個(gè)膠合劑干燥器中進(jìn)行干燥，在使用UV-漆(紫外線漆)時(shí)，則放在UV-干燥器中進(jìn)行干燥，這樣可以大大縮短生產(chǎn)過(guò)程。這樣一種膠合劑干燥器例如可以按照某種裝置來(lái)設(shè)計(jì)，如在尚未發(fā)表的歸屬于本申請(qǐng)者的DE-A 195 45 843中所介紹的那一種裝置，這種裝置為了避免重復(fù)起見(jiàn)已當(dāng)作本申請(qǐng)的一項(xiàng)內(nèi)容?；瑘A盤(pán)這時(shí)處于旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)中被引導(dǎo)從UV-燈下通過(guò)。
所提出的任務(wù)的一項(xiàng)解決措施在下述條件下是特別有利的在干燥過(guò)程中，在基片圓盤(pán)上放置一塊石英板或玻璃板，該板在干燥過(guò)程中以自身的重量壓在基片圓盤(pán)上，并保持后者平坦。于此，石英板或玻璃板在干燥過(guò)程結(jié)束之后，由于它原來(lái)在干燥過(guò)程中受熱之故，最好須加以冷卻，將它放置到一個(gè)基片圓盤(pán)上之前。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，石英板或玻璃板的冷卻是用電離的空氣實(shí)現(xiàn)的，于此，玻璃板是利用一個(gè)交換系統(tǒng)在每個(gè)冷卻過(guò)程和放入過(guò)程之間被移到基片圓盤(pán)之上。在一種氮?dú)夥諊羞M(jìn)行干燥也是有利的，這對(duì)于基片圓盤(pán)較快速和徹底的干燥是有幫助的。
在膠合過(guò)程和干燥過(guò)程結(jié)束之后，將基片圓盤(pán)送至檢查站，例如用一種掃描器檢查其缺陷，再根據(jù)所得的測(cè)量結(jié)果，作為正品放過(guò)或者作為廢品拋棄。
本發(fā)明提出的方法用一種數(shù)據(jù)處理程序加以控制和/或加以目視監(jiān)督，這種數(shù)據(jù)處理程序例如可在個(gè)人用計(jì)算機(jī)中進(jìn)行。
所提出的任務(wù)此外是通過(guò)采用開(kāi)頭述及的那種裝置來(lái)加以解決的，該裝置具有一個(gè)預(yù)涂層裝置或預(yù)彌散器裝置，它沿著制造工藝流程方向配置在膠合站之前或者說(shuō)膠合劑涂敷裝置之前。借助該預(yù)涂層裝置，基片的至少一個(gè)待膠合的面，最好是另一個(gè)基片將放置在其上的那個(gè)面，具有預(yù)涂的漆，它能改善膠合劑或主漆的滑動(dòng)性能，從而在離心旋轉(zhuǎn)甩出過(guò)程中導(dǎo)致主漆的更均勻更快速的分布。利用適合的特別配有精密驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的基片搬運(yùn)器(取放器)，將一個(gè)基片準(zhǔn)確同心地定位在另一個(gè)基片上，特別是還可以在被放置的基片上從而在涂敷在兩個(gè)基片之間的膠合劑上施加一個(gè)可較準(zhǔn)確地調(diào)節(jié)的壓力，該壓力可以改善在膠合過(guò)程中膠合劑的分布和提高分布的速度。用前面所介紹的本發(fā)明提出的方法取得的優(yōu)點(diǎn)也是通過(guò)本發(fā)明提供的裝置來(lái)體現(xiàn)的，就是將膠合劑快速、可靠和均勻地分布在基片待膠合的面上，沒(méi)有夾雜物例如空氣夾雜物留在兩個(gè)基片之間，這些夾雜物會(huì)導(dǎo)致基片圓盤(pán)厚度不均，從而導(dǎo)致基本圓盤(pán)質(zhì)量差或者高廢品率。
根據(jù)本發(fā)明提出的另一個(gè)解決任務(wù)的設(shè)想是配置一個(gè)彎曲裝置，用來(lái)彎曲至少一個(gè)待膠合的基片，使其邊緣部位離開(kāi)另一個(gè)基片而翹起。采用這種辦法，可以更好地避免氣泡或其它夾雜物殘留在膠合層中，這是因?yàn)閮蓚€(gè)待膠合的基片首先從里逐漸向外地貼合，從而在上述滾壓過(guò)程中將氣泡或空氣夾雜物向外擠壓并加以驅(qū)除。
彎曲裝置最好具有一種夾緊在待彎曲的基片的內(nèi)區(qū)的內(nèi)夾頭和一種夾緊在待彎曲的基片的外區(qū)的外夾頭，這些夾頭可以沿著基片的軸向而相對(duì)地彼此對(duì)向移動(dòng)，從而使得下面的一個(gè)或上面的一個(gè)基片相對(duì)于另一個(gè)基片能夠?qū)崿F(xiàn)彎曲。為了實(shí)現(xiàn)內(nèi)夾頭和/或外夾頭的夾緊，最好配置吸頭或吸頭組，這些吸頭大致對(duì)于外夾頭也可以分布和安置在基片的整個(gè)周邊上。
所提出的任務(wù)的另一個(gè)解決方案在于一種裝置，在該裝置上配置了一個(gè)凈化裝置，用來(lái)凈化基片圓盤(pán)的邊緣。凈化過(guò)程同時(shí)也實(shí)現(xiàn)了基片圓盤(pán)邊緣的密封，因而改進(jìn)了所生產(chǎn)出來(lái)的產(chǎn)品的質(zhì)量。凈化裝置最好配有一個(gè)膠合劑吸除裝置，該裝置按照本發(fā)明的另一個(gè)結(jié)構(gòu)形式可以有彈性地壓緊在基片圓盤(pán)邊緣上。在此情況下，凈化裝置最好就是膠合劑離心旋轉(zhuǎn)甩出裝置的一個(gè)組成部分，這樣就不必為了凈化過(guò)程而將基片圓盤(pán)送往一個(gè)相應(yīng)的站，而是在離心旋轉(zhuǎn)甩出過(guò)程結(jié)束之后在基片圓盤(pán)為此所規(guī)定的位置上在其邊緣實(shí)施凈化處理。
膠合劑離心旋轉(zhuǎn)甩出裝置或者基片圓盤(pán)邊緣凈化裝置最好在后面配置一個(gè)干燥站，該干燥站在使用以紫外光進(jìn)行干燥和硬化的膠合劑或漆的情況下，是一種紫外線干燥器。
為了提高所膠合的基片圓盤(pán)的質(zhì)量及其生產(chǎn)率，最好為干燥站配置一個(gè)石英板或玻璃板放置裝置。這樣，利用一種推移系統(tǒng)或交換系統(tǒng)便可將石英板或玻璃板在基片圓盤(pán)區(qū)域和冷卻區(qū)域之間來(lái)回推移。
干燥站最好配有UV-燈，于此，對(duì)燈的照射的反射面最好規(guī)定在基片邊緣部位上。這樣，在基片圓盤(pán)的邊緣部位和棱邊部位上，膠合劑的干燥和硬化也可以快速而可靠地實(shí)現(xiàn)。根據(jù)本發(fā)明提出的裝置的另一種結(jié)構(gòu)形式，干燥站與一個(gè)檢驗(yàn)站相連。在檢驗(yàn)站，根據(jù)檢查過(guò)程中所獲得的檢測(cè)結(jié)果，制成品基片圓盤(pán)作為正品放過(guò)，或者作為廢品拋棄。
本發(fā)明提出的裝置在成本上是很合算的，由于其結(jié)構(gòu)緊湊，所以制造尺寸小，尤其是配有帶門(mén)窗的防護(hù)室，在此防護(hù)室中，通過(guò)一個(gè)安置的所謂流通箱，也就是通過(guò)一種相應(yīng)的盡可能薄的層流，而為基片圓盤(pán)的制作創(chuàng)造一個(gè)類似清潔室的環(huán)境。本發(fā)明提出的裝置既可作為單機(jī)投入使用，也可以組成一條生產(chǎn)線投入使用。
聯(lián)系到本發(fā)明，對(duì)基片圓盤(pán)不僅應(yīng)理解為數(shù)字式影碟，而且應(yīng)廣義地理解為這樣的圓盤(pán)，即它們是通過(guò)膠合至少兩個(gè)分基片構(gòu)成的。
下面將參照附圖，包括一些優(yōu)選的實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明做更詳細(xì)的說(shuō)明。附圖表示

圖1本發(fā)明提出的裝置的示意上視圖；圖2彎曲裝置的一種結(jié)構(gòu)形式的示意圖。
按圖1中所示的本發(fā)明裝置的實(shí)施例，工藝流程從右向左分成幾個(gè)工藝步驟。在第一給料站1，在給料盤(pán)2上準(zhǔn)備好第一基片3。與之相應(yīng)地，在第二給料站4，在第二給料盤(pán)5上準(zhǔn)備好第二基片6，第二基片將以它的沒(méi)有信息的面同第一基片3的相應(yīng)的面膠合起來(lái)。利用一個(gè)懸置搬運(yùn)器7將第一基片3從給料站1取出，旋轉(zhuǎn)180°，使待膠合的未存儲(chǔ)信息的一邊朝上，并將之放在一個(gè)入口圓回轉(zhuǎn)工作臺(tái)上的預(yù)定位置上。一個(gè)給料搬運(yùn)器9將第二基片6運(yùn)送過(guò)來(lái)，使待膠合的面朝下，即不旋轉(zhuǎn)基片6，將之送到入口圓形回轉(zhuǎn)工作臺(tái)8的相應(yīng)部位上。入口圓形回轉(zhuǎn)工作臺(tái)8具有一種特定的分配方式即一種二位置分配方式，借此，兩個(gè)待膠合的基片3和6在停電后會(huì)自己避免混淆。
圓形回轉(zhuǎn)工作臺(tái)8為膠合站10準(zhǔn)備好第一和第二基片3和6，該膠合站具有兩個(gè)膠合劑離心旋轉(zhuǎn)甩出裝置或作業(yè)罐11和12及其各自的一個(gè)膠合劑涂敷裝置和各自的一個(gè)分配器13，14，各一個(gè)基片圓盤(pán)邊緣凈化裝置15和16，以及一個(gè)預(yù)涂層裝置或預(yù)分配單元17，和相應(yīng)的搬運(yùn)器18和19。
膠合站10上的工藝流程如下首先將處于入口回轉(zhuǎn)工作臺(tái)8上的第一基片3，其待膠合的面朝上而且膠合時(shí)作為下基片，由搬運(yùn)器19從確定的回轉(zhuǎn)工作臺(tái)位置上送到預(yù)涂層裝置17的一個(gè)工作臺(tái)20上，并在該處由一個(gè)涂層裝置21加以預(yù)涂層，以便為本來(lái)的膠合劑或主漆在下一個(gè)還要加以說(shuō)明的工藝步驟中提供一最佳可滑動(dòng)性。經(jīng)過(guò)預(yù)涂層的第一基片3然后再被放回到入口圓形回轉(zhuǎn)工作臺(tái)8。
利用具有精密驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的單臂搬運(yùn)器18將第一基片3從入口圓形回轉(zhuǎn)工作臺(tái)8送到兩個(gè)膠合劑離心旋轉(zhuǎn)裝置11及12。在下一個(gè)工藝步驟中，分別利用膠合劑涂敷裝置及主分配單元13、14將一種膠合劑例如一種UV-塑料漆粗略地呈環(huán)形地涂敷上去。然后將第二基片即上基片6以同樣方式從入口圓形回轉(zhuǎn)工作臺(tái)8取出，并準(zhǔn)確同心地放置在第一基片即下基片3上。膠合劑離心旋轉(zhuǎn)甩出裝置11、12的圓盤(pán)被啟動(dòng)旋轉(zhuǎn)，使基片3和6之間的膠合劑被離心甩出。
如在下面還將根據(jù)圖2單獨(dú)加以詳細(xì)說(shuō)明的，上基片或下基片3或6可以稍微加以彎曲，這樣便可易于驅(qū)動(dòng)在涂敷膠合劑或呈環(huán)形涂敷膠合劑時(shí)出現(xiàn)在其中的氣泡或空氣夾雜物，從而附帶地改善和加速劑合劑的均勻分布。經(jīng)過(guò)單臂搬運(yùn)器18的精密驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，不僅可以精確控制放置第二基片即上基片6的速度，而且可以精確控制將該基片6放置在呈環(huán)形的膠合劑上所施加的準(zhǔn)確壓力，以及精確控制釋放被彎曲的基片的基片邊緣所用的延遲。
在離心旋轉(zhuǎn)甩出之后，即可啟動(dòng)基片圓盤(pán)邊緣凈化處理裝置15或16同時(shí)按照?qǐng)D中所示的結(jié)構(gòu)形式，在該裝置上將一個(gè)膠合劑吸盡裝置被彈性地壓緊在被膠合好的基片圓盤(pán)的邊緣上。通過(guò)如此實(shí)現(xiàn)的邊緣凈化處理，同時(shí)取得了基片圓盤(pán)邊緣的一種附加封緊，從而改善了產(chǎn)品質(zhì)量。
隨后利用單臂搬運(yùn)器24將膠合完絲的基片圓盤(pán)23從膠合站10取出，并將其放到干燥站26的另一回轉(zhuǎn)工作臺(tái)25上，在這里，基本圓盤(pán)23被有節(jié)奏導(dǎo)入到UV-干燥器27。下方，用VU-燈加以照射，從而得以干燥。UV-干燥器27最好將二至四個(gè)HPA-燈(高壓空氣燈)，裝備在一個(gè)或兩個(gè)站上。
此外，干燥站26還有一個(gè)玻璃板搬運(yùn)器28，，形式為一個(gè)推移裝置或交換裝置，用來(lái)將石英板或玻璃板29放置在待干燥的基片圓盤(pán)23上，并以它們的自重壓在基片圓盤(pán)23上。在將基片圓盤(pán)23取走之后，利用玻璃板搬運(yùn)器28將玻璃板29置于電離空氣之下進(jìn)行冷卻，以便隨后可以將之再放到另外的基片圓盤(pán)23上。
利用一個(gè)三臂搬運(yùn)器30將干燥好的基片圓盤(pán)23從干燥站26的回轉(zhuǎn)工作臺(tái)25送到一個(gè)接收站31，一個(gè)檢測(cè)站34位于其中，檢測(cè)站將制成的基片圓盤(pán)23置后質(zhì)量監(jiān)控之下，并根據(jù)監(jiān)控結(jié)果所得的檢測(cè)值來(lái)如此控制三臂搬運(yùn)器30，即使得該搬運(yùn)器能將合格的正品基片圓盤(pán)23放置到另一個(gè)回轉(zhuǎn)工作臺(tái)35上，而將不合格的基片圓盤(pán)23投到一個(gè)廢品螺桿36上。
本發(fā)明提出的裝置由于結(jié)構(gòu)緊湊，所以尺寸小，長(zhǎng)2900mm，寬1250mm，高1900mm這就使得該裝置可以靈活使用，在最小的場(chǎng)地上既可以作為單機(jī)，也可以在一生產(chǎn)線上作為配套的機(jī)器使用。
圖2表示一種彎曲裝置40的一個(gè)實(shí)施形式的示意局部橫斷面圖，該裝置用來(lái)彎曲待膠合的基片中的一個(gè)或兩個(gè)待膠合的基片，即將它的邊緣部位加以彎曲而離當(dāng)時(shí)的另一個(gè)基片。彎曲裝置40有一個(gè)內(nèi)夾緊器41和一個(gè)外夾緊器42，這兩個(gè)夾緊器利用一個(gè)液壓缸43可以彼此相對(duì)運(yùn)動(dòng)。內(nèi)夾緊器41有吸頭43，這些吸頭經(jīng)過(guò)相應(yīng)的負(fù)壓接頭44而與一負(fù)壓源相連，并夾住基片3或6，以便利用一升降缸45來(lái)輸送該基片。
外夾緊器42有多個(gè)在其周邊分布的吸頭46，這些吸頭用于彎曲基片3或6而夾緊在基片的外邊緣部位上。當(dāng)外夾緊器42借助液壓缸43相對(duì)于內(nèi)夾緊器41被提升時(shí)，彎曲過(guò)程即開(kāi)始。
前面已根據(jù)幾個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做了說(shuō)明。對(duì)專家說(shuō)當(dāng)然還可以做出許多的擴(kuò)展和變化，但不會(huì)因此離開(kāi)本發(fā)明的構(gòu)思。前面已結(jié)合數(shù)字式影碟的制作對(duì)本發(fā)明提出的裝置做了介紹。本發(fā)明的各原理當(dāng)然也可以用到生產(chǎn)其它產(chǎn)品所用的方法和裝置上去，即用以將兩個(gè)基片彼此膠合起來(lái)的方法和裝置。
權(quán)利要求
1.用來(lái)將兩個(gè)基片(3，6)膠合成一個(gè)基片圓盤(pán)(23)的方法，依此方法將一種膠合劑涂敷在一個(gè)第一基片(3)的一個(gè)待膠合的面上，并且將一個(gè)第二基片(6)以它的待膠合的面放置在第一基片上，而且依此方法使兩個(gè)基片(3，6)圍繞其中軸線旋轉(zhuǎn)以達(dá)到甩出膠合劑的目的，其特征在于第一基片(3)的待膠合的面在涂敷膠合劑之前先施加預(yù)涂層。
2.如權(quán)利要求1中所述的方法，其特征在于膠合劑是一種紫外線塑料漆。
3.如以上權(quán)利要求之一中所述的方法，其特征在于膠合劑按一種膠合劑環(huán)的形式涂敷在第一基片(3)的待膠合的面上。
4.如以上權(quán)利要求的任一項(xiàng)中所述的方法，其特征在于在將第二基片(6)放置在膠合劑上之后，在該基片上施加一個(gè)可調(diào)節(jié)的壓力。
5.將兩個(gè)基片(3，6)膠合成一個(gè)基片圓盤(pán)(23)用的方法，依此方法將一種膠合劑涂敷在一個(gè)第一基片(3)的一個(gè)待膠合的面上，將一個(gè)第二基片(6)以它的待膠合的面放置在第一基片上，而且依此方法將兩個(gè)基片(3，6)圍繞其中軸線加以旋圍，以達(dá)到甩出膠合劑的目的，其特征在于基片(3，6)中的至少一個(gè)在放置到另一個(gè)基片(6，3)上去時(shí)，將其邊緣部位加以彎曲使之與另一基片(6，3)相離開(kāi)。
6.將兩個(gè)基片(3，6)膠合成一個(gè)基片圓盤(pán)(23)用的方法，依此方法將一種膠合劑涂敷在一個(gè)第一基片(3)的一個(gè)待膠合的面上，并將一個(gè)第二基片(6)以它的待膠合的面放置在第一基片上，且按此方法將兩個(gè)基片(3，6)圍繞其中軸線加以旋轉(zhuǎn)，以達(dá)到甩出膠合劑的目的，其特征在于在對(duì)膠合劑進(jìn)行離心甩出之后對(duì)膠合好的基片圓盤(pán)(23)的邊緣加以凈化處理。
7.如權(quán)利要求6中所述的方法，其特征在于邊緣凈化處理是在站(10)中完成的，在該站進(jìn)行基片(3，6)的膠合。
8.如權(quán)利要求6或7中所述的方法，其特征在于一個(gè)膠合劑吸盡裝置有彈性地夾緊在已膠合好的基片圓盤(pán)(23)的邊緣上。
9.將兩個(gè)基片(3，6)膠合成一個(gè)基片圓盤(pán)(23)用的方法，按此方法將一種膠合劑涂敷在一個(gè)第一基片(3)的一個(gè)待膠合的面上，并將一個(gè)第二基片(6)以它的待膠合的面放置在第一基片上，且按此方法將兩個(gè)基片(3，6)圍繞其中軸線加以旋轉(zhuǎn)，以達(dá)到離心甩出開(kāi)膠合劑的目的，其特征在于在基片圓盤(pán)(23)的干燥過(guò)程中，在其上放置一塊石英板或玻璃板(29)。
10.如權(quán)利要求9中所述的方法，其特征在于在干燥過(guò)程結(jié)束之后，將石英板或玻璃板(29)加以冷卻，然后將它放置在下一個(gè)基片圓盤(pán)(23)上。
11.如權(quán)利要求9或10中所述的方法，其特征在于石英板或玻璃板(29)是用電離空氣進(jìn)行冷卻的。
12.如權(quán)利要求9至11的任一項(xiàng)中所述的方法，其特征在于干燥處理是在一種氮?dú)夥諊羞M(jìn)行的。
13.如以上權(quán)利要求的任一項(xiàng)中所述的方法，其特征在于膠合好的和干燥過(guò)的基片圓盤(pán)(23)都加以質(zhì)量缺陷檢測(cè)。
14.如以上權(quán)利要求的任一項(xiàng)中所述的方法，其特征在于該方法是用一個(gè)數(shù)據(jù)處理程序加以控制和/或目視監(jiān)控的。
15.將兩個(gè)基片(3，6)膠合成一個(gè)基片圓盤(pán)(23)用的裝置，它配有至少一個(gè)膠合站(10)，至少一個(gè)膠合劑涂敷裝置(15，16)，和至少一個(gè)膠合劑離心甩出裝置(11，12)，其特征在于有一個(gè)預(yù)涂層裝置(17)。
16.如權(quán)利要求15中所述的裝置，其特征在于有一個(gè)壓力裝置，在膠合過(guò)程中該裝置至少在一個(gè)基片(3，6)上施加一個(gè)可調(diào)節(jié)的壓力。
17.將兩個(gè)基片(3，6)膠合成一個(gè)基片圓盤(pán)(23)用的裝置，它配有至少一個(gè)膠合站(10)、至少一個(gè)膠合劑涂敷裝置(15，16)和至少一個(gè)膠合劑離心甩出裝置(11，12)，其特征在于一個(gè)彎曲裝置(40)用來(lái)彎曲至少一個(gè)待膠合的基片(3，6)，使其邊緣部位從另一個(gè)基片(6，3)相離。
18.如權(quán)利要求17中所述的裝置，其特征在于彎曲裝置(40)具有一個(gè)夾緊在待彎曲的基片(3，6)的內(nèi)區(qū)上的內(nèi)夾緊器(41)，和一個(gè)夾緊在待彎曲的基片(3，6)的外區(qū)上的外夾緊器(42)。
19.如權(quán)利要求17或18中所述的裝置，其特征在于內(nèi)夾緊器(41)和/或外夾緊器(42)是可以沿著基片(3，6)的軸向彼此相對(duì)地移動(dòng)的。
20.如權(quán)利要求17至19的一項(xiàng)中所述的裝置，其特征在于內(nèi)夾緊器(41)和/或外夾緊器(42)都有吸頭(43或46)。
21.將兩個(gè)基片(3，6)膠合成一個(gè)基片圓盤(pán)(23)用的裝置，它配有至少一個(gè)膠合站(10)、至少一個(gè)膠合劑涂敷裝置(15，16)和至少一個(gè)膠合劑離心甩出裝置(11，12)，其特征在于有一個(gè)基片圓盤(pán)邊緣凈化處理裝置(15，16)。
22.如權(quán)利要求21中所述的裝置，其特征在于基片圓盤(pán)邊緣凈化處理裝置(15，16)具有一個(gè)膠合劑吸盡裝置。
23.如權(quán)利要求21或22中所述的裝置，其特征在于基片圓盤(pán)邊緣凈化處理裝置(15，16)可以有彈性地夾緊在基片圓盤(pán)邊緣上。
24.如權(quán)利要求21至23的任一項(xiàng)中所述的裝置，其特征在于基片圓盤(pán)邊緣凈化處理裝置(15，16)是膠合劑離心甩出裝置(11，12)的一個(gè)組成部分。
25.將兩個(gè)基片(3，6)膠合成一個(gè)基片圓盤(pán)(23)用的裝置，它配有至少一個(gè)膠合站(10)、至少一個(gè)膠合劑涂敷裝置(15，16)和至少一個(gè)膠合劑離心甩出裝置(11，12)，其特征在于一個(gè)干燥站(26)配有一個(gè)石英板或玻璃板放置裝置(28)。
26.如權(quán)利要求25中所述的裝置，其特征在于干燥站(26)有一個(gè)石英板或玻璃板冷卻裝置。
27.如權(quán)利要求26中所述的裝置，其特征在于冷卻劑是電離空氣。
28.如權(quán)利要求25至27的任一項(xiàng)中所述的裝置，其特征在于干燥站(26)具有紫外線燈；在基片邊緣部位為紫外線燈照射設(shè)定有反射面。
29.如權(quán)利要求15至28的任一項(xiàng)中所述的裝置，其特征在于在干燥站(26)的后面設(shè)置有一個(gè)檢測(cè)站(34)。
全文摘要
將兩個(gè)基片(3,6)膠合成一個(gè)基片圓盤(pán)(23)用的方法,按此方法將一種膠合劑涂敷在一個(gè)第一基片(3,6)的一個(gè)待膠合的面上,并將一個(gè)第二基片(6,3)以它的待膠合的面放置在第一基片(3,6)上,可實(shí)現(xiàn)基片特別良好的、均一的和快速的膠合,沒(méi)有空氣夾雜物,而且只用簡(jiǎn)單的裝置,為此將基片(3,6)圍繞其中軸線加以旋轉(zhuǎn)以達(dá)到離心甩出膠合劑的目的。還涉及到為實(shí)施本方法所用的一些裝置。
文檔編號(hào)B05C9/08GK1254310SQ98804663
公開(kāi)日2000年5月24日 申請(qǐng)日期1998年4月2日 優(yōu)先權(quán)日1997年4月30日
發(fā)明者K·維伯爾, U·施貝爾 申請(qǐng)人:施蒂格哈馬技術(shù)股份公司