白光led用含氮硅酸鹽綠色發(fā)光材料及制備方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種白光LED用含氮硅酸鹽綠色發(fā)光材料及制備方法。該發(fā)光材料的化學(xué)組成可表示為：Ca2-xSi(O4-yNy):xEu2+，0.003≤x≤0.06，0.1≤y≤0.8。其制備過(guò)程為：（1）以硝酸鈣（CaN2O6·4H2O）、硝酸銪（EuN3O9·6H2O）正硅酸乙酯（C8H20O4Si）、氮化硅（Si3N4）為原料，采用溶膠凝膠法，獲得前驅(qū)體，（2）將所得前驅(qū)體與氮化硅粉體混合均勻，在非還原性氣氛下于1000~1200℃焙燒2~4小時(shí)，獲得Ca2-xSi(O4-yNy):xEu2+熒光粉。所得發(fā)光材料，發(fā)光性能顯著，在近紫外到紫光波長(zhǎng)范圍（300~400nm）有寬帶吸收，發(fā)射出強(qiáng)度高的綠色光（500~504nm）。通過(guò)氮化硅與前驅(qū)體的混合焙燒，在不需要任何還原氣氛下，將Eu3+還原為Eu2+，制備方法簡(jiǎn)單、安全。
【專利說(shuō)明】白光LED用含氮硅酸鹽綠色發(fā)光材料及制備方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于稀土發(fā)光材料領(lǐng)域。涉及一種用于白光LED的新型二價(jià)銪摻雜的含氮硅酸鹽綠色發(fā)光材料及其制備方法。
【背景技術(shù)】
[0002]白光LED由于具有壽命長(zhǎng)、體積小、效率高、顯色性好、響應(yīng)快、綠色環(huán)保無(wú)污染等優(yōu)點(diǎn)而引起人們的廣泛關(guān)注，被稱為新一代綠色照明光源。目前白光LED的實(shí)現(xiàn)，最成熟的是藍(lán)光LED芯片與黃色熒光粉混合而成，此外還可以通過(guò)紫光或近紫外光LED芯片與紅藍(lán)綠三基色或單基色熒光粉混合獲得，其應(yīng)用發(fā)展前景十分廣闊。
[0003]硅酸鹽體系熒光粉是發(fā)光材料中重要的一個(gè)體系，其由于陰陽(yáng)離子大部分以強(qiáng)共價(jià)性離子鍵結(jié)合，具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性，結(jié)晶性能及透光性能優(yōu)異，且合成工藝簡(jiǎn)單。與之相比的硫化物系熒光粉化學(xué)穩(wěn)定性差，亮度低；鋁酸鹽系熒光粉抗?jié)裥圆睿l(fā)光顏色單一；氮(氧)化物系熒光粉雖具有良好的穩(wěn)定性，但其生產(chǎn)條件較嚴(yán)苛，合成溫度較高，結(jié)構(gòu)較難控制，因此硅酸鹽系熒光粉越來(lái)越受到人們的重視。發(fā)光材料的主要制備方法為高溫固相法，如中國(guó)專利(公布號(hào):CN 102020986 A)公布了采用高溫固相法獲得一種硅酸鹽綠色熒光粉及其制備方法。高溫固相法的燒結(jié)溫度高，反應(yīng)時(shí)間長(zhǎng)。而溶膠凝膠法工藝制備溫度低，原料的混合可達(dá)分子級(jí)，產(chǎn)物化學(xué)均勻性好，在中國(guó)專利(公布號(hào):CN102643642 A)上公布了采用溶膠凝膠法獲得一種納米硅酸鹽熒光粉的制備方法。熒光粉中的Eu2+是通過(guò)Eu3+還原獲得Eu2+，還原方法一般采用氫氣/氮?dú)膺€原、氨氣還原或碳熱還原等還原方式，如中國(guó)專利(公布號(hào):CN 102408890 A)公布了在H2/N2氣氛下高溫煅燒獲得綠色硅酸鹽熒光粉，中國(guó)專利(公布號(hào):CN 102965102 A)公布了在保護(hù)及還原性N2/H2混合氣氛下得到綠色硅酸鹽熒光粉。這些還原方式較繁瑣，且不安全。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的是提供一`種稀土 Eu2+摻雜的含氮硅酸鹽綠色熒光粉材料，可用于白光LED。通過(guò)硅酸鹽基質(zhì)中固溶氮原子使發(fā)光材料的發(fā)光強(qiáng)度顯著提高。
[0005]本發(fā)明還提供了一種在非還原性氣氛下將Eu3+還原為Eu2+的硅酸鹽發(fā)光材料制備方法。將溶膠凝膠法制備的前驅(qū)體與氮化硅粉末混合，在氮?dú)鈿夥盏谋Ｗo(hù)下焙燒，獲得Eu2+摻雜的硅酸鹽發(fā)光材料。該方法簡(jiǎn)單，安全，發(fā)光強(qiáng)度高。
[0006]本發(fā)明的硅酸鹽綠色發(fā)光材料的化學(xué)組成可表達(dá)為:
Ca2_xSi (04_yNy): xEu2+
式中，0.003 ^ X ^ 0.06,0.1 ^ y ^ 0.8
本發(fā)明提出的白光LED用綠色發(fā)光材料Ca2_xSi (04_yNy):xEu2+采用溶膠凝膠法制備，制備方法包括以下特征和步驟:
Cl)以硝酸鈣(CaN2O6.4H20)、硝酸銪(EuN3O9.6H20)、正硅酸乙酯(C8H2Q04Si)、氮化硅(Si3N4)為原料，其中氮化硅包括不同粒度級(jí)別的粉體(微米級(jí)、亞微米級(jí)和納米級(jí))(純度≤99%)。按照一定的化學(xué)計(jì)量比稱取原料，其中硅分別由正硅酸乙酯(C8H2tlO4Si)和氮化硅(Si3N4)提供，兩者中硅原子的摩爾比為z: (1-z), 0.3 ^ z≤0.8。先將CaN2O6.4H20和EuN3O9.6H20溶于一定比例的酒精與水的混合液中(酒精與水的體積比為f 7:1)，攪拌均勻形成硝酸鈣和硝酸銪的混合液，用稀硝酸或氨水調(diào)整溶液的pH值到2飛或9~11，然后加入C8H2tlO4Si，攪拌I小時(shí)，形成澄清的溶膠。將溶膠放入5(T80°C的水浴箱中保溫3飛小時(shí)，蒸干水分后形成透明的干凝膠。將干凝膠在100-120?下干燥12小時(shí)后，得到前驅(qū)體。
[0007](2)將稱取的相應(yīng)比例的氮化硅(Si3N4)與前驅(qū)體混合后充分研磨均勻，將研磨后的粉體放入坩堝中，再放入高溫管式爐中，在流量為7(Tl50ml/min的高純氮?dú)?純度≤99.99%)氣氛下于1000-1200?焙燒2~4小時(shí)，而后隨爐冷卻到300°C以下，取出產(chǎn)物，再將獲得的產(chǎn)物進(jìn)行研磨，即獲得Ca2_xSi (04_yNy): XEu2+熒光粉。
[0008]特點(diǎn)和有益效果
(I)將氮化硅粉體與溶膠凝膠法所獲得的前驅(qū)體混合后直接進(jìn)行焙燒，一次獲得含氮硅酸鹽基固溶體發(fā)光材料Ca2_xSi (04_yNy):XEu2+。制備工藝簡(jiǎn)單，焙燒溫度較低。
[0009](2)將氮化硅粉體與所得前驅(qū)體混合，在非還原性氣氛下焙燒，使Eu3+還原為Eu2+，制備方法簡(jiǎn)單，安全，成本低廉。
[0010](3)獲得的含氮硅酸鹽基固溶體發(fā)光材料Ca2_xSi (04_yNy):xEu2+，在近紫外到紫光波長(zhǎng)范圍(30(T400nm)有寬帶吸收，發(fā)射出波長(zhǎng)為50(T504nm的綠色光，發(fā)光強(qiáng)度比未固溶氮的Ca2_xSi 04:xEu2+發(fā)光材料有顯著提高，能很好的用于白光LED轉(zhuǎn)換發(fā)光材料。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0011]圖1 Ca2_xSi (04_yNy):xEu2+ 的 XRD 圖譜
圖 2 Ca2_xSi (04_yNy): XEu2+ 的激發(fā)光譜
圖 3 Ca2_xSi (04_yNy):XEu2+ 的發(fā)射光譜。
【具體實(shí)施方式】
[0012]實(shí)施例一
以硝酸鈣(CaN2O6.4H20)、硝酸銪(EuN3O9.6H20)、正硅酸乙酯(C8H2tlO4Si )、氮化硅(Si3N4)為原料，按照Ca:Si:Eu的摩爾比為1.995:1:0.005的比例稱取原料，其中硅分別由正硅酸乙酯(C8H2tlO4Si)和氮化硅(Si3N4)提供，兩者中硅原子的摩爾比為0.5:0.5。先將硝酸鈣(CaN2O6.4H20)和硝酸銪(EuN3O9.6H20)溶于`酒精與水的體積比為3:1的混合液中，攪拌均勻形成硝酸鈣和硝酸銪的混合液，調(diào)整溶液的PH值到2，然后加入正硅酸乙酯(C8H20O4Si )，攪拌I小時(shí)，形成澄清的溶膠。將溶膠放入60 V的水浴箱中保溫4小時(shí)，蒸干水分形成透明的干凝膠。將干凝膠在120°C下干燥12小時(shí)后，得到前驅(qū)體。所得前驅(qū)體與氮化硅(Si3N4)混合并研磨均勻，放入高溫管式爐中，在流量為80ml/min的高純氮?dú)?純度≤99.99%)氣氛下于1000°C焙燒2.5小時(shí)，而后隨爐冷卻到300°C以下，取出產(chǎn)物。將獲得的產(chǎn)物進(jìn)行研磨，即獲得Cah 995Si (03.33N0.67):0.005Eu2+熒光粉。
[0013]實(shí)施例二
以硝酸鈣(CaN2O6.4H20)、硝酸銪(EuN3O9.6H20)、正硅酸乙酯(C8H2tlO4Si )、氮化硅(Si3N4)為原料，按照Ca:S1:Eu的摩爾比為1.99:1:0.01的比例稱取原料，其中硅分別由正硅酸乙酯(C8H2tlO4Si)和氮化硅(Si3N4)提供，兩者中硅原子的摩爾比為0.5:0.5，先將硝酸鈣(CaN2O6.4Η20)和硝酸銪(EuN3O9.6Η20)溶于酒精與水的體積比為3:1的混合液中，攪拌均勻形成硝酸鈣和硝酸銪的混合液，調(diào)整溶液的PH值到2，然后加入正硅酸乙酯(C8H2tlO4Si),攪拌I小時(shí)，形成澄清的溶膠。將溶膠放入60°C的水浴箱中保溫4小時(shí)，蒸干水分形成透明的干凝膠。將干凝膠在120°C下干燥12小時(shí)后，得到前驅(qū)體。所得前驅(qū)體與氮化硅(Si3N4)混合并研磨均勻，放入高溫管式爐中，在流量為lOOml/min的高純氮?dú)?純度> 99.99%)氣氛下于1100°C焙燒2.5小時(shí)，而后隨爐冷卻到300°C以下，取出產(chǎn)物。將獲得的產(chǎn)物進(jìn)行研磨，即獲得 Cah99Si (03.33N0.67):0.01Eu2+ 熒光粉。
[0014]實(shí)施例三
以硝酸鈣(CaN2O6.4H20)、硝酸銪(EuN3O9.6H20)、正硅酸乙酯(C8H2tlO4Si )、氮化硅(Si3N4)為原料，按照Ca:S1:Eu的摩爾比為1.99:1:0.01的比例稱取原料，其中硅分別由正硅酸乙酯(C8H2tlO4Si)和氮化硅(Si3N4)提供，兩者中硅原子的摩爾比為0.6:0.4，先將硝酸鈣(CaN2O6.4Η20)和硝酸銪(EuN3O9.6Η20)溶于酒精與水的體積比為3:1的混合液中，攪拌均勻形成硝酸鈣和硝酸銪的混合液，調(diào)整溶液的PH值到2，然后加入正硅酸乙酯(C8H2tlO4Si),攪拌I小時(shí)，形成澄清的溶膠。將溶膠放入60°C的水浴箱中保溫4小時(shí)，蒸干水分形成透明的干凝膠。將干凝膠在120°C下干燥12小時(shí)后，得到前驅(qū)體。所得前驅(qū)體與氮化硅(Si3N4)混合并研磨均勻，放入高溫管式爐中，在流量為80ml/min的高純氮?dú)?純度> 99.99%)氣氛下于1200°C焙燒2.5小時(shí)，而后隨爐冷卻到300°C以下，取出產(chǎn)物。將獲得的產(chǎn)物進(jìn)行研磨，即獲得 Cah99Si (03.47N0.53):0.01Eu2+ 熒光粉。
[0015]實(shí)施例四
以硝酸鈣(CaN 2O6.4H20)、硝酸銪(EuN3O9.6H20)、正硅酸乙酯(C8H2tlO4Si )、氮化硅(Si3N4)為原料，按照Ca:S1:Eu的摩爾比為1.99:1:0.01的比例稱取原料，其中硅分別由正硅酸乙酯(C8H2tlO4Si)和氮化硅(Si3N4)提供，兩者中硅原子的摩爾比為0.7:0.3，先將硝酸鈣(CaN2O6.4Η20)和硝酸銪(EuN3O9.6Η20)溶于酒精與水的體積比為3:1的混合液中，攪拌均勻形成硝酸鈣和硝酸銪的混合液，調(diào)整溶液的PH值到3，然后加入正硅酸乙酯(C8H2tlO4Si),攪拌I小時(shí)，形成澄清的溶膠。將溶膠放入60°C的水浴箱中保溫4小時(shí)，蒸干水分形成透明的干凝膠。將干凝膠在120°C下干燥12小時(shí)后，得到前驅(qū)體。所得前驅(qū)體與氮化硅(Si3N4)混合并研磨均勻，放入高溫管式爐中，在流量為80ml/min的高純氮?dú)?純度> 99.99%)氣氛下于1100°C焙燒2.5小時(shí)，而后隨爐冷卻到300°C以下，取出產(chǎn)物。將獲得的產(chǎn)物進(jìn)行研磨，即獲得 Cah99Si (03.6N0.4):0.01Eu2+ 熒光粉。
[0016]實(shí)施例五
以硝酸鈣(CaN2O6.4H20)、硝酸銪(EuN3O9.6H20)、正硅酸乙酯(C8H2tlO4Si )、氮化硅(Si3N4)為原料，按照Ca:Si:Eu的摩爾比為1.99:1:0.01的比例稱取原料，其中硅分別由正硅酸乙酯(C8H2tlO4Si)和氮化硅(Si3N4)提供，兩者的摩爾比為0.4:0.6，先將硝酸鈣(CaN2O6.4H20)和硝酸銪(EuN3O9.6H20)溶于酒精與水的體積比為1:1的混合液中，攪拌均勻形成硝酸鈣和硝酸銪的混合液，調(diào)整溶液的PH值到4，然后加入正硅酸乙酯(C8H2tlO4Si),攪拌I小時(shí)，形成澄清的溶膠。將溶膠放入60°C的水浴箱中保溫4小時(shí)，蒸干水分形成透明的干凝膠。將干凝膠在120°C下干燥12小時(shí)后，得到前驅(qū)體。所得前驅(qū)體與氮化硅(Si3N4)混合并研磨均勻，放入高溫管式爐中，在流量為80ml/min的高純氮?dú)?純度> 99.99%)氣氛下于1100°C焙燒2.5小時(shí)，而后隨爐冷卻到300°C以下，取出產(chǎn)物。將獲得的產(chǎn)物進(jìn)行研磨，即獲得 Cah99Si (03.2NQ.8):0.01Eu2+ 熒光粉。
[0017]實(shí)施例六
以硝酸鈣(CaN2O6.4H20)、硝酸銪(EuN3O9.6H20)、正硅酸乙酯(C8H2tlO4Si )、氮化硅(Si3N4)為原料，按照Ca:Si:Eu的摩爾比為1.98:1:0.02的比例稱取原料，其中硅分別由正硅酸乙酯(C8H2tlO4Si)和氮化硅(Si3N4)提供，兩者的摩爾比為0.6:0.4，先將硝酸鈣(CaN2O6.4Η20)和硝酸銪(EuN3O9.6Η20)溶于酒精與水的體積比為3:1的混合液中，攪拌均勻形成硝酸鈣和硝酸銪的混合液，調(diào)整溶液的PH值到10，然后加入正硅酸乙酯(C8H2tlO4Si),攪拌I小時(shí)，形成澄清的溶膠。將溶膠放入60°C的水浴箱中保溫4小時(shí)，蒸干水分形成透明的干凝膠。將干凝膠在120°C下干燥12小時(shí)后，得到前驅(qū)體。所得前驅(qū)體與氮化硅(Si3N4)混合并研磨均勻，放入高溫管式爐中，在流量為80ml/min的高純氮?dú)?純度> 99.99%)氣氛下于1100°C焙燒2.5小時(shí)，而后隨爐冷卻到300°C以下，取出產(chǎn)物。將獲得的產(chǎn)物進(jìn)行研磨，即獲得 Cah98Si (03.47N0.53):0.02Eu2+ 熒光粉。
[0018]實(shí)施例七
以硝酸鈣(CaN2O6.4H20)、硝酸銪(EuN3O9.6H20)、正硅酸乙酯(C8H2tlO4Si )、氮化硅(Si3N4)為原料，按照Ca:Si咖的摩爾比為1.96:1:0.04的比例稱取原料，其中硅分別由正硅酸乙酯(C8H2tlO4Si)和氮化硅(Si3N4)提供，兩者中硅原子的摩爾比為0.6:0.4，先將硝酸鈣(CaN2O6.4Η20)和硝酸銪(EuN3O9.6Η20)溶于酒精與水的體積比為1:1的混合液中，攪拌均勻形成硝酸鈣和硝酸銪的混合液，調(diào)整溶液的PH值到3，然后加入正硅酸乙酯(C8H2tlO4Si),攪拌I小時(shí)，形成澄清的溶膠。將溶膠放入60°C的水浴箱中保溫4小時(shí)，蒸干水分形成透明的干凝膠。將干凝膠在120°C下干燥12小時(shí)后，得到前驅(qū)體。所得前驅(qū)體與氮化硅(Si3N4)混合并研磨均勻，放入高溫管式爐中，在流量為80ml/min的高純氮?dú)?純度> 99.99%)氣氛下于1100°C焙燒2.5小時(shí)，而后隨爐冷卻到300°C以下，取出產(chǎn)物。將獲得的產(chǎn)物進(jìn)行研磨，即獲得 Cah96Si (03.47N0.53):0.04Eu2+ 熒光粉。
`[0019]實(shí)施例八
以硝酸鈣(CaN2O6.4H20)、硝酸銪(EuN3O9.6H20)、正硅酸乙酯(C8H2tlO4Si )、氮化硅(Si3N4)為原料，按照Ca:Si:Eu的摩爾比為1.997:1:0.003的比例稱取原料，其中硅分別由正硅酸乙酯(C8H2tlO4Si)和氮化硅(Si3N4)提供，兩者的摩爾比為0.7:0.3，先將硝酸鈣(CaN2O6.4H20)和硝酸銪(EuN3O9.6H20)溶于酒精與水的體積比為3:1的混合液中，攪拌均勻形成硝酸鈣和硝酸銪的混合液，調(diào)整溶液的PH值到4，然后加入正硅酸乙酯(C8H2tlO4Si),攪拌I小時(shí)，形成澄清的溶膠。將溶膠放入60°C的水浴箱中保溫4小時(shí)，蒸干水分形成透明的干凝膠。將干凝膠在120°C下干燥12小時(shí)后，得到前驅(qū)體。所得前驅(qū)體與氮化硅(Si3N4)混合并研磨均勻，放入高溫管式爐中，在流量為80ml/min的高純氮?dú)?純度> 99.99%)氣氛下于1100°C焙燒2.5小時(shí)，而后隨爐冷卻到300°C以下，取出產(chǎn)物。將獲得的產(chǎn)物進(jìn)行研磨，即獲得 Cah 997Si (03.6N0.4):0.003Eu2+ 熒光粉。
[0020]實(shí)施例九
以硝酸鈣(CaN2O6.4H20)、硝酸銪(EuN3O9.6H20)、正硅酸乙酯(C8H2tlO4Si )、氮化硅(Si3N4)為原料，按照Ca:Si:Eu的摩爾比為1.995:1:0.005的比例稱取原料，其中硅分別由正硅酸乙酯(C8H2tlO4Si)和氮化硅(Si3N4)提供，兩者的摩爾比為0.5:0.5，先將硝酸鈣(CaN2O6.4H20)和硝酸銪(EuN3O9.6H20)溶于酒精與水的體積比為2:1的混合液中，攪拌均勻形成硝酸鈣和硝酸銪的混合液，調(diào)整溶液的PH值到9，然后加入正硅酸乙酯(C8H2tlO4Si),攪拌I小時(shí)，形成澄清的溶膠。將溶膠放入60°C的水浴箱中保溫4小時(shí)，蒸干水分形成透明的干凝膠。將干凝膠在120°C下干燥12小時(shí)后，得到前驅(qū)體。所得前驅(qū)體與氮化硅(Si3N4)混合并研磨均勻，放入高溫管式爐中，在流量為80ml/min的高純氮?dú)?純度> 99.99%)氣氛下于1100°C焙燒2.5小時(shí)，而后隨爐冷卻到300°C以下，取出產(chǎn)物。將獲得的產(chǎn)物進(jìn)行研磨，即獲得 Cah 995Si (03.33`N0.67):0.005Eu2+ 熒光粉。
【權(quán)利要求】
1.一種稀土摻雜的含氮硅酸鹽綠色發(fā)光材料，其化學(xué)組成可表達(dá)為:
Ca2_xSi (04_yNy): xEu2+
式中 0.003 ^ X ^ 0.06,0.1 ^ y ^ 0.8。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的發(fā)光材料，采用溶膠凝膠制備方法，其工藝步驟為: (O前驅(qū)體的制備 ①以硝酸鈣(CaN2O6.4H20)、硝酸銪(EuN3O9.6H20)正硅酸乙酯(C8H2tlO4Si )、氮化硅(Si3N4)為原料，按照一定的化學(xué)計(jì)量比稱取原料，其中硅分別由正硅酸乙酯(C8H2tlO4Si)和氮化硅(Si3N4)提供，兩者中硅原子的摩爾比為z: (1-z)，0.3 ^ z ^ 0.8 ； ②將CaN2O6.4H20和EuN3O9.6H20溶于酒精與水的混合液中(酒精與水的體積比為f 7:1)，攪拌均勻形成硝酸鈣和硝酸銪的混合液； ③調(diào)整所得混合溶液的PH值到2飛或擴(kuò)11，加入C8H2tlO4Si,攪拌I小時(shí)，形成澄清的溶膠； ④所得溶膠在50°C~80°C的水浴箱中保溫3飛小時(shí)，形成干凝膠，再將干凝膠放入干燥箱內(nèi)在100°C~120°C溫度下干燥至少12小時(shí)后形成干凝膠前驅(qū)體； ⑤所得前驅(qū)體與一定劑量的氮化硅(Si3N4)混合并研磨均勻； (2)前軀體的焙燒 將所得前驅(qū)體與氮化硅混合均勻后放入高溫管式爐中，在流量為7(Tl50ml/min的高純氮?dú)?純度≥99.99%)氣氛下于1000-1200?焙燒2~4小時(shí)，而后隨爐冷卻到300°C以下，取出產(chǎn)物，將獲得的產(chǎn)物進(jìn)行研磨，即獲得Ca2_xSi (04_yNy): XEu2+熒光粉。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制備方法中，其特征在于不需要還原性氣氛，如氨氣、氫氣、一氧化碳?xì)怏w，而采用氮化硅粉體與前驅(qū)體混合，在氮?dú)鈿夥障卤簾?，將Eu3+還原為Eu2+。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制備方法中，其特征在于混合溶液的pH值范圍在酸性或堿性范圍，即PH值為2~5或9~11。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制備方法中,其特征在于發(fā)光材料中的娃含量由正娃酸乙酯(C8H20O4Si)和氮化硅(Si3N4)提供，其中氮化硅的粒度級(jí)別可為(微米級(jí)、亞微米級(jí)和納米級(jí))，純度> 99%。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制備方法中，其特征氮化硅與所得前驅(qū)體先進(jìn)行混合并研磨均勻后再進(jìn)行高溫焙燒。
【文檔編號(hào)】C09K11/59GK103865529SQ201410082092
【公開(kāi)日】2014年6月18日 申請(qǐng)日期:2014年3月7日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月7日
【發(fā)明者】黃維剛, 周仁迪, 黃雪飛 申請(qǐng)人:四川大學(xué)