酸乙烯酯),聚(氯乙烯)(PVC),聚硅氧烷,聚氨酯(PU),聚丙烯酸酯,和聚丙烯酰胺。
[0035]示例性的嵌段共聚物包括,如聚(二甲基硅氧烷)-聚(甲基丙烯酸甲酯)(MMA)共聚物,聚(氧化乙烯)_聚(甲基丙烯酸甲酯)(MMA)共聚物,聚苯乙烯-聚(二甲基硅氧烷)共聚物,聚(二甲基硅氧烷)_甲基丙烯酸甲酯(MMA)共聚物,聚(二甲基硅氧烷)-甲基丙烯酸酯(MMA)共聚物,聚(二甲基硅氧烷)_乙基丙烯酸酯共聚物,甲基丙烯酸酯-異冰片丙烯酸酯-聚(二甲基硅氧烷)共聚物,聚苯乙烯-聚(二甲基硅氧烷)共聚物,聚(環(huán)烯烴)-聚(二甲基硅氧烷)共聚物,聚硅氧烷-聚酯共聚物,聚硅氧烷-聚酰胺共聚物,聚硅氧烷-聚酰亞胺共聚物,聚硅氧烷-聚氨酯共聚物,聚硅氧烷-聚砜共聚物,聚硅氧烷-聚醚共聚物,聚硅氧烷-聚碳酸酯共聚物。
[0036]在一些實施方案中,所述A嵌段和所述B嵌段各自獨立地選自聚((甲基)丙烯酸酯),聚(苯乙烯),聚(氧化烯),和聚(硅氧烷);例如,所述A嵌段可包括聚((甲基)丙烯酸酯),聚(苯乙烯),或聚(烯化氧),且所述B嵌段可包括聚(硅氧烷)。在一些實施方案中,A嵌段為聚(甲基丙烯酸甲酯)且B嵌段為聚(二甲基硅氧烷)。
[0037]在一些實施方案中,J為三唑鑰部分。所述三唑鑰部分可包括N-烷基,N-烯基,N-炔基,N-環(huán)烷基,N-雜環(huán)基,N-芳基,或N-雜芳基部分。在一些實施方案中,所述三唑鑰部分包括N-烷基部分。在一些實施方案中,所述烷基基團為(^-(:6烷基基團,且被任選地取代??捎靡粋€或多個鹵素元素,如F,Cl,Br,或I取代所述烷基基團,且在一些情況下,所述烷基基團可為全鹵代烷基基團。因此,在一些實施方案中,J為N-烷基三唑鑰部分,如N-甲基三唑鑰。
[0038]所述嵌段共聚物可包括與所述結點的靜電帶電部分相關的反離子。在一些實施方案中,所述結點的靜電帶電基團帶有正電荷(正如例如在三唑鑰部分情況下),且所述反離子帶負電;然而,也可能是相反的構型。合適的帶負電反離子包括,但不僅限于,F(xiàn)_,Cr,Br_,Γ,BF4' PF6' Tf2N' SbF6' OTf,CN、OH、RSO3' RCF2SCV,RC00_, SO42' S142' PO廣,和多官能的陰離子,如雙陰離子^O3S-R-SCV或1C-R-COO'
[0039]在一些實施方案中,所述結點的靜電帶電部分可由含靜電帶電部分的可聚合單體得到,或可在從不包含靜電帶電部分的單體后聚合化學修飾后得到。合適的單體可包括離子液體單體(ILMs),例如,基于甲基丙烯?;腎LMs如1-[(2-甲基丙烯酰氧基)_乙基]-3- 丁基咪唑溴化物;基于N-乙烯基咪唑的ILMs如3-甲基-1乙烯基咪唑碘化物;苯乙烯基的ILMs如1-(4-乙烯基苯甲基)-3-丁基咪唑氯化物;和乙烯基三唑鑰ILMs如1-苯甲基-3-甲基-4-乙烯基-三唑鑰雙(三氟甲磺?;?酰胺。
[0040]在一些實施方案中,所述嵌段共聚物具有約40,000g/mol或更小的分子量。在本發(fā)明的其它實施方案中,所述嵌段共聚物具有約20,000g/mol或更小的分子量,約10, 000g/mol或更小,約5,000g/mol或更小,或約4,000g/mol或更小。
[0041]單獨或作為較大部分(即“烷氧基”,“羥烷基”,“烷氧烷基”,“烷氧羰基”)的一部分使用的術語“烷基”包括含1-10個碳原子(即1,2,3,4,5,6,7,8,9或10個碳原子)的直鏈和支鏈二者。烷基基團的例子包括甲基(Me),乙基(Et),丙基(Pr)(包括正丙基(nPr或n-Pr),異丙基(1Pr 或 1-Pr)),丁基(Bu)(包括正丁基(nBu 或 η-Bu),異丁基(1Bu 或 i_Bu),和叔丁基CBu或t-Bu)),戊基(Pe)(包括正戊基)等。烷基基團可任選地被I至6個取代基取代,所述取代基選自齒素,輕基,疏基,氧代,氣基,燒氣基,一■燒氣基,氛基,硝基,燒基,燒氧基,稀基,塊基,環(huán)燒基,雜環(huán)基,芳基或雜芳基。
[0042]單獨或作為較大部分的一部分使用的術語“烯基”包括含至少一個雙鍵和2-10個碳原子(即2,3,4,5,6,7,8,9或10個碳原子)的直鏈和支鏈二者,和環(huán)狀的,非芳香族烯基基團如環(huán)丙烯基,環(huán)丁烯基,環(huán)戊烯基,環(huán)戊二烯基,環(huán)己烯基,環(huán)己二烯基等。如本文所用,烯基基團也包括混合的環(huán)的和直鏈的烷基基團,如環(huán)戊烯基甲基,環(huán)戊烯基乙基,環(huán)己烯基甲基等,只要總的碳原子數(shù)不超出范圍。當總的碳原子數(shù)允許時(即大于4個碳原子),烯基基團可具有多個雙鍵,無論是共軛的還是非共軛的,但不包括芳香結構。烯基基團的例子包括乙稀基,丙稀基,丁稀基,丁一■稀基,異戊稀基,一■甲基稀丙基,香葉基等。稀基基團可任選地被I至6個取代基取代,所述取代基選自齒素,羥基,巰基,氧代,氨基,烷氨基,二烷氨基,氛基,硝基,燒基,燒氧基,稀基,塊基,環(huán)燒基,雜環(huán)基,芳基或雜芳基。
[0043]單獨或作為較大基團的一部分使用的術語“炔基”包括含至少一個三鍵和2-10個碳原子(即2,3,4,5,6,7,8,9或10個碳原子)的直鏈和支鏈二者。當總的碳原子數(shù)允許時(即大于4個碳原子),炔基基團可具有多個三鍵,無論是共軛的還是非共軛的,但不包括芳香結構。炔基基團可包含一個以上類型的多個鍵,即,炔基基團除了至少一個三鍵外可包含一個或多個雙鍵。炔基基團的例子包括乙炔基,丙炔基,2-丁炔基,3-丁炔基等等。炔基基團可任選地被I至6個取代基取代,所述取代基選自齒素,羥基,巰基,氧代,氨基,烷氨基,一■燒氣基,氛基,硝基,燒基,燒氧基,稀基,塊基,環(huán)燒基,雜環(huán)基,芳基或雜芳基。
[0044]術語“環(huán)烷基”包括單_,二-或三環(huán)的非芳香碳環(huán)體系,所述體系具有3-14個環(huán)碳原子,和任選地一個或多個雙鍵。所述環(huán)體系可為稠合的,橋接的,或螺環(huán)的體系,或它們的組合。環(huán)烷基基團的例子包括飽和的單環(huán)基團如環(huán)丙基,環(huán)丁基,環(huán)戊基,環(huán)己基,環(huán)庚基,環(huán)己基,環(huán)庚基,環(huán)辛基等等;不飽和的單環(huán)基團如環(huán)戊烯基,環(huán)己烯基,環(huán)庚烯基,環(huán)戊二烯基,環(huán)己二烯基,環(huán)庚二烯基,環(huán)辛四烯基等等。環(huán)烷基的例子還包括飽和的二環(huán)基團,如十氫化萘,二環(huán)[3.1.1]庚基,降冰片烷基,二環(huán)[2.2.2]辛基等等;不飽和的二環(huán)基團如降冰片烯基,二環(huán)[2.2.2]2-辛烯基等等。環(huán)烷基基團的例子還包括飽和的三環(huán)基團如十四氫化蒽,十四氫化菲,十二氫-S-引達省等等,和不飽和的三環(huán)基團。同時包括在術語“環(huán)烷基”范圍內(nèi)的是螺環(huán)系,例如螺[4,4]壬基,螺[4,5]癸基,螺[5,5] -1^一基,螺[4,6] ^^一基等等。同時包括在術語“環(huán)烷基”范圍內(nèi)的是與一個或多個芳香或非芳香環(huán)稠合的非芳香碳環(huán)環(huán)的基團,如四氫化萘基或茚滿基基團,其中所述自由基或附著點在非芳香碳環(huán)環(huán)上。環(huán)烷基基團可任選地被I至6個取代基取代,所述取代基選自齒素,羥基,巰基,氧代,氨基,燒氣基,一.燒氣基,氛基,硝基,燒基,燒氧基,稀基,塊基,環(huán)燒基,雜環(huán)基,芳基或雜芳基。
[0045]術語“雜環(huán)”,“雜環(huán)基”,或“雜環(huán)的”除非另有指明包括單_,二-或三環(huán)的非芳香碳環(huán)體系,其具有5-14個成員,優(yōu)選5-10,其中一個或多個環(huán)碳原子,優(yōu)選1-4,被雜原子例如N,0,或S代替。雜環(huán)基團的例子包括3-1H-苯并咪唑-2-酮,(1-取代的)-2-氧代-苯并咪唑-3-基,2-四氫呋喃基,3-四氫呋喃基,2-四氫吡喃基,3-四氫吡喃基,4-四氫吡喃基,[1,3]-二氧雜環(huán)戊基,[1,3]-二硫雜環(huán)戊基,[1,3]-二氧雜環(huán)氧乙燒基(d1xanyl),2-四氫噻吩基,3-四氫噻吩基,2-嗎啉基,3-嗎啉基,4-嗎啉基,2-硫代嗎啉基,3-硫代嗎啉基,4-硫代嗎啉基,1-吡咯烷基,2-吡咯烷基,3-吡咯烷基,1-哌嗪基,2-哌嗪基,1-哌啶基,2-呢啶基,3-呢啶基,4-呢啶基,4-噻挫燒基,偶氮環(huán)戊稀基(diazolonyl)、N-取代的偶氮環(huán)戊稀基(diazolonyl),1-苯二甲酰亞氨基(l-phthalimidinyl),苯并卩惡燒基(benzoxanyl)、苯并啦略基、苯并呢啶基、苯并氧雜環(huán)戊基(benzoxolanyl)、苯并硫雜環(huán)戊基(benzoth1lanyl)和苯并噻燒基(benzothianyl)。也包含在術語“雜環(huán)基”或“雜環(huán)的”范圍內(nèi)的,如本文所用,為與一個或多個芳香環(huán)或非芳香環(huán)稠合的含雜原子的非芳香環(huán)基團,例如二氫吲哚基,苯并二氫吡喃基,菲啶基,或四氫喹啉基,其中所述自由基或附著點在含雜原子的非芳香環(huán)上。無論是飽和的還是部分不飽和的,術語“雜環(huán)”,“雜環(huán)基”,或“雜環(huán)的”也指任選地被取代的環(huán)。
[0046]單獨或作為較大基團的一部分使用的術語“芳基”指單_,二-或三環(huán)的芳香烴環(huán)系,包括有5-14個成員例如苯基,1-萘基,2-萘基,1-蒽基和2-蒽基。術語“芳基”可與術語“芳環(huán)”互換使用?!胺蓟币舶ǔ砗系亩喹h(huán)芳香環(huán)系,其中芳香環(huán)與一個或多個環(huán)稠合。也包含在術語“芳基”范圍內(nèi)的,如本文所用,為芳香環(huán)與一個或多個非芳香環(huán)稠合的基團,如茚滿基,菲啶基或四氫萘基,其中所述自由基或附著點在芳香環(huán)上。
[0047]單獨或作為較大基團使用的一部分的術語“雜芳基”指有5-14個,優(yōu)選5-10個成員(members)的雜芳環(huán),其中一個或多個環(huán)碳原子,優(yōu)選1_4個,被雜原子例如N,0,或S各自取代。雜芳環(huán)的例子包括2-呋喃基,3-呋喃基,N-咪唑基,2-咪唑基,4-咪唑基,5-咪唑基,3-異噁唑基,4-異噁唑基,5-異噁唑基,2-噁二唑基,5-噁二唑基,2-噁唑基,4-噁唑基,5-噁唑基,1-吡咯基,2-吡咯基,3-吡咯基,1-吡唑基,3-吡唑基,4-吡唑基,2-吡啶基,3-吡啶基,4-吡啶基,2-嘧啶基,4-嘧啶基,5-嘧啶基,3-噠嗪基,2-噻唑基,4-噻唑基,5-噻唑基,5-四唑基,2-三唑基,5-三唑基,2-噻吩基,3-噻吩基,咔唑基,苯并咪唑基,苯并噻吩基,苯并呋喃基,吲哚基,喹啉基,苯并三唑基,苯并噻唑基,苯并噁唑基,苯并咪唑基,異喹啉基,吲唑基,異吲哚基,吖啶基,或苯并異噁唑基。也包含在術語“雜芳基”范圍內(nèi)的,如本文所用,為雜芳環(huán)與一個或多個芳香環(huán)或非芳香環(huán)稠合的基團,其中所述自由基或附著點在雜芳環(huán)上。實例包括四氫喹啉基,四氫異喹啉基,和吡啶并[3,4-d]嘧啶基。術語“雜芳基”可與術語“雜芳環(huán)”或術語“芳雜環(huán)”互換使用。
[0048]所述嵌段共聚物的實施方案可用于,例如光刻工藝。在嵌段共聚物的光刻技術中,由嵌段共聚物自組裝形成的聚合物掩模可在半導體器件的制造中作為刻蝕掩模。已知通過微相