本發(fā)明涉及具有特定雜芳基發(fā)色團(tuán)的新的肟衍生物、包含所述化合物的化學(xué)增幅型(chemicallyamplified)光致抗蝕劑組合物和所述化合物作為潛酸在堿溶性樹脂組合物中，尤其是用于顯示器應(yīng)用(例如絕緣層、液晶顯示器(lcd)、有機(jī)發(fā)光二極管(oled))的光致抗蝕劑配制劑中的用途。lcd器件、oled器件等安裝有圖案化層間絕緣膜。在形成該層間絕緣膜中，廣泛使用光敏性樹脂組合物，這是因?yàn)楂@得圖案形狀所需的步驟數(shù)少，且此外其產(chǎn)生足夠的平坦性。除固化膜物理特性如良好絕緣性、耐溶劑性、耐熱性、硬度和氧化銦錫(ito)濺鍍適用性以外，顯示設(shè)備中的層間絕緣膜仍需要具有高透明度。lcd和oled的背板中用于保持層間絕緣特征的絕緣層通過光刻通過使用包含堿溶性光致抗蝕劑、產(chǎn)生潛酸的化學(xué)增幅型催化劑和溶劑的正型或負(fù)型光致抗蝕劑制造。鈍化層中的接觸包(contacthall)通過曝光經(jīng)由圖案化掩模圖案化且例如在約230℃下烘烤。對(duì)于絕緣層，要求透明性、熱穩(wěn)定性、粘附性、殘余膜速率和儲(chǔ)存穩(wěn)定性。lcd和oled的平坦化層用于在彩色濾光片(cf)或電極上形成平坦表面。作為平坦化層的基底材料，通常使用丙烯酸和/或環(huán)氧樹脂。平坦化層通常通過例如在約230℃下加熱或與光刻隨后后烘烤過程組合來(lái)制造。對(duì)于平坦化層，要求透明性和特定絕緣特征。lcd和oled的保護(hù)層用于保護(hù)有色層且形成有色層的步驟的平坦表面。作為保護(hù)層的基底材料，通常使用丙烯酸系樹脂、三聚氰胺樹脂和聚酰亞胺樹脂。保護(hù)層通常通過例如在約200℃下加熱1小時(shí)制造。對(duì)于保護(hù)層，要求透明性、表面平坦性、粘附性和耐熱性。lcd的外涂層(overcoatlayer)用于平坦化彩色濾光片的表面，促進(jìn)液晶的取向且防止離子由cf溶離至液晶。外涂層使用基于丙烯酸酯樹脂和/或環(huán)氧樹脂的熱固性樹脂在彩色濾光片上通過例如在220℃下加熱30分鐘,或與光刻隨后后烘烤過程組合來(lái)制造。對(duì)于外涂層，要求熱穩(wěn)定性、耐光性、粘附性、硬度和透明性。對(duì)于本申請(qǐng)，已知通過光致抗蝕劑曝光產(chǎn)生潛酸的屬于鹽或肟磺酸酯的多種有機(jī)物質(zhì)作為光酸產(chǎn)生劑。然而，包含其的組合物通常存在與光敏性有關(guān)的困難。例如，us6017675公開寬范圍肟磺酸酯化化合物，尤其具有香豆素基發(fā)色團(tuán)的芳基磺酰基肟酯化合物。在us6512020和us6261738中，將單體和二聚肟衍生物描述為尤其適用于深uv范圍應(yīng)用的正型和負(fù)型光致抗蝕劑中的潛酸供體。在us20120045616a中，作為光敏性樹脂組合物中的酸產(chǎn)生化合物，公開具有含氮雜環(huán)發(fā)色團(tuán)部分的磺?；旷セ衔铩８鶕?jù)us20130171415a，肟基直接鍵于環(huán)的c-原子的光敏性化合物用作光敏性組合物中的酸產(chǎn)生組分。在形成電子顯示設(shè)備中，尤其是在形成絕緣層、彩色濾光片和微透鏡中，需要用于形成絕緣層等的輻射敏感性樹脂組合物具有高敏感性和高透射特性。就此而言，對(duì)作為所述輻射敏感性樹脂組合物的一部分的相應(yīng)酸產(chǎn)生化合物的挑戰(zhàn)還為提供相應(yīng)特性，即關(guān)于光敏性和尤其是透射性的相應(yīng)特性。已令人驚奇地發(fā)現(xiàn)，光敏性和透明性通過引入連接于肟部分的具有強(qiáng)吸電子基團(tuán)的香豆素基發(fā)色團(tuán)如全氟烷基或全氟芳基而顯著提高。因此，本發(fā)明的主題為一種式(i)化合物其中x為-o(co)-；r1為c1-c12鹵代烷基或c6-c10鹵代芳基；r2位于香豆素基環(huán)的7位且為or8；r2a、r2b和r2c彼此獨(dú)立地為氫；r3為c1-c8鹵代烷基或c1-c8烷基；r4為氫；和r8為c1-c6烷基。c1-c6烷基為直鏈或支化的且為例如c1-c4烷基。實(shí)例為甲基、乙基、丙基、異丙基、正丁基、仲丁基、異丁基、叔丁基、戊基或己基。c1-c12鹵代烷基為例如經(jīng)鹵素單取代或多取代的c1-c8、c1-c6或c1-c4烷基，其中c1-c8、c1-c6或c1-c4烷基例如如上文所定義。烷基例如經(jīng)單或多鹵化，至多所有h原子由鹵素交換。實(shí)例為氟甲基、三氟甲基、三氯甲基或2-氟丙基，尤其是三氟甲基或三氯甲基。c1-c12鹵代烷基為例如cf3、cmhf2m、cnf2n+1；其中n為整數(shù)2至8，例如2至6、2至4、2或3，且m為整數(shù)1至8，例如1至6、1至4、1至3、1或2。c6-c10鹵代芳基為例如經(jīng)一個(gè)或多個(gè)鹵素原子取代的芳族基團(tuán)。實(shí)例為經(jīng)一個(gè)或多個(gè)鹵素取代的苯基或萘基。苯基例如經(jīng)鹵素取代1至5次，例如一次、兩次或三次，尤其是一次或兩次。萘基例如經(jīng)鹵素取代1至7次，例如一次、兩次或三次，尤其是一次或兩次。鹵素為氟、氯、溴和碘，尤其是氟、氯和溴，優(yōu)選氟和氯，尤其是氟。香豆素基環(huán)的7位如下式中所示：本文的上下文中的術(shù)語(yǔ)“和/或”或“或/和”意欲表示不僅可存在所定義替代方案(取代基)中的一個(gè)，而且可一起存在所定義替代方案(取代基)中的數(shù)種，即不同替代方案(取代基)的混合物。術(shù)語(yǔ)“至少”意欲定義一個(gè)或一個(gè)以上，例如一個(gè)或兩個(gè)或三個(gè)，優(yōu)選一個(gè)或兩個(gè)。術(shù)語(yǔ)“任選地經(jīng)取代”意指所指基團(tuán)未經(jīng)取代或經(jīng)取代。術(shù)語(yǔ)“任選地間隔”意指不間隔或間隔。在整個(gè)本說明書和后續(xù)權(quán)利要求書中，除非上下文另有要求，否則詞語(yǔ)“包含”或變型如“包含(comprises/comprising)”應(yīng)理解為暗示包括所述整體或步驟或整體或步驟的組但不排除任何其他整體或步驟或整體或步驟的組。在本申請(qǐng)的上下文中，術(shù)語(yǔ)“(甲基)丙烯酸酯”意欲指丙烯酸酯以及相應(yīng)甲基丙烯酸酯。在本發(fā)明的上下文中，上文對(duì)于本發(fā)明化合物所示的優(yōu)選情況意欲指權(quán)利要求的所有類別，即還指化合物、組合物、用途、方法權(quán)利要求。應(yīng)理解，本發(fā)明不限于本文所公開的具體化合物、構(gòu)造、方法步驟、基材和材料，因?yàn)檫@些化合物、構(gòu)造、方法步驟、基材和材料可略微變化。還應(yīng)理解，本文所用的術(shù)語(yǔ)僅用于描述具體實(shí)施方案的目的且不為限制性的，因?yàn)楸景l(fā)明范圍僅由所附權(quán)利要求書及其等效物限制。必須注意，除非上下文另有明確規(guī)定，否則如本說明書和所附權(quán)利要求書中所用，單數(shù)形式“一(a)”、“一(an)”和“該”包括多個(gè)指示物。若不此外定義，則本文中所用的任何術(shù)語(yǔ)和科學(xué)術(shù)語(yǔ)具有本發(fā)明所屬領(lǐng)域技術(shù)人員通常所理解的含義。在整個(gè)說明書和權(quán)利要求書中與數(shù)值結(jié)合使用的術(shù)語(yǔ)“約”表示本領(lǐng)域熟練技術(shù)人員熟悉且可接受的精確度的區(qū)間。所述區(qū)間為+/-10％。式(i)、(iia)或(iib)的化合物的描述可能合適的是如下化合物：其中x為-o(co)-、-nr7(co)-、nr7、o或s；y為nr7、o或s；r1為c1-c12鹵代烷基或c6-c10鹵代芳基；r2、r2a、r2b和r2c彼此獨(dú)立地為氫、c1-c12烷基、or8、sr9、nr10r11、o(co)r8，或r2、r2a、r2b和r2c彼此獨(dú)立地為苯基、經(jīng)一個(gè)或多個(gè)如下基團(tuán)取代的苯基：c1-c8烷基、c1-c8鹵代烷基、c2-c8鏈烯基、鹵素、or8、sr9、nr10r11或間隔有一個(gè)或多個(gè)非連續(xù)o、s、(co)o或o(co)的c2-c8烷基；或r2表示基團(tuán)-cr12＝cr13-cr14＝cr15-，其連接于苯環(huán)的r2所鍵合的c原子；r3為c1-c8烷基、c1-c8鹵代烷基、c2-c8鏈烯基或間隔有一個(gè)或多個(gè)非連續(xù)o、s、(co)o或o(co)的c2-c8烷基；r4、r5和r6彼此獨(dú)立地為氫、c1-c20烷基、c1-c8鹵代烷基、苯基-c1-c4烷基、未經(jīng)取代的苯基或經(jīng)一個(gè)或多個(gè)如下基團(tuán)取代的苯基：c1-c8烷基、c1-c8鹵代烷基、c2-c8鏈烯基、鹵素、or8、sr9、nr10r11或間隔有一個(gè)或多個(gè)非連續(xù)o、s、(co)o或o(co)的c2-c8烷基；r7為c1-c12烷基、苯基-c1-c4烷基、苯基、經(jīng)一個(gè)或多個(gè)如下基團(tuán)取代的苯基：c1-c8烷基、c1-c8鹵代烷基、鹵素、c2-c8鏈烯基、or8、sr9、nr10r11或間隔有一個(gè)或多個(gè)非連續(xù)o、s、(co)o或o(co)的c2-c8烷基；r8為c1-c12烷基或間隔有一個(gè)或多個(gè)非連續(xù)o、s、(co)o、o(co)的c2-c12烷基，或r8為c3-c12環(huán)烷基、間隔有一個(gè)或多個(gè)o的c3-c12環(huán)烷基、c3-c12環(huán)烷基-c1-c12烷基、間隔有一個(gè)或多個(gè)o的c3-c12環(huán)烷基-c1-c12烷基，其中間隔的o-原子可間隔二者，該基團(tuán)的環(huán)烷基以及烷基部分，或r8為苯基、經(jīng)一個(gè)或多個(gè)如下基團(tuán)取代的苯基：c1-c8烷基、c1-c8鹵代烷基、c2-c8鏈烯基、鹵素、sr9、nr10r11、c1-c12烷氧基、苯氧基或間隔有一個(gè)或多個(gè)非連續(xù)o、s、(co)o或o(co)的c2-c8烷基；r9為c1-c12烷基或間隔有一個(gè)或多個(gè)非連續(xù)o、s、coo、oco的c2-c12烷基，或r9為c3-c12環(huán)烷基、間隔有一個(gè)或多個(gè)o的c3-c12環(huán)烷基、c3-c12環(huán)烷基-c1-c12烷基、間隔有一個(gè)或多個(gè)o的c3-c12環(huán)烷基-c1-c12烷基，其中間隔的o-原子可間隔二者，該基團(tuán)的環(huán)烷基以及烷基部分，或r9為苯基、經(jīng)一個(gè)或多個(gè)如下基團(tuán)取代的苯基：c1-c8烷基、c1-c8鹵代烷基、c2-c8鏈烯基、鹵素、or8、c1-c12烷硫基、苯硫基、nr10r11或間隔有一個(gè)或多個(gè)非連續(xù)o、s、(co)o或o(co)的c2-c8烷基；r10和r11彼此獨(dú)立地為氫、苯基-c1-c4烷基、c1-c12烷基、間隔有一個(gè)或多個(gè)非連續(xù)o、s、(co)o或o(co)的c2-c12烷基；r12、r13、r14和r15彼此獨(dú)立地為氫、c1-c8烷基、鹵素、or8、sr9或nr10r11。式i[和下示的式(ia)]的肟磺酸酯通過文獻(xiàn)中所述的方法，例如通過在惰性溶劑(例如叔丁基甲基醚、四氫呋喃(thf)、二甲氧基乙烷、二甲基乙酰胺(dma)或二甲基甲酰胺)中，在堿或堿混合物(例如三甲胺、吡啶或2,6-二甲基吡啶)存在下，或在堿性溶劑(例如吡啶)中使相應(yīng)肟與磺?；u化物，尤其是氯化物或酸酐反應(yīng)來(lái)制備。在下文中，作為實(shí)例，描述式(i)化合物的制備：r1、r2、r2a、r2b、r3、r4和x具有上文所提供的含義。hal意指鹵素原子，尤其是cl。r3優(yōu)選為正丙基或三氟甲基。該類反應(yīng)為本領(lǐng)域熟練技術(shù)人員所熟知且通常在-15至+50℃，優(yōu)選0至25℃的溫度下進(jìn)行。各肟磺酸酯基團(tuán)可存在兩種構(gòu)型，(z)或(e)?？赏ㄟ^常規(guī)方法分離異構(gòu)體，但還可原樣使用異構(gòu)體混合物作為光酸產(chǎn)生物質(zhì)。因此，本發(fā)明還涉及式(i)化合物的構(gòu)型異構(gòu)體的混合物或式(iia)化合物的構(gòu)型異構(gòu)體的混合物或式(iib)化合物的構(gòu)型異構(gòu)體的混合物。作為起始物質(zhì)必需的肟可通過標(biāo)準(zhǔn)化學(xué)教科書中(例如j.march，advancedorganicchemistry，第4版，wileyinterscience，1992中)或?qū)Ｕ?例如s.r.sandler和w.karo，organicfunctionalgrouppreparations，第3卷，academicpress)中所述的多種方法獲得。一種最方便的方法為例如醛或酮與羥胺或其鹽在極性溶劑(如dma、dma水溶液、乙醇或乙醇水溶液)中反應(yīng)。在該情況下，可添加堿(例如乙酸鈉或吡啶)以控制反應(yīng)混合物的ph值。熟知反應(yīng)速率依賴于ph值，且可在開始時(shí)添加堿或在反應(yīng)期間連續(xù)添加堿。堿性溶劑(例如吡啶)還可用作堿和/或溶劑或共溶劑。反應(yīng)溫度通常為室溫至混合物的回流溫度，通常約20-120℃。帶有香豆素基團(tuán)的相應(yīng)酮中間體例如通過dyesandpigments91(2011)309-316中所述的方法制備。該類反應(yīng)為本領(lǐng)域熟練技術(shù)人員所熟知。本發(fā)明化合物的香豆素基體例如通過如下制備：使酚醛與相應(yīng)二酮反應(yīng)隨后形成肟且將所述肟酯化x為-o(co)-，且r2位于肟基的對(duì)位。因此，式(i)化合物具有以下結(jié)構(gòu)(ia)，其中r1、r2和r3具有如上文所列的定義。因此，本發(fā)明的主題還為式(i)化合物，其具有式(ia)其中r1、r2和r3具有如上文所列的定義。r1為c1-c12鹵代烷基或c6-c10鹵代芳基；尤其如上文所定義的c1-c12鹵代烷基。r2為or8，尤其是oc1-c4烷基，優(yōu)選甲氧基。r8例如為c1-c4烷基，尤其是甲基。優(yōu)選為如上文所定義的式(ia)化合物，其中r1為c1-c4鹵代烷基，尤其是cf3；r2為or8；r3為c1-c4鹵代烷基或c1-c4烷基，尤其是ch3或cf3；和r8為c1-c4烷基，尤其是甲基。尤其關(guān)注式(ia)化合物。優(yōu)選為式(ia)化合物，其為式(i)和(ia)的化合物可用作光敏性酸供體。因此，關(guān)注如下組合物，其包含(a)在酸作用后固化的化合物或在酸作用后溶解性提高的化合物；和(b)至少一種如上所述的式(i)和(ia)的化合物。式(i)和(ia)的化合物可用作光敏性樹脂組合物中的光敏性酸供體。其任選地還充當(dāng)在酸作用后溶解性提高的化合物，即作為如上文所定義的組分(a)的一部分。光敏性樹脂組合物體系可通過包含式(i)或(ia)的化合物的體系的成圖象輻照和隨后的顯影步驟來(lái)制備。因此，本發(fā)明涉及一種化學(xué)增幅型光敏性樹脂組合物，其包含(a)在酸作用后固化的化合物；或在酸作用后溶解性提高的化合物；和(b)作為光敏性酸供體的至少一種如上文所定義的式(i)或(ia)的化合物?；瘜W(xué)增幅型光敏性樹脂組合物應(yīng)理解為一種光敏性樹脂組合物，其中輻射敏感性組分提供催化量的酸，其隨后催化光敏性樹脂組合物的至少一種酸敏感性組分的化學(xué)反應(yīng)。結(jié)果為誘導(dǎo)光敏性樹脂組合物的輻照區(qū)與非輻照區(qū)之間的溶解性差異。由于該方法的催化性質(zhì)，一個(gè)酸分子在其經(jīng)由反應(yīng)性聚合物基質(zhì)由一個(gè)反應(yīng)位點(diǎn)擴(kuò)散至下一個(gè)反應(yīng)位點(diǎn)時(shí)可觸發(fā)多位點(diǎn)的反應(yīng)，只要其不會(huì)由任何次級(jí)反應(yīng)截留或毀壞。因此，小酸濃度足以誘導(dǎo)暴露與未暴露區(qū)之間的高溶解性差異。因此，僅需要小濃度的潛酸化合物。因而，可配制在光學(xué)成圖象的暴露波長(zhǎng)下具有高對(duì)比度和高透明性的光敏性樹脂組合物，其又以高光敏性產(chǎn)生陡峭垂直圖象輪廓。然而，由于該催化方法，需要潛酸催化劑是非?；瘜W(xué)和熱穩(wěn)定性的(在不輻照期間)以在儲(chǔ)存期間或加工期間不產(chǎn)生酸，該方法在大多數(shù)情況下需要暴露后烘烤步驟以起始催化反應(yīng)或完成催化反應(yīng)，從而使溶解性不同。還需要潛在催化劑在液體配制劑和固體膜中具有良好溶解性以避免任何顆粒產(chǎn)生，這會(huì)干擾這些光敏性樹脂組合物在微電子制造方法中的應(yīng)用。相比之下，不基于化學(xué)增幅機(jī)理的正型光敏性樹脂組合物(即光致抗蝕劑)材料必須含有高濃度潛酸，因?yàn)閮H在暴露下由潛酸產(chǎn)生的酸濃度導(dǎo)致暴露區(qū)在堿性顯影劑中的溶解性提高。因?yàn)樾∷釢舛葍H對(duì)該類光致抗蝕劑的溶解速率的變化具有極小作用，且通常反應(yīng)在未經(jīng)本文的暴露后烘烤下進(jìn)行，對(duì)潛酸的化學(xué)和熱穩(wěn)定性的要求不如化學(xué)增幅型正型光敏性樹脂組合物苛刻。這些光致抗蝕劑還需要高得多的暴露劑量來(lái)產(chǎn)生足夠酸以在暴露區(qū)中在堿性顯影劑中實(shí)現(xiàn)足夠的溶解性，且具有相對(duì)低的光學(xué)透明性(由于需要高濃度的潛酸)，因此還具有較低分辨率和傾斜圖象。因此，基于非化學(xué)增幅型技術(shù)的抗蝕劑組合物的光敏性、分辨率和圖象質(zhì)量比化學(xué)增幅型光敏性樹脂組合物差。由上文顯而易見，潛在催化劑的化學(xué)和熱穩(wěn)定性對(duì)于化學(xué)增幅型光敏性樹脂組合物至關(guān)重要，且可適用于非化學(xué)增幅型光敏性樹脂組合物的潛酸由于不同酸擴(kuò)散要求、酸濃度要求以及熱和化學(xué)穩(wěn)定性要求而未必適用于化學(xué)增幅型光敏性樹脂組合物。輻照期間或之后由于光敏性樹脂組合物材料的酸催化的反應(yīng)產(chǎn)生的輻照與非輻照區(qū)段之間的光敏性樹脂組合物溶解性差異可具有兩種類型，取決于這些類型，光敏性樹脂組合物中存在其他組分。若本發(fā)明的組合物包含輻照后提高組合物于顯影劑中的溶解性的組分，則光敏性樹脂組合物為正型。因此，本發(fā)明涉及一種化學(xué)增幅型光敏性樹脂組合物，其為正型。另一方面，若配制劑的組分在輻照后降低組合物的溶解性，則光敏性樹脂組合物為負(fù)型。因此，本發(fā)明還涉及一種化學(xué)增幅型光敏性樹脂組合物，其為負(fù)型。如下單體或聚合化合物在下文中稱為溶解抑制劑，其在未暴露區(qū)域中降低配制劑中額外存在的堿溶性粘合劑樹脂的溶解速率，且在未暴露區(qū)中基本上為堿不溶性，使得在堿溶液中顯影后所涂覆膜保留于未暴露區(qū)中，但在酸存在下裂解或能夠重排以使得其反應(yīng)產(chǎn)物變得可溶于堿性顯影劑。本發(fā)明包括一種化學(xué)增幅型正型堿可顯影光敏性樹脂組合物作為具體實(shí)施方案，其包含(a1)至少一種具有酸不穩(wěn)定基團(tuán)的聚合物，該基團(tuán)在酸存在下分解且提高暴露區(qū)中所涂覆膜于堿性顯影劑水溶液中的溶解性，和(b)至少一種式(i)或(ia)的化合物。本發(fā)明的另一實(shí)施方案為一種化學(xué)增幅型正型堿可顯影光敏性樹脂組合物，其包含(a2)至少一種具有至少一種酸不穩(wěn)定基團(tuán)的單體或低聚溶解抑制劑，該酸不穩(wěn)定基團(tuán)在酸存在下分解且提高于堿性顯影劑水溶液和至少一種堿溶性聚合物中的溶解性，和(b)至少一種式(i)或(ia)的化合物。本發(fā)明另一具體實(shí)施方案在于一種化學(xué)增幅型正型堿可顯影光敏性樹脂組合物，其包含(a1)至少一種具有酸不穩(wěn)定基團(tuán)的聚合物，該酸不穩(wěn)定基團(tuán)在酸存在下分解且提高暴露區(qū)中于堿性顯影劑中的溶解性；(a2)具有至少一種酸不穩(wěn)定基團(tuán)的單體或低聚溶解抑制劑，該酸不穩(wěn)定基團(tuán)在酸存在下分解且提高暴露區(qū)中的堿溶解性；(a3)一定濃度的堿溶性單體、低聚或聚合化合物，其仍使未暴露區(qū)中所涂覆膜保持基本上不溶于堿性顯影劑中，和(b)至少一種式(i)或(ia)的化合物。因此，本發(fā)明涉及一種化學(xué)增幅型光敏性樹脂組合物，其包含(a1)至少一種具有酸不穩(wěn)定基團(tuán)的聚合物，該酸不穩(wěn)定基團(tuán)在酸存在下分解以提高于堿性顯影劑水溶液中的溶解性，和/或(a2)至少一種具有酸不穩(wěn)定基團(tuán)的單體或低聚溶解抑制劑，該酸不穩(wěn)定基團(tuán)在酸存在下分解以提高于堿性顯影劑水溶液中的溶解性，和/或(a3)至少一種堿溶性單體、低聚或聚合化合物；和(b)作為光敏性酸供體的至少一種式(i)或(ia)的化合物。除組分(b)以外，組合物可包含其他光敏性酸供體和/或(c)其他添加劑。該類化學(xué)增幅型正型光敏性樹脂組合物(即光致抗蝕劑)體系例如描述于e.reichmanis，f.m.houlihan，o.nalamasu，t.x.neenan，chem.mater.1991，3，394；或c.g.willson，“introductiontomicrolithography”，第2版；l.s.thompson，c.g.willson，m.j.bowden編輯，amer.chem.soc.，washingtondc，1994，第139頁(yè)中。在酸存在下分解產(chǎn)生芳族羥基、羧基、酮基和醛基且提高于堿性顯影劑水溶液中的溶解性的酸不穩(wěn)定基團(tuán)的合適實(shí)例為例如烷氧基烷基醚基團(tuán)、四氫呋喃基醚基團(tuán)、四氫吡喃基醚基團(tuán)、叔烷基酯基團(tuán)、三芐基醚基團(tuán)、甲硅烷基醚基團(tuán)、烷基碳酸酯基團(tuán)如叔丁氧基羰氧基-、三芐基酯基團(tuán)、甲硅烷基酯基團(tuán)、烷氧基甲基酯基團(tuán)、枯基酯基團(tuán)、縮醛基團(tuán)、縮酮基團(tuán)、四氫吡喃基酯基團(tuán)、四氫呋喃基酯基團(tuán)、叔烷基醚基團(tuán)、叔烷基酯基團(tuán)等。該類基團(tuán)的實(shí)例包括烷基酯如甲基酯與叔丁基酯，縮醛型酯如甲氧基甲基酯、乙氧基甲基酯、1-乙氧基乙基酯、1-異丁氧基乙基酯、1-異丙氧基乙基酯、1-乙氧基丙基酯、1-(2-甲氧基乙氧基)乙基酯、1-(2-乙酰氧基乙氧基)乙基酯、1-[2-(1-金剛烷基氧基)乙氧基]乙基酯、1-[2-(1-金剛烷基羰基氧基)乙氧基]乙基酯、四氫-2-呋喃基酯和四氫-2-吡喃基酯，以及脂環(huán)族酯如異冰片基酯。可并入本發(fā)明的正型光敏性樹脂組合物中的具有如下官能團(tuán)的聚合物可在其主鏈和/或側(cè)鏈中，優(yōu)選在其側(cè)鏈中具有酸不穩(wěn)定基團(tuán)，該官能團(tuán)能夠通過酸的作用分解以提高包含該聚合物的所涂覆膜在堿性顯影溶液中的溶解性。適用于本發(fā)明的具有酸不穩(wěn)定基團(tuán)的聚合物可通過如下聚合物類似反應(yīng)獲得，其中堿溶性基團(tuán)部分或完全轉(zhuǎn)化為相應(yīng)酸不穩(wěn)定基團(tuán)，或通過已連接有酸不穩(wěn)定基團(tuán)的單體(共)聚合直接轉(zhuǎn)化，例如如ep254853、ep878738、ep877293、jp02-025850a、jp03-223860a和jp04251259a中所公開。聚合物主鏈側(cè)位具有酸不穩(wěn)定基團(tuán)的聚合物在本發(fā)明中優(yōu)選為具有例如在相對(duì)低暴露后烘烤溫度(通常室溫至110℃)下完全裂解的硅烷基醚、縮醛、縮酮和烷氧基烷基酯基團(tuán)(稱為“低活化能封閉基(blockinggroup)”)的聚合物，和具有例如需要較高烘烤溫度(通常>110℃)或無(wú)需任何后暴露方法的叔丁基酯基或叔丁氧基羰基(tboc)或含有緊鄰于酯鍵的氧原子的仲或叔碳原子的其他酯基(稱為“高活化能封閉基”)的聚合物，尤其是在應(yīng)用于隔離層、層間介電膜、鈍化層、平坦化層、保護(hù)層、外涂層、顯示設(shè)備(例如電致發(fā)光顯示器和液晶顯示器(lcd))的儲(chǔ)存單元的情況下，以在酸存在下完成解封反應(yīng)。還可使用混合體系，其中高活化能封閉基以及低活化能封閉基均存在于一種聚合物內(nèi)。作為替換，各自利用不同封閉基化學(xué)的聚合物的聚合物共混物可用于本發(fā)明的光敏性正型組合物。具有酸不穩(wěn)定基團(tuán)的優(yōu)選聚合物為包含以下不同單體類型的聚合物和共聚物：1)含有酸不穩(wěn)定基團(tuán)的單體，該酸不穩(wěn)定基團(tuán)在酸存在下分解以提高于堿性顯影劑水溶液中的溶解性，和2)不含酸不穩(wěn)定基團(tuán)且不含有助于堿溶性的基團(tuán)的單體，和/或3)有助于聚合物的堿水溶液溶解性的單體。應(yīng)注意，在用聚合物類似反應(yīng)獲得的聚合物的情況下，下文的單體意指重復(fù)構(gòu)成單元，其中堿溶性基團(tuán)部分或完全轉(zhuǎn)化為相應(yīng)酸不穩(wěn)定基團(tuán)。類型1)的單體的實(shí)例為：非環(huán)狀或環(huán)狀(甲基)丙烯酸仲烷基酯和(甲基)丙烯酸叔烷基酯，例如丙烯酸丁基酯(包括丙烯酸叔丁基酯)、甲基丙烯酸丁基酯(包括甲基丙烯酸叔丁基酯)、(甲基)丙烯酸3-氧代環(huán)己基酯、(甲基)丙烯酸四氫吡喃基酯、(甲基)丙烯酸2-甲基-金剛烷基酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己基酯、(甲基)丙烯酸降冰片基酯、(2-四氫吡喃基)氧基降冰片醇丙烯酸酯、(2-四氫吡喃基)氧基甲基三環(huán)十二烷甲醇甲基丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸三甲基甲硅烷基甲基酯、(2-四氫吡喃基)氧基降冰片醇丙烯酸酯、(2-四氫吡喃基)氧基甲基三環(huán)十二烷甲醇甲基丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸三甲基甲硅烷基甲基酯、鄰/間/對(duì)(3-氧代環(huán)己氧基)苯乙烯、鄰/間/對(duì)(1-甲基-1-苯基乙氧基)苯乙烯、鄰/間/對(duì)四氫吡喃氧基苯乙烯、鄰/間/對(duì)金剛烷氧基苯乙烯、鄰/間/對(duì)環(huán)己氧基苯乙烯、鄰/間/對(duì)降冰片氧基苯乙烯；非環(huán)狀或環(huán)狀烷氧羰基苯乙烯如鄰/間/對(duì)丁氧羰基苯乙烯(包括對(duì)叔丁氧羰基苯乙烯)、鄰/間/對(duì)(3-氧代環(huán)己氧羰基)苯乙烯、鄰/間/對(duì)(1-甲基-1-苯基乙氧羰基)苯乙烯、鄰/間/對(duì)四氫吡喃氧基羰基苯乙烯、鄰/間/對(duì)金剛烷氧基羰基苯乙烯、鄰/間/對(duì)環(huán)己氧基羰基苯乙烯、鄰/間/對(duì)降冰片氧基羰基苯乙烯；非環(huán)狀或環(huán)狀烷氧基羰氧基苯乙烯如鄰/間/對(duì)丁氧基羰氧基苯乙烯(包括對(duì)叔丁氧基羰氧基苯乙烯)、鄰/間/對(duì)(3-氧代環(huán)己氧基羰氧基)苯乙烯、鄰/間/對(duì)(1-甲基-1-苯基乙氧基羰氧基)苯乙烯、鄰/間/對(duì)四氫吡喃氧基羰氧基苯乙烯、鄰/間/對(duì)金剛烷氧基羰氧基苯乙烯、鄰/間/對(duì)環(huán)己氧基羰氧基苯乙烯、鄰/間/對(duì)降冰片氧基羰氧基苯乙烯；非環(huán)狀或環(huán)狀烷氧基羰基烷氧基苯乙烯如鄰/間/對(duì)丁氧基羰基甲氧基苯乙烯、對(duì)叔丁氧基羰基甲氧基苯乙烯、鄰/間/對(duì)(3-氧代環(huán)己氧基羰基甲氧基)苯乙烯、鄰/間/對(duì)(1-甲基-1-苯基乙氧基羰基甲氧基)苯乙烯、鄰/間/對(duì)四氫吡喃氧基羰基甲氧基苯乙烯、鄰/間/對(duì)金剛烷氧基羰基甲氧基苯乙烯、鄰/間/對(duì)環(huán)己氧基羰基甲氧基苯乙烯、鄰/間/對(duì)降冰片氧基羰基甲氧基苯乙烯；三甲基甲硅烷氧基苯乙烯、二甲基(丁基)硅烷氧基苯乙烯；不飽和乙酸烷基酯如乙酸異丙烯酯及其衍生物。帶有低活化能酸不穩(wěn)定基團(tuán)的類型1)單體包括例如對(duì)或間(1-甲氧基-1-甲基乙氧基)-苯乙烯、對(duì)或間(1-甲氧基-1-甲基乙氧基)-甲基苯乙烯、對(duì)或間(1-甲氧基-1-甲基丙氧基)苯乙烯、對(duì)或間(1-甲氧基-1-甲基丙氧基)-甲基苯乙烯、對(duì)或間(1-甲氧基乙氧基)-苯乙烯、對(duì)或間(1-甲氧基乙氧基)-甲基苯乙烯、對(duì)或間(1-乙氧基-1-甲基乙氧基)苯乙烯、對(duì)或間(1-乙氧基-1-甲基乙氧基)-甲基苯乙烯、對(duì)或間(1-乙氧基-1-甲基丙氧基)苯乙烯、對(duì)或間(1-乙氧基-1-甲基丙氧基)-甲基苯乙烯、對(duì)或間(1-乙氧基乙氧基)苯乙烯、對(duì)或間(1-乙氧基乙氧基)-甲基苯乙烯、對(duì)(1-乙氧基苯基-乙氧基)苯乙烯、對(duì)或間(1-正丙氧基-1-甲基乙氧基)苯乙烯、對(duì)或間(1-正丙氧基-1-甲基乙氧基)-甲基苯乙烯、對(duì)或間(1-正丙氧基乙氧基)苯乙烯、對(duì)或間(1-正丙氧基乙氧基)-甲基苯乙烯、對(duì)或間(1-異丙氧基-1-甲基乙氧基)苯乙烯、對(duì)或間(1-異丙氧基-1-甲基乙氧基)-甲基苯乙烯、對(duì)或間(1-異丙氧基乙氧基)苯乙烯、對(duì)或間(1-異丙氧基乙氧基)-甲基苯乙烯、對(duì)或間(1-異丙氧基-1-甲基丙氧基)苯乙烯、對(duì)或間(1-異丙氧基-1-甲基丙氧基)-甲基苯乙烯、對(duì)或間(1-異丙氧基丙氧基)苯乙烯、對(duì)或間(1-異丙氧基丙氧基)-甲基苯乙烯、對(duì)或間(1-正丁氧基-1-甲基乙氧基)苯乙烯、對(duì)或間(1-正丁氧基乙氧基)苯乙烯、對(duì)或間(1-異丁氧基-1-甲基乙氧基)苯乙烯、對(duì)或間(1-叔丁氧基-1-甲基乙氧基)苯乙烯、對(duì)或間(1-正戊氧基-1-甲基乙氧基)苯乙烯、對(duì)或間(1-異戊氧基-1-甲基乙氧基)苯乙烯、對(duì)或間(1-正己氧基-1-甲基乙氧基)苯乙烯、對(duì)或間(1-環(huán)己氧基-1-甲基乙氧基)苯乙烯、對(duì)或間(1-三甲基甲硅烷基氧基-1-甲基乙氧基)苯乙烯、對(duì)或間(1-三甲基甲硅烷基氧基-1-甲基乙氧基)-甲基苯乙烯、對(duì)或間(1-苯甲氧基-1-甲基乙氧基)苯乙烯、對(duì)或間(1-苯甲氧基-1-甲基乙氧基)-甲基苯乙烯、對(duì)或間(1-甲氧基-1-甲基乙氧基)苯乙烯、對(duì)或間(1-甲氧基-1-甲基乙氧基)-甲基苯乙烯、對(duì)或間(1-三甲基甲硅烷基氧基-1-甲基乙氧基)苯乙烯、對(duì)或間(1-三甲基甲硅烷基氧基-1-甲基乙氧基)-甲基苯乙烯和(甲基)丙烯酸酯，例如甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯、丙烯酸1-乙氧基乙基酯、甲基丙烯酸1-甲氧基乙基酯、丙烯酸1-甲氧基乙基酯、甲基丙烯酸1-正丁氧基乙基酯、丙烯酸1-正丁氧基乙基酯、甲基丙烯酸1-異丁氧基乙基酯、丙烯酸1-異丁氧基乙基酯、甲基丙烯酸1-(2-氯己基乙氧基)乙基酯、丙烯酸1-(2-氯己基乙氧基)乙基酯、甲基丙烯酸1-(2-乙基己氧基)乙基酯、丙烯酸1-(2-乙基己氧基)乙基酯、甲基丙烯酸1-正丙氧基乙基酯、丙烯酸1-正丙氧基乙基酯、甲基丙烯酸1-環(huán)己氧基乙基酯、丙烯酸1-環(huán)己氧基乙基酯、甲基丙烯酸1-(2-環(huán)己基乙氧基)乙基酯、丙烯酸1-(2-環(huán)己基乙氧基)乙基酯、甲基丙烯酸1-苯甲氧基乙基酯和丙烯酸1-苯甲氧基乙基酯、甲基丙烯酸四氫-2h-吡喃-2-基酯、丙烯酸四氫-2h-吡喃-2-基酯、甲基丙烯酸四氫呋喃-2-基酯和丙烯酸四氫呋喃-2-基酯。具有烷氧基烷基酯酸不穩(wěn)定基團(tuán)的聚合物的其他實(shí)例提供于us5225316和ep829766中。具有縮醛封閉基的聚合物的實(shí)例提供于us5670299、ep780732、us5627006、us5558976、us5558971、us5468589、ep704762、ep762206、ep342498、ep553737中且描述于acssymp.ser.614，microelectronicstechnology，第35-55頁(yè)(1995)和j.photopolymersci.technol.第10卷，第4期(1997)，第571-578頁(yè)中。本發(fā)明中所用的聚合物不限于此。關(guān)于具有縮醛基團(tuán)作為酸不穩(wěn)定基團(tuán)的聚合物，可例如如以下文獻(xiàn)所述并入酸不穩(wěn)定交聯(lián)：h.-t.schacht，p.falcigno，n.muenzel，r.schulz和a.medina，acssymp.ser.706(micro-andnanopatterningpolymers)，第78-94頁(yè)，1997；h.-t.schacht，n.muenzel，p.falcigno，h.holzwarth和j.schneider，j.photopolymerscienceandtechnology，第9卷，(1996)，573-586。出于所產(chǎn)生圖案的耐熱性的觀點(diǎn)，優(yōu)選該交聯(lián)體系。具有高活化能酸不穩(wěn)定基團(tuán)的單體為例如對(duì)叔丁氧基羰氧基苯乙烯、丙烯酸叔丁基酯、甲基丙烯酸叔丁基酯、甲基丙烯酸2-甲基-2-金剛烷基酯、甲基丙烯酸異冰片烷基酯。適用于arf抗蝕劑技術(shù)的類型1)單體尤其包括例如丙烯酸2-甲基-2-金剛烷基酯、丙烯酸2-乙基-2-金剛烷基酯、丙烯酸2-正丁基-2-金剛烷基酯、甲基丙烯酸2-正丁基-2-金剛烷基酯、甲基丙烯酸2-甲基-2-金剛烷基酯、甲基丙烯酸2-乙基-2-金剛烷基酯、甲基丙烯酸2-(1-金剛烷基)異丙基酯、丙烯酸2-(1-金剛烷基)異丙基酯、甲基丙烯酸2-(1-金剛烷基)異丁基酯、丙烯酸2-(1-金剛烷基)異丁基酯、甲基丙烯酸叔丁基酯、丙烯酸叔丁基酯、甲基丙烯酸1-甲基環(huán)己基酯、丙烯酸1-甲基環(huán)己基酯、甲基丙烯酸1-乙基環(huán)己基酯、丙烯酸1-乙基環(huán)己基酯、甲基丙烯酸1-(正丙基)環(huán)己基酯、丙烯酸1-(正丙基)環(huán)己基酯、四氫-2-甲基丙烯酰氧基-2h-吡喃和四氫-2-丙烯酰氧基-2h-吡喃。包含酸不穩(wěn)定金剛烷基結(jié)構(gòu)部分的其他單體公開于jp2002-265530a、jp2002-338627a、jp2002-169290a、jp2002-241442a、jp2002-145954a、jp2002-275215a、jp2002-156750a、jp2002-268222a、jp2002-169292a、jp2002-162745a、jp2002-301161a、wo02/06901a2、jp2002-311590a、jp2002-182393a、jp2002-371114a、jp2002-162745a中。適用于arf抗蝕劑技術(shù)的具有酸不穩(wěn)定基團(tuán)的特定烯烴例如如jp2002-308938a、jp2002-308869a、jp2002-206009a、jp2002-179624a、jp2002-161116a中所示。類型2)共聚單體的實(shí)例為：芳族乙烯基單體，例如苯乙烯、α-甲基苯乙烯、乙酰氧基苯乙烯、α-甲基亞萘基、苊；乙烯基脂環(huán)族化合物，例如乙烯基降冰片烷、乙烯基金剛烷、乙烯基環(huán)己烷；(甲基)丙烯酸烷基酯，例如甲基丙烯酸甲基酯；(甲基)丙烯腈；乙烯基環(huán)己烷；乙烯基環(huán)己醇；衣康酸酐以及馬來(lái)酸酐。包括官能結(jié)構(gòu)部分(例如縮水甘油基、氧雜環(huán)丁烷等)的可自由基聚合單體也優(yōu)選作為類型2)共聚單體。優(yōu)選(甲基)丙烯酸酯，例如丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、α-乙基丙烯酸縮水甘油酯、α-正丙基丙烯酸縮水甘油酯、α-正丁基丙烯酸縮水甘油酯、丙烯酸3,4-環(huán)氧基丁基酯、甲基丙烯酸3,4-環(huán)氧基丁基酯、丙烯酸4,5-環(huán)氧基戊基酯、甲基丙烯酸4,5-環(huán)氧基戊基酯、丙烯酸6,7-環(huán)氧基庚基酯、α-乙基丙烯酸6,7-環(huán)氧基庚基酯和甲基丙烯酸6,7-環(huán)氧基庚基酯；乙烯基芐基縮水甘油醚，例如鄰乙烯基芐基縮水甘油醚、間乙烯基芐基縮水甘油醚、對(duì)乙烯基芐基縮水甘油醚、α-甲基-鄰乙烯基芐基縮水甘油醚、α-甲基-間乙烯基芐基縮水甘油醚和α-甲基-對(duì)乙烯基芐基縮水甘油醚；對(duì)乙烯基苯基縮水甘油醚；丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯；和甲基丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯。在這些中，優(yōu)選丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、對(duì)乙烯基苯基縮水甘油醚、丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯和甲基丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯，更優(yōu)選丙烯酸縮水甘油酯和甲基丙烯酸縮水甘油酯。此外，優(yōu)選含氧雜環(huán)丁烷的(甲基)丙烯酸酯(例如丙烯酸(3-苯基-3-氧雜環(huán)丁烷基)甲基酯、甲基丙烯酸(3-苯基-3-氧雜環(huán)丁烷基)甲基酯、丙烯酸(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基)甲基酯、甲基丙烯酸(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基)甲基酯)。此外，具有氧雜環(huán)丁烷基作為官能團(tuán)的構(gòu)成單元可使用如下化合物形成，其中具有環(huán)氧基作為官能團(tuán)的化合物的那些具體實(shí)例中的環(huán)氧基經(jīng)氧雜環(huán)丁烷基替換。適用于arf抗蝕劑技術(shù)的類型2)共聚單體尤其包括例如α-丙烯酰氧基-γ-丁內(nèi)酯、α-甲基丙烯酰氧基-γ-丁內(nèi)酯、α-丙烯酰氧基-β,β-二甲基-γ-丁內(nèi)酯、α-甲基丙烯酰氧基-β,β-二甲基-γ-丁內(nèi)酯、α-丙烯酰氧基-α-甲基-γ-丁內(nèi)酯、α-甲基丙烯酰氧基-α-甲基-γ-丁內(nèi)酯、β-丙烯酰氧基-γ,β-甲基丙烯酰氧基-α-甲基-γ-丁內(nèi)酯、5-丙烯酰氧基-2,6-降冰片烷甲內(nèi)酯、5-甲基丙烯酰氧基-2,6-降冰片烷甲內(nèi)酯、2-降冰片烯、5-降冰片烯-2-甲酸甲基酯、5-降冰片烯-2-甲酸叔丁基酯、5-降冰片烯-2-甲酸1-環(huán)己基-1-甲基乙基酯、5-降冰片烯-2-甲酸1-(4-甲基環(huán)己基)-1-甲基乙基酯、5-降冰片烯-2-甲酸1-甲基-1-(4-氧代環(huán)己基)乙基酯、5-降冰片烯-2-甲酸1-(1-金剛烷基)-1甲基乙基酯、5-降冰片烯-2-甲酸1-甲基環(huán)己基酯、5-降冰片烯-2-甲酸2-甲基-2-金剛烷基酯、5-降冰片烯-2-甲酸2-乙基-2-金剛烷基酯、5-降冰片烯-2,3-二甲酸無(wú)水物、2(5h)-呋喃酮、3-乙烯基-γ-丁內(nèi)酯、3-甲基丙烯酰氧基雙環(huán)[4,3,0]壬烷、3-丙烯酰氧基雙環(huán)[4,3,0]壬烷、甲基丙烯酸1-金剛烷基酯、丙烯酸1-金剛烷基酯、3-甲基丙烯酰氧基甲基四環(huán)[4,4,0,12,5,17,10]十二烷、3-丙烯酰氧基甲基四環(huán)[4,4,0,12,5,17,10]十二烷、2-甲基丙烯酰氧基降冰片烷、2-丙烯酰氧基降冰片烷、2-甲基丙烯酰氧基異冰片烷、2-丙烯酰氧基異冰片烷、2-甲基丙烯酰氧基甲基降冰片烷、2-丙烯酰氧基甲基降冰片烷。類型3)共聚單體的實(shí)例為：乙烯基芳族化合物，例如羥基苯乙烯，丙烯酸化合物，例如甲基丙烯酸，乙基羰氧基苯乙烯及其衍生物。這些聚合物例如描述于us5827634、us5625020、us5492793、us5372912、ep660187、us5679495、ep813113和ep831369中。其他實(shí)例為巴豆酸、異巴豆酸、3-丁烯酸、丙烯酸、4-戊烯酸、丙炔酸、2-丁炔酸、馬來(lái)酸、富馬酸和乙炔甲酸。本發(fā)明中所用的聚合物不限于此。適用于arf抗蝕劑技術(shù)的類型3)共聚單體尤其包括例如丙烯酸3-羥基-1-金剛烷基酯、甲基丙烯酸3-羥基-1-金剛烷基酯、丙烯酸3,5-二羥基-1-金剛烷基酯、甲基丙烯酸3,5-二羥基-1-金剛烷基酯、2-羥基-5-降冰片烯、5-降冰片烯-2-甲酸、5-降冰片烯-2-甲酸1-(4-羥基環(huán)己基)-1-甲基乙基酯、5-降冰片烯-2-甲酸2-羥基-1-乙基酯、5-降冰片烯-2甲醇、8-羥基甲基-4-甲基丙烯酰氧基甲基三環(huán)[5.2.1.02.6]癸烷、8-羥基甲基-4-丙烯酰氧基甲基三環(huán)[5.2.1.02.6]癸烷、4-羥基甲基-8-甲基丙烯酰氧基甲基三環(huán)[5.2.1.02.6]癸烷、4-羥基甲基-8-丙烯酰氧基甲基三環(huán)[5.2.1.02.6]癸烷。適用于arf技術(shù)的包含內(nèi)酯結(jié)構(gòu)部分的其他單體公開于例如jp2002-006502a、jp2002-145955a、ep1127870a1、jp2002-357905a、jp2002-296783a中。適用于arf技術(shù)的其他烯烴例如公布于jp2002-351078a、jp2002-234918a、jp2002-251009a、ep1127870a、jp2002-328475a、jp2002-278069a、jp2003-43689a、jp2002-202604a、wo01/86353、jp2002-023371a、jp2002-072484a、jp2002-202604a、jp2001-330959a、jp2002-003537a、jp2002-030114a、jp2002-278071a、jp2002-251011a、jp2003-122010a、jp2002-139837a、jp2003-195504a、jp2001-264984a、jp2002-278069a、jp2002-328475a、us6379861、us6599677、us2002/119391、us6277538、us2003/78354。聚合物中酸不穩(wěn)定單體的含量可在寬范圍內(nèi)變化且取決于其他共聚單體的量和經(jīng)解保護(hù)的聚合物的堿溶性。通常，聚合物中具有酸不穩(wěn)定基團(tuán)的單體的含量為5至60mol％。若含量過小，則顯影速率過低且暴露區(qū)中產(chǎn)生光敏性樹脂組合物的殘余物。若酸不穩(wěn)定單體的含量過高，則顯影后所產(chǎn)生的圖案限定不良(腐蝕)，且不再能解析窄特征和/或在顯影期間圖案對(duì)基材的粘附松動(dòng)。具有酸不穩(wěn)定基團(tuán)的共聚物的mw優(yōu)選為約3,000至約200,000，更優(yōu)選約5,000至約50,000，其中分子量分布為約3或更小，分子量分布更優(yōu)選為約2或更小。非酚類聚合物，例如丙烯酸烷基酯(例如丙烯酸叔丁基酯或甲基丙烯酸叔丁基酯)與乙烯基脂環(huán)族化合物(例如乙烯基降冰片烷基)或乙烯基環(huán)己醇化合物的共聚物還可通過該類自由基聚合或其他已知程序制備，且mw合適地為約8’000至約50’000，且分子量分布為約3或更小。可適當(dāng)添加適量其他共聚單體以控制聚合物的玻璃轉(zhuǎn)化點(diǎn)等。在本發(fā)明中，可使用兩種或更多種具有酸不穩(wěn)定基團(tuán)的聚合物的混合物。例如，可利用具有極容易裂解的酸不穩(wěn)定基團(tuán)(例如縮醛基團(tuán)或四氫吡喃氧基)的聚合物與具有不太容易裂解的酸可裂解基團(tuán)(例如叔烷基酯基)的聚合物的混合物。此外，不同大小的酸可裂解基團(tuán)可通過混合兩種或更多種具有不同酸可裂解基團(tuán)的聚合物組合，例如叔丁基酯基與2-甲基-金剛烷基或1-乙氧基-乙氧基與四氫吡喃氧基。還可使用非交聯(lián)樹脂與交聯(lián)樹脂的混合物。在本發(fā)明中這些聚合物的量基于所有固體組分的總量?jī)?yōu)選為30至99重量％，更優(yōu)選50至98重量％。堿溶性樹脂或無(wú)酸不穩(wěn)定基團(tuán)的單體或低聚化合物可進(jìn)一步并入組合物中以控制堿溶性。與具有不同酸不穩(wěn)定基團(tuán)的聚合物的聚合物共混物的實(shí)例提供于ep780732、ep679951和us5817444中。包含縮醛基團(tuán)作為酸不穩(wěn)定結(jié)構(gòu)部分的共聚物的尤其合適的實(shí)例為甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸縮水甘油酯共聚物、甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸縮水甘油酯/甲基丙烯酸共聚物、甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸四氫-2h-吡喃-2-基酯/甲基丙烯酸縮水甘油酯/甲基丙烯酸共聚物、甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯共聚物、甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯/甲基丙烯酸共聚物、甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯/4-羥基苯甲酸(3-甲基丙烯酰氧基-2-羥基丙基)酯共聚物、甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯/(3-甲基丙烯酰氧基丙基)-4-羥基苯甲酸酯共聚物、甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯/(3-甲基丙烯酰氧基丙基)-4-羥基苯甲酸酯/甲基丙烯酸2-羥基乙基酯共聚物、甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯/(3-甲基丙烯酰氧基丙基)-4-羥基苯甲酸酯/甲基丙烯酸甲基酯共聚物、甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸四氫-2h-吡喃-2-基酯/甲基丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯/(3-甲基丙烯酰氧基丙基)-4-羥基苯甲酸酯共聚物、甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸四氫-2h-吡喃-2-基酯/甲基丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯/4-羥基苯甲酸(3-甲基丙烯酰氧基丙基)酯/甲基丙烯酸2-羥基乙基酯共聚物、甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯/(3-甲基丙烯酰氧基丙基)-4-羥基苯甲酸酯共聚物、甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯/(3-甲基丙烯酰氧基丙基)4-羥基苯甲酸酯/甲基丙烯酸2-羥基乙基酯共聚物、甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯共聚物、甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯/甲基丙烯酸共聚物、甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯/(3-甲基丙烯酰氧基-2-羥基丙基)-4-羥基苯甲酸酯共聚物、甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯/(3-甲基丙烯酰氧基丙基)-4-羥基苯甲酸酯共聚物、甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸2-甲基-2-金剛烷基酯/甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯/(3-甲基丙烯酰氧基丙基)-4-羥基苯甲酸酯共聚物、甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸1-甲基-1-環(huán)己基酯/甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯/4-羥基苯甲酸(3-甲基丙烯酰氧基丙基)酯共聚物、甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯/(2-甲基丙烯酰氧基乙基)4-羥基苯甲酸酯共聚物、甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯/(6-甲基丙烯酰氧基己基)-4-羥基苯甲酸酯共聚物、甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯/(3-甲基丙烯酰氧基丙基)4-羥基苯甲酸酯/甲基丙烯酸2-羥基乙基酯共聚物、甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯/(3-甲基丙烯酰氧基丙基)-4-羥基苯甲酸酯/甲基丙烯酸甲基酯共聚物、甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸四氫-2h-吡喃-2-基酯/甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯/(3-甲基丙烯酰氧基丙基)-4-羥基苯甲酸酯共聚物、甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸四氫-2h-吡喃-2-基酯/甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯/(3-甲基丙烯酰氧基丙基)-4-羥基苯甲酸酯/甲基丙烯酸2-羥基乙基酯共聚物、甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯/(3-甲基丙烯酰氧基丙基)-4-羥基苯甲酸酯共聚物、甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯/(3-甲基丙烯酰氧基丙基)-4-羥基苯甲酸酯/甲基丙烯酸2-羥基乙基酯共聚物、甲基丙烯酸1-(環(huán)己氧基)乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯共聚物、甲基丙烯酸1-(環(huán)己氧基)乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯/(3-甲基丙烯酰氧基丙基)-4-羥基苯甲酸酯/甲基丙烯酸2-羥基乙基酯共聚物、甲基丙烯酸1-(環(huán)己氧基)乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯共聚物、甲基丙烯酸1-(環(huán)己氧基)乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯/(3-甲基丙烯酰氧基丙基)-4-羥基苯甲酸酯/甲基丙烯酸2-羥基乙基酯共聚物、甲基丙烯酸1-(環(huán)己氧基)乙基酯/甲基丙烯酸四氫-2h-吡喃-2-基酯/甲基丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯/(3-甲基丙烯酰氧基丙基)-4-羥基苯甲酸酯/甲基丙烯酸2-羥基乙基酯共聚物、甲基丙烯酸1-(環(huán)己氧基)乙基酯/甲基丙烯酸四氫-2h-吡喃-2-基酯/甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯/(3-甲基丙烯酰氧基丙基)4-羥基苯甲酸酯/甲基丙烯酸2-羥基乙基酯共聚物、(3-甲基丙烯酰氧基丙基)-4-羥基苯甲酸酯的1-乙氧基乙醚/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯/甲基丙烯酸共聚物、(3-甲基丙烯酰氧基丙基)4-羥基苯甲酸酯的1-乙氧基乙醚/叔丁氧基羰基保護(hù)的α-甲基-對(duì)羥基苯乙烯/甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯/甲基丙烯酸共聚物、(2-甲基丙烯酰氧基乙基)-4-羥基苯甲酸酯的1-乙氧基乙醚/叔丁基保護(hù)的4-羥基苯基甲基丙烯酸酯/甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯/甲基丙烯酸共聚物、甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/苯乙烯/甲基丙烯酸縮水甘油酯/甲基丙烯酸共聚物、甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/n-環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺/甲基丙烯酸縮水甘油酯/甲基丙烯酸共聚物、甲基丙烯酸四氫呋喃-2-基酯/(三環(huán)[5.2.1.02,6]癸-8-基)甲基丙烯酸酯/甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯/甲基丙烯酸共聚物和甲基丙烯酸四氫呋喃-2-基酯/甲基丙烯酸(三環(huán)[5.2.1.02,6]癸-8-基)酯/甲基丙烯酸縮水甘油酯/甲基丙烯酸共聚物。此外，具有通過酸分解形成羧基的酸不穩(wěn)定基團(tuán)的構(gòu)成單元可通過含有要保護(hù)的羧基的單體與羧酸單體或其前體聚合，隨后使羧基與乙烯基醚化合物反應(yīng)來(lái)形成。如上形成的單體單元的具體優(yōu)選實(shí)例包括衍生自自由基可聚合單體的具體優(yōu)選實(shí)例的單體單元。優(yōu)選地，在本發(fā)明中使用單體和低聚溶解抑制劑(a2)。用于本發(fā)明的具有酸不穩(wěn)定基團(tuán)的單體或低聚溶解抑制劑為分子結(jié)構(gòu)中具有至少一個(gè)酸不穩(wěn)定基團(tuán)的化合物，該酸不穩(wěn)定基團(tuán)在酸存在下分解以提高于堿性顯影劑水溶液中的溶解性。實(shí)例為烷氧基甲基醚基團(tuán)、四氫呋喃基醚基團(tuán)、四氫吡喃基醚基團(tuán)、烷氧基乙基醚基團(tuán)、三芐基醚基團(tuán)、甲硅烷基醚基團(tuán)、碳酸烷基酯基團(tuán)、三芐基酯基團(tuán)、甲硅烷基酯基團(tuán)、烷氧基甲基酯基團(tuán)、氨基甲酸乙烯基酯基團(tuán)、氨基甲酸叔烷基酯基團(tuán)、三芐基氨基基團(tuán)、枯基酯基團(tuán)、縮醛基團(tuán)、縮酮基團(tuán)、四氫吡喃基酯基團(tuán)、四氫呋喃基酯基團(tuán)、叔烷基醚基團(tuán)、叔烷基酯基團(tuán)等。用于本發(fā)明的酸可分解溶解抑制性化合物的分子量為3’000或更低，優(yōu)選100至3’000，更優(yōu)選200至2’500。具有酸不穩(wěn)定基團(tuán)的單體和低聚溶解抑制劑的實(shí)例在ep0831369中描述為式(i)至(xvi)。其他合適的具有酸不穩(wěn)定基團(tuán)的溶解抑制劑顯示于us5356752、us5037721、us5015554、jp01-289946a、jp01-289947a、jp02-002560a、jp03-128959a、jp03-158855a、jp03-179353a、jp03-191351a、jp03-200251a、jp03-200252a、jp03-200253a、jp03-200254a、jp03-200255a、jp03-259149a、jp03-279958a、jp03-279959a、jp04-001650a、jp04-001651a、jp04-011260a、jp04-012356a、jp04-123567a和jp04-271349a、jp05-45869a、jp05-158233a、jp05-257275a、jp05-297581a、jp05-297583a、jp05-303197a、jp05-303200a和jp05-341510a中。組合物還可含有聚合溶解抑制劑，例如，例如如us5354643中所述的聚縮醛或聚-n,o-縮醛如us5498506中所述那些，其與堿溶性聚合物組合，或與含有暴露后提高所涂覆膜于顯影劑中的溶解性的酸不穩(wěn)定基團(tuán)的聚合物組合，或與兩種類型的聚合物的組合來(lái)組合。在具有酸不穩(wěn)定基團(tuán)的溶解抑制劑在本發(fā)明中與式i化合物、堿溶性聚合物和/或具有酸不穩(wěn)定基團(tuán)的聚合物組合使用的情況下，基于光敏性組合物的所有固體組分的總量，溶解抑制劑的量為3至55重量％，優(yōu)選5至45重量％，最優(yōu)選10至35重量％。在本發(fā)明中優(yōu)選使用可溶于堿水溶液中的聚合物(a3)。這些聚合物的實(shí)例包括酚醛清漆樹脂、氫化酚醛清漆樹脂、丙酮-連苯三酚樹脂、聚(鄰羥基苯乙烯)、聚(間羥基苯乙烯)、聚(對(duì)羥基苯乙烯)、氫化聚(羥基苯乙烯)、經(jīng)鹵素或烷基取代的聚(羥基苯乙烯)、羥基苯乙烯/n-經(jīng)取代的馬來(lái)酰亞胺共聚物、鄰/對(duì)和間/對(duì)羥基苯乙烯共聚物、部分鄰?fù)榛木?羥基苯乙烯)[例如鄰甲基化、鄰(1-甲氧基)乙基化、鄰(1-乙氧基)乙基化、鄰2-四氫吡喃基化和鄰(叔丁氧羰基)甲基化的聚(羥基苯乙烯)，其羥基取代度為5至30mol％]、鄰?；?羥基苯乙烯)[例如鄰乙酰化和鄰(叔丁氧基)羰基化的聚(羥基苯乙烯)，其羥基取代度為5至30mol％]、苯乙烯/馬來(lái)酸酐共聚物、苯乙烯/羥基苯乙烯共聚物、α-甲基苯乙烯/羥基苯乙烯共聚物、羧化甲基丙烯酸系樹脂及其衍生物。進(jìn)一步合適的是聚(甲基)丙烯酸[例如聚(丙烯酸)]、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸酯共聚物[例如丙烯酸/丙烯酸甲基酯共聚物、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲基酯共聚物或甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯共聚物]、(甲基)丙烯酸/烯烴共聚物[例如丙烯酸/乙烯共聚物]、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酰胺共聚物[例如丙烯酸/丙烯酰胺共聚物]、(甲基)丙烯酸/氯乙烯共聚物[例如丙烯酸/氯乙烯共聚物]、(甲基)丙烯酸/乙酸乙烯基酯共聚物[例如丙烯酸/乙酸乙烯基酯共聚物]、馬來(lái)酸/乙烯基醚共聚物[例如馬來(lái)酸/甲基乙烯基醚共聚物]、馬來(lái)酸單酯/甲基乙烯基酯共聚物[例如馬來(lái)酸單甲基酯/甲基乙烯基醚共聚物]、馬來(lái)酸/(甲基)丙烯酸共聚物[例如馬來(lái)酸/丙烯酸共聚物或馬來(lái)酸/甲基丙烯酸共聚物]、馬來(lái)酸/(甲基)丙烯酸酯共聚物[例如馬來(lái)酸/丙烯酸甲基酯共聚物]、馬來(lái)酸/氯乙烯共聚物、馬來(lái)酸/乙酸乙烯基酯共聚物和馬來(lái)酸/烯烴共聚物[例如馬來(lái)酸/乙烯共聚物和馬來(lái)酸/1-氯丙烯共聚物]。然而，用于本發(fā)明的堿溶性聚合物不應(yīng)視為限于這些實(shí)例。尤其優(yōu)選堿溶性聚合物(a3)為酚醛清漆樹脂、聚(鄰羥基苯乙烯)、聚(間羥基苯乙烯)、聚(對(duì)羥基苯乙烯)、相應(yīng)羥基苯乙烯單體與例如對(duì)乙烯基環(huán)己醇的共聚物、羥烷基取代的聚(羥基苯乙烯)、部分鄰或間烷基化和鄰或間?；木?羥基苯乙烯)、苯乙烯/羥基苯乙烯共聚物和α-甲基苯乙烯/羥基苯乙烯共聚物。酚醛清漆樹脂通過在酸催化劑存在下加成縮合一種或多種作為主要組分提供的單體與一種或多種醛獲得?？捎糜谥苽鋲A溶性樹脂的單體的實(shí)例包括羥基化芳族化合物，例如苯酚；甲酚，即間甲酚、對(duì)甲酚和鄰甲酚；二甲苯酚，例如2,5-二甲苯酚、3,5-二甲苯酚、3,4-二甲苯酚和2,3-二甲苯酚；烷氧基酚，例如對(duì)甲氧基酚、間甲氧基酚、3,5-二甲氧基酚、2-甲氧基-4-甲基酚、間乙氧基酚、對(duì)乙氧基酚、間丙氧基酚、對(duì)丙氧基酚、間丁氧基酚和對(duì)丁氧基酚；二烷基酚，例如2-甲基-4-異丙基酚；及其他羥基化芳族化合物，包括間氯酚、對(duì)氯酚、鄰氯酚、二羥基聯(lián)苯、雙酚a、苯基酚、間苯二酚和萘酚。這些化合物可單獨(dú)使用或以其兩種或更多種的混合物形式使用。酚醛清漆樹脂的主要單體不應(yīng)視為限于以上實(shí)例。用于與酚類化合物縮聚以獲得酚醛清漆的醛的實(shí)例包括甲醛、對(duì)甲醛、乙醛、丙醛、苯甲醛、苯乙醛、α-苯丙醛、β-苯丙醛、鄰羥基苯甲醛、間羥基苯甲醛、對(duì)羥基苯甲醛、鄰氯苯甲醛、間氯苯甲醛、對(duì)氯苯甲醛、鄰硝基苯甲醛、間硝基苯甲醛、鄰甲基苯甲醛、間甲基苯甲醛、對(duì)甲基苯甲醛、對(duì)乙基苯甲醛、對(duì)正丁基苯甲醛、糠醛、氯乙醛和由其衍生的縮醛，例如氯乙醛二乙醇縮乙醛。其中優(yōu)選為甲醛。這些醛可單獨(dú)使用或以其兩種或更多種的組合使用。酸催化劑的實(shí)例包括鹽酸、硫酸、甲酸、乙酸和草酸。由此獲得的酚醛清漆樹脂的重均分子量合適地為1,000-30,000。如果其重均分子量低于1,000，則在顯影期間未曝光部分上薄膜容易減少地過多。如果其重均分子量超過50,000，則顯影速度可能過低。酚醛清漆樹脂的分子量的尤其優(yōu)選范圍為2,000-20,000。除了酚醛清漆樹脂以外，以上顯示為堿溶性聚合物的聚(羥基苯乙烯)及其衍生物和共聚物各自具有2,000或更高，優(yōu)選4,000-200,000，更優(yōu)選5,000-50,000的重均分子量。從獲得具有改善耐熱性的聚合物薄膜的角度而言，希望其重均分子量為至少5,000或更高。就本發(fā)明而言，重均分子量意指通過凝膠滲透色譜法測(cè)定且用聚苯乙烯標(biāo)樣校準(zhǔn)的重均分子量。在本發(fā)明中，堿溶性聚合物可以兩種或更多種的混合物使用。在其中使用堿溶性聚合物與具有在酸作用下分解以增強(qiáng)在堿性顯影溶液中的溶解性的基團(tuán)的聚合物的混合物的情況下，堿溶性聚合物的添加量基于光敏組合物(不包括溶劑)的總量?jī)?yōu)選為至多80重量％，更優(yōu)選為至多60重量％，最優(yōu)選為至多40重量％。不希望量超過80重量％，因?yàn)榭刮g劑圖案的厚度會(huì)顯著減小，從而導(dǎo)致不良圖象和低分辨率。在其中堿溶性聚合物與溶解抑制劑一起使用且無(wú)具有在酸作用下分解以增強(qiáng)在堿性顯影溶液中的溶解性的基團(tuán)的聚合物的情況下，堿溶性聚合物的量?jī)?yōu)選為40-90重量％，更優(yōu)選為50-85重量％，最優(yōu)選為60-80重量％。如果其量小于40重量％，則造成不良后果如敏感性降低。另一方面，如果其超過90重量％，則圖案的薄膜厚度會(huì)顯著減小，從而導(dǎo)致不良的分辨率和圖象重現(xiàn)。在化學(xué)增幅型體系中使用本發(fā)明的肟磺酸酯衍生物(其基于由聚合物移除保護(hù)基的原理操作)通常產(chǎn)生正型光敏性樹脂組合物。在多種應(yīng)用中，相對(duì)于負(fù)型組合物，優(yōu)選正型組合物，尤其是由于其較高分辨率。然而，還關(guān)注使用正型機(jī)理制造負(fù)型圖象以組合正型的高分辨率與負(fù)型的特性的優(yōu)點(diǎn)。這可通過引入所謂圖象逆轉(zhuǎn)步驟實(shí)現(xiàn)，例如如ep361906中所述。出于該目的，在顯影步驟前，用例如氣態(tài)堿處理成圖象輻照的光敏性樹脂組合物材料，從而成圖象中和已產(chǎn)生的酸。隨后，進(jìn)行整個(gè)區(qū)域的第二輻照和熱后處理，隨后以常規(guī)方式使負(fù)型圖象顯影。本發(fā)明的式i化合物尤其適合作為arf抗蝕劑技術(shù)(即使用arf準(zhǔn)分子激光(193nm)的技術(shù))中的光潛酸以用于成圖象步驟。該技術(shù)要求使用特定聚合物/共聚物。合適配制劑和合適聚合物/共聚物的制備例如公開于proceedingofspie2438，474(1995)；proceedingofspie3049，44(1997)；proceedingofspie3333，144(1998)；j.photopolym.sci.technol.14，631(2001)；proceedingofspie3333，546(1998)；j.photopolym.sci.technol.13，601(2000)；jp2001-242627a；jp2001-290274a；jp2001-235863a；jp2001-228612a；proceedingofspie3333，144(1998)；jp2001-5184a，以lithomaxα-7k購(gòu)自mitsubishirayon；jp2001-272783a；美國(guó)專利申請(qǐng)09/413763(1999.10.7申請(qǐng))；ep1091249；jp2000-292917a；jp2003-241385a；j.photopolym.sci.technol.14，631(2001)；proceedingofspie3333，11(1998)；acs1998(universityoftexas)；jp2001-290274a；jp2001-235863a；jp2001-228612a；proceedingofspie3999，13(2000)；jp2001-296663a；美國(guó)專利申請(qǐng)09/567814(2000.5.9申請(qǐng))；ep1128213；proceedingofspie3049，104(1997)；j.photopolym.sci.technol.10，521(1997)；jp2001-290274a；jp2001-235863a；jp2001-228612a；proceedingofspie4345，680(2001)；j.vac.sci.technol.b16(6)，第3716頁(yè)，1998；proceedingofspie2724，356(1996)；proceedingofspie4345，67(2001)；proceedingofspie3333，546(1998)；proceedingofspie4345，87(2001)；proceedingofspie4345，159(2001)；proceedingofspie3049，92(1997)；proceedingofspie3049，92(1997)；proceedingofspie3049，92(1997)；proceedingofspie3999，2(2000)；proceedingofspie3999，23(2000)；proceedingofspie3999，54(2000)；proceedingofspie4345，119(2001)。上述公開文獻(xiàn)中所公開的配制劑以引用的方式并入本文中。應(yīng)理解，本發(fā)明化合物尤其適合用作這些所引用公開文獻(xiàn)中所述的所有聚合物/共聚物和組合物中的光潛酸。本發(fā)明的式(i)或(ia)的化合物適合作為雙層抗蝕劑中的光潛酸。該技術(shù)要求使用特定聚合物/共聚物。合適配制劑和合適聚合物/共聚物的制備例如公開于proc.spie4345；361-370(2001)；proc.spie4345；406-416(2001)；jp2002-278073a；jp2002-30116a；jp2002-030118a；jp2002-072477a；jp2002-348332a；jp2003-207896a；jp2002-082437a；us2003/65101；us2003/64321。本發(fā)明的式(i)或(ia)的化合物適合作為多層抗蝕劑中的光潛酸。該技術(shù)要求使用特定聚合物/共聚物。合適配制劑和合適聚合物/共聚物的制備例如公開于jp2003-177540a、jp2003-280207a、jp2003-149822a、jp2003-177544a。為制造精細(xì)孔圖，熱流法或化學(xué)收縮技術(shù)(所謂relacs(化學(xué)收縮輔助的分辨率提高光刻))應(yīng)用于化學(xué)增幅型光敏性樹脂組合物。本發(fā)明的式i化合物適合用作熱流法或relacs法的組合物中的光潛酸。這些技術(shù)要求使用特定聚合物/共聚物。合適配制劑和合適聚合物/共聚物的制備例如公開于jp2003-167357a；jp2001-337457a；jp2003-066626a；us2001/53496；proceedingofspie5039，789(2003)；iedm98，dig.，333(1998)；proceedingsilicontechnology11，12(1999)。本發(fā)明的式(i)和(ia)的化合物適合用作浸漬光刻的化學(xué)增幅型抗蝕劑中的光潛酸。該技術(shù)在光源與抗蝕劑之間使用液體介質(zhì)降低抗蝕劑圖案的最小特征尺寸，如proceedingofspie5040，667(2003)；proceedingofspie5040，679(2003)；proceedingofspie5040，690(2003)；proceedingofspie5040，724(2003)所述。本發(fā)明的式(i)和(ia)的化合物適合用作正型和負(fù)型光敏性聚酰亞胺中的光潛酸。該技術(shù)要求使用特定聚合物/共聚物。合適配制劑和合適聚合物/共聚物的制備例如公開于jp09-127697a、jp10-307393a、jp10-228110a、jp10-186664a、jp11-338154a、jp11-315141a、jp11-202489a、jp11-153866a、jp11-084653a、jp2000-241974a、jp2000-221681a、jp2000-034348a、jp2000-034347a、jp2000-034346a、jp2000-026603a、jp2001-290270a、jp2001-281440a、jp2001-264980a、jp2001-255657a、jp2001-214056a、jp2001-214055a、jp2001-166484a、jp2001-147533a、jp2001-125267a、jp2001-083704a、jp2001-066781a、jp2001-056559a、jp2001-033963a、jp2002-356555a、jp2002-356554a、jp2002-303977a、jp2002-284875a、jp2002-268221a、jp2002-162743a、jp2002-122993a、jp2002-99084a、jp2002-040658a、jp2002-037885a、jp2003-026919a。上述公開文獻(xiàn)中所公開的配制劑以引用的方式并入本文中。應(yīng)理解，本發(fā)明化合物尤其適合用作這些所引用公開文獻(xiàn)中所述的所有聚合物/共聚物和組合物中的光潛酸。通過輻照期間或輻照后材料與酸反應(yīng)產(chǎn)生的輻照區(qū)與非輻照區(qū)之間的溶解性差異可取決于光敏性樹脂組合物中所存在的其他組分具有兩種類型。若本發(fā)明的組合物包含輻照后降低組合物于顯影劑中的溶解性的組分，則光敏性樹脂組合物為負(fù)型。本發(fā)明的主題還為一種化學(xué)增幅型負(fù)型光敏性樹脂組合物。本發(fā)明包括一種化學(xué)增幅型負(fù)型堿可顯影光敏性樹脂組合物作為具體實(shí)施方案，其包含(a4)作為粘合劑的堿溶性樹脂；(a5)可用陽(yáng)離子方式或酸催化方式自身和/或與其他組分聚合或交聯(lián)的組分；和(b)至少一種式(i)或(ia)的化合物。本發(fā)明的另一實(shí)施方案為一種化學(xué)增幅型負(fù)型堿可顯影光敏性樹脂組合物，其包含(a5)可用陽(yáng)離子方式或酸催化方式自身和/或與其他組分聚合或交聯(lián)的組分；和(b)至少一種式(i)或(ia)的化合物。該主題組合物包括化學(xué)增幅型負(fù)型溶劑可顯影光敏性樹脂組合物作為具體實(shí)施方案，其包含(a5)可用陽(yáng)離子方式或酸催化方式自身和/或與其他組分聚合或交聯(lián)的組分；和(b)至少一種式(i)或(ia)的化合物。本發(fā)明另一具體實(shí)施方案在于一種化學(xué)增幅型負(fù)型溶劑可顯影光敏性樹脂組合物，其包含(a5)可用陽(yáng)離子方式或酸催化方式自身和/或與其他組分聚合或交聯(lián)的組分；(a6)作為粘合劑的溶劑可顯影樹脂；和(b)至少一種式(i)或(ia)的化合物。除組分(b)以外，組合物可包含其他光敏性酸供體(b1)、其他光引發(fā)劑(d)、敏化劑(e)和/或其他添加劑(c)。本發(fā)明還涉及一種化學(xué)增幅型負(fù)型光敏性樹脂組合物，其包含(a4)作為粘合劑的堿溶性樹脂；和/或(a6)作為粘合劑的溶劑可顯影樹脂；和/或(a5)可用陽(yáng)離子方式或酸催化方式自身和/或與其他組分聚合或交聯(lián)的組分；和(b)作為光敏性酸供體的至少一種式(i)或(ia)的化合物。除組分(a)和(b)或組分(a1)、(a2)、(a3)和(b)或組分(a4)、(a5)、(a6)和(b)以外，組合物可包含其他添加劑(c)、其他光敏性酸供體化合物(b1)、其他光引發(fā)劑(d)和/或敏化劑(e)。特征性產(chǎn)生負(fù)型組合物的酸敏感性組分(a5)尤其為能夠通過酸(例如輻照式(i)或(ia)的化合物期間所形成的酸)自身和/或與組合物的一種或多種其他組分進(jìn)行陽(yáng)離子或酸催化的聚合或交聯(lián)反應(yīng)的化合物。其實(shí)例包括環(huán)狀醚，尤其是環(huán)氧化物和氧化環(huán)丁烷，還包括乙烯基醚和含羥基的化合物。還可使用內(nèi)酯化合物和環(huán)狀硫醚以及乙烯基硫醚。其他實(shí)例包括氨基塑料或酚類甲階酚醛樹脂。這些尤其為蜜胺樹脂、脲樹脂、環(huán)氧樹脂、酚醛樹脂、丙烯酸系樹脂、聚酯樹脂和醇酸樹脂或其混合物。非常合適的是氨基樹脂、酚醛樹脂和環(huán)氧樹脂。酸可固化樹脂通常已知且描述于例如wagner，sarx/lackkunstharze(munich，1971)，第86頁(yè)至第123頁(yè)和第229頁(yè)至第238頁(yè)，或dertechn.chemie，第4版，第15卷(1978)，第613頁(yè)至第628頁(yè)，或ullmann’sencyclopediaofindustrialchemistry，verlagchemie，1991，第18卷，第360頁(yè)及隨后各頁(yè)，第a19卷，第371頁(yè)及隨后各頁(yè)?？衫缡褂盟谐Ｒ?guī)環(huán)氧化物，例如芳族、脂族或環(huán)脂族環(huán)氧樹脂。這些為分子中具有至少一個(gè)，優(yōu)選至少兩個(gè)環(huán)氧基的化合物。其實(shí)例為脂族或環(huán)脂族二醇或多元醇的縮水甘油醚和β-甲基縮水甘油醚，例如乙二醇、丙-1,2-二醇、丙-1,3-二醇、丁-1,4-二醇、二乙二醇、聚乙二醇、聚丙二醇、甘油、三羥甲基丙烷或1,4-二羥甲基環(huán)己烷或2,2-雙(4-羥基環(huán)己基)丙烷和n,n-雙(2-羥基乙基)苯胺的縮水甘油醚和β-甲基縮水甘油醚；二酚和多酚的縮水甘油醚，例如間苯二酚、4,4’-二羥基苯基-2,2-丙烷、酚醛清漆或1,1,2,2-四(4-羥基苯基)乙烷的縮水甘油醚。其實(shí)例包括苯基縮水甘油醚、對(duì)叔丁基縮水甘油醚、鄰甲苯基縮水甘油醚、聚四氫呋喃縮水甘油醚、正丁基縮水甘油醚、2-乙基己基縮水甘油醚、c12/15烷基縮水甘油醚和環(huán)己烷二甲醇二縮水甘油醚。其他實(shí)例包括n-縮水甘油基化合物，例如亞乙基脲、1,3-亞丙基脲或5-二甲基-乙內(nèi)酰脲或4,4’-亞甲基-5,5’-四甲基二乙內(nèi)酰脲的縮水甘油基化合物，或化合物如異氰脲酸三縮水甘油酯。用于本發(fā)明的配制劑中的縮水甘油醚組分(a5)的其他實(shí)例為例如多元酚的縮水甘油醚，其通過多元酚與過量氯醇(例如表氯醇)反應(yīng)獲得，例如2,2-雙(2,3-環(huán)氧基丙氧基酚)丙烷的縮水甘油醚。就本發(fā)明而言可使用的縮水甘油醚環(huán)氧化物的其他實(shí)例例如描述于us3018262中和lee和neville的handbookofepoxyresins,mcgraw-hillbookco.,newyork(1967)中。還有多種市售縮水甘油醚環(huán)氧化物適合作為組分(a5)，例如甲基丙烯酸縮水甘油酯、雙酚a的二縮水甘油醚，例如可以商品名epon828、epon825、epon1004和epon1010(shell)；der-331、der-332和der-334(dowchemical)獲得的那些；酚甲醛酚醛清漆的1,4-丁二醇二縮水甘油醚，例如den-431、den-438(dowchemical)；和間苯二酚二縮水甘油醚；烷基縮水甘油醚，例如c8-c10縮水甘油醚，例如heloxymodifier7，c12-c14縮水甘油醚，例如heloxymodifier8，丁基縮水甘油醚，例如heloxymodifier61，甲苯基縮水甘油醚，例如heloxymodifier62，對(duì)叔丁基苯基縮水甘油醚，例如heloxymodifier65，多官能縮水甘油醚，例如1,4-丁二醇的二縮水甘油醚，例如heloxymodifier67，新戊二醇的二縮水甘油醚，例如heloxymodifier68，環(huán)己烷二甲醇的二縮水甘油醚，例如heloxymodifier107，三羥甲基乙烷三縮水甘油醚，例如heloxymodifier44，三羥甲基丙烷三縮水甘油醚，例如heloxymodifier48，脂族多元醇的聚縮水甘油醚，例如heloxymodifier84(所有heloxy縮水甘油醚均可獲自shell)。合適的還有包含丙烯酸酯的共聚物的縮水甘油醚，例如甲基丙烯酸縮水甘油酯或甲基丙烯酸甲基酯-丙烯酸縮水甘油酯。其實(shí)例包括1：1苯乙烯/甲基丙烯酸縮水甘油酯、1：1甲基丙烯酸甲基酯/丙烯酸縮水甘油酯、62.5：24：13.5甲基丙烯酸甲基酯/丙烯酸乙基酯/甲基丙烯酸縮水甘油酯?？s水甘油醚化合物的聚合物可例如還包含其他官能團(tuán)，條件為其不損害陽(yáng)離子固化。適合作為組分(a5)的市售其他縮水甘油醚化合物為多官能液體和固體酚醛清漆縮水甘油醚樹脂，例如py307、epn1179、epn1180、epn1182和ecn9699。應(yīng)理解，不同縮水甘油醚化合物的混合物還可用作組分(a5)?？s水甘油醚(a5)為例如式xx的化合物其中x為1至6的數(shù)；和r50為一價(jià)至六價(jià)烷基或芳基。優(yōu)選為例如式xx的縮水甘油醚化合物，其中x為1、2或3的數(shù)；和r50在x＝1時(shí)為未經(jīng)取代或經(jīng)c1-c12烷基取代的苯基、萘基、蒽基、聯(lián)苯基、c1-c20烷基或間隔有一個(gè)或多個(gè)氧原子的c2-c20烷基，或r50在x＝2時(shí)為1,3-亞苯基、1,4-亞苯基、c6-c10亞環(huán)烷基、未經(jīng)取代或經(jīng)鹵基取代的c1-c40亞烷基、間隔有一個(gè)或多個(gè)氧原子的c2-c40亞烷基，或基團(tuán)或r50在x＝3時(shí)為基團(tuán)z為1至10的數(shù)；和r60為c1-c20亞烷基、氧或縮水甘油醚(a5)為例如式xxa的化合物其中r70為未經(jīng)取代或經(jīng)c1-c12烷基取代的苯基；萘基；蒽基；聯(lián)苯基；c1-c20烷基、間隔有一個(gè)或多個(gè)氧原子的c2-c20烷基；或式的基團(tuán)；r50為亞苯基、c1-c20亞烷基、間隔有一個(gè)或多個(gè)氧原子的c2-c20亞烷基或基團(tuán)和r60為c1-c20亞烷基或氧。優(yōu)選為式xxb的縮水甘油醚化合物，其中r50為亞苯基、c1-c20亞烷基、間隔有一個(gè)或多個(gè)氧原子的c2-c20亞烷基或基團(tuán)和r60為c1-c20亞烷基或氧。組分(a5)的其他實(shí)例為聚縮水甘油醚和聚(β-甲基縮水甘油基)醚，其可通過每分子含有至少兩個(gè)游離醇和/或酚羥基的化合物與適當(dāng)表氯醇在堿性條件下反應(yīng)，或者在酸催化劑存在下反應(yīng)隨后堿處理來(lái)獲得。還可使用不同多元醇的混合物。該類醚可用來(lái)自以下的聚(表氯醇)來(lái)制備：非環(huán)狀醇，例如乙二醇、二乙二醇和高級(jí)聚(氧亞乙基)二醇、丙-1,2-二醇和聚(氧亞丙基)二醇、丙-1,3-二醇、丁-1,4-二醇、聚(氧基四亞甲基)二醇、戊-1,5-二醇、己-1,6-二醇、己-2,4,6-三醇、甘油、1,1,1-三羥甲基-丙烷、季戊四醇和山梨糖醇；環(huán)脂族醇，例如間苯二酚、對(duì)環(huán)己二醇、雙(4-羥基環(huán)己基)甲烷、2,2-雙(4-羥基環(huán)己基)丙烷和1,1-雙(羥基甲基)環(huán)己-3-烯；和具有芳族核的醇，例如n,n-雙(2-羥基乙基)苯胺和p,p’-雙(2-羥基乙基氨基)二苯基甲烷。其還可由以下制備：?jiǎn)魏朔?，例如間苯二酚和氫醌；和多核酚，例如雙(4-羥基苯基)甲烷、4,4-二羥基二苯基、雙(4-羥基苯基)砜、1,1,2,2-四(4-羥基苯基)乙烷、2,2-雙(4-羥基苯基)-丙烷(雙酚a)和2,2-雙(3,5-二溴-4-羥基苯基)丙烷。適用于制備聚縮水甘油醚和聚(β-甲基縮水甘油基)醚的其他羥基化合物為酚醛清漆，其可通過醛(例如甲醛、乙醛、氯醛和糠醛)與酚(例如苯酚、鄰甲酚、間甲酚、對(duì)甲酚、3,5-二甲基酚、4-氯酚和4-叔丁基酚)縮合獲得。聚(n-縮水甘油基)化合物可例如通過將表氯醇與含有至少兩個(gè)氨基氫原子的胺(例如苯胺、正丁胺、雙(4-氨基苯基)甲烷、雙(4-氨基苯基)-丙烷、雙(4-甲氨基苯基)甲烷和雙(4-氨基苯基)醚、砜和亞砜)的反應(yīng)產(chǎn)物脫去氯化氫獲得。其他合適聚(n-縮水甘油基)化合物包括異氰脲酸三縮水甘油酯和環(huán)狀亞烷基脲(例如亞乙基脲和1,3-亞丙基脲)和乙內(nèi)酰脲(例如5,5-二甲基乙內(nèi)酰脲)的n,n’-二縮水甘油基衍生物。合適的還有聚(s-縮水甘油基)化合物。其實(shí)例包括二硫醇(例如乙烷-1,2-二硫醇和雙(4-巰基甲基苯基)醚)的二-s-縮水甘油基衍生物。還考慮以下材料作為組分(a5)環(huán)氧樹脂，其中縮水甘油基或β-甲基縮水甘油基鍵于不同類型的雜原子，例如4-氨基酚的n,n,o-三縮水甘油基衍生物、水楊酸或?qū)αu基苯甲酸的縮水甘油醚/縮水甘油酯、n-縮水甘油基-n’-(2-縮水甘油基氧基丙基)-5,5-二甲基-乙內(nèi)酰脲和2-縮水甘油氧基-1,3-雙(5,5-二甲基-1-縮水甘油基乙內(nèi)酰脲-3-基)丙烷。優(yōu)選為雙酚的二縮水甘油醚。其實(shí)例包括雙酚a的二縮水甘油醚(例如aralditgy250)、雙酚f的二縮水甘油醚和雙酚s的二縮水甘油醚。尤其優(yōu)選為雙酚a的二縮水甘油醚。具有技術(shù)重要性的其他縮水甘油基化合物為羧酸的縮水甘油酯，尤其是二羧酸和多羧酸的縮水甘油酯。其實(shí)例為丁二酸、己二酸、壬二酸、癸二酸、鄰苯二甲酸、對(duì)苯二甲酸、四氫鄰苯二甲酸和六氫鄰苯二甲酸、間苯二甲酸或偏苯三酸或二聚脂肪酸的縮水甘油酯。不為縮水甘油基化合物的聚環(huán)氧化物的實(shí)例為乙烯基-環(huán)己烷和二環(huán)戊二烯的環(huán)氧化物、3-(3’,4’-環(huán)氧基環(huán)己基)-8,9-環(huán)氧基-2,4-二氧雜螺-[5.5]十一烷、3,4-環(huán)氧基環(huán)己烷甲酸的3’,4’-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯、(3,4-環(huán)氧基環(huán)己基-甲基3,4-環(huán)氧基環(huán)己烷甲酸酯)、丁二烯二環(huán)氧化物或異戊二烯二環(huán)氧化物、環(huán)氧化亞油酸衍生物或環(huán)氧化聚丁二烯。其他合適環(huán)氧化合物為例如檸檬烯一氧化物、環(huán)氧化大豆油、雙酚a和雙酚f環(huán)氧樹脂(例如araldit.gy250(a)、araldit.gy282(f)、araldit.gy285(f))和含有環(huán)氧基的光可固化硅氧烷。在通過酸催化時(shí)進(jìn)行自身和/或與其他組分的交聯(lián)反應(yīng)或聚合的合適組分(a5)包括例如環(huán)氧化雙酚a甲醛酚醛清漆樹脂和環(huán)氧化四溴雙酚a甲醛酚醛清漆樹脂。優(yōu)選環(huán)氧樹脂平均含有八個(gè)環(huán)氧基，其由雙酚a與甲醛的酚醛清漆縮合產(chǎn)物的縮水甘油醚組成，平均分子量為約1400克/摩爾，環(huán)氧當(dāng)量為約215克/摩爾。該類樹脂例如可以商標(biāo)樹脂su-8購(gòu)自shellchemical。其他合適陽(yáng)離子可聚合或可交聯(lián)組分(a5)還可見于例如us3117099、us4299938和us4339567中。在脂族環(huán)氧化物的組中，尤其合適的是具有由10、12、14或16個(gè)碳原子組成的非支化鏈的單官能標(biāo)記α-烯烴環(huán)氧化物。由于當(dāng)今可市購(gòu)多種不同環(huán)氧化合物，粘合劑的特性可廣泛變化。例如，取決于組合物的預(yù)期用途，一種可能變化為使用不同環(huán)氧化合物的混合物和添加增韌劑和反應(yīng)性稀釋劑。環(huán)氧樹脂可經(jīng)溶劑稀釋以便于應(yīng)用，例如在通過噴霧來(lái)實(shí)現(xiàn)應(yīng)用時(shí)，但環(huán)氧化合物優(yōu)選以無(wú)溶劑狀態(tài)使用?？上蛟谑覝叵聻檎吵碇凉腆w的樹脂施加熱。肟磺酸酯衍生物還可用作酸產(chǎn)生劑，其可經(jīng)光化學(xué)活化以用于例如在負(fù)型體系中聚甲基丙烯酸(縮水甘油基)酯的酸催化交聯(lián)。該類交聯(lián)反應(yīng)例如由chae等于pollimo1993,17(3),292中描述。含羥基化合物的實(shí)例包括聚酯多元醇，例如聚己內(nèi)酯或聚酯己二酸酯多元醇；二醇和聚醚多元醇；蓖麻油、羥基官能乙烯基和丙烯酸系樹脂；纖維素酯，例如乙酸丁酸纖維素和苯氧基樹脂。其他陽(yáng)離子可固化配制劑可見于例如ep119425中。作為組分(a5)，優(yōu)選為環(huán)脂族環(huán)氧化物或基于雙酚a的環(huán)氧化物。所有常規(guī)乙烯基醚還適合作為組分(a5)，其例如為芳族、脂族或環(huán)脂族乙烯基醚以及含硅乙烯基醚。其為分子中具有至少一個(gè)，優(yōu)選至少兩個(gè)乙烯基醚基的化合物。適用于本發(fā)明組合物的乙烯基醚的實(shí)例包括三乙二醇二乙烯基醚、1,4-環(huán)己烷二甲醇二乙烯基醚、4-羥基丁基乙烯基醚、碳酸亞丙基酯的丙烯醚、十二烷基乙烯基醚、叔丁基乙烯基醚、叔戊基乙烯基醚、環(huán)己基乙烯基醚、2-乙基己基乙烯基醚、乙二醇單乙烯基醚、丁二醇單乙烯基醚、己二醇單乙烯基醚、1,4-環(huán)己烷二甲醇單乙烯基醚、二乙二醇單乙烯基醚、乙二醇二乙烯基醚、乙二醇丁基乙烯基醚、丁-1,4-二醇二乙烯基醚、己二醇二乙烯基醚、二乙二醇二乙烯基醚、三乙二醇二乙烯基醚、三乙二醇甲基乙烯基醚、四乙二醇二乙烯基醚、pluriol-e-200二乙烯基醚、聚四氫呋喃二乙烯基醚-290、三羥甲基丙烷三乙烯基醚、二丙二醇二乙烯基醚、十八烷基乙烯基醚、(4-環(huán)己基-亞甲氧基乙烯)-戊二酸甲基酯和(4-丁氧基乙烯)間鄰苯二甲酸酯。用作組分(a5)的一部分的乙烯基醚、縮醛和/或烷氧基硅烷化合物優(yōu)選含有至少兩個(gè)乙烯基醚、縮醛和/或烷氧基硅烷基團(tuán)且分子量為150或更高。這些乙烯基醚、縮醛和/或烷氧基硅烷化合物可例如通過含有乙烯基醚、縮醛和/或烷氧基硅烷基團(tuán)和此外最多一個(gè)官能氨基、環(huán)氧基、硫醇、異氰酸酯、丙烯酸、氫化物或羥基的市售乙烯基醚、縮醛和/或烷氧基硅烷化合物與具有至少兩個(gè)能夠與氨基、環(huán)氧基、硫醇、異氰酸酯、丙烯酸、氫化物或羥基反應(yīng)的基團(tuán)的化合物反應(yīng)獲得。作為其實(shí)例可提及具有至少兩個(gè)環(huán)氧基、異氰酸酯、羥基和/或酯基的化合物或具有至少兩個(gè)烯屬或炔屬不飽和基團(tuán)的化合物。作為組分(a5)，優(yōu)選為如下組合物，其中乙烯基醚、縮醛和/或烷氧基硅烷化合物通過加成經(jīng)由反應(yīng)性基團(tuán)(例如氨基、羥基、硫醇、氫化物、環(huán)氧基和/或異氰酸酯基)共價(jià)鍵于醇酸樹脂。為此，化合物必須具有至少一個(gè)能夠與醇酸樹脂中所存在的反應(yīng)性基團(tuán)形成加合物的基團(tuán)。為向醇酸樹脂中并入乙烯基醚基，利用乙烯氧基烷基化合物，其中的烷基經(jīng)能夠與醇酸樹脂中所存在的一個(gè)或多個(gè)反應(yīng)性基團(tuán)形成加合物的反應(yīng)性基團(tuán)(例如羥基、氨基、環(huán)氧基或異氰酸酯基)取代。還可使用式(i)和(ia)的肟磺酸酯化合物例如作為含硅氧烷基樹脂的光可活化硬化劑。這些樹脂可例如借助酸催化的水解進(jìn)行自縮合，或可與第二樹脂組分(例如多官能醇、含羥基的丙烯酸或聚酯樹脂、部分水解的聚乙烯基縮乙醛或聚乙烯醇)交聯(lián)。該類型的聚硅氧烷的縮聚例如描述于j.j.lebrun，h.pode，comprehensivepolymerscience第5卷，第593頁(yè)，pergamonpress，oxford，1989中。氨基樹脂尤其優(yōu)選作為酸可固化樹脂(a5)，例如非醚化或醚化三聚氰胺、脲、胍或縮二脲樹脂，尤其是甲基化三聚氰胺樹脂或丁基化三聚氰胺樹脂，相應(yīng)地為甘脲和脲酮(urone)。就此而言，“樹脂”應(yīng)理解存在兩種常規(guī)技術(shù)混合物，其通常還包含低聚物和純和高純度化合物。n-六(甲氧基甲基)三聚氰胺和四甲氧基甲基甘脲和n,n’-二甲氧基甲基脲酮為最優(yōu)選酸可固化樹脂。基于負(fù)型組合物的總固體含量，交聯(lián)劑組分應(yīng)通常以2至40重量％，優(yōu)選5至30重量％的濃度存在。在負(fù)型組合物中，基于組合物的總固體含量，式(i)和(ia)的化合物的濃度通常為0.1至30重量％，優(yōu)選至多20重量％。1至15重量％為尤其優(yōu)選。適當(dāng)時(shí)，負(fù)型組合物可包含成膜聚合粘合劑(a4)。該粘合劑優(yōu)選為堿溶性酚醛樹脂。例如，非常適合該目的的有衍生自醛(例如乙醛或糠醛，但尤其衍生自甲醛)和酚(例如未經(jīng)取代的酚；經(jīng)氯單取代或二取代的酚，例如對(duì)氯酚；經(jīng)c1-c9烷基單取代或二取代的酚，例如鄰甲酚、間甲酚或?qū)追?；各種二甲苯酚；對(duì)叔丁基酚；對(duì)壬基酚；對(duì)苯基酚；間苯二酚；雙(4-羥基苯基)甲烷或2,2-雙(4-羥基苯基)丙烷)的酚醛清漆。合適的還有基于烯屬不飽和酚的均聚物和共聚物，例如經(jīng)乙烯基和1-丙烯基取代的酚(例如對(duì)乙烯基酚或?qū)?1-丙烯基)酚)的均聚物或這些酚與一種或多種烯屬不飽和物質(zhì)(例如苯乙烯)的共聚物。粘合劑的量通常應(yīng)為30至95重量％，或優(yōu)選40至80重量％。合適配制劑和使用本發(fā)明的式i化合物獲得的負(fù)型組合物的合適聚合物/共聚物的制備例如公開于jp2003-43688a、jp2003-114531a、jp2002-287359a、jp2001-255656a、jp2001-305727a、jp2003-233185a、jp2003-186195a、us6576394?；瘜W(xué)增幅型負(fù)型溶劑可顯影光敏性樹脂組合物需要使用在通過酸催化時(shí)自身和/或與配制劑中的其他組分進(jìn)行交聯(lián)反應(yīng)或聚合的特定組分。合適配制劑例如公開于us4882245、us5026624、us6391523中。粘合劑(a6)還可加入本發(fā)明的組合物中，在可光聚合的化合物為液體或粘稠物質(zhì)時(shí)這是尤其有利的。基于總固體，粘合劑的量可為例如5至95重量％，優(yōu)選10至90重量％，尤其是40至90重量％。粘合劑根據(jù)使用領(lǐng)域及其所需特性(例如在水性和有機(jī)溶劑體系中的可顯影性、與基材的粘附性和對(duì)氧氣的敏感性)選擇。各種聚合物可用作化學(xué)增幅型負(fù)型溶劑可顯影光敏性樹脂組合物中的粘合劑樹脂(a6)。合適實(shí)例包括苯氧基多元醇樹脂，其為表氯醇與雙酚a之間的縮合產(chǎn)物。該類型樹脂例如由unioncarbidecorporation以商標(biāo)pkhc出售。合適粘合劑為例如分子量為約2000至2000000，優(yōu)選5000至1000000的聚合物。其實(shí)例為：丙烯酸酯與甲基丙烯酸酯的均聚物和共聚物，例如甲基丙烯酸甲基酯/丙烯酸乙基酯/甲基丙烯酸的共聚物、聚(甲基丙烯酸烷基酯)、聚(丙烯酸烷基酯)；酚醛樹脂；纖維素衍生物，例如纖維素酯和醚，例如乙酸纖維素、乙酸丁酸纖維素、甲基纖維素、乙基纖維素；聚乙烯醇縮丁醛、聚乙烯醇縮甲醛、聚烯烴、環(huán)化橡膠；聚醚，例如聚氧化乙烯、聚氧化丙烯、聚四氫呋喃；聚苯乙烯、聚碳酸酯、聚氨酯、氯化聚烯烴、聚氯乙烯；氯乙烯/偏二氯乙烯的共聚物；偏二氯乙烯與丙烯腈、甲基丙烯酸甲基酯和乙酸乙烯基酯的共聚物；聚乙酸乙烯基酯、共聚(乙烯/乙酸乙烯基酯)、聚合物如聚己內(nèi)酰胺和聚(六亞甲基己二酰胺)、聚酯如聚(乙二醇對(duì)苯二甲酸酯)和聚(己二醇丁二酸酯)；和聚酰胺。除式(i)和(ia)的光敏性酸供體化合物以外，正型和負(fù)型組合物可包含其他光敏性酸供體化合物(b1)、其他添加劑(c)、其他光引發(fā)劑(d)和/或敏化劑(e)。因此，除組分(a)和(b)或組分(a1)、(a2)、(a3)和(b)或組分(a4)、(a5)和(b)以外，本發(fā)明的主題還為上述化學(xué)增幅型光敏性樹脂組合物，其包含其他添加劑(c)、其他光敏性酸供體化合物(b1)、其他光引發(fā)劑(d)和/或敏化劑(e)。在正型和負(fù)型光敏性樹脂組合物中，本發(fā)明的肟磺酸酯衍生物還可與其他已知光潛酸(b1)，例如鹽、6-硝基芐基磺酸酯、雙磺?；氐淄榛衔?、含氰基的肟磺酸酯化合物等一起使用?；瘜W(xué)增幅型光敏性樹脂組合物的已知光潛酸的實(shí)例描述于us5731364、us5800964、ep704762、us5468589、us5558971、us5558976、us6004724、gb2348644和尤其是ep794457和ep795786中。若光潛酸的混合物用于本發(fā)明的組合物中，則式(i)或(ia)的肟磺酸酯衍生物與混合物中的其他光潛酸(b1)的重量比優(yōu)選為1：99至99：1。適合與式(i)或(ia)的化合物混合使用的光潛酸的實(shí)例為(1)鹽化合物，例如碘鹽、锍鹽、鹽、重氮鹽、吡啶鹽。優(yōu)選為三氟甲磺酸二苯基碘鹽、芘磺酸二苯基碘鹽、十二烷基苯磺酸二苯基碘鹽、三氟甲磺酸三苯基锍、九氟丁烷磺酸三苯基锍、六氟銻酸三苯基锍、六氟銻酸二苯基碘鹽、萘磺酸三苯基锍、甲苯磺酸(羥苯基)芐基甲基锍、雙(4-叔丁基苯基)碘鹽雙(九氟丁烷磺酰基)亞胺、三(三氟甲烷基磺酰基)甲基雙(4-叔丁基苯基)碘鹽、三苯基锍雙(三氟甲烷磺?；?亞胺、三苯基锍(八氟丁烷-1,4-二磺酰基)亞胺、三(三氟甲烷磺?；?甲基三苯基锍、三(三氟甲烷磺酰基)甲基叔丁基二苯锍、三苯基锍1,3-二磺酰基六氟亞丙基酰亞胺、四(五氟苯基)硼酸三芳基锍(例如四(五氟苯基)硼酸三苯基锍)、四(五氟苯基)硼酸二芳基碘鹽(例如四(五氟苯基)硼酸二苯基碘鹽)、三氟三(五氟乙基)磷酸二苯基[4-(苯硫基)苯基]锍等；碘鹽陽(yáng)離子還可為4-甲基苯基-4'-異丁基苯基碘鹽或4-甲基苯基-4'-異丙基苯基碘鹽。尤其優(yōu)選為三氟甲磺酸三苯基锍、六氟銻酸二苯基碘鹽。其他實(shí)例描述于jp2002-229192a、jp2003-140332a、jp2002-128755a、jp2003-35948a、jp2003-149800a、jp2002-6480a、jp2002-116546a、jp2002-156750a、us6458506、us2003/27061、us5554664、wo2007-118794。(2)含鹵素的化合物含鹵代烷基的雜環(huán)化合物、含鹵代烷基的烴化合物等。優(yōu)選為(三氯甲基)-均三嗪衍生物，例如苯基-雙(三氯甲基)-均三嗪、甲氧基苯基-雙(三氯甲基)-均三嗪、萘基-雙(三氯甲基)-均三嗪等；1,1-雙(4-氯苯基)-2,2,2-三氯乙烷等。(3)砜化合物，例如式的砜化合物，其中ra和rb彼此獨(dú)立地為烷基、環(huán)烷基或芳基，其各自可具有至少一個(gè)取代基，例如該類化合物例如公開于us2002/0172886a、jp2003-192665a、us2002/9663a中。更多實(shí)例為β-酮砜、β-磺?；考捌洇?重氮衍生物等。優(yōu)選為苯甲酰甲基苯基砜、均三甲苯基苯甲酰甲基砜、雙(苯基磺?；?甲烷、雙(苯基磺?；?重氮甲烷。(4)磺酸酯化合物，例如烷基磺酸酯、鹵代烷基磺酸酯、芳基磺酸酯、亞氨基磺酸酯、酰亞氨基磺酸酯等。優(yōu)選酰亞氨基磺酸酯化合物為例如n-(三氟甲基磺酰氧基)丁二酰亞胺、n-(三氟甲基磺酰氧基)鄰苯二甲酰亞胺、n-(三氟甲基磺酰氧基)萘基酰亞胺、n-(三氟甲基磺酰氧基)二苯基馬來(lái)酰亞胺、n-(三氟甲基磺酰氧基)-雙環(huán)-[2,2,1]-庚-5-烯-2,3-二甲酰亞胺、n-(三氟甲基磺酰氧基)-7-氧雜雙環(huán)-[2,2,1]-庚-5-烯-2,3-二甲酰亞胺、n-(三氟甲基磺酰氧基)-7-氧雜雙環(huán)-[2,2,1]-庚-5-烯-2,3-二甲酰亞胺、n-(三氟甲基磺酰氧基)-雙環(huán)-[2,2,1]-庚烷-5,6-氧基-2,3-二甲酰亞胺、n-(莰基磺酰氧基)丁二酰亞胺、n-(莰基磺酰氧基)鄰苯二甲酰亞胺、n-(莰基磺酰氧基)萘基酰亞胺、n-(莰基磺酰氧基)二苯基馬來(lái)酰亞胺、n-(莰基磺酰氧基)-雙環(huán)-[2,2,1]-庚-5-烯-2,3二甲酰亞胺、n-(莰基磺酰氧基)-7-氧雜雙環(huán)-[2,2,1]-庚-5-烯-2,3-二甲酰亞胺、n-(莰基磺酰氧基)-7-氧雜雙環(huán)-[2,2,1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亞胺、n-(莰基磺酰氧基)-雙環(huán)-[2,2,1]-庚烷-5,6-氧基-2,3-二甲酰亞胺、n-(4-甲基苯基磺酰氧基)丁二酰亞胺、n-(4-甲基苯基磺酰氧基)鄰苯二甲酰亞胺、n-(4-甲基苯基磺酰氧基)萘基酰亞胺、n-(4-甲基苯基磺酰氧基)萘基酰亞胺、n-(4-甲基苯基磺酰氧基)二苯基馬來(lái)酰亞胺、n-(4-甲基苯基磺酰氧基)-雙環(huán)-[2,2,1]-庚-5-烯2,3-二甲酰亞胺、n-(4-甲基苯基磺酰氧基)-7-氧雜雙環(huán)-[2,2,1]-庚-5-烯-2,3-二甲酰亞胺、n-(4-甲基苯基磺酰氧基)-雙環(huán)-[2,2,1]-庚烷-5,6-氧基-2,3-二甲酰亞胺、n-(2-三氟甲基苯基磺酰氧基)丁二酰亞胺、n-(2-三氟甲基苯基磺酰氧基)萘基酰亞胺、n-(2-三氟甲基苯基磺酰氧基)二苯基馬來(lái)酰亞胺、n-(2-三氟甲基苯基磺酰氧基)-雙環(huán)-[2,2,1]-庚-5-烯-2,3-二甲酰亞胺、n-(2-三氟甲基苯基磺酰氧基)-7-氧雜雙環(huán)-[2,2,1]-庚-5-烯-2,3-二甲酰亞胺、n-(2-三氟甲基苯基磺酰氧基)-雙環(huán)-[2,2,1]-庚烷-5,6-氧基-2,3-二甲酰亞胺等。其他合適磺酸酯化合物優(yōu)選為例如苯偶姻甲苯磺酸酯、連苯三酚三-三氟甲磺酸酯、連苯三酚甲烷磺酸三酯、硝基芐基-9,10-二乙氧基蒽2-磺酸酯、α-(4-甲苯-磺酰氧基亞氨基)-芐基氰化物、α-(4-甲苯-磺酰氧基亞氨基)-4-甲氧基芐基氰化物、α-(4-甲苯-磺酰氧基亞氨基)-2-噻吩基甲基氰化物、α-(甲烷磺酰氧基亞氨基)-1-環(huán)己烯基乙腈、α-(丁基磺酰氧基亞氨基)-1-環(huán)戊烯基乙腈、(4-甲基磺酰氧基亞氨基-環(huán)己-2,5-亞二烯基)-苯基乙腈、(5-甲基磺酰氧基亞氨基-5h-噻吩-2-亞基)-苯基-乙腈、(5-甲基磺酰氧基亞氨基-5h-噻吩-2-亞基)-(2-甲基苯基)-乙腈、(5-丙基磺酰氧基亞氨基5h-噻吩-2-亞基)-(2-甲基苯基)-乙腈、(5-(對(duì)甲苯磺酰氧基亞氨基)-5h-噻吩-2-亞基)-(2-甲基苯基)-乙腈、(5-(10-樟腦磺酰氧基亞氨基)-5h-噻吩-2-亞基)-(2-甲基苯基)-乙腈、(5-甲基磺酰氧基亞氨基-5h-噻吩-2-亞基)(2-氯苯基)-乙腈、2,2,2-三氟-1-{4-(3-[4-{2,2,2-三氟-1-(1-丙烷磺酰氧基亞氨基)-乙基}-苯氧基]-丙氧基)-苯基}-乙酮肟1-丙烷磺酸酯、2,2,2-三氟-1-{4-(3-[4-{2,2,2-三氟-1-(1-對(duì)甲苯磺酰氧基亞氨基)-乙基}-苯氧基]-丙氧基)-苯基}-乙酮肟1-對(duì)甲苯磺酸酯、2-[2,2,3,3,4,4,5,5,6,6,7,7-十二氟-1(九氟丁基磺酰氧基亞氨基)-庚基]-芴、2-[2,2,3,3,4,4,4-七氟-1-(九氟丁基磺酰氧基亞氨基)-丁基]-芴、2-[2,2,3,3,4,4,5,5-八氟-1-(九氟丁基磺酰氧基亞氨基)-戊基]-芴、8-[2,2,3,3,4,4,5,5-八氟-1-(九氟丁基磺酰氧基亞氨基)-戊基]-丙二烯合芴等。在本發(fā)明的輻射敏感性樹脂組合物中，尤其優(yōu)選的磺酸酯化合物包括連苯三酚甲烷磺酸三酯、n-(三氟甲基磺酰氧基)雙環(huán)-[2,2,1]-庚-5-烯-2,3-二甲酰亞胺、n-(莰基磺酰氧基)萘基酰亞胺、n-(2-三氟甲基苯基磺酰氧基)鄰苯二甲酰亞胺、n-(三氟甲基磺酰氧基)-雙環(huán)-[2,2,1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亞胺、n-(莰基磺酰氧基)萘基酰亞胺、n-(2-三氟甲基苯基磺酰氧基)鄰苯二甲酰亞胺等。(5)醌二疊氮化合物，例如聚羥基化合物的1,2-二疊氮醌磺酸酯化合物。優(yōu)選為具有1,2-二疊氮醌磺?；?,2-二疊氮苯醌-4-磺?；?,2-二疊氮萘醌-4-磺?；?、1,2-二疊氮萘醌-5-磺?；?、1,2-二疊氮萘醌-6-磺酰基等的化合物。尤其優(yōu)選為具有1,2-二疊氮萘醌-4-磺酰基或1,2-二疊氮萘醌-5-磺?；幕衔铩Ｓ绕浜线m的為(多)羥苯基芳基酮如2,3,4-三羥基二苯甲酮、2,4,6-三羥基二苯甲酮、2,3,4,4'-四羥基二苯甲酮、2,2',3,4-四羥基二苯甲酮、2,3,4,4'-四羥基二苯甲酮、2,2',4,4'-四羥基二苯甲酮、2,2',3,4,4'-五羥基二苯甲酮、2,2'3,2,6'-五羥基二苯甲酮、2,3,3',4,4'5'-六羥基二苯甲酮、2,3',4,4',5'6-六羥基二苯甲酮等的1,2-二疊氮醌磺酸酯等；雙[(多)羥基苯基]烷烴如雙(4-羥苯基)乙烷、雙(2,4-二羥苯基)乙烷、2,2-雙(4-羥苯基)丙烷、2,2-雙(2,4-二羥苯基)丙烷、2,2-雙(2,3,4-三羥苯基)丙烷等的1,2-二疊氮醌磺酸酯；(多)羥基苯基烷烴如4,4'-二羥基三苯基甲烷、4,4',4”-三羥基三苯基甲烷、4,4'5,5'-四甲基-2,2',2”-三羥基三苯基甲烷、2,2,5,5'-四甲基-4,4',4”-三羥基三苯基甲烷、1,1,1-三(4-羥基苯基)乙烷、1,1-雙(4-羥基苯基)-1-苯乙烷、1,1-雙(4-羥基苯基)-1-(4-[1-(羥基苯基)-1-甲基乙基]-苯基)乙烷等的1,2-二疊氮醌磺酸酯；(多)羥基苯基黃烷如2,4,4-三甲基-2',4',7-三羥基-2-苯基黃烷、2,4,4-三甲基-2',4',5',6,7-五羥基-2-苯基黃烷等的1,2-二疊氮醌磺酸酯。適合于與本發(fā)明化合物混合使用的光潛酸的其他實(shí)例描述于jp2003-43678a、jp2003-5372a、jp2003-43677a、jp2002-357904a、jp2002-229192a中。本發(fā)明的正型和負(fù)型光敏性樹脂組合物可任選地含有一種或多種本領(lǐng)域熟練技術(shù)人員已知的常規(guī)量的通常用于組合物中的添加劑(c)，例如染料、顏料、增塑劑、表面活性劑、流動(dòng)改進(jìn)劑、潤(rùn)濕劑、助粘劑、觸變劑、著色劑、填料、溶解促進(jìn)劑、酸放大劑、光敏劑和有機(jī)堿性化合物?？捎糜诒景l(fā)明組合物的有機(jī)堿性化合物的其他實(shí)例為比酚強(qiáng)的堿的化合物，尤其是含氮堿性化合物。這些化合物可為離子型(例如四烷基銨鹽)或非離子型。優(yōu)選有機(jī)堿性化合物為每分子具有兩個(gè)或更多個(gè)具有不同化學(xué)環(huán)境的氮原子的含氮堿性化合物。尤其優(yōu)選含有至少一個(gè)經(jīng)取代或未經(jīng)取代的氨基與至少一個(gè)含氮環(huán)結(jié)構(gòu)的化合物和具有至少一個(gè)烷基氨基的化合物。該類優(yōu)選化合物的實(shí)例包括胍、氨基吡啶、氨基烷基吡啶、氨基吡咯烷、吲唑、咪唑、吡唑、吡嗪、嘧啶、嘌呤、咪唑啉、吡唑啉、哌嗪、氨基嗎啉和氨基烷基嗎啉。未經(jīng)取代的化合物或其經(jīng)取代的衍生物均為合適的。優(yōu)選取代基包括氨基、氨基烷基、烷基氨基、氨基芳基、芳基氨基、烷基、烷氧基、?；?、酰氧基、芳基、芳氧基、硝基、羥基和氰基。尤其優(yōu)選的有機(jī)堿性化合物的具體實(shí)例包括胍、1,1-二甲基胍、1,1,3,3-四甲基胍、2-氨基吡啶、3-氨基吡啶、4-氨基吡啶、2-二甲基氨基吡啶、4-二甲基氨基吡啶、2-二乙基氨基吡啶、2-(氨基甲基)吡啶、2-氨基-3-甲基吡啶、2-氨基-4-甲基吡啶、2-氨基-5-甲基吡啶、2-氨基-6-甲基吡啶、3-氨基乙基吡啶、4-氨基乙基吡啶、3-氨基吡咯烷、哌嗪、n-(2-氨基乙基)哌嗪、n-(2-氨基乙基)哌啶、4-氨基-2,2,6,6-四甲基哌啶、4-哌啶并哌啶、2-亞氨基哌啶、1-(2-氨基乙基)吡咯烷、吡唑、3-氨基-5-甲基吡唑、5-氨基-3-甲基-1-對(duì)甲苯基吡唑、吡嗪、2-(氨基甲基)-5-甲基吡嗪、嘧啶、2,4-二氨基嘧啶、4,6-二羥基嘧啶、2-吡唑啉、3-吡唑啉、n-氨基嗎啉和n-(2-氨基乙基)嗎啉。合適有機(jī)堿性化合物的其他實(shí)例描述于de4408318、us5609989、us5556734、ep762207、de4306069、ep611998、ep813113、ep611998、和us5498506、jp2003-43677a、jp2003-43678a、jp2002-226470a、jp2002-363146a、jp2002-363148a、jp2002-363152a、jp2003-98672a、jp2003-122013a、jp2002-341522a中。然而，適用于本發(fā)明的有機(jī)堿性化合物不受限于這些實(shí)例。含氮堿性化合物可單獨(dú)使用或以其兩種或更多種的組合使用。含氮堿性化合物的添加量通常為每100重量份光敏性樹脂組合物(不包括溶劑)0.001至10重量份，優(yōu)選0.01至5重量份。若其量小于0.001重量份，則不能獲得本發(fā)明的作用。另一方面，若其超過10重量份，可能引起敏感性降低且未暴露部分的可顯影性受損。組合物可進(jìn)一步含有在光化輻射下分解的堿性有機(jī)化合物(“自殺堿”)，例如ep710885、us5663035、us5595855、us5525453和ep611998中所述。可進(jìn)一步添加(光譜)敏化劑(e)以敏化光潛酸而在比遠(yuǎn)紫外線長(zhǎng)的波長(zhǎng)的區(qū)域中顯示出吸收，從而可例如使本發(fā)明的光敏性組合物對(duì)i線或g線輻射敏感。合適光譜敏化劑的實(shí)例包括二苯甲酮、p,p’-四甲基二氨基二苯甲酮、p,p’-四乙基乙基氨基二苯甲酮、噻噸酮、2-氯-噻噸酮、蒽酮、芘、苝、吩噻嗪、二苯基乙二酮、吖啶橙、苯并黃素、細(xì)胞黃素t、9,10-二苯基蒽、9-芴酮、苯乙酮、菲、2-硝基芴、5-硝基二氫苊、苯醌、2-氯-4-硝基苯胺、n-乙酰基-對(duì)硝基苯胺、對(duì)硝基苯胺、n-乙酰基-4-硝基-1-萘胺、苦酰胺、蒽醌、2-乙基蒽醌、2-叔丁基蒽醌、1,2-苯并蒽醌、3-甲基-1,3-二氮雜-1,9-苯并蒽酮、二苯乙烯基丙酮、1,2-萘醌、3-?；愣顾匮苌铩?,3’-羰基-雙(5,7-二甲氧基羰基香豆素)、3-(芳?；鶃喖谆?噻唑啉、曙紅、繞丹寧、赤蘚紅和暈苯。然而，合適光譜敏化劑不限于這些實(shí)例。這些光譜敏化劑還可用作光吸收劑以吸收光源發(fā)射的遠(yuǎn)紫外線。就此而言，光吸收劑降低由基材的光反射且減少所涂覆膜內(nèi)多種反射的影響，從而降低駐波的作用。該類化合物的具體實(shí)例為1.噻噸酮噻噸酮、2-異丙基-噻噸酮、2-氯-噻噸酮、1-氯-4-丙氧基-噻噸酮、2-十二烷基噻噸酮、2,4-二乙基噻噸酮、2,4-二甲基噻噸酮、1-甲氧基羰基噻噸酮、2-乙氧基羰基噻噸酮、3-(2-甲氧基乙氧基羰基)噻噸酮、4-丁氧基羰基噻噸酮、3-丁氧基羰基-7-甲基噻噸酮、1-氰基-3-氯噻噸酮、1-乙氧基羰基-3-氯噻噸酮、1-乙氧基羰基-3-乙氧基噻噸酮、1-乙氧基羰基-3-氨基噻噸酮、1-乙氧基羰基-3-苯基硫酰噻噸酮、3,4-二-[2-(2-甲氧基乙氧基)乙氧基羰基]噻噸酮、1,3-二甲基-2-羥基-9h-噻噸-9-酮2-乙基己基酯、1-乙氧基羰基-3-(1-甲基-1-嗎啉基乙基)噻噸酮、2-甲基-6-二甲氧基甲基噻噸酮、2-甲基-6-(1,1-二甲氧基芐基)噻噸酮、2-嗎啉基甲基噻噸酮、2-甲基-6-嗎啉基甲基噻噸酮、n-烯丙基噻噸酮-3,4-二甲酰亞胺、n-辛基噻噸酮-3,4-二甲酰亞胺、n-(1,1,3,3-四甲基丁基)噻噸酮-3,4-二甲酰亞胺、1-苯氧基噻噸酮、6-乙氧基羰基-2-甲氧基噻噸酮、6-乙氧基羰基-2-甲基噻噸酮、噻噸酮-2-甲酸聚乙二醇酯、氯化2-羥基-3-(3,4-二甲基-9-氧代-9h噻噸酮-2-基氧基)-n,n,n-三甲基-1-丙銨；2.二苯甲酮二苯甲酮、4-苯基二苯甲酮、4-甲氧基二苯甲酮、4,4’-二甲氧基二苯甲酮、4,4’-二甲基二苯甲酮、4,4’-二氯二苯甲酮、4,4’-雙(二甲基氨基)二苯甲酮、4,4’-雙(二乙基氨基)二苯甲酮、4,4’-雙(甲基乙基氨基)二苯甲酮、4,4’-雙(對(duì)異丙基苯氧基)二苯甲酮、4-甲基二苯甲酮、2,4,6-三甲基二苯甲酮、3-甲基-4’-苯基-二苯甲酮、2,4,6-三甲基-4’-苯基-二苯甲酮、4-(4-甲基噻吩基)-二苯甲酮、3,3’-二甲基-4-甲氧基二苯甲酮、2-苯甲酰苯甲酸甲基酯、4-(2-羥基乙基硫基)-二苯甲酮、4-(4-甲苯基硫基)二苯甲酮、1-[4-(4-苯甲?；?苯基硫基)-苯基]-2-甲基-2-(甲苯-4-磺酰基)-丙-1-酮、氯化4-苯甲?；?n,n,n-三甲基苯甲銨、氯化2-羥基-3-(4-苯甲酰基苯氧基)-n,n,n-三甲基-1-丙銨單水合物、4-(13-丙烯?；?1,4,7,10,13-五氧雜十三烷基)-二苯甲酮、氯化4-苯甲?；?n,n-二甲基-n[2-(1-氧代-2-丙烯基)氧基]乙基-苯甲銨；3.香豆素香豆素1、香豆素2、香豆素6、香豆素7、香豆素30、香豆素102、香豆素106、香豆素138、香豆素152、香豆素153、香豆素307、香豆素314、香豆素314t、香豆素334、香豆素337、香豆素500、3-苯甲?；愣顾?、3-苯甲?；?7-甲氧基香豆素、3-苯甲?；?5,7-二甲氧基香豆素、3-苯甲?；?5,7-二丙氧基香豆素、3-苯甲?；?6,8-二氯香豆素、3-苯甲?；?6-氯-香豆素、3,3’-羰基-雙[5,7-二(丙氧基)-香豆素]、3,3’-羰基-雙(7-甲氧基香豆素)、3,3’-羰基-雙(7-二乙基氨基-香豆素)、3-異丁?；愣顾?、3-苯甲?；?5,7-二甲氧基-香豆素、3-苯甲?；?5,7-二乙氧基-香豆素、3-苯甲?；?5,7-二丁氧基香豆素、3-苯甲?；?5,7-二(甲氧基乙氧基)-香豆素、3-苯甲?；?5,7-二(烯丙氧基)香豆素、3-苯甲?；?7-二甲基氨基香豆素、3-苯甲?；?7-二乙基氨基香豆素、3-異丁?；?7-二甲基氨基香豆素、5,7-二甲氧基-3-(1-萘甲?；?-香豆素、5,7-二乙氧基-3-(1-萘甲?；?-香豆素、3-苯甲?；讲f]香豆素、7-二乙基氨基-3-噻吩?；愣顾?、3-(4-氰基苯甲?；?-5,7-二甲氧基香豆素、3-(4-氰基苯甲?；?-5,7-二丙氧基香豆素、7-二甲基氨基-3-苯基香豆素、7-二乙基氨基-3-苯基香豆素、jp09-179299a和jp09-325209a中所公開的香豆素衍生物，例如7-[{4-氯-6-(二乙基氨基)-均三嗪-2-基}氨基]3-苯基香豆素；4.3-(芳?；鶃喖谆?-噻唑啉3-甲基-2-苯甲酰基亞甲基-β-萘并噻唑啉、3-甲基-2-苯甲酰基亞甲基-苯并噻唑啉、3-乙基-2-丙?；鶃喖谆?β-萘并噻唑啉；5.繞丹寧4-二甲氨基亞芐基繞丹寧，4-二乙基氨基亞芐基繞丹寧，3-乙基-5-(3-辛基-2-苯并噻唑啉亞基)繞丹寧，公開于jp08-305019a中的式[1]、[2]、[7]的繞丹寧衍生物；6.其他化合物苯乙酮，3-甲氧基苯乙酮，4-苯基苯乙酮，苯偶酰，4,4’-二(二甲氨基)苯偶酰，2-乙酰基萘，2-萘甲醛，丹磺酸衍生物，9,10-蒽醌，蒽，芘，氨基芘，苝，菲，菲醌，9-芴酮，二苯并環(huán)庚酮，姜黃素，呫噸酮，硫代米蚩酮，α-(4-二甲氨基亞芐基)酮，例如2,5-二(4-二乙氨基亞芐基)環(huán)戊酮、2-(4-二甲氨基亞芐基)-1,2-二氫化茚-1-酮、3-(4-二甲氨基苯基)-1-1,2-二氫化茚-5-基丙烯酮、3-苯硫基鄰苯二甲酰亞胺，n-甲基-3,5-二(乙硫基)鄰苯二甲酰亞胺，n-甲基-3,5-二(乙硫基)鄰苯二甲酰亞胺，吩噻嗪，甲基吩噻嗪，胺類，例如n-苯基甘氨酸、4-二甲氨基苯甲酸乙酯、4-二甲氨基苯甲酸丁氧基乙基酯、4-二甲氨基苯乙酮、三乙醇胺、甲基二乙醇胺、二甲氨基乙醇、苯甲酸2-(二甲氨基)乙基酯、4-(二甲氨基)苯甲酸聚(丙二醇)酯、吡咯亞甲基，例如1,3,5,7,9-五甲基吡咯亞甲基bf2復(fù)合體、2,8-二乙基-1,3,5,7,9-五甲基吡咯亞甲基bf2復(fù)合體、2,8-二乙基-5-苯基-1,3,7,9-四甲基吡咯亞甲基bf2復(fù)合體、9,10-雙(苯基乙炔基)-1,8-二甲氧基蒽、苯并[1,2,3-kl：4,5,6-k’l’]二呫噸。其他合適添加劑(c)為酸放大劑，即促進(jìn)酸形成或提高酸濃度的化合物。該類化合物還可與本發(fā)明的式(i)或(ia)的肟磺酸酯衍生物組合用于正型或負(fù)型組合物中或成圖象體系中以及所有涂料應(yīng)用中。該類酸放大劑例如描述于arimitsu，k.等，j.photopolym.sci.technol.1995，8，第43頁(yè)；kudo，k.等，j.photopolym.sci.technol.1995，8，第45頁(yè)；ichimura，k.等，chem：letters1995，第551頁(yè)中。如果需要，本發(fā)明的組合物還可含有自由基可聚合組分，例如烯屬不飽和單體、低聚物或聚合物。這些可自由基聚合組分可加入組分(a)中。然而，該類自由基可固化組分還可為(a1)、(a2)、(a3)、(a4)、(a5)或(a6)的一部分。合適材料含有至少一個(gè)烯屬不飽和雙鍵且能夠進(jìn)行加成聚合。含有烯屬雙鍵的合適單體的實(shí)例包括烷基和羥基烷基丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯，例如(甲基)丙烯酸甲基酯、(甲基)丙烯酸乙基酯、(甲基)丙烯酸丙基酯、(甲基)丙烯酸異丙基酯、(甲基)丙烯酸丁基酯、(甲基)丙烯酸己基酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己基酯和(甲基)丙烯酸2-羥基乙基酯、丙烯酸硬脂酯和丙烯酸異冰片烷基酯。其他合適實(shí)例包括丙烯腈、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、n-取代的(甲基)丙烯酰胺、乙烯基酯(例如乙酸乙烯基酯)、乙烯基醚(例如異丁基乙烯基醚)、苯乙烯、經(jīng)烷基和鹵基取代的苯乙烯、n-乙烯基吡咯烷酮、氯乙烯和偏二氯乙烯。含有至少兩個(gè)雙鍵的合適單體的實(shí)例包括甘油二丙烯酸酯、甘油三丙烯酸酯、乙二醇二丙烯酸酯、二乙二醇二丙烯酸酯、二乙二醇二甲基丙烯酸酯、三乙二醇二甲基丙烯酸酯、1,3-丙二醇二丙烯酸酯、1,3-丙二醇二甲基丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、己二醇二丙烯酸酯、雙酚a二丙烯酸酯、4,4’-雙(2-丙烯酰氧基乙氧基)二苯基丙烷、季戊四醇三丙烯酸酯或四丙烯酸酯、季戊四醇四甲基丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、1,2,4-丁三醇三甲基丙烯酸酯、1,4-環(huán)己二醇二丙烯酸酯、山梨糖醇六丙烯酸酯、雙[1-(2-丙烯酰氧基)]-對(duì)乙氧基苯基二甲基甲烷、雙[1-(3-丙烯酰氧基-2-羥基)]-對(duì)丙氧基苯基二甲基甲烷和三羥基乙基異氰脲酸酯三甲基丙烯酸酯；分子量為200至500的聚(乙二醇)的雙-丙烯酸酯和雙-甲基丙烯酸酯、鄰苯二甲酸二烯丙基酯、琥珀酸二乙烯基酯、己二酸二乙烯基酯和鄰苯二甲酸二乙烯基酯、丙烯酸乙烯基酯、二乙烯基苯、磷酸三烯丙基酯、異氰脲酸三烯丙基酯和異氰脲酸三(2-丙烯酰基-乙基)酯。較高分子量(低聚)聚-不飽和化合物的實(shí)例包括丙烯酸化環(huán)氧樹脂、丙烯酸化或含乙烯基醚或環(huán)氧基的聚酯、聚氨酯和聚醚。不飽和低聚物的其他實(shí)例為不飽和聚酯樹脂，其通常由馬來(lái)酸、鄰苯二甲酸和一種或多種二醇制備且分子量為約500至3000。還可使用乙烯基醚單體和低聚物和具有聚酯、聚氨酯、聚醚、聚乙烯基醚和環(huán)氧基主鏈的馬來(lái)酸酯封端的低聚物。此外，非常合適的還有如wo90/01512中所述的乙烯基醚和用馬來(lái)酸官能化的單體的共聚物。然而，合適的還有用乙烯基醚和馬來(lái)酸官能化的單體的共聚物。該類不飽和低聚物還可稱為預(yù)聚物。合適的還有官能化丙烯酸酯。通常用于形成官能化丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯聚合物的基質(zhì)聚合物(主鏈)的合適單體的實(shí)例為丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸甲基酯、丙烯酸乙基酯、甲基丙烯酸乙基酯、丙烯酸正丁基酯、甲基丙烯酸正丁基酯、丙烯酸異丁基酯、甲基丙烯酸異丁基酯、丙烯酸2-乙基己基酯、甲基丙烯酸2-乙基己基酯等。此外，適量官能單體在聚合期間共聚以獲得官能聚合物。酸官能化丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯聚合物使用酸官能單體(例如丙烯酸和甲基丙烯酸)獲得。羥基官能丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯聚合物由羥基官能單體(例如甲基丙烯酸2-羥基乙基酯、甲基丙烯酸2-羥基丙基酯和甲基丙烯酸3,4-二羥基丁基酯)獲得。環(huán)氧官能化丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯聚合物使用環(huán)氧官能單體(例如甲基丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸2,3-環(huán)氧基丁基酯、甲基丙烯酸3,4-環(huán)氧基丁基酯、甲基丙烯酸2,3-環(huán)氧環(huán)己基酯、甲基丙烯酸10,11-環(huán)氧基十一烷基酯等)獲得。還可由異氰酸酯官能化單體(例如異氰酸間異丙烯基-α,α-二甲基芐基酯)獲得異氰酸酯官能聚合物。例如尤其合適的是烯屬不飽和單官能或多官能羧酸與多元醇的酯或聚環(huán)氧化物和鏈或側(cè)基中具有烯屬不飽和基團(tuán)的聚合物(例如不飽和聚酯、聚酰胺和聚氨酯及其共聚物)、醇酸樹脂、聚丁二烯和丁二烯共聚物、聚異戊二烯和異戊二烯共聚物、側(cè)鏈中具有(甲基)丙烯酸基團(tuán)的聚合物和共聚物以及一種或多種該類聚合物的混合物。合適單官能或多官能不飽和羧酸的實(shí)例為丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸、衣康酸、肉桂酸、馬來(lái)酸和富馬酸和不飽和脂肪酸，例如亞麻酸或油酸。優(yōu)選為丙烯酸和甲基丙烯酸。然而，還可使用飽和二羧酸或多羧酸與不飽和羧酸的混合物。合適飽和二羧酸或多羧酸的實(shí)例包括例如四氯鄰苯二甲酸、四溴鄰苯二甲酸、鄰苯二甲酸酐、己二酸、四氫鄰苯二甲酸、間苯二甲酸、對(duì)苯二甲酸、偏苯三甲酸、庚烷二甲酸、癸二酸、十二烷二甲酸、六氫鄰苯二甲酸等。合適多元醇為芳族多元醇，尤其是脂族和環(huán)脂族多元醇。芳族多元醇的實(shí)例為氫醌、4,4’-二羥基二苯基、2,2-二(4-羥基苯基)-丙烷和酚醛清漆和甲階酚醛樹脂。聚環(huán)氧化物的實(shí)例為基于所提及的多元醇，尤其是芳族多元醇和表氯醇的那些。聚合物鏈或側(cè)基中含有羥基的聚合物和共聚物還適合作為多元醇，例如聚乙烯醇及其共聚物或聚甲基丙烯酸羥基烷基酯或其共聚物。其他合適多元醇為具有羥基端基的低聚酯。脂族和環(huán)脂族多元醇的實(shí)例為優(yōu)選具有2至12個(gè)碳原子的亞烷基二醇，例如乙二醇、1,2-或1,3-丙二醇、1,2-、1,3-或1,4-丁二醇、戊二醇、己二醇、辛二醇、十二烷二醇、二乙二醇、三乙二醇、分子量?jī)?yōu)選為200至1500的聚乙二醇、1,3-環(huán)戊二醇、1,2-、1,3-或1,4-環(huán)己二醇、1,4-二羥基甲基環(huán)己烷、甘油、三(β-羥基乙基)胺、三羥甲基乙烷、三羥甲基丙烷、季戊四醇、二季戊四醇和山梨糖醇。多元醇可由一種或不同不飽和羧酸部分或完全酯化，其中偏酯中的游離羥基可經(jīng)改性，例如醚化，或經(jīng)其他羧酸酯化。酯的實(shí)例為：三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、三羥甲基乙烷三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、三羥甲基乙烷三甲基丙烯酸酯、丁二醇二甲基丙烯酸酯、三乙二醇二甲基丙烯酸酯、四乙二醇二丙烯酸酯、季戊四醇二丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇二丙烯酸酯、二季戊四醇三丙烯酸酯、二季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、三季戊四醇八丙烯酸酯、季戊四醇二甲基丙烯酸酯、季戊四醇三甲基丙烯酸酯、二季戊四醇二甲基丙烯酸酯、二季戊四醇四甲基丙烯酸酯、三季戊四醇八甲基丙烯酸酯、季戊四醇二衣康酸酯、二季戊四醇三衣康酸酯、二季戊四醇五衣康酸酯、二季戊四醇六衣康酸酯、乙二醇二丙烯酸酯、1,3-丁二醇二丙烯酸酯、1,3-丁二醇二甲基丙烯酸酯、1,4-丁二醇二衣康酸酯、山梨糖醇三丙烯酸酯、山梨糖醇四丙烯酸酯、經(jīng)季戊四醇改性的三丙烯酸酯、山梨糖醇四甲基丙烯酸酯、山梨糖醇五丙烯酸酯、山梨糖醇六丙烯酸酯、低聚酯丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯、甘油二丙烯酸酯和三丙烯酸酯、1,4-環(huán)己烷二丙烯酸酯、分子量為200至1500的聚乙二醇的雙丙烯酸酯和雙甲基丙烯酸酯及其混合物。合適不飽和自由基可聚合化合物還為相同或不同不飽和羧酸的酰胺，和具有優(yōu)選2至6個(gè)，尤其是2至4個(gè)氨基的芳族、環(huán)脂族和脂族多胺。該類多胺的實(shí)例為乙二胺、1,2-或1,3-丙二胺、1,2-、1,3-或1,4-丁二胺、1,5-戊二胺、1,6-己二胺、辛二胺、十二烷二胺、1,4-二氨基環(huán)己烷、異佛爾酮二胺、苯二胺、聯(lián)苯二胺、二-β-氨基乙醚、二亞乙基三胺、三亞乙基四胺和二(β-氨基乙氧基)-或二(β-氨基丙氧基)-乙烷。其他合適多胺為側(cè)鏈中可具有其他氨基的聚合物和共聚物以及具有氨基端基的低聚酰胺。該類不飽和酰胺的實(shí)例為：亞甲基雙丙烯酰胺、1,6-六亞甲基雙丙烯酰胺、雙(甲基丙烯酰氨基丙氧基)乙烷、β-甲基丙烯酰氨基乙基甲基丙烯酸酯和n-[(β-羥基乙氧基)乙基]-丙烯酰胺。合適不飽和聚酯和聚酰胺例如衍生自馬來(lái)酸和二醇或二胺。馬來(lái)酸可部分經(jīng)其他二羧酸置換。其可與烯屬不飽和共聚單體(例如苯乙烯)一起使用。聚酯和聚酰胺還可衍生自二羧酸和烯屬不飽和二醇或二胺，尤其是具有例如6至20個(gè)碳原子的較長(zhǎng)鏈的那些。聚氨酯的實(shí)例為由飽和或不飽和二異氰酸酯和飽和或不飽和二醇構(gòu)成的那些。已知聚丁二烯和聚異戊二烯及其共聚物。合適共聚單體包括例如烯烴，例如乙烯、丙烯、丁烯、己烯、(甲基)丙烯酸酯、丙烯腈、苯乙烯和氯乙烯。還已知側(cè)鏈中具有(甲基)丙烯酸酯基團(tuán)的聚合物。其可為例如基于酚醛清漆的環(huán)氧樹脂與(甲基)丙烯酸的反應(yīng)產(chǎn)物；用(甲基)丙烯酸酯化的乙烯醇或其羥基烷基衍生物的均聚物或共聚物；或用(甲基)丙烯酸羥基烷基酯酯化的(甲基)丙烯酸酯的均聚物或共聚物。還可使用可以自由基與陽(yáng)離子方式同等交聯(lián)的化合物。該類化合物含有例如乙烯基與環(huán)脂族環(huán)氧基。其實(shí)例描述于jp2-289611a和us6048953中。還可使用兩種或更多種該類自由基可聚合材料的混合物。配制劑還可包含染料和/或白色或有色顏料作為其他添加劑(c)。取決于預(yù)期用途，可使用無(wú)機(jī)與有機(jī)顏料。該類添加劑為本領(lǐng)域熟練技術(shù)人員已知；其一些實(shí)例為二氧化鈦顏料(例如金紅石或銳鈦礦型)、碳黑、鋅氧化物(例如鋅白)、鐵氧化物(例如氧化鐵黃、氧化鐵紅)、鉻黃、鉻綠、鎳鈦黃、群青藍(lán)、鈷藍(lán)、釩酸鉍、鎘黃和鎘紅。有機(jī)顏料的實(shí)例為單或雙偶氮顏料及其金屬配合物；酞菁顏料；多環(huán)顏料，例如苝、蒽醌、硫靛藍(lán)、喹吖啶酮和三苯基甲烷顏料；和二酮基吡咯并吡咯；異吲哚啉酮，例如四氯異吲哚啉酮；異二氫吲哚、二嗪、苯并咪唑酮和喹酞酮顏料。顏料可單獨(dú)或以混合物形式用于配制劑中。取決于預(yù)期用途，顏料以本領(lǐng)域中的常規(guī)量(例如基于總重量為1至60重量％或10至30重量％的量)加入配制劑中。配制劑還可例如包含寬范圍類別的有機(jī)染料。其實(shí)例包括偶氮染料、次甲基染料、蒽醌染料和金屬配合物染料。常規(guī)濃度為基于總重量例如0.1至20％，尤其是1至5％。所添加的顏料、潛在顏料或染料或該類顏料和染料的不同著色前體可經(jīng)選擇使得其在由碘鹽通過輻照形成的酸存在下發(fā)生顏色變化。該類組合物隨后通過顏色變化顯示出其已經(jīng)輻照且可例如用作例如uv輻射、電子束、x-射線等的輻照劑量指示物。作為適用于本發(fā)明組合物的其他添加劑(c)的染料的實(shí)例為油溶性染料和堿性染料，例如油黃#101、油黃#103、油粉#312、油綠bg、油藍(lán)bos、油藍(lán)#603、油黑by、油黑bs、油黑t-505(均由orientchemicalindustriesltd.,japan制造)、結(jié)晶紫(ci42555)、甲基紫(ci42535)、繞丹寧b(ci45170b)、孔雀綠(ci42000)和亞甲基藍(lán)(ci52015)。用作本發(fā)明中的添加劑(c)的粘附助劑為用于提高絕緣膜對(duì)制成基材的無(wú)機(jī)材料的粘附性的化合物，例如硅化合物，例如硅、氧化硅和氮化硅，或金屬，例如金、銅和鋁。其具體實(shí)例包括硅烷偶合劑和基于硫醇的化合物。作為用于本發(fā)明的粘附助劑的硅烷偶合劑意欲改性界面且不受特別限制，且可使用已知硅烷偶合劑。硅烷偶合劑的優(yōu)選實(shí)例為γ-氨基丙基三甲氧基硅烷、γ-氨基丙基三乙氧基硅烷、γ-縮水甘油氧基丙基三烷氧基硅烷、γ-縮水甘油氧基丙基烷基二烷氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰氧基丙基三烷氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰氧基丙基烷基二烷氧基硅烷、γ-氯丙基三烷氧基硅烷、γ-巰基丙基三烷氧基硅烷、β-(3,4-環(huán)氧基環(huán)己基)乙基三烷氧基硅烷和乙烯基三烷氧基硅烷。其中，更優(yōu)選γ-縮水甘油氧基丙基三烷氧基硅烷和甲基丙烯酰氧基丙基三烷氧基硅烷?？蓡为?dú)使用其中的一種，或可組合使用其兩種或更多種類別。其不僅有效用于提高對(duì)基材的粘附性，而且用于調(diào)節(jié)與基材的錐角。改進(jìn)性能如分辨率、圖案輪廓、方法寬容度(processlatitude)、線邊緣粗糙度、穩(wěn)定性的其他添加劑(c)例如描述于jp2002-122992a、jp2002-303986a、jp2002-278071a、jp2003-57827a、jp2003-140348a、jp2002-6495a、jp2002-23374a、jp2002-90987a、jp2002-91004a、jp2002-131913a、jp2002-131916a、jp2002-214768a、jp2001-318464a、jp2001-330947a、jp2003-57815a、jp2003-280200a、jp2002-287362a、jp2001-343750a中。該類化合物還可與本發(fā)明的式(i)或(ia)的肟磺酸酯衍生物組合用于正型或負(fù)型光敏性樹脂組合物中。通常，對(duì)于將本發(fā)明光敏性組合物施用于基材，將組合物溶解于適當(dāng)溶劑中。這些溶劑的優(yōu)選實(shí)例包括二氯乙烯、環(huán)己酮、環(huán)戊酮、2-庚酮、γ-丁內(nèi)酯、甲基乙基酮、乙二醇單甲基醚、乙二醇單乙基醚、乙酸2-甲氧基乙基酯、乙酸2-乙氧基乙基酯、2-乙氧基乙醇、二乙二醇二甲基醚、乙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單甲基醚、丙二醇單甲基醚乙酸酯、甲苯、乙酸乙基酯、乙酸丁基酯、乳酸甲基酯、乳酸乙基酯、甲氧基丙酸甲基酯、乙氧基丙酸乙基酯、丙酮酸甲基酯、丙酮酸乙基酯、丙酮酸丙基酯、n,n-二甲基甲酰胺、二甲亞砜、n-甲基吡咯烷酮和四氫呋喃。這些溶劑可單獨(dú)或以混合物形式使用。溶劑的優(yōu)選實(shí)例為酯，例如乙酸2-甲氧基乙基酯、乙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單甲基醚乙酸酯、甲氧基丙酸甲基酯、乙氧基丙酸乙基酯和乳酸乙基酯。使用該類溶劑由于由本發(fā)明的式(i)或(ia)表示的肟磺酸酯衍生物與其具有良好相容性和于其中的更好溶解性而是有利的。可將表面活性劑加入溶劑中。合適表面活性劑的實(shí)例包括非離子表面活性劑，例如聚氧乙烯烷基醚，例如聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯乙?；押途垩跻蚁┯突?；聚氧乙烯烷基芳基醚，例如聚氧乙烯辛基酚醚和聚氧乙烯壬基酚醚；聚氧乙烯/聚氧丙烯嵌段共聚物、脫水山梨糖醇/脂肪酸酯，例如脫水山梨糖醇單月桂酸酯、脫水山梨糖醇單棕櫚酸酯、脫水山梨糖醇單硬脂酸酯、脫水山梨糖醇單油酸酯、脫水山梨糖醇三油酸酯；氟化學(xué)表面活性劑，例如f-topef301、ef303和ef352(由newakitachemicalcompany,japan制造)。megafacf171和f17.3(由dainipponink&chemicals,inc,.japan制造)、fluoradfc430和fc431(由sumitomo3mltd.,japan制造)、asahiguardag710和surflons-382、sc101、sc102、sc103、sc104、sc105和sc106(由asahigrasscol,ltd.,japan制造)；有機(jī)硅氧烷聚合物kp341(由shin-etsuchemicalco.,ltd.,japan制造)；和丙烯酸系或甲基丙烯酸系(共)聚合物poly-flownow.75和no.95(由kyoeishachemicalco.,ltd.,japan制造)。其他實(shí)例描述于jp-a-2001-318459、jp-a-2002-6483中。表面活性劑的添加量通常為每100重量份本發(fā)明組合物的固體組分2重量份或更少，理想的是0.5重量份或更少。表面活性劑可單獨(dú)或以其兩種或更多種的組合形式添加。將包含式(i)或(ia)的化合物的可聚合組合物的溶液借助已知涂覆方法(例如通過旋涂、浸漬、刮涂、簾式傾倒技術(shù)、刷涂、噴霧和滾涂)均勻施加于基材。還可將光敏性層施加于暫時(shí)可撓性支撐件，隨后通過涂層轉(zhuǎn)移(層壓)涂覆最終基材。施加量(涂層厚度)和基材(涂覆基材)性質(zhì)取決于所需應(yīng)用領(lǐng)域。涂層厚度的范圍可原則上包括約0.01μm至大于100μm的值。涂覆操作后，通常通過加熱移除溶劑，在基材上得到光敏性樹脂組合物的層。干燥溫度當(dāng)然必須低于組合物的某些組分可能反應(yīng)或分解的的溫度。通常，干燥溫度在60至160℃范圍內(nèi)。隨后，涂層進(jìn)行成圖象輻照。表述成圖象輻照包括以預(yù)定圖案使用光化輻射輻照，即經(jīng)由含有預(yù)定圖案的掩模(例如透明鉻掩?；蚬庋谀?輻照與例如在計(jì)算機(jī)控制下使用直接寫于所涂表面上的激光束或電子束輻照，因此得到圖象。制造圖案的另一方式為兩種光束或圖象干涉，例如如全像應(yīng)用中所用。還可使用由液晶制成的掩模，其可以逐個(gè)像素尋址以產(chǎn)生數(shù)字圖象，例如如a.bertsch；j.y.jezequel；j.c.andre,journalofphotochemistryandphotobiologya：chemistry1997,107第275-281頁(yè)和k.p.nicolay,offsetprinting1997,6，第34-37頁(yè)所述。輻照和如果需要熱處理后，組合物的輻照位點(diǎn)(在正型光敏性樹脂組合物的情況下)或非輻照位點(diǎn)(在負(fù)型光敏性樹脂組合物的情況下)以自身已知方式使用顯影劑移除。為加速催化反應(yīng)且因此在抗蝕劑涂層的輻照與未輻照區(qū)段之間產(chǎn)生于顯影劑中的足夠溶解性差異，涂層優(yōu)選在顯影之前加熱。還可在輻照期間進(jìn)行加熱或開始加熱。優(yōu)選使用60至160℃的溫度。時(shí)間段取決于加熱方法，且如果需要最佳時(shí)間段可容易地由本領(lǐng)域熟練技術(shù)人員借助一些常規(guī)實(shí)驗(yàn)確定。其通常為數(shù)秒至數(shù)分鐘。例如，非常合適的是在使用加熱板時(shí)10至300秒的時(shí)間段，且在使用對(duì)流烘箱時(shí)1至30分鐘。抗蝕劑上未輻照位點(diǎn)中本發(fā)明的潛酸供體在這些加工條件下穩(wěn)定很重要。隨后使涂層顯影，移除輻照后更易溶于顯影劑涂層的部分。如果需要，輕微攪拌工件，于顯影劑浴中輕微刷涂涂層或噴霧顯影可加速該工藝步驟。抗蝕劑技術(shù)中常規(guī)的堿性顯影劑水溶液可例如用于顯影。該類顯影劑包含例如氫氧化鈉或氫氧化鉀、相應(yīng)碳酸鹽、碳酸氫鹽、硅酸鹽或偏硅酸鹽，但優(yōu)選為無(wú)金屬堿，例如氨或胺，例如乙胺、正丙胺、二乙胺、二正丙胺、三乙胺、甲基二乙胺、烷醇胺(例如二甲基乙醇胺、三乙醇胺)、氫氧化季銨(例如氫氧化四甲銨或氫氧化四乙銨)。顯影劑溶液通常至多0.5n，但通常在使用之前以合適方式稀釋。例如，約0.1-0.3當(dāng)量濃度的溶液是非常合適的。顯影劑的選擇取決于光可固化表面涂料的性質(zhì)，尤其是所用粘合劑或所得光解產(chǎn)物的性質(zhì)。如果需要，顯影劑水溶液還可包含相對(duì)少量的潤(rùn)濕劑和/或有機(jī)溶劑。可加入顯影劑流體中的典型有機(jī)溶劑為例如環(huán)己酮、2-乙氧基乙醇、甲苯、丙酮、異丙醇以及這些溶劑中的兩種或更多種的混合物。典型水性/有機(jī)顯影劑體系基于butylcellosolvertm/水。尤其在用于如下應(yīng)用的包括具有一種官能團(tuán)的組分的配制劑的情況下，例如隔離層、層間介電膜、鈍化層、平坦化層、保護(hù)層、外涂層、儲(chǔ)存單元等，顯影方法后獲得的圖案可使用加熱板或烘箱在130至270℃的優(yōu)選溫度下，更優(yōu)選在180至250℃的溫度下進(jìn)行熱處理3至120分鐘、更優(yōu)選5至90分鐘的時(shí)間段以完成酸分解反應(yīng)，從而產(chǎn)生羧基和/或酚基，且使該基團(tuán)與一種官能團(tuán)(例如縮水甘油基)交聯(lián)。因而，形成具有優(yōu)異耐熱性、硬度的所得膜或圖案。此外，在氮?dú)夥諊聼崽幚砜少x予膜更好的透明性。本發(fā)明的主題還為一種通過如下步驟制備光致抗蝕劑的方法：(1)將上述組合物施加于基材；(2)在60℃至140℃的溫度下施加后烘烤該組合物；(3)用200nm至450nm的波長(zhǎng)的光進(jìn)行成圖象輻照；(4)任選地在60℃至140℃的溫度下暴露后烘烤該組合物；和(5)用溶劑或用堿性顯影劑水溶液顯影；(6)任選地用200nm至450nm的波長(zhǎng)的光泛光暴露該涂層；(7)在90℃至250℃的溫度下烘烤。優(yōu)選為上述方法，其中成圖象輻照用10至600nm范圍內(nèi)，尤其是10至700nm范圍內(nèi)的波長(zhǎng)的單色或多色輻射進(jìn)行。光致抗蝕劑組合物可用于所有基材上，且其中所有暴露技術(shù)為本領(lǐng)域熟練技術(shù)人員已知。例如，可使用半導(dǎo)體基材，例如硅、砷化鎵、鍺、銻化銦；此外，覆蓋有氧化物或氮化物層(例如二氧化硅、氮化硅、氮化鈦、硅氧烷)的基材，以及金屬基材和涂有金屬的基材，其使用金屬如鋁、銅、鎢等。基材還可涂有聚合材料，例如來(lái)自聚合材料的有機(jī)抗反射涂層、絕緣層和介電涂層，隨后用光致抗蝕劑涂覆。光致抗蝕劑層可通過所有常見技術(shù)暴露，例如直寫，即用激光束或投影光刻以逐步重復(fù)模式或掃描模式，或通過經(jīng)由掩模接觸印刷進(jìn)行。在投影光刻的情況下，可使用寬范圍光學(xué)條件，例如相干、部分相干或不相干輻照。這包括離軸照明技術(shù)，例如環(huán)形照明和四極照明，其中僅使輻射通過某些透鏡區(qū)域，不包括透鏡中心。用于復(fù)制圖案的掩?？蔀橛彩窖谀；蚩蓳闲匝谀?。掩?？砂ㄍ该?、半透明和不透明圖案。圖案尺寸還可包括如下圖案，其處于投影光學(xué)器件的分辨率限度或低于分辨率限度且以某種方式置于掩模上以改變輻照在通過掩模后的空中圖象、強(qiáng)度和相位調(diào)制。這包括相移掩模和半色調(diào)相移掩模。光致抗蝕劑組合物的圖案化方法可用于產(chǎn)生具有任何所需幾何結(jié)構(gòu)和形狀的圖案，例如密集和分離的線、接觸孔、溝槽、點(diǎn)等。本發(fā)明的光敏性樹脂組合物具有優(yōu)異光刻特性，尤其是對(duì)成圖象輻射的高敏感性和高抗蝕劑透明性。本發(fā)明組合物的可能使用領(lǐng)域如下：用作電子器件的光敏性樹脂組合物，例如抗蝕刻劑、抗離子注入劑、電鍍抗蝕劑或阻焊劑，制造集成電路或薄膜晶體管抗蝕劑(tft)；制造印刷板，例如平版印刷板或絲網(wǎng)印刷模板，用于蝕刻模型或立體光刻或全像技術(shù)，其用于各種應(yīng)用，例如j.photochem.photobio.a,158,163(2003),chem.mater.14,3656(2002)中所述的3d光學(xué)信息儲(chǔ)存。本發(fā)明的組合物還適用于制造半導(dǎo)體器件的金屬間介電層、緩沖層、鈍化涂層且適用于制造光電子器件的波導(dǎo)。對(duì)于mems(微電機(jī)械系統(tǒng))應(yīng)用，本發(fā)明的組合物可用作抗蝕刻劑、材料沉積的模具和器件自身的三維物體。涂覆基材和加工條件相應(yīng)變化。該類實(shí)例描述于us6391523中。本發(fā)明的式(i)和(ia)的化合物與上述敏化劑化合物的組合還可用于全像數(shù)據(jù)儲(chǔ)存(hds)系統(tǒng)，例如wo03/021358中所述。本發(fā)明的組合物還包括粘合劑，其例如用于制造數(shù)字多功能光盤(dvd)中的粘附性粘合(dvd粘合)且例如描述于wo99/66506、wo99/63017、jp11-241055a、jp11-181391a、wo98/31765中，且還作為可撓性包裝的輻射可固化層壓粘合劑(參見例如us5328940)、光學(xué)粘合劑(例如德國(guó)專利申請(qǐng)dd225985)和壓敏粘合劑(例如us4988741和ep115870)。在需要對(duì)紙張、玻璃、金屬、硅、聚碳酸酯、丙烯酸酯聚合物及其他聚合物基材具有良好粘附性且在固化期間僅顯示出輕微縮小的硬涂層、粘附性粘合或光聚合尺寸穩(wěn)定三維模型(例如用于快速原型設(shè)計(jì))時(shí)，使用本發(fā)明的組合物是有利的。本發(fā)明的組合物還非常適合作為所有類型基材(包括木材、紡織物、紙張、陶瓷、玻璃、塑料(例如聚酯、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚烯烴或乙酸纖維素)，尤其是膜形式)的涂料組合物，但尤其適合用于涂覆金屬(例如ni、fe、zn、mg、co或尤其是cu和al，和si、硅氧化物或氮化物，圖象借助成圖象輻照涂覆于其上)的涂料組合物。本發(fā)明還涉及式(i)或(ia)的化合物作為可在酸作用下交聯(lián)的組合物中的光潛酸供體和/或作為在酸作用下溶解性提高的組合物中的溶解增強(qiáng)劑的用途。本發(fā)明的主題進(jìn)一步為一種使可在酸作用下交聯(lián)的化合物交聯(lián)的方法，該方法包含向上述組合物添加式(i)或(ia)化合物和用波長(zhǎng)為10-1500nm的光進(jìn)行成圖象輻照或在整個(gè)區(qū)域上輻照。本發(fā)明還涉及式(i)或(ia)的化合物作為制備以下中的光敏性酸供體的用途：著色和未著色表面涂料、粘合劑、層壓粘合劑、結(jié)構(gòu)粘合劑、壓敏粘合劑、印刷油墨、印刷板、凸版印刷板、平版印刷板、凹版印刷板、免處理印刷板、絲網(wǎng)印刷模板、牙用組合物、彩色濾光片、間隔件、隔離層、層間介電膜、鈍化層、平坦化層、保護(hù)層、外涂層、儲(chǔ)存單元、電致發(fā)光顯示器和液晶顯示器(lcd)、波導(dǎo)、光學(xué)轉(zhuǎn)換器、顏色校樣系統(tǒng)、抗蝕劑、電子器件的光致抗蝕劑、抗電鍍劑、液體與干膜的抗蝕刻劑、阻焊劑、uv和可見激光直接成圖象系統(tǒng)的光致抗蝕劑材料、在印刷電路板的順序構(gòu)建層中形成介電層的光致抗蝕劑材料、圖象記錄材料、用于記錄全像圖象、光學(xué)信息儲(chǔ)存或全像數(shù)據(jù)儲(chǔ)存的圖象記錄材料、脫色材料、圖象記錄材料的脫色材料、使用微膠囊的圖象記錄材料、磁性記錄材料、微機(jī)械部件、電鍍掩模、蝕刻掩模、玻璃纖維電纜涂層、微電子電路；尤其涉及式(i)或(ia)的化合物作為制備表面涂料、印刷油墨、印刷板、彩色濾光片、抗蝕劑或圖象記錄材料或用于記錄全像圖象的圖象記錄材料中的光敏性酸供體的用途；尤其涉及式(i)或(ia)的化合物作為制備間隔件、隔離層、層間介電膜、平坦化層、保護(hù)層、外涂層、電致發(fā)光顯示器和液晶顯示器(lcd)的儲(chǔ)存單元中的光敏性酸供體的用途；涉及式(i)或(ia)的化合物作為制備顯示器應(yīng)用(例如絕緣層、液晶顯示器(lcd)、有機(jī)發(fā)光二極管(oled))的光致抗蝕劑配制劑中的光敏性酸供體的用途。本發(fā)明的主題還為式(i)或(ia)的化合物作為制備彩色濾光片或化學(xué)增幅型光敏性樹脂組合物材料中的光敏性酸供體的用途；以及制備彩色濾光片或化學(xué)增幅型光敏性樹脂組合物的方法。本發(fā)明進(jìn)一步涉及一種通過如下步驟制備的彩色濾光片：于透明基材上提供紅色、綠色和藍(lán)色圖像元素和任選地黑色基質(zhì)，其均包含光敏性樹脂和顏料和/或染料，和在基材的表面上或彩色濾光片層的表面上提供透明電極，其中所述光敏性樹脂包含式(i)或(ia)的化合物作為光敏性酸供體。本領(lǐng)域熟練技術(shù)人員知曉合適顏料或染料以提供顏色元素以及黑色基質(zhì)和相應(yīng)合適樹脂，例如如jp9-203806a、jp10-282650a、jp10-333334a、jp11-194494a、jp10-203037a、jp2003-5371a中所示。如上文已述，在光可交聯(lián)組合物中，肟磺酸酯衍生物充當(dāng)潛在固化催化劑：在用光輻照時(shí)，其釋放催化交聯(lián)反應(yīng)的酸。此外，輻射釋放的酸可例如催化由聚合物結(jié)構(gòu)移除合適酸敏感性保護(hù)基，或聚合物主鏈中含有酸敏感性基團(tuán)的聚合物的裂解。其他應(yīng)用例如為基于例如經(jīng)酸敏感性保護(hù)基保護(hù)的顏料的ph值或溶解性變化的顏色變化系統(tǒng)。本發(fā)明的肟磺酸酯衍生物還可用于在該化合物與ph值變化時(shí)顏色變化的著色劑一起使用時(shí)產(chǎn)生所謂印出(print-out)圖象，例如如jp4-328552a或us5237059中所述。該類顏色變化系統(tǒng)還可根據(jù)ep199672用于對(duì)熱或輻射敏感的監(jiān)測(cè)器制品。除顏色變化以外，在酸催化的解保護(hù)可溶性顏料分子(例如如ep648770、ep648817和ep742255中所述)期間，顏料晶體可能沉淀；在潛在顏料前體的顏色不同于沉淀的顏料晶體時(shí)，其可用于制造彩色濾光片(例如如ep654711中所述)或印出圖象和指示物應(yīng)用。使用ph敏感性染料或潛在顏料與肟磺酸酯衍生物的組合的組合物可用作電磁輻射(例如γ輻射、電子束、uv或可見光)或簡(jiǎn)單一次性劑量計(jì)的指示物。尤其對(duì)于人眼不可見的光，如uv或ir光，該類劑量計(jì)受到關(guān)注。最后，微溶于堿性顯影劑水溶液中的肟磺酸酯衍生物可借助光誘導(dǎo)性轉(zhuǎn)化為游離酸而溶于顯影劑，因此其可與合適成膜樹脂組合用作溶解增強(qiáng)劑?？赏ㄟ^酸催化且因此通過本發(fā)明的式(i)或(ia)的光潛酸交聯(lián)的樹脂例如為上述樹脂。在涂料應(yīng)用中，表面涂料優(yōu)選包含氨基樹脂。其實(shí)例為醚化或非醚化三聚氰胺、脲、胍或縮二脲樹脂。酸催化劑在包含醚化氨基樹脂(例如甲基化或丁基化三聚氰胺樹脂(n-甲氧基甲基-或n-丁氧基甲基-三聚氰胺)或甲基化/丁基化甘脲)的表面涂料的固化中尤其重要。其他樹脂組合物的實(shí)例為多官能醇或含羥基的丙烯酸系和聚酯樹脂或部分水解的聚乙酸乙烯基酯或聚乙烯醇與多官能二氫丙烷基衍生物(例如3,4-二氫-2h-吡喃-2-甲酸的衍生物)的混合物。聚硅氧烷還可使用酸催化交聯(lián)。這些含硅氧烷基團(tuán)的樹脂可例如借助酸催化的水解進(jìn)行自縮合，或可與第二樹脂組分(例如多官能醇、含羥基的丙烯酸系或聚酯樹脂、部分水解的聚乙烯基縮醛或聚乙烯醇)交聯(lián)。聚硅氧烷的該類縮聚例如描述于j.j.lebrun,h.pode,comprehensivepolymerscience，第5卷，第593頁(yè)，pergamonpress,oxford,1989中。適用于制備表面涂料的其他陽(yáng)離子可聚合材料為可通過陽(yáng)離子機(jī)理聚合的烯屬不飽和化合物，例如乙烯基醚，例如甲基乙烯基醚、異丁基乙烯基醚、三羥甲基丙烷三乙烯基醚、乙二醇二乙烯基醚；環(huán)狀乙烯基醚，例如3,4-二氫-2-甲?；?2h-吡喃(二聚丙烯醛)或2-羥基甲基-3,4-二氫-2h-吡喃的3,4-二氫-2h-吡喃-2-甲酸酯；乙烯基酯，例如乙酸乙烯基酯和硬脂酸乙烯基酯；單烯烴和二烯烴，例如a-甲基苯乙烯、n-乙烯基吡咯烷酮或n-乙烯基咔唑。出于某些目的，使用具有含有可聚合不飽和基團(tuán)的單體或低聚組分的樹脂混合物。該類表面涂料還可使用式(i)或(ia)的化合物固化。在該方法中，可此外使用自由基聚合引發(fā)劑或光引發(fā)劑。前一引發(fā)劑在熱處理期間引發(fā)不飽和基團(tuán)的聚合，后者在uv輻照期間引發(fā)不飽和基團(tuán)的聚合。本發(fā)明進(jìn)一步涉及一種組合物，其包含(a)在酸作用后固化的化合物，或溶解性在酸作用后提高的化合物；和(b)作為光敏性酸供體的至少一種式(i)或(ia)的化合物。根據(jù)本發(fā)明，式(i)或(ia)的化合物可與其他光敏性酸供體化合物(b1)、其他光引發(fā)劑(d)、敏化劑(e)和/或添加劑(c)一起使用。合適光敏性酸供體化合物(b1)、敏化劑(e)和添加劑(c)描述在上文中。其他光引發(fā)劑(d)的實(shí)例為自由基光引發(fā)劑，例如樟腦醌；二苯甲酮、二苯甲酮衍生物；縮酮化合物，例如苯偶酰二甲基縮酮；苯乙酮、苯乙酮衍生物，例如α-羥基環(huán)烷基苯基酮或α-羥基烷基苯基酮，例如2-羥基-2-甲基-1-苯基-丙酮、1-羥基-環(huán)己基-苯基-酮、1-(4-十二烷基苯甲?；?-1-羥基-1-甲基-乙烷、1-(4-異丙基苯甲?；?-1-羥基-1-甲基-乙烷、1-[4-(2-羥基乙氧基)-苯基]-2-羥基-2-甲基-1-丙-1-酮；2-羥基-1-{4-[4-(2-羥基-2-甲基丙?；?-芐基]-苯基}-2-甲基-丙-1-酮；2-羥基-1-{4-[4-(2羥基-2-甲基-丙?；?-苯氧基]-苯基}-2-甲基-丙-1-酮；二烷氧基苯乙酮、α-羥基-或α-氨基苯乙酮，例如(4-甲基硫基苯甲?；?-1-甲基-1-嗎啉基乙烷、(4-嗎啉基苯甲?；?-1-芐基-1-二甲基氨基丙烷、(4-嗎啉基苯甲?；?-1-(4-甲基芐基)-1-二甲基氨基丙烷、(4-(2-羥基乙基)氨基苯甲?；?-1-芐基-1-二甲基氨基丙烷)、(3,4-二甲氧基苯甲?；?-1-芐基-1-二甲基氨基丙烷；4-芳酰基-1,3-二氧雜戊環(huán)、苯偶姻烷基醚和苯偶酰縮酮，例如二甲基苯偶?？s酮，苯乙醛酸酯及其衍生物，例如氧代-苯基-乙酸2-(2-羥基-乙氧基)-乙基酯，二聚苯乙醛酸酯，例如氧代-苯基-乙酸1-甲基-2-[2-(2-氧代-2-苯基-乙酰氧基)-丙氧基]-乙基酯；肟酯，例如1,2-辛二酮1-[4-(苯基硫基)苯基]-2-(o-苯甲?；?、乙酮1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲?；?-9h-咔唑-3-基]-1-(o-乙酰基肟)、9h-噻噸-2-甲醛9-氧代-2-(o-乙?；?，過酸酯，例如二苯甲酮四甲酸過酸酯，例如如ep126541中所述，單?；⒀趸?，例如(2,4,6-三甲基苯甲酰基)二苯基膦氧化物、(2,4,6三甲基苯甲酰基苯基)亞膦酸乙基酯；雙?；⒀趸铮珉p(2,6-二甲氧基-苯甲?；?-(2,4,4-三甲基-戊基)膦氧化物、雙(2,4,6-三甲基苯甲?；?-苯基膦氧化物、雙(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-2,4-二戊氧基苯基膦氧化物、三?；⒀趸?、鹵甲基三嗪，例如2-[2-(4-甲氧基-苯基)-乙烯基]-4,6-雙-三氯甲基-[1,3,5]三嗪、2-(4-甲氧基-苯基)4,6-雙-三氯甲基-[1,3,5]三嗪、2-(3,4-二甲氧基-苯基)-4,6-雙-三氯甲基-[1,3,5]三嗪、2-甲基-4,6-雙-三氯甲基-[1,3,5]三嗪，六芳基雙咪唑/共引發(fā)劑系統(tǒng)，例如鄰氯六苯基-雙咪唑與2-巰基苯并噻唑的組合，二茂鐵化合物，或二茂鈦，例如雙(環(huán)戊二烯基)-雙(2,6-二氟-3-吡咯基-苯基)鈦。此外，硼酸酯化合物，例如us4772530、ep775706、gb2307474、gb2307473和gb2304472中所述。硼酸酯化合物優(yōu)選與電子受體化合物(例如染料陽(yáng)離子)或噻噸酮衍生物組合使用。其他光引發(fā)劑的其他實(shí)例為過氧化物化合物，例如苯甲?；^氧化物(其他合適過氧化物描述于us4950581，第19欄，第17-25行中)，或陽(yáng)離子光引發(fā)劑，例如芳族锍或碘鹽，例如參見us4950581，第18欄，第60行至第19欄第10行，或環(huán)戊二烯基-芳烴-鐵(ii)配合物鹽，例如六氟磷酸(η6-異丙基苯)(η5-環(huán)戊二烯基)-鐵(ii)。組合物還可包含熱可固化組分作為其他添加劑(c)。組分(c)的實(shí)例包括衍生自α,β-不飽和酸及其衍生物的低聚物和/或聚合物，例如聚丙烯酸酯和聚甲基丙烯酸酯、聚甲基丙烯酸甲基酯，其用丙烯酸丁基酯、聚丙烯酰胺和聚丙烯腈進(jìn)行耐沖擊性改性。組分(c)的其他實(shí)例為氨基甲酸酯，一方面衍生自具有游離羥基基團(tuán)的聚醚、聚酯和聚丙烯酸酯且另一方面衍生自脂族或芳族多異氰酸酯的聚氨酯及其離析物。因此，組分(c)還包括例如衍生自經(jīng)取代的丙烯酸酯(例如環(huán)氧基丙烯酸酯、氨基甲酸酯丙烯酸酯和聚酯丙烯酸酯)的可交聯(lián)丙烯酸系樹脂。與三聚氰胺樹脂、脲樹脂、異氰酸酯、異氰脲酸酯、多異氰酸酯、聚異氰脲酸酯和環(huán)氧樹脂交聯(lián)的醇酸樹脂、聚酯樹脂和丙烯酸酯樹脂及其改性還可構(gòu)成組分(c)。組分(c)通常為例如基于熱塑性或熱固性樹脂，尤其是熱固性樹脂的成膜粘合劑。其實(shí)例為醇酸樹脂、丙烯酸系樹脂、聚酯樹脂、酚醛樹脂、三聚氰胺樹脂、環(huán)氧樹脂和聚氨酯樹脂及其混合物。其實(shí)例可見于例如ullmann’sencyclopediaofindustrialchemistry，第5版，第a18卷，第368-426頁(yè)，vch，weinheim1991。組分(c)還可為冷可固化或熱可固化粘合劑，在該情況下添加固化催化劑可能是有利的。加速粘合劑的完全固化的合適催化劑可見于例如ullmann’sencyclopediaofindustrialchemistry，第a18卷，第469頁(yè)，vchverlagsgesellschaft，weinheim1991。適合作為組分(c)的粘合劑的具體實(shí)例為：1.基于冷或熱可交聯(lián)醇酸樹脂、丙烯酸酯樹脂、聚酯樹脂、環(huán)氧樹脂或三聚氰胺樹脂或該類樹脂的混合物的表面涂料，任選地添加固化催化劑；2.基于含羥基的丙烯酸酯、聚酯或聚醚樹脂和脂族或芳族異氰酸酯、異氰脲酸酯或多異氰酸酯的雙組分聚氨酯表面涂料；3.基于保護(hù)的異氰酸酯、異氰脲酸酯或多異氰酸酯的單組分聚氨酯表面涂料，其在加熱期間解保護(hù)；還可根據(jù)需要添加三聚氰胺樹脂；4.基于脂族或芳族氨基甲酸酯或聚氨酯和含羥基的丙烯酸酯、聚酯或聚醚樹脂的單組分聚氨酯表面涂料；5.基于氨基甲酸酯結(jié)構(gòu)中具有游離氨基的脂族或芳族丙烯酸氨基甲酸酯或聚氨酯丙烯酸酯和三聚氰胺樹脂或聚醚樹脂的單組分聚氨酯表面涂料，任選地添加固化催化劑；6.基于(聚)酮亞胺和脂族或芳族異氰酸酯、異氰脲酸酯或多異氰酸酯的雙組分表面涂料；7.基于(聚)酮亞胺和不飽和丙烯酸酯樹脂或聚乙酰乙酸酯樹脂或甲基丙烯酰基氨基羥乙酸甲基酯的雙組分表面涂料；8.基于含羧基或氨基的聚丙烯酸酯和聚環(huán)氧化物的雙組分表面涂料；9.基于含有酸酐基團(tuán)的丙烯酸酯樹脂和聚羥基或聚氨基組分的雙組分表面涂料；10.基于含有酸酐的丙烯酸酯和聚環(huán)氧化物的雙組分表面涂料；11.基于(聚)唑啉和含酸酐基團(tuán)的丙烯酸酯樹脂，或不飽和丙烯酸酯樹脂，或脂族或芳族異氰酸酯、異氰脲酸酯或多異氰酸酯的雙組分表面涂料；12.基于不飽和聚丙烯酸酯和聚丙二酸酯的雙組分表面涂料；13.基于熱塑性丙烯酸酯樹脂或非固有交聯(lián)丙烯酸酯樹脂與醚化三聚氰胺樹脂的組合的熱塑性聚丙烯酸酯表面涂料；14.基于具有(甲基)丙烯?；陀坞x異氰酸酯基且基于一種或多種與異氰酸酯反應(yīng)的化合物(例如游離或酯化多元醇)的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯的表面涂料體系。該類體系公開于例如ep928800中。還可用作組分(c)的經(jīng)保護(hù)的異氰酸酯例如描述于organischermetallschutz：entwicklungundanwendungvonbeschichtungsstoffen，第159-160頁(yè)，vincentzverlag,hanover(1993)中。這些為如下化合物，其中高反應(yīng)性nco基團(tuán)通過與特定基團(tuán)(例如伯醇、酚、乙酸乙基酯、ε-己內(nèi)酰胺、鄰苯二甲酰亞胺、咪唑、肟或胺)反應(yīng)而“保護(hù)”。經(jīng)保護(hù)的異氰酸酯在液體體系中以及在羥基存在下為穩(wěn)定的。加熱后，再次去除保護(hù)基且釋放nco基團(tuán)。可使用1組分和2組分體系作為組分(c)。該類體系的實(shí)例描述于ullmann’sencyclopediaofindustrialchemistry，第a18卷，paintsandcoatings，第404-407頁(yè)，vchverlagsgesellschaftmbh,weinheim(1991)中?？赏ㄟ^具體改適(例如通過改變粘合劑/交聯(lián)劑比率)使組合物最優(yōu)。該類措施為本領(lǐng)域熟練技術(shù)人員已知且在涂料技術(shù)中是常規(guī)的。在本發(fā)明固化方法中，組分(c)優(yōu)選為基于丙烯酸酯/三聚氰胺(和三聚氰胺衍生物)、2組分聚氨酯、1組分聚氨酯、2組分環(huán)氧基/羧基或1組分環(huán)氧基/羧基的混合物。還可為該類體系的混合物，例如向1組分聚氨酯添加三聚氰胺(或其衍生物)。組分(c)優(yōu)選為基于聚丙烯酸酯與三聚氰胺或基于三聚氰胺衍生物的粘合劑或基于聚丙烯酸酯和/或聚酯多元醇與非保護(hù)的多異氰酸酯或聚異氰脲酸酯的體系。組分(c)還可包含具有烯屬不飽和鍵的單體和/或低聚化合物(預(yù)聚物)，其此外含有能夠與組分(c)的粘合劑和/或交聯(lián)劑組分反應(yīng)的至少一個(gè)或多個(gè)oh、nh2、cooh、環(huán)氧基或nco基團(tuán)(＝c1)。施加和熱固化后，烯屬不飽和鍵通過用uv光輻照轉(zhuǎn)化為交聯(lián)高分子量形式。該類組分(c)的實(shí)例例如描述于上述公開文獻(xiàn)ullmann’sencyclopediaofindustrialchemistry，第5版，第a18卷，第451-453頁(yè)中或s.urano,k.aoki,n.tsuboniva和r.mizuguchi,progressinorganiccoatings,20(1992),471-486或h.terashima和o.isozaki,jocca1992(6),222中。(c1)還可例如為含oh基團(tuán)的不飽和丙烯酸酯，例如丙烯酸羥基乙基酯或丙烯酸羥基丁基酯或丙烯酸縮水甘油酯。組分(c1)可具有任何所需結(jié)構(gòu)(例如，其可含有聚酯、聚丙烯酸酯、聚醚等的單元)，條件為其含有烯屬不飽和雙鍵且此外含有游離oh、cooh、nh2、環(huán)氧基或nco基團(tuán)。(c1)可例如還通過環(huán)氧基官能低聚物與丙烯酸或甲基丙烯酸反應(yīng)獲得。具有乙烯屬雙鍵的oh-官能低聚物的典型實(shí)例為其通過ch2＝chcooh與反應(yīng)獲得。獲得組分(c1)的另一可能方法為例如使僅含有一個(gè)環(huán)氧基且在分子另一位置具有游離oh基團(tuán)的低聚物反應(yīng)。uv和熱可交聯(lián)配制劑中的自由基輻射可固化可聚合組分與熱可聚合組分(c)的量比不重要。“雙重固化體系”為本領(lǐng)域熟練技術(shù)人員已知，本領(lǐng)域熟練技術(shù)人員因此熟悉根據(jù)預(yù)期用途的自由基和熱可交聯(lián)組分的最優(yōu)混合比率。例如，該比率可在5：95至95：5、20：80至80：20或30：70至70：30(例如40：60至60：40)范圍內(nèi)。“雙重固化”體系(即包含輻射可固化組分與熱可固化組分的體系)的實(shí)例尤其可見于us5922473第6欄至第10欄中。表面涂料可為表面涂料樹脂于有機(jī)溶劑或水中的溶液或分散體，但其還可無(wú)溶劑。具有低溶劑含量的表面涂料(所謂“高固體表面涂料”和粉末涂料組合物)尤其受關(guān)注。表面涂料可為透明清漆，其用于例如汽車工業(yè)中作為多層涂層的整飾漆。其還可包含可為無(wú)機(jī)或有機(jī)化合物的顏料和/或填料和用于金屬效果修整的金屬粉末。表面涂料還可包含相對(duì)少量的表面涂料技術(shù)中常規(guī)的特定添加劑，例如流動(dòng)改進(jìn)劑、觸變劑、流平劑、消泡劑、潤(rùn)濕劑、助粘劑、光穩(wěn)定劑、抗氧化劑或敏化劑。uv吸收劑(例如類型羥基苯基-苯并三唑、羥基苯基-二苯甲酮、草酸酰胺或羥基苯基-均三嗪類型的那些)可加入本發(fā)明的組合物中作為光穩(wěn)定劑。可在添加或不添加位阻胺(hals)下使用單獨(dú)化合物或這些化合物的混合物。該類uv吸收劑和光穩(wěn)定劑的實(shí)例為1.2-(2’-羥基苯基)-苯并三唑，例如2-(2’-羥基-5’-甲基苯基)-苯并三唑、2-(3’,5’-二-叔丁基-2’-羥基苯基)-苯并三唑、2-(5’-叔丁基-2’-羥基苯基)苯并三唑、2-(2’-羥基-5’-(1,1,3,3-四甲基丁基)苯基)-苯并三唑、2-(3’,5’-二叔丁基-2’-羥基苯基)-5-氯-苯并三唑、2-(3’-叔丁基-2’-羥基-5’-甲基苯基)-5-氯-苯并三唑、2-(3’-仲丁基-5’-叔丁基-2’-羥基苯基)-苯并三唑、2-(2’羥基-4’-辛氧基苯基)-苯并三唑、2-(3’,5’-二叔戊基-2’-羥基苯基)-苯并三唑、2-(3’,5’-雙-(α,α-二甲基芐基)-2’-羥基苯基)-苯并三唑，2-(3’叔丁基-2’-羥基-5’-(2-辛氧基羰基乙基)苯基)-5-氯-苯并三唑、2-(3’-叔丁基-5’-[2-(2-乙基-己氧基)-羰基乙基]-2’-羥基苯基)-5-氯-苯并三唑、2-(3’-叔丁基-2’-羥基-5’-(2-甲氧基羰基乙基)苯基)-5-氯-苯并三唑、2-(3’-叔丁基-2’-羥基-5’-(2-甲氧基羰基乙基)苯基)-苯并三唑、2-(3’-叔丁基-2’-羥基-5’-(2-辛氧基羰基乙基)苯基)-苯并三唑、2-(3’-叔丁基-5’-[2-(2-乙基己氧基)羰基乙基]-2’-羥基苯基)-苯并三唑、2-(3’-十二烷基-2’-羥基-5’-甲基苯基)-苯并三唑和2-(3’-叔丁基-2’-羥基-5’-(2-異辛氧基羰基乙基)苯基-苯并三唑的混合物，2,2’-亞甲基-雙[4-(1,1,3,3-四甲基丁基)-6-苯并三唑-2-基-酚]；2-[3’-叔丁基-5’-(2-甲氧基羰基乙基)-2’-羥基-苯基]-苯并三唑與聚乙二醇300的轉(zhuǎn)酯化產(chǎn)物；[r-ch2ch2-coo(ch2)3]2-，其中r＝3’-叔丁基-4’-羥基-5’-2h-苯并三唑-2-基-苯基。2.2-羥基二苯甲酮，例如4-羥基、4-甲氧基、4-辛氧基、4-癸氧基、4-十二烷氧基、4-苯甲氧基、4,2’,4’-三羥基或2’-羥基-4,4’-二甲氧基衍生物。3.未經(jīng)取代或經(jīng)取代的苯甲酸的酯，例如水楊酸4-叔丁基-苯基酯、水楊酸苯基酯、水楊酸辛基苯基酯、二苯甲?；g苯二酚、雙(4-叔丁基苯甲?；?間苯二酚、苯甲?；g苯二酚、3,5-二-叔丁基-4-羥基苯甲酸2,4-二-叔丁基苯基酯、3,5-二-叔丁基-4-羥基苯甲酸十六烷基酯、3,5-二-叔丁基-4-羥基苯甲酸十八烷基酯、3,5-二-叔丁基-4-羥基苯甲酸2-甲基-4,6-二-叔丁基苯基酯。4.丙烯酸酯，例如α-氰基-β,β-二苯基丙烯酸乙基酯或異辛酯、α-甲氧羰基-肉桂酸甲基酯、α-氰基-β-甲基-對(duì)甲氧基-肉桂酸甲基酯或丁基酯、α-甲氧羰基-對(duì)甲氧基-肉桂酸甲基酯、n-(b-甲氧羰基-β-氰基乙烯基)-2-甲基-吲哚啉。5.位阻胺，例如雙(2,2,6,6-四甲基-哌啶基)癸二酸酯、雙(2,2,6,6-四甲基-哌啶基)琥珀酸酯、雙(1,2,2,6,6-五甲基哌啶基)癸二酸酯、正丁基-3,5-二-叔丁基-4-羥基芐基-丙二酸雙(1,2,2,6,6-五甲基哌啶基)酯、1-羥基乙基-2,2,6,6-四甲基-4-羥基哌啶和琥珀酸的縮合產(chǎn)物、n,n’-雙(2,2,6,6-四甲基-4-哌啶基)己二胺和4-叔-辛基氨基-2,6-二氯-1,3,5-均三嗪的縮合產(chǎn)物、三(2,2,6,6-四甲基-4-哌啶基)次氮基三乙酸酯、四(2,2,6,6-四甲基-4-哌啶基)-1,2,3,4-丁烷四甲酸酯、1,1’-(1,2-乙烷二基)-雙(3,3,5,5-四甲基-哌嗪酮)、4-苯甲酰基-2,2,6,6-四甲基哌啶、4-十八酰氧基-2,2,6,6-四甲基哌啶、雙(1,2,2,6,6-五甲基哌啶基)-2-正丁基-2-(2-羥基3,5-二-叔丁基芐基)丙二酸酯、3-正辛基-7,7,9,9-四甲基-1,3,8-三氮雜螺[4.5]癸烷2,4-二酮、雙(1-辛氧基-2,2,6,6-四甲基哌啶基)癸二酸酯、雙(1-辛氧基-2,2,6,6-四甲基哌啶基)琥珀酸酯、n,n’-雙(2,2,6,6-四-甲基-4-哌啶基)己二胺和4-嗎啉基-2,6-二氯-1,3,5-三嗪的縮合產(chǎn)物、2-氯-4,6-二(4-正丁基氨基-2,2,6,6-四甲基哌啶基)-1,3,5-三嗪和1,2-雙(3-氨基丙基氨基)乙烷的縮合產(chǎn)物、2-氯-4,6-二(4-正丁基氨基1,2,2,6,6-五甲基哌啶基)-1,3,5-三嗪和1,2-雙(3-氨基丙基氨基)乙烷的縮合產(chǎn)物、8-乙?；?3-十二烷基-7,7,9,9-四甲基-1,3,8-三氮雜螺[4.5]癸烷-2,4-二酮、3-十二烷基-1-(2,2,6,6-四甲基-4-哌啶基)吡咯烷-2,5-二酮、3-十二烷基-1-(1,2,2,6,6-五甲基-4-哌啶基)吡咯烷-2,5-二酮。6.草酸二酰胺，例如4,4’-二辛氧基-草酰替苯胺、2,2’-二乙氧基-草酰替苯胺、2,2’-二-辛氧基-5,5’-二-叔丁基-草酰替苯胺、2,2’-二-十二烷氧基-5,5’-二-叔丁基-草酰替苯胺、2-乙氧基-2’乙基-草酰替苯胺、n,n’-雙(3-二甲基氨基丙基)草酰胺、2-乙氧基-5-叔丁基-2’-乙基草酰替苯胺及其與2-乙氧基-2’-乙基-5,4’-二-叔丁基-草酰替苯胺的混合物、鄰甲氧基-與對(duì)甲氧基-二取代的草酰替苯胺的混合物和鄰乙氧基-與對(duì)乙氧基-二取代的草酰替苯胺的混合物。7.2-(2-羥基苯基)-1,3,5-三嗪，例如2,4,6-三(2-羥基-4-辛氧基苯基)-1,3,5三嗪、2-(2-羥基-4-辛氧基苯基)-4,6-雙(2,4-二甲基苯基)-1,3,5-三嗪、2-(2,4-二羥基苯基)-4,6-雙(2,4-二甲基苯基)-1,3,5-三嗪、2,4-雙(2-羥基-4-丙氧基苯基)-6-(2,4-二甲基苯基)-1,3,5-三嗪、2-(2-羥基-4-辛氧基苯基)-4,6-雙(4-甲基苯基)-1,3,5-三嗪、2-(2-羥基-4-十二烷氧基苯基)-4,6-雙(2,4-二甲基苯基)-1,3,5-三嗪、2-[2-羥基-4-(2-羥基-3-丁氧基-丙氧基)苯基]-4,6-雙(2,4-二甲基-苯基)-1,3,5-三嗪、2-[2-羥基-4-(2-羥基-3-辛氧基-丙氧基)苯基]-4,6-雙(2,4-二甲基苯基)-1,3,5-三嗪、2-[4-十二烷基-/十三烷基-氧基-(2-羥基丙基)氧基-2-羥基-苯基]4,6-雙(2,4-二甲基苯基)-1,3,5-三嗪。8.亞磷酸酯和亞膦酸酯，例如亞磷酸三苯基酯、亞磷酸二苯基烷基酯、亞磷酸苯基二烷基酯、三(壬基苯基)亞磷酸酯、亞磷酸三月桂基酯、亞磷酸三-十八烷基酯、二硬脂基-季戊四醇二亞磷酸酯、三(2,4-二-叔丁基苯基)亞磷酸酯、二異癸基季戊四醇二亞磷酸酯、雙(2,4-二-叔丁基苯基)季戊四醇二亞磷酸酯、雙(2,6-二-叔丁基-4-甲基苯基)季戊四醇二亞磷酸酯、雙-異癸氧基-季戊四醇二亞磷酸酯、雙(2,4-二-叔丁基-6-甲基苯基)季戊四醇二亞磷酸酯、雙-(2,4,6-三-叔丁基苯基)季戊四醇二亞磷酸酯、三硬脂基-山梨糖醇三亞磷酸酯、二亞磷酸四(2,4-二-叔丁基苯基)-4,4’-亞聯(lián)苯基酯、6-異辛氧基-2,4,8,10-四-叔丁基-12h-二苯并[d,g]-1,3,2-二氧雜磷雜環(huán)辛烯(dioxaphosphocine)、6-氟-2,4,8,10-四-叔丁基-12-甲基-二苯并[d,g]-1,3,2-二氧雜磷雜環(huán)辛烯、亞磷酸雙(2,4-二-叔丁基-6-甲基苯基)甲基酯、亞磷酸雙(2,4-二-叔丁基-6-甲基苯基)乙基酯。還可將該類光穩(wěn)定劑例如加入相鄰表面涂料層，該類光穩(wěn)定劑逐漸由該表面涂料層擴(kuò)散至要保護(hù)的烘干型漆層。相鄰表面涂料可為烘干型漆下的底漆或烘干型漆上的整飾漆。還可向樹脂添加例如光敏劑，其使光譜敏感性轉(zhuǎn)變或提高以使得可縮短輻照時(shí)間段和/或可使用其他光源。光敏劑的實(shí)例為芳族酮或芳族醛(例如如us4017652中所述)、3-?；?香豆素(例如如us4366228、ep738928、ep22188中所述)、酮基香豆素(例如如us5534633、ep538997、jp8272095-a中所述)、苯乙烯基-香豆素(例如如ep624580中所述)、3-(芳?；鶃喖谆?-噻唑啉、噻噸酮、稠合芳族化合物(例如苝)、芳族胺(例如如us4069954或wo96/41237中所述)或陽(yáng)離子和堿性著色劑(例如如us4026705中所述)，例如曙紅、繞丹寧和赤蘚紅著色劑，以及例如如jp8320551a、ep747771、jp7036179a、ep619520、jp6161109a、jp6043641a、jp6035198a、wo93/15440、ep568993、jp5005005a、jp5027432a、jp5301910a、jp4014083a、jp4294148a、ep359431、ep103294、us4282309、ep39025、ep5274、ep727713、ep726497或de2027467中所述的染料和顏料。其他常規(guī)添加劑(取決于預(yù)期用途)為熒光增白劑、填料、顏料、著色劑、潤(rùn)濕劑或流動(dòng)改進(jìn)劑和助粘劑。為了固化厚和著色涂層，如us5013768中所述添加微型玻璃珠或粉末狀玻璃纖維是合適的。肟磺酸酯衍生物還可用于例如混合體系中。這些體系基于通過兩種不同反應(yīng)機(jī)理完全固化的配制劑。其實(shí)例為包含能夠進(jìn)行酸催化的交聯(lián)反應(yīng)或聚合反應(yīng)的組分但還包含通過第二機(jī)理交聯(lián)的其他組分的體系。第二機(jī)理的實(shí)例為自由基完全固化、氧化交聯(lián)或濕度引發(fā)的交聯(lián)。第二固化機(jī)理可為完全熱引發(fā)，如果需要用合適催化劑或還借助光使用第二光起始劑進(jìn)行。合適的其他光引發(fā)劑描述在上文中。若組合物包含自由基可交聯(lián)組分，則尤其是著色(例如用二氧化鈦)組合物的固化方法還可通過添加在熱條件下形成自由基的組分(例如偶氮化合物，例如2,2’-偶氮雙(4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈)、三氮烯、苯并噻二唑、五氮二烯或過氧化合物，例如氫過氧化物或過氧碳酸酯，例如叔丁基氫過氧化物，例如如ep245639中所述)或熱潛在自由基引發(fā)劑(例如如us6929896、wo2010057922、wo2012113829、wo2012101245、wo2013156509或wo2014064064中所述)輔助。添加氧化還原引發(fā)劑(例如鈷鹽)使得可通過與空氣中的氧氧化交聯(lián)輔助固化。表面涂料可通過本領(lǐng)域中的常規(guī)方法之一施加，例如通過噴霧、涂漆或浸漬。在使用合適表面涂料時(shí)，還可例如通過陽(yáng)極電泳沉積進(jìn)行電施加。干燥之后，輻照表面涂膜。如果需要，隨后借助熱處理完全固化表面涂膜。由ep592139已知，磺酸酯衍生物可用作適用于玻璃、鋁和鋼表面的表面處理和清潔的組合物中的酸產(chǎn)生劑，其可通過光活化。在有機(jī)硅烷體系中使用該類化合物得到組合物，其具有顯著優(yōu)于在使用游離酸時(shí)獲得的組合物的儲(chǔ)存穩(wěn)定性。式(i)或(ia)的化合物也適用于本申請(qǐng)。本發(fā)明的肟磺酸酯衍生物還可用于使如下聚合物成形，這些聚合物酸誘導(dǎo)性轉(zhuǎn)化為其具有使用光刻的所需特性的狀態(tài)。例如，肟磺酸酯衍生物可用于圖案化共軛發(fā)射聚合物，例如如m.l.renak；c.bazan；d.roitman；advancedmaterials1997,9,392中所述。該類圖案化發(fā)射聚合物可用于制造微型圖案化發(fā)光二極管(led)，其可用于制造顯示器和數(shù)據(jù)儲(chǔ)存介質(zhì)。以類似方式，聚酰亞胺的前體(例如具有改變于顯影劑中的溶解性的酸不穩(wěn)定保護(hù)基的聚酰亞胺前體)可經(jīng)輻照以形成圖案化聚酰亞胺層，其可充當(dāng)制造微芯片和印刷電路板中的保護(hù)涂層、隔離層和緩沖層。本發(fā)明的配制劑還可用作保形涂層、光可成圖象隔離層和介電質(zhì)。已知共軛聚合物(例如聚苯胺)可借助質(zhì)子摻雜由半導(dǎo)電狀態(tài)轉(zhuǎn)化為導(dǎo)電狀態(tài)。本發(fā)明的肟磺酸酯衍生物還可用于成圖象輻照包含該類共軛聚合物的組合物以形成包埋于絕緣材料(非暴露區(qū))中的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(暴露區(qū))。這些材料可用作制造電力和電子器件的導(dǎo)線和連接部件。包含式(i)或(ia)的化合物的組合物的合適輻射來(lái)源為發(fā)射約10至1500納米(例如10至1000納米)或優(yōu)選10至700納米的波長(zhǎng)的輻射的輻射來(lái)源以及電子束輻射和高能電磁輻射(例如x-射線)。點(diǎn)源與平面投影儀(燈毯)均為合適的。實(shí)例為：碳弧燈；氙弧燈；中壓、高壓和低壓汞燈；任選地?fù)诫s有金屬鹵化物的燈(金屬鹵化物燈)；微波激發(fā)的金屬蒸氣燈；準(zhǔn)分子燈；超光化熒光管；熒光燈；氬氣白熾燈；電子閃光燈；攝影泛光燈或激光等離子體。輻射源與要輻照的本發(fā)明基材之間的距離可根據(jù)預(yù)期用途和輻射源的類型和/或強(qiáng)度而例如由2cm至150cm變化。合適輻射源尤其為汞蒸氣燈，尤其是中壓和高壓汞燈，如果需要可由其的輻射濾出其他波長(zhǎng)的發(fā)射譜線。對(duì)于相對(duì)短波長(zhǎng)輻射的情況尤其如此。然而，還可使用能夠以適當(dāng)波長(zhǎng)范圍發(fā)射的低能燈(例如熒光管)。其實(shí)例為philipstl03燈?？墒褂玫牧硪活愋洼椛湓礊榘l(fā)光二極管(led)，其以整個(gè)光譜中的不同波長(zhǎng)發(fā)射，作為窄頻發(fā)射源或作為寬帶(白光)源。合適的還有激光輻射源，例如準(zhǔn)分子激光，例如在248nm下輻照的kr-f激光、在193nm下輻照的ar-f激光或在157nm下輻照的f2激光。還可使用可見光范圍和紅外線范圍中的激光。365、405和436納米的波長(zhǎng)的汞i、h和g線的輻射是尤其合適的。合適激光束源為例如氬離子激光，其發(fā)射454、458、466、472、478、488和514納米的波長(zhǎng)的輻射。還可使用在1064nm下發(fā)射光的nd-yag-激光及其第二和第三諧波(分別532nm和355nm)。例如，合適的還有具有442nm的發(fā)射的氦氣/鎘激光或在uv范圍中發(fā)射的激光。在該類型輻照下，并非絕對(duì)必須使用光掩模與光聚合涂層接觸來(lái)得到正型或負(fù)型抗蝕劑；受控的激光束能夠直接寫于涂層上。出于該目的，本發(fā)明材料的高敏感性是非常有利的，從而使得在相對(duì)低強(qiáng)度下產(chǎn)生高寫入速度。在輻照時(shí)，表面涂料的輻照區(qū)段中組合物中的肟磺酸酯衍生物分解形成酸。本發(fā)明進(jìn)一步涉及光致抗蝕劑組合物在制造以下中的用途：用于多種顯示器應(yīng)用和圖象傳感器(例如電荷耦合器件(ccd)和互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(cmos))的彩色濾光片、lcd的間隔件、彩色濾光片和lcd的外涂層、lcd的密封件、多種顯示器應(yīng)用的光學(xué)膜、lcd的絕緣層、有機(jī)發(fā)光二極管顯示器(oled)、觸控面板和可撓性顯示器，在等離子體顯示面板、電致發(fā)光顯示器、oled、觸控面板、可撓性顯示器和lcd的制造方法中產(chǎn)生結(jié)構(gòu)或?qū)拥目刮g劑或光敏性組合物、阻焊劑、作為用于在印刷電路板的順序構(gòu)建層中形成介電層的光致抗蝕劑材料。本發(fā)明的組合物尤其適用于制造彩色濾光片或彩色馬賽克系統(tǒng)，例如如ep320264中所述。彩色濾光片可例如用于平板顯示器技術(shù)(例如lcd、電致發(fā)光顯示器和等離子體顯示器)、圖象傳感器(例如ccd和cmos)等。彩色濾光片通常通過在玻璃基材上形成紅色、綠色和藍(lán)色像素和任選地黑色基質(zhì)制備。在這些方法中，可使用本發(fā)明的光可固化組合物。尤其優(yōu)選使用的方法包括向本發(fā)明的光敏性樹脂組合物添加紅色、綠色和藍(lán)色的著色物、染料和顏料，用組合物涂覆基材，用短暫熱處理干燥涂層，使涂層逐圖案暴露(即經(jīng)由合適掩模)于光化輻射，隨后在合適堿性顯影劑水溶液中使圖案顯影和熱處理。因此，通過隨后用該方法以任何所需次序彼此層疊地施加著有紅色、綠色、藍(lán)色和任選地黑色的涂料，可產(chǎn)生具有紅色、綠色和藍(lán)色像素和任選地黑色基質(zhì)的彩色濾光片層。除將光敏性樹脂組合物涂覆于基材上且干燥的方法以外，本發(fā)明的光敏性樹脂組合物還可用于層轉(zhuǎn)移材料。即將光敏性樹脂組合物直接逐層提供于暫時(shí)性支撐件上，優(yōu)選聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯膜上，或上面提供氧遮蔽層和剝離層或剝離層和氧遮蔽層的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯膜上。通常，將由合成樹脂制成的可移除覆蓋片層壓于其上以在處理時(shí)進(jìn)行保護(hù)。此外，如下層結(jié)構(gòu)還可適用，其中將堿溶性熱塑性樹脂層和中間層提供于暫時(shí)性支撐件上，且進(jìn)一步于其上提供光敏性樹脂組合物層(jp5-173320a)。上述覆蓋片在使用時(shí)移除且將光敏性樹脂組合物層層壓于永久性支撐件上。隨后，在提供氧遮蔽層和剝離層時(shí)在這些層與暫時(shí)性支撐件之間進(jìn)行剝離，在提供剝離層和氧遮蔽層時(shí)在剝離層與氧遮蔽層之間進(jìn)行剝離，且在不提供剝離層或氧遮蔽層時(shí)在暫時(shí)性支撐件與光敏性樹脂組合物層之間進(jìn)行剝離，且移除暫時(shí)性支撐件。顯影劑溶液可以本領(lǐng)域熟練技術(shù)人員已知的所有形式使用，例如浴液、膠泥(puddle)或噴霧溶液形式。為移除光敏性樹脂組合物層的未固化部分，可使用組合方法，例如用旋轉(zhuǎn)刷擦拭和用濕潤(rùn)海綿擦拭。通常，顯影溶液的溫度優(yōu)選為室溫至40℃和約室溫至40℃。顯影時(shí)間可根據(jù)光敏性樹脂組合物的特定類別、顯影溶液的堿度和溫度和有機(jī)溶劑(在添加的情況下)的類別和濃度變化。通常，其為10秒至2分鐘?？稍陲@影處理后進(jìn)行沖洗步驟。最終熱處理優(yōu)選在顯影處理后進(jìn)行。因此，在電熔爐和干燥器中加熱具有通過暴露光聚合的層(在下文中稱為光固化層)的支撐件，或光固化層用紅外燈輻照或于加熱板上加熱。加熱溫度和時(shí)間取決于所用組合物和所形成的層的厚度。通常，優(yōu)選在約120℃至約250℃下施加加熱約2至約60分鐘。彩色濾光片抗蝕劑的實(shí)例、該類抗蝕劑的組合物和處理?xiàng)l件由以下提供：t.kudo等，jpn.j.appl.phys.第37卷(1998)3594；t.kudo等，j.photopolym.sci.technol.第9卷(1996)109；k.kobayashi，solidstatetechnol.nov.1992，第s15-s18頁(yè)；us5368976；us5800952；us5882843；us5879855；us5866298；us5863678；jp06-230212a；ep320264；jp09-269410a；jp10-221843a；jp01-090516a；jp10-171119a、us5821016、us5847015、us5882843、us5719008、ep881541或ep902327。替代使用光敏性組合物形成黑色基質(zhì)和通過逐圖案暴露以光刻法圖案化黑色光敏性組合物以形成分隔透明基材上的紅色、綠色和藍(lán)色區(qū)的黑色圖案，可替代地使用無(wú)機(jī)黑色基質(zhì)。該類無(wú)機(jī)黑色基質(zhì)可由于透明基材上沉積(即濺鍍)的金屬(即鉻)膜通過合適成圖象方法形成，例如借助抗蝕刻劑利用光刻圖案化，蝕刻未經(jīng)抗蝕刻劑保護(hù)的區(qū)域中的無(wú)機(jī)層，隨后移除剩余抗蝕刻劑。本發(fā)明的光敏性或熱固性組合物還可用于形成該類外涂層，因?yàn)樵摻M合物的固化膜的平坦性、硬度、化學(xué)耐受性和耐熱性，尤其是可見區(qū)中的透明性、對(duì)基材的粘附性及其上形成透明導(dǎo)電膜(例如ito膜)的適用性優(yōu)異。在制造保護(hù)層時(shí)，要求例如切割基材的劃線和固體圖象傳感器的粘合墊上保護(hù)層的不必要部分應(yīng)由基材移除，如jp57-42009a、jp1-130103a和jp1-134306a中所述。就此而言，難以使用上述熱固性樹脂選擇性形成具有良好精度的保護(hù)層。然而，光敏性組合物使得通過光刻容易地移除保護(hù)層的不必要部分。本發(fā)明的光敏性組合物可進(jìn)一步用于制造間隔件，其控制液晶顯示面板中的液晶部分的晶胞間隙。由于液晶顯示器中經(jīng)由液晶層透射或反射的光的特性取決于晶胞間隙，像素?cái)?shù)組上的厚度精確性和均勻性為液晶顯示器單元的效能的關(guān)鍵參數(shù)。通過使用光刻方法，可形成一系列樹脂作為像素?cái)?shù)組區(qū)與對(duì)電極之間的區(qū)域中的間隔件以形成指定晶胞間隙。在光刻下具有粘附特性的光敏性材料常用于例如彩色濾光片的制造方法中。與在可自由控制間隔件的位置、數(shù)目和高度的點(diǎn)中使用間隔珠粒的常規(guī)方法相比，該方法是有利的。在彩色液晶顯示面板中，在彩色濾光片組件的黑色基質(zhì)下的非成圖象區(qū)中形成該類間隔件。因此，使用光敏性組合物形成的間隔件不降低亮度和光學(xué)孔徑。用于制造彩色濾光片的間隔件內(nèi)的保護(hù)層的光敏性組合物公開于jp2000-81701a中，且間隔件材料的干膜型光致抗蝕劑還公開于jp11-174459a和jp11-174464a中。如文獻(xiàn)中所述，光敏性組合物、液體和干膜光致抗蝕劑包含至少一種堿溶性或酸溶性粘合劑聚合物、自由基可聚合單體和自由基引發(fā)劑。在一些情況下，可此外包括熱可交聯(lián)組分(例如環(huán)氧化物和羧酸)。使用光敏性組合物形成間隔件的步驟如下：將光敏性組合物施用于基材，例如彩色濾光片面板，預(yù)烘烤基材后，使其經(jīng)由掩模暴露于光。隨后，用顯影劑使基材顯影且圖案化，形成所需間隔件。在組合物含有一些熱固性組分時(shí)，通常進(jìn)行后烘烤以熱固化該組合物。本發(fā)明的光可固化組合物適用于制造液晶顯示器的間隔件(如上所述)。本發(fā)明的組合物還適用于制造液晶顯示器中，更特別地特定lcd結(jié)構(gòu)中的層間隔離層或介電層，例如數(shù)組型和反射型lcd上的彩色濾光片。該應(yīng)用的詳細(xì)解釋公開于jp2014-10382a、jp2014-10200、jp2013-242537a、jp2013-242511a和jp2013-231868中。本發(fā)明的式(i)和(ia)的光敏性(輻射敏感性)酸產(chǎn)生化合物尤其適合于組合物中以制造隔離層。例如，在如以下專利中所述的配制劑中，jp5-165214-a，其提出一種光敏性樹脂組合物，其包括(a)樹脂，其可溶于堿水溶液，且為(a)不飽和羧酸或不飽和羧酸酐、(b)具有環(huán)氧基的可自由基聚合化合物和(c)另一自由基可聚合化合物的共聚物；和(b)輻射敏感性酸產(chǎn)生化合物。日本專利no.4207604，其提出一種光敏性樹脂組合物，其包括(a)具有縮醛結(jié)構(gòu)和/或縮酮結(jié)構(gòu)和環(huán)氧基結(jié)構(gòu)且通過凝膠滲透色譜測(cè)量重量平均分子量為2000或更大(轉(zhuǎn)換為聚苯乙烯)的高分子量聚合物；和(b)在暴露于輻射時(shí)產(chǎn)生pka為4.0或更小的酸的化合物。jp2009-098616a，其提出一種光敏性樹脂組合物，其包括至少(a)樹脂，其含有具有由下式表示的酸解離基團(tuán)且具有能夠通過與羧基反應(yīng)形成共價(jià)鍵的官能團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元，該樹脂不溶于堿，但在酸解離基團(tuán)解離后變成堿溶性；和(b)在暴露于光化光或輻射時(shí)產(chǎn)生酸的化合物，其中在上式中，r77為h、ch3、鹵素或cn，r78和r79各自為h或烷基，其中r78和r79中的至少一個(gè)為烷基；且r80為芳基或芳烷基，且r78和r80或r79和r80可彼此鍵合形成環(huán)醚。絕緣層本發(fā)明的式(i)和(ia)的化合物尤其適合作為例如如us20120045616a和us20130171415a中所公開的樹脂組合物中的光敏性酸產(chǎn)生劑以例如形成絕緣層。根據(jù)這些公開出版物，組合物包含輻射敏感性酸產(chǎn)生劑化合物和樹脂(a)，該樹脂(a)包含具有酸解離基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元和具有能夠通過與羧基或酚羥基反應(yīng)形成共價(jià)鍵的官能團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元。在本發(fā)明的優(yōu)選組合物中，如us20120045616a和us20130171415a中所述的輻射敏感性酸產(chǎn)生劑化合物由本發(fā)明的式(i)或(ia)的輻射敏感性酸產(chǎn)生劑化合物替換。這些上述公開出版物以及以下本發(fā)明文本中所述的具體樹脂(a)優(yōu)選作為組分(a)或(a1)，其分別為本發(fā)明權(quán)利要求書中的主題。例如，用于制備隔離層的組合物中所用的具體樹脂(a)為如下樹脂，其至少包括具有通過酸分解且產(chǎn)生羧基或酚羥基的酸可分解基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元和能夠通過與羧基或酚羥基反應(yīng)形成共價(jià)鍵的結(jié)構(gòu)單元。具體樹脂(a)僅可包括各結(jié)構(gòu)單元中的一種，或可組合包括其中多種類別。此外，如稍后將描述，具體樹脂(a)可包括具有不同于上述結(jié)構(gòu)單元的結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)單元。例如，用于制備隔離層的組合物中所用的具體樹脂(a)為如下樹脂，其至少包括具有通過酸分解且產(chǎn)生羧基或酚羥基的酸可分解基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元和能夠通過與羧基或酚羥基反應(yīng)形成共價(jià)鍵的結(jié)構(gòu)單元。具體樹脂(a)僅可包括各結(jié)構(gòu)單元中的一種，或可組合包括其中多種類別。此外，如稍后將描述，具體樹脂(a)可包括具有不同于上述結(jié)構(gòu)單元的結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)單元。酸解離基團(tuán)(酸可分解基團(tuán))：具體樹脂(a)中所含有的酸解離基團(tuán)是指經(jīng)由用酸分解產(chǎn)生羧基或酚羥基的基團(tuán)(在下文中還簡(jiǎn)稱為“酸可分解基團(tuán)”)。在本發(fā)明中具有酸解離基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元的實(shí)例包括具有通過用酸分解(解離)產(chǎn)生羧基的基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元，尤其是具有由下式(iaa)或(iiaa)表示的結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)單元；和具有通過用酸分解產(chǎn)生酚羥基的基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元，尤其是具有由下式(ibb)或(iibb)表示的結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)單元。具體樹脂(a)優(yōu)選為包括至少一種選自這些結(jié)構(gòu)單元的結(jié)構(gòu)單元的樹脂。在式(iaa)和(ibb)中，ry獨(dú)立地表示直鏈或支化烷基或環(huán)烷基，其未經(jīng)取代或經(jīng)取代；rx各自獨(dú)立地表示直鏈或支化烷基；arx表示二價(jià)芳族基團(tuán)；且符號(hào)*表示與另一結(jié)構(gòu)的鍵合位點(diǎn)。在式(iiaa)中，rz表示叔烷基或2-四氫吡喃基。在式(iibb)中，rw表示叔烷基、叔丁氧基羰基或2-四氫吡喃基；arx表示二價(jià)芳族基團(tuán)；且符號(hào)*表示與另一結(jié)構(gòu)的鍵合位點(diǎn)。由ry表示的直鏈或支化烷基優(yōu)選具有1至20個(gè)碳原子，更優(yōu)選1至10個(gè)碳原子，仍更優(yōu)選1至7個(gè)碳原子。上文提供直鏈或支化烷基的實(shí)例。當(dāng)ry表示環(huán)烷基時(shí)，該環(huán)烷基優(yōu)選具有3至20個(gè)碳原子，更優(yōu)選3至10個(gè)碳原子，仍更優(yōu)選5至7個(gè)碳原子。由ry表示的環(huán)烷基的實(shí)例包括環(huán)丙基、環(huán)丁基、環(huán)戊基、環(huán)己基、環(huán)庚基、環(huán)辛基、降冰片烷基和異冰片烷基。由ry表示的直鏈或支化烷基或環(huán)烷基可具有取代基，例如包括具有3至10個(gè)碳原子的環(huán)烷基、具有6至10個(gè)碳原子的芳基、鹵素原子(例如氟原子、氯原子、溴原子或碘原子)、氰基、硝基、羥基和具有1至10個(gè)碳原子的烷氧基。此外，環(huán)烷基的環(huán)結(jié)構(gòu)可具有具有1至10個(gè)碳原子的烷基(例如甲基、乙基、丙基或丁基)作為取代基。在鹵素原子作為取代基時(shí)，氟原子適用，且含有氟原子的氟烷基(例如cf3)為尤其適用的取代基。此外，由ry表示的直鏈或支化烷基或環(huán)烷基優(yōu)選為具有1至10個(gè)碳原子的烷基、具有3至10個(gè)碳原子的環(huán)烷基或具有7至11個(gè)碳原子的芳烷基，更優(yōu)選具有1至6個(gè)碳原子的烷基、具有3至6個(gè)碳原子的環(huán)烷基或芐基，仍更優(yōu)選乙基或環(huán)己基，尤其優(yōu)選乙基。在式(iaa)和(ibb)中，rx各自獨(dú)立地表示直鏈或支化烷基。由rx表示的直鏈或支化烷基優(yōu)選具有1至20個(gè)碳原子，更優(yōu)選1至10個(gè)碳原子，仍更優(yōu)選1至7個(gè)碳原子。此外，由rx表示的直鏈或支化烷基優(yōu)選為具有1至6個(gè)碳原子的烷基，尤其優(yōu)選為甲基。在式(ibb)中，arx表示二價(jià)芳族基團(tuán)且具有芳族環(huán)上具有och(ory)(rx)的結(jié)構(gòu)。由arx表示的二價(jià)芳族基團(tuán)不受特別限制，且二價(jià)芳族基團(tuán)的實(shí)例包括亞苯基、經(jīng)取代的亞苯基、亞萘基和經(jīng)取代的亞萘基。二價(jià)芳族基團(tuán)優(yōu)選為亞苯基或經(jīng)取代的亞苯基，更優(yōu)選未經(jīng)取代的亞苯基，仍更優(yōu)選1,4-亞苯基。此外，由arx表示的二價(jià)芳族基團(tuán)可在芳族環(huán)上具有取代基。可引入芳族環(huán)中的取代基的實(shí)例包括具有1至10個(gè)碳原子的直鏈或支化烷基(例如甲基、乙基、丙基或丁基)、具有3至10個(gè)碳原子的環(huán)烷基、具有6至10個(gè)碳原子的芳基、鹵素原子(例如氟原子、氯原子、溴原子或碘原子)、氰基、硝基、羥基和具有1至10個(gè)碳原子的烷氧基。這些取代基可進(jìn)一步經(jīng)取代基(例如上述取代基)取代。具有酸可分解基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元優(yōu)選包括至少一種選自由式(iaa)和(ibb)表示的結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)單元。可通過保護(hù)羧基形成具有由式(iaa)表示的結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)單元的羧酸單體不受特別限制，只要其可通過保護(hù)羧基形成具有擁有上述結(jié)構(gòu)的酸可分解基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元。羧酸單體的實(shí)例包括單羧酸，例如丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸和α-甲基-對(duì)羧基苯乙烯；和二羧酸，例如馬來(lái)酸、富馬酸、檸康酸、中康酸和衣康酸。此外，具有酸可分解基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元優(yōu)選為衍生自羧酸的單體單元，其中羧基經(jīng)保護(hù)?？赏ㄟ^保護(hù)酚羥基形成具有由式(ibb)表示的結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)單元的具有酚羥基的單體不受特別限制，只要其可通過保護(hù)酚羥基形成具有酸可分解基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元。單體的實(shí)例包括羥基苯乙烯，例如對(duì)羥基苯乙烯和a-甲基-對(duì)羥基苯乙烯、jp-ano.2008-40183的段落[0011]至[0016]中所提及的化合物；日本專利no.2888454的段落[0007]至[0010]中所提及的4-羥基苯甲酸衍生物；4-羥基苯甲酸與甲基丙烯酸縮水甘油酯的加成反應(yīng)產(chǎn)物和4-羥基苯甲酸與丙烯酸縮水甘油酯的加成反應(yīng)產(chǎn)物。其中，更優(yōu)選為α-甲基-對(duì)羥基苯乙烯、jp-ano.2008-40183的段落[0011]至[0016]中所提及的化合物、日本專利no.2888454的段落[0007]至[0010]中所提及的4-羥基苯甲酸衍生物、4-羥基苯甲酸與甲基丙烯酸縮水甘油酯的加成反應(yīng)產(chǎn)物和4-羥基苯甲酸與丙烯酸縮水甘油酯的加成反應(yīng)產(chǎn)物。在這些結(jié)構(gòu)中，尤其優(yōu)選具有酸可分解基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元為由式(iiiaa)表示的結(jié)構(gòu)單元，其中rq表示直鏈或支化烷基或環(huán)烷基，且rq的優(yōu)選實(shí)施方案與式(ia)和(ib)中ry的優(yōu)選實(shí)施方案相同；rp表示氫原子或甲基。用于形成由式(iiiaa)表示的結(jié)構(gòu)單元的自由基可聚合單體的優(yōu)選具體實(shí)例包括甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯、丙烯酸1-乙氧基乙基酯、甲基丙烯酸1-甲氧基乙基酯、丙烯酸1-甲氧基乙基酯、甲基丙烯酸1-正丁氧基乙基酯、丙烯酸1-正丁氧基乙基酯、甲基丙烯酸1-正異丁氧基乙基酯、丙烯酸1-正異丁氧基乙基酯、甲基丙烯酸1-(2-乙基己氧基)乙基酯、丙烯酸1-(2-乙基己氧基)乙基酯、甲基丙烯酸1-正丙氧基乙基酯、丙烯酸1-正丙氧基乙基酯、甲基丙烯酸1-環(huán)己氧基乙基酯、丙烯酸1-環(huán)己氧基乙基酯、甲基丙烯酸1-(2-環(huán)己基乙氧基)乙基酯、丙烯酸1-(2-環(huán)己基乙氧基)乙基酯、甲基丙烯酸1-苯甲氧基乙基酯和丙烯酸1-苯甲氧基乙基酯。尤其優(yōu)選的實(shí)例為甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯和丙烯酸1-乙氧基乙基酯。這些結(jié)構(gòu)單元可單獨(dú)包括或以其兩種或更多種類別的組合形式包括。用于形成具有酸可分解基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元的自由基可聚合單體可為市售產(chǎn)品或通過已知方法合成的產(chǎn)物。例如，如下文所示，自由基可聚合單體可通過在酸催化劑存在下使(甲基)丙烯酸與乙烯基醚化合物反應(yīng)合成。在以上方案中，rq和rp各自對(duì)應(yīng)于式(iiiaa)中的rq和rp。還可通過含有羧基或酚羥基的單體與單體(下文所述)或其前體聚合，隨后羧基或酚羥基與乙烯基醚化合物反應(yīng)而形成具有酸可分解基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元。可通過該方法獲得的優(yōu)選單體單元的具體實(shí)例與以上自由基可聚合單體的優(yōu)選具體實(shí)例相同。在上式(iiaa)和(iibb)中，rz表示叔烷基、2-四氫吡喃基或2-四氫呋喃基；rw表示叔烷基、叔丁氧基羰基、2-四氫吡喃基或2-四氫呋喃基；arx表示二價(jià)芳族基團(tuán)；且符號(hào)*表示與另一結(jié)構(gòu)的鍵合位點(diǎn)。由rz和rw表示的叔烷基優(yōu)選具有4至20個(gè)碳原子，更優(yōu)選4至14個(gè)碳原子，仍更優(yōu)選4至8個(gè)碳原子。由rz表示的叔烷基或2-四氫吡喃基，由rw表示的叔烷基、叔丁氧基羰基、2-四氫吡喃基或2-四氫呋喃基和由arx表示的二價(jià)芳族基團(tuán)可具有取代基。取代基的實(shí)例包括具有1至10個(gè)碳原子的烷基(例如甲基、乙基、丙基或丁基)、具有3至10個(gè)碳原子的環(huán)烷基、具有6至10個(gè)碳原子的芳基、鹵素原子(例如氟原子、氯原子、溴原子或碘原子)、氰基、硝基、羥基和具有1至10個(gè)碳原子的烷氧基。這些取代基可進(jìn)一步經(jīng)選自以上取代基的取代基取代。由rz和rw表示的叔烷基優(yōu)選為至少一種選自如下的基團(tuán)：由下式(vaa)-c[(rs)(rt)(ru)]表示的基團(tuán)，其中rs、rt和ru各自獨(dú)立地表示具有1至12個(gè)碳原子的烷基、具有3至12個(gè)碳原子的環(huán)烷基、具有6至12個(gè)碳原子的芳基或具有7至12個(gè)碳原子的芳烷基，且rs、rt和ru中的任何兩種可彼此鍵合以與rs、rt和ru所鍵合的碳原子一起形成環(huán)。在式(vaa)中，由rs、rt和ru各自表示的具有1至12個(gè)碳原子的烷基可為直鏈或支化的。具有1至12個(gè)碳原子的烷基的實(shí)例包括甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、仲丁基、正戊基、新戊基、正己基、正庚基、正辛基、2-乙基己基、正壬基和正癸基。具有3至12個(gè)碳原子的環(huán)烷基的實(shí)例包括環(huán)丙基、環(huán)丁基、環(huán)戊基、環(huán)己基、環(huán)庚基、環(huán)辛基、降冰片烷基和異冰片烷基。具有6至12個(gè)碳原子的芳基的實(shí)例包括苯基、甲苯基、二甲苯基、異丙苯基和1-萘基。具有7至12個(gè)碳原子的芳烷基的實(shí)例包括芐基、α-甲基芐基、苯乙基和萘基甲基。rs與rt、rs與ru或rt與ru彼此鍵合的環(huán)結(jié)構(gòu)的實(shí)例包括環(huán)丁基、環(huán)戊基、環(huán)己基、環(huán)庚基、四氫呋喃基、金剛烷基和四氫吡喃基。在這些結(jié)構(gòu)中，尤其優(yōu)選具有酸可分解基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元為由下式(ivaa)表示的結(jié)構(gòu)單元其中r62表示叔烷基、2-四氫吡喃基或2-四氫呋喃基，且r61表示氫原子或甲基。在式(ivaa)中，r62的優(yōu)選實(shí)施方案與式(iiaa)中的rx相同。用于形成由式(ivaa)表示的結(jié)構(gòu)單元的自由基可聚合單體的優(yōu)選具體實(shí)例包括甲基丙烯酸叔丁基酯、丙烯酸叔丁基酯、甲基丙烯酸四氫-2h-吡喃-2-基酯、丙烯酸四氫-2h-吡喃-2-基酯、甲基丙烯酸四氫-2h-呋喃-2-基酯、丙烯酸四氫-2h-呋喃-2-基酯、甲基丙烯酸2-甲基-2-金剛烷基酯、丙烯酸2-甲基-2-金剛烷基酯、甲基丙烯酸1-甲基環(huán)己基酯和丙烯酸1-甲基環(huán)己基酯。尤其優(yōu)選單體為甲基丙烯酸叔丁基酯和丙烯酸叔丁基酯。這些結(jié)構(gòu)單元可單獨(dú)使用或以其兩種或更多種類別的組合形式使用。含有酸可分解基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元的優(yōu)選具體實(shí)例包括以下單體單元：形成具有酸可分解基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元的單體單元的含量相對(duì)于構(gòu)成具體樹脂(a)的總單體單元優(yōu)選為5至60mol％，更優(yōu)選10至50mol％，尤其優(yōu)選10至40mol％。當(dāng)含量在上述范圍內(nèi)時(shí)，可獲得具有高敏感性和寬暴露寬容度的光敏性樹脂組合物。能夠通過與羧基或酚羥基反應(yīng)形成共價(jià)鍵的官能團(tuán)：能夠通過與羧基或酚羥基反應(yīng)形成共價(jià)鍵的官能團(tuán)的實(shí)例包括環(huán)氧基、氧雜環(huán)丁烷基、酸酐基、酸鹵化物基團(tuán)和異氰酸酯基。含有任意這些官能團(tuán)的自由基可聚合單體優(yōu)選用于合成具體樹脂(a)。在官能團(tuán)中，優(yōu)選環(huán)氧基和/或氧雜環(huán)丁烷基。具有環(huán)氧基和/或氧雜環(huán)丁烷基的結(jié)構(gòu)單元優(yōu)選為具有脂環(huán)族環(huán)氧基和/或氧雜環(huán)丁烷基的結(jié)構(gòu)單元，更優(yōu)選具有氧雜環(huán)丁烷基的結(jié)構(gòu)單元。脂環(huán)族環(huán)氧基為如下基團(tuán)，其中稠環(huán)由脂族環(huán)和環(huán)氧基環(huán)形成。脂環(huán)族環(huán)氧基的優(yōu)選具體實(shí)例包括3,4-環(huán)氧環(huán)己基、2,3-環(huán)氧環(huán)己基和2,3-環(huán)氧環(huán)戊基。含有氧雜環(huán)丁烷基的基團(tuán)不受特別限制，只要其含有氧雜環(huán)丁烷基環(huán)，但其優(yōu)選實(shí)例為(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基。具有環(huán)氧基和/或氧雜環(huán)丁烷基的結(jié)構(gòu)單元不受特別限制，只要其具有至少一個(gè)環(huán)氧基或氧雜環(huán)丁烷基。單一結(jié)構(gòu)單元可無(wú)特別限制地含有一個(gè)或多個(gè)環(huán)氧基和一個(gè)或多個(gè)氧雜環(huán)丁烷基、兩個(gè)或更多個(gè)環(huán)氧基或兩個(gè)或更多個(gè)氧雜環(huán)丁烷基，但結(jié)構(gòu)單元中所含有的環(huán)氧基和/或氧雜環(huán)丁烷基的總數(shù)優(yōu)選為1至3，更優(yōu)選1或2，仍更優(yōu)選一個(gè)環(huán)氧基或一個(gè)氧雜環(huán)丁烷基。在關(guān)于具體樹脂(a)的結(jié)構(gòu)單元的化學(xué)式中，可由烷基、環(huán)烷基、芳族基團(tuán)等接受的取代基可為任何取代基，只要其為不會(huì)不利地影響本發(fā)明的組合物或固化膜形成方法的惰性取代基。該類取代基的具體實(shí)例包括具有1至4個(gè)碳原子的低級(jí)烷氧基、具有2至5個(gè)碳原子的?；吐仍?。用于形成具有環(huán)氧基的結(jié)構(gòu)單元的自由基可聚合單體的具體實(shí)例包括丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、α-乙基丙烯酸縮水甘油酯、α-正丙基丙烯酸縮水甘油酯、α-正丁基丙烯酸縮水甘油酯、丙烯酸3,4-環(huán)氧基丁基酯、甲基丙烯酸3,4-環(huán)氧基丁基酯、丙烯酸6,7-環(huán)氧基庚基酯、甲基丙烯酸6,7-環(huán)氧基庚基酯、α-乙基丙烯酸6,7-環(huán)氧基庚基酯、鄰乙烯基芐基縮水甘油醚、間乙烯基芐基縮水甘油醚、對(duì)乙烯基芐基縮水甘油醚和日本專利no.4168443的段落[0031]至[0035]中所述的含脂環(huán)族環(huán)氧基骨架的化合物。用于形成具有氧雜環(huán)丁烷基的結(jié)構(gòu)單元的自由基可聚合單體的實(shí)例包括jp-ano.2001-330953的段落[0011]至[0016]中所述的含有氧雜環(huán)丁烷基的(甲基)丙烯酸酯。自由基可聚合單體的優(yōu)選實(shí)例為(甲基)丙烯酸1-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基酯。用于形成具有至少一個(gè)環(huán)氧基或氧雜環(huán)丁烷基的結(jié)構(gòu)單元的自由基可聚合單體的優(yōu)選實(shí)例包括具有甲基丙烯酸酯結(jié)構(gòu)的單體和具有丙烯酸酯結(jié)構(gòu)的單體。在這些單體中，仍更優(yōu)選單體為日本專利no.416844的段落[0034]至[0035]中所述的含有脂環(huán)族環(huán)氧基骨架的化合物和jp-ano.2001-330953的段落[0011]至[0016]中所述的含有氧雜環(huán)丁烷基的(甲基)丙烯酸酯，其中尤其優(yōu)選這些專利中所述的含有氧雜環(huán)丁烷基的(甲基)丙烯酸酯。其中，優(yōu)選實(shí)例為丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯、甲基丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯、丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯和甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯，最優(yōu)選丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯和甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯。這些結(jié)構(gòu)單元可單獨(dú)使用或以其兩種或更多種類別的組合形式使用。具有能夠通過與羧基或酚羥基反應(yīng)形成共價(jià)鍵的官能團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元的優(yōu)選具體實(shí)例包括以下結(jié)構(gòu)單元：構(gòu)成具有能夠通過與羧基或酚羥基反應(yīng)形成共價(jià)鍵的官能團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元的單體單元的含量相對(duì)于構(gòu)成具體樹脂(a)的總單體單元優(yōu)選為10至80mol％，更優(yōu)選15至70mol％，尤其優(yōu)選20至65mol％。在這些結(jié)構(gòu)單元中，鑒于改進(jìn)光敏性樹脂組合物的保存穩(wěn)定性，尤其優(yōu)選含有氧雜環(huán)丁烷基的結(jié)構(gòu)單元。除滿足如上文所提及的其優(yōu)選含量以外，就摩爾比而言，具有酸可分解基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元與具有能夠通過與羧基或酚羥基反應(yīng)形成共價(jià)鍵的官能團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元之間的含量比優(yōu)選為1：1至2：1。當(dāng)含量比在以上范圍內(nèi)時(shí)，敏感性、暴露寬容度和保存穩(wěn)定性可同時(shí)改進(jìn)。其他結(jié)構(gòu)單元：具體樹脂(a)可包括除以上結(jié)構(gòu)單元以外的另一結(jié)構(gòu)單元。形成另一結(jié)構(gòu)單元的例示性自由基可聚合單體包括jp-ano.2004-264623的段落[0021]至[0024]中所述的化合物。其中，出于改進(jìn)電特征的觀點(diǎn)，優(yōu)選含有脂環(huán)族結(jié)構(gòu)的(甲基)丙烯酸酯，例如(甲基)丙烯酸二環(huán)戊基酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己基酯和丙烯酸環(huán)己基酯。具體樹脂(a)優(yōu)選包括衍生自至少一種選自如下的化合物的結(jié)構(gòu)單元作為另一結(jié)構(gòu)單元：苯乙烯衍生物、馬來(lái)酰亞胺衍生物、(甲基)丙烯酸和含羥基的(甲基)丙烯酸酯化合物。優(yōu)選苯乙烯衍生物包括苯乙烯、氯甲基苯乙烯和乙酰氧基苯乙烯。優(yōu)選馬來(lái)酰亞胺衍生物包括n-丁基馬來(lái)酰亞胺和n-環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺。優(yōu)選含羥基的(甲基)丙烯酸酯化合物包括(甲基)丙烯酸羥基乙基酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丙基酯、(甲基)丙烯酸3-羥基丙基酯和(甲基)丙烯酸4-羥基丁基酯。構(gòu)成另一結(jié)構(gòu)單元的單體單元的含量相對(duì)于具體樹脂(a)的總結(jié)構(gòu)單元優(yōu)選為0至50mol％，更優(yōu)選0至45mol％，尤其優(yōu)選5至40mol％。具體樹脂(a)的重量平均分子量?jī)?yōu)選為1,000至100,000，更優(yōu)選為2,000至50,000。絕緣層中所用的重量平均分子量?jī)?yōu)選為通過凝膠滲透色譜法(gpc)就聚苯乙烯而言的重量平均分子量。以下為具體樹脂(a)與構(gòu)成單體一起的優(yōu)選實(shí)例且其共聚比率顯示出于括號(hào)中。然而，形成絕緣層的組合物不限于這些實(shí)例。具體樹脂(a)的以下實(shí)例的重量平均分子量?jī)?yōu)選為2,000至50,000。甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸縮水甘油酯共聚物(55/25/20)；甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸縮水甘油酯/甲基丙烯酸酯共聚物(55/25/10/10)；甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸四氫-2h-吡喃-2-基酯/甲基丙烯酸縮水甘油酯/甲基丙烯酸酯共聚物(25/45/20/10)；甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸四氫-2h-呋喃-2-基酯/甲基丙烯酸縮水甘油酯/甲基丙烯酸酯共聚物(35/35/15/15)；甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯共聚物(35/40/25)；甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯/甲基丙烯酸酯共聚物(40/15/25/20)；甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯/(3-甲基丙烯酰氧基-2-羥基丙基)4-羥基苯甲酸酯共聚物(45/35/10/10)；甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯/(3-甲基丙烯酰氧基丙基)4-羥基苯甲酸酯共聚物(40/30/10/10)；甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯/(3-甲基丙烯酰氧基丙基)4-羥基苯甲酸酯/甲基丙烯酸2-羥基乙基酯共聚物(30/20/20/15/15)；甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯/(3-甲基丙烯酰氧基丙基)4-羥基苯甲酸酯/甲基丙烯酸甲基酯共聚物(40/15/15/15/15)；甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸四氫-2h-吡喃-2-基酯/甲基丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯/(3-甲基丙烯酰氧基丙基)4-羥基苯甲酸酯共聚物(20/30/20/30)；甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸四氫-2h-呋喃-2-基酯/甲基丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯/(3-甲基丙烯酰氧基丙基)4-羥基苯甲酸酯共聚物(25/35/25/15)；甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸四氫-2h-吡喃-2-基酯/甲基丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯/(3-甲基丙烯酰氧基丙基)4-羥基苯甲酸酯/甲基丙烯酸2-羥基乙基酯共聚物(40/20/20/15/5)；甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸四氫-2h-呋喃-2-基酯/甲基丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯/(3-甲基丙烯酰氧基丙基)4-羥基苯甲酸酯/甲基丙烯酸2-羥基乙基酯共聚物(35/20/20/15/10)；甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯/(3-甲基丙烯酰氧基丙基)4-羥基苯甲酸酯共聚物(25/25/25/25)；甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯/(3-甲基丙烯酰氧基丙基)4-羥基苯甲酸酯/甲基丙烯酸2-羥基乙基酯共聚物(20/35/20/15/10)；甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯共聚物(45/25/30)；甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯/甲基丙烯酸酯共聚物(25/25/35/15)；甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯/(3-甲基丙烯酰氧基-2-羥基丙基)4-羥基苯甲酸酯共聚物(35/25/20/20)；甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯/(3-甲基丙烯酰氧基丙基)4-羥基苯甲酸酯共聚物(35/25/20/20)；甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸2-甲基-2-金剛烷基酯/甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯/(3-甲基丙烯酰氧基丙基)4-羥基苯甲酸酯共聚物(25/25/25/25)；甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸1-甲基-1-環(huán)己基酯/甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯/(3-甲基丙烯酰氧基丙基)4-羥基苯甲酸酯共聚物(15/50/15/20)；甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯/(2-甲基丙烯酰氧基乙基)4-羥基苯甲酸酯共聚物(40/25/20/15)；甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯/(6-甲基丙烯酰氧基己基)4-羥基苯甲酸酯共聚物(30/30/20/20)；甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸叔丁基酯/甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯/(3-甲基丙烯酰氧基丙基)4-羥基苯甲酸酯/甲基丙烯酸2-羥基乙基酯共聚物(20/20/25/25/10)；甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸酯/甲基丙烯酸縮水甘油酯/甲基丙烯酸2-羥基乙基酯共聚物(30/10/40/20)；甲基丙烯酸1-環(huán)己氧基乙基酯/甲基丙烯酸酯/甲基丙烯酸縮水甘油酯/甲基丙烯酸2-羥基乙基酯共聚物(40/10/30/20)；甲基丙烯酸四氫-2h-吡喃-2-基酯/甲基丙烯酸酯/甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯/甲基丙烯酸2-羥基乙基酯共聚物(30/10/40/20)；甲基丙烯酸四氫-2h-吡喃-2-基酯/甲基丙烯酸酯/甲基丙烯酸縮水甘油酯/甲基丙烯酸2-羥基乙基酯共聚物(30/10/40/20)；甲基丙烯酸四氫-2h-吡喃-2-基酯/甲基丙烯酸酯/甲基丙烯酸縮水甘油酯/苯乙烯/甲基丙烯酸2-羥基乙基酯共聚物(30/10/40/15/5)；甲基丙烯酸四氫呋喃-2-基酯/甲基丙烯酸酯/甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯/甲基丙烯酸2-羥基乙基酯共聚物(40/10/30/20)；甲基丙烯酸四氫呋喃-2-基酯/甲基丙烯酸酯/甲基丙烯酸縮水甘油酯/甲基丙烯酸2-羥基乙基酯共聚物(41/9/30/20)；甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸酯/甲基丙烯酸縮水甘油酯/甲基丙烯酸2-羥基乙基酯/甲基丙烯酸環(huán)己基酯共聚物(30/15/30/20/5)；甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸酯/甲基丙烯酸縮水甘油酯/聚(乙二醇-丙二醇)-單甲基丙烯酸酯(blemmer50pep-300，商品名，由nofcorp.制造)/甲基丙烯酸二環(huán)戊烷基酯共聚物(50/10/30/4/6)；甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸酯/甲基丙烯酸縮水甘油酯/甲氧基聚乙二醇甲基丙烯酸酯(blemmerpme-400，商品名，由nofcorp.制造)共聚物(46/4.5/48/1.5)；甲基丙烯酸1-環(huán)己氧基乙基酯/丙烯酸酯/甲基丙烯酸縮水甘油酯/甲氧基聚乙二醇甲基丙烯酸酯(blemmerpme-400，商品名，由nofcorp.制造)共聚物(40/15/43/2)；甲基丙烯酸1-環(huán)己氧基乙基酯/甲基丙烯酸酯/甲基丙烯酸縮水甘油酯/甲氧基聚乙二醇甲基丙烯酸酯(blemmerpme-400，商品名，由nofcorp.制造)/甲基丙烯酸二環(huán)戊烷基酯共聚物(40/15/33/2/10)；甲基丙烯酸四氫-2h-吡喃-2-基酯/甲基丙烯酸酯/甲基丙烯酸縮水甘油酯/甲基丙烯酸2-羥基乙基酯共聚物(42/10/28/20)；甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯/甲基丙烯酸酯/甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環(huán)丁烷-3-基)甲基酯/甲基丙烯酸2-羥基乙基酯共聚物(45/10/25/20)。具體樹脂(a)可單獨(dú)使用或以其兩種或更多種類別的組合形式使用。本發(fā)明的光敏性樹脂組合物中具體樹脂(a)的含量相對(duì)于光敏性樹脂組合物的總固體含量?jī)?yōu)選為20至99重量％，更優(yōu)選40至97重量％，仍更優(yōu)選60至95重量％。當(dāng)具體樹脂(a)的含量在以上范圍內(nèi)時(shí)，顯影后可形成有利圖案。在本發(fā)明書中，光敏性樹脂組合物的固體含量是指除溶劑以外的組分的總量。除具體樹脂(a)以外的樹脂的含量?jī)?yōu)選小于具體樹脂(a)的含量。光敏性酸產(chǎn)生劑(b)：上述式(i)和(ia)的化合物用作以上所提及配制劑中的組分(b)。敏化劑(c)：作為任選地組分(c)，以上配制劑中的敏化劑，上述敏化劑化合物是合適的。在上述絕緣層的正型光敏性樹脂組合物中，敏化劑(c)的含量相對(duì)于100重量份具體樹脂(a)優(yōu)選在0.1至10重量份范圍內(nèi)，更優(yōu)選在0.5至10重量份范圍內(nèi)。溶劑(d)：本發(fā)明的正型光敏性樹脂組合物優(yōu)選包括(d)溶劑。合適溶劑在上文中描述。其他添加劑：通常，在正型光敏性樹脂組合物中，如果需要，以下已知添加劑可用作任選地組分：(e)抗氧化劑、(f)交聯(lián)劑、(g)粘附性改進(jìn)劑、(h)堿性化合物、(l)表面活性劑、(j)增塑劑、(k)熱自由基產(chǎn)生劑、熱酸產(chǎn)生劑、uv吸收劑、增稠劑、有機(jī)或無(wú)機(jī)懸浮劑等。(e)抗氧化劑：抗氧化劑(e)可為已知抗氧化劑，且添加抗氧化劑使得可以更有利方式抑制固化膜的變色。此外，可減少由于起始物質(zhì)分解等所致的膜厚度減少量且可進(jìn)一步改進(jìn)所得固化膜的耐熱透明性?？捎糜诒景l(fā)明的抗氧化劑的實(shí)例包括磷抗氧化劑、酰肼、受阻胺抗氧化劑、硫抗氧化劑、酚抗氧化劑、抗壞血酸、硫酸鋅、糖、亞硝酸鹽、亞硫酸鹽、硫代硫酸鹽和羥胺衍生物。其中，就有效抑制固化膜變色和抑制膜厚度減少而言，尤其優(yōu)選酚抗氧化劑。還可使用市售產(chǎn)品形式的酚抗氧化劑，且其實(shí)例包括adekastubao-60、adekastubao-80(由adekaco.,ltd.制造)和irganox1098(由basfjapanltd.制造)?？寡趸瘎?e)可單獨(dú)使用或以其兩種或更多種類別的混合物形式使用?？寡趸瘎?e)的含量相對(duì)于光敏性樹脂組合物的總固體含量?jī)?yōu)選在0.1至6重量％范圍內(nèi)，更優(yōu)選在0.2至5重量％范圍內(nèi)，尤其優(yōu)選在0.5至4重量％范圍內(nèi)。此外，作為除抗氧化劑(e)以外的添加劑，nikkankogyoshimbunltd.公開的kobunshitenkazainoshintenkai(newhorizonofhighpolymeradditives)中所述的各種uv吸收劑以及上述uv吸收劑、金屬鈍化劑等可加入本發(fā)明的光敏性樹脂組合物中。(f)交聯(lián)劑交聯(lián)劑(f)的實(shí)例包括分子中含有兩個(gè)或更多個(gè)環(huán)氧基或氧雜環(huán)丁烷基的化合物、含烷氧基甲基的交聯(lián)劑和含有至少一個(gè)烯屬不飽和雙鍵的化合物。分子中含有兩個(gè)或更多個(gè)環(huán)氧基或氧雜環(huán)丁烷基的化合物：分子中含有兩個(gè)或更多個(gè)環(huán)氧基或氧雜環(huán)丁烷基的化合物的具體實(shí)例包括雙酚a環(huán)氧樹脂、雙酚f環(huán)氧樹脂、苯酚酚醛清漆環(huán)氧樹脂、甲酚酚醛清漆環(huán)氧樹脂和脂族環(huán)氧樹脂。這些化合物可市購(gòu)。雙酚a環(huán)氧樹脂的實(shí)例包括jer827、jer828、jer834、jer1001、jer1002、jer1003、jer1055、jer1007、jer1009和jer1010(均由japanepoxyresinsco.,ltd.制造)、epiclon860、epiclon1050、epiclon1051和epiclon1055(均由dicco.ltd.制造)；雙酚f環(huán)氧樹脂的實(shí)例包括jer806、jer807、jer4004、jer4005、jer4007和jer4010(均由japanepoxyresinsco.,ltd.制造)、epiclonn-740、epiclonn-770和epiclonn-775(均由dicco.ltd.制造)；甲酚酚醛清漆環(huán)氧樹脂的實(shí)例包括epiclonn-660、epiclonn-665、epiclonn-670、epiclonn-673、epiclonn-680、epiclonn-690和epiclonn-695(均由dicco.ltd.制造)和eocn-1020(由nipponkayakuco.,ltd.制造)；且脂族環(huán)氧樹脂的實(shí)例包括adekaresinep-4080s、adekaresinep-4085s和adekaresinep-4088s(由adekaco.,ltd.制造)、celloxide2021p、celloxide2081、celloxide2083、celloxide2085、ehpe3150、epoleadpb3600和epoleadpb4700(由daicelchemicalindustries,ltd.制造)。除這些實(shí)例以外，合適的還有adekaresinep-4000s、adekaresinep-4003s、adekaresinep-4010s、adekaresinep-4011s、nc-2000、nc-3000、nc-7300、xd-1000、eppn-501、eppn-502(由制造adekaco.,ltd.)。這些產(chǎn)品可單獨(dú)使用或以其兩種或更多種類別的組合形式使用。其中，優(yōu)選為雙酚a環(huán)氧樹脂、雙酚f環(huán)氧樹脂和苯酚酚醛清漆環(huán)氧樹脂。尤其優(yōu)選為雙酚a環(huán)氧樹脂。分子中含有兩個(gè)或更多個(gè)氧雜環(huán)丁烷基的化合物的具體實(shí)例包括aronoxetaneoxt-121、oxt-221、ox-sq和pnox(由toagoseico.,ltd.制造)。含氧雜環(huán)丁烷基的化合物可單獨(dú)使用或以與含環(huán)氧基的化合物的混合物形式使用。在光敏性樹脂組合物中，分子中含有兩個(gè)或更多個(gè)環(huán)氧基或氧雜環(huán)丁烷基的化合物的量相對(duì)于100重量份具體樹脂(a)的總量?jī)?yōu)選在1至50重量份范圍內(nèi)，更優(yōu)選在3至30重量份范圍內(nèi)。含烷氧基甲基的交聯(lián)劑：含有烷氧基甲基的交聯(lián)劑的優(yōu)選實(shí)例包括烷氧基甲基化三聚氰胺、烷氧基甲基化苯并胍胺、烷氧基甲基化甘脲和烷氧基甲基化脲。這些化合物可通過經(jīng)烷氧基甲基取代的羥甲基化三聚氰胺、羥甲基化苯并胍胺、羥甲基化甘脲或羥甲基化脲的羥甲基獲得。烷氧基甲基的類型不受特別限制，且其實(shí)例包括甲氧基甲基、乙氧基甲基、丙氧基甲基和丁氧基甲基。出于排氣產(chǎn)生的量的觀點(diǎn)，尤其優(yōu)選丁氧基甲基。在這些交聯(lián)化合物中，優(yōu)選烷氧基甲基化三聚氰胺、烷氧基甲基化苯并胍胺和烷氧基甲基化甘脲。出于透明性的觀點(diǎn)，尤其優(yōu)選烷氧基甲基化甘脲。這些含烷氧基甲基的交聯(lián)劑可市購(gòu)，且其優(yōu)選實(shí)例包括cymel300、301、303、370、325、327、701、266、267、238、1141、272、202、1156、1158、1123、1170、1174、ufr65、300(均由mitsuicyanamidco.,ltd.制造)、nikalacmx-750、-032、-706、-708、-40、-31、-270、-280、-290、nikalacms-11、nikalacmw-30hm、-100lm和-390(均由sanwachemicalco.,ltd.制造)。在光敏性樹脂組合物中，含烷氧基甲基的交聯(lián)劑的含量相對(duì)于100重量份具體樹脂(a)優(yōu)選在0.05至50重量份范圍內(nèi)，更優(yōu)選在0.5至10重量份范圍內(nèi)。(g)粘附性改進(jìn)劑：(g)粘附性改進(jìn)劑的實(shí)例為作為基底材料的無(wú)機(jī)物質(zhì)，例如硅化合物，例如硅、氧化硅和氮化硅，和改進(jìn)介電膜與金屬(例如金、銅或鋁)之間的粘附性的化合物。粘附性改進(jìn)劑的具體實(shí)例包括硅烷偶合劑和基于硫醇的化合物。在本發(fā)明中用作粘附性改進(jìn)劑的硅烷偶合劑提供界面的改性且可選自(不特別限于)已知化合物。硅烷偶合劑的優(yōu)選實(shí)例包括γ-氨基丙基三甲氧基硅烷、γ-氨基丙基三乙氧基硅烷、γ-縮水甘油氧基丙基三烷氧基硅烷、γ-縮水甘油氧基丙基烷基二烷氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰氧基丙基三烷氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰氧基丙基烷基二烷氧基硅烷、γ-氯丙基三烷氧基硅烷、γ-巰基丙基三烷氧基硅烷、β-(3,4-環(huán)氧基環(huán)己基)乙基三烷氧基硅烷和乙烯基三烷氧基硅烷。其中優(yōu)選γ-縮水甘油氧基丙基三烷氧基硅烷和γ-甲基丙烯酰氧基丙基三烷氧基硅烷，仍更優(yōu)選γ-縮水甘油氧基丙基三烷氧基硅烷。這些化合物可單獨(dú)使用或以其兩種或更多種類別的組合形式使用。就改進(jìn)對(duì)基材的粘附性以及調(diào)節(jié)相對(duì)于基材的錐角而言，這些化合物是有效的。在本發(fā)明的光敏性樹脂組合物中，組分g的含量相對(duì)于100重量份具體樹脂(a)優(yōu)選在0.1至20重量份范圍內(nèi)，更優(yōu)選在0.5至10重量份范圍內(nèi)。(h)堿性化合物：堿性化合物可選自化學(xué)增幅型抗蝕劑材料中所用的化合物。堿性化合物的實(shí)例包括脂族胺、芳族胺、雜環(huán)胺、氫氧化季銨和羧酸的季銨鹽。堿性化合物的具體實(shí)例包括jp-ano.2009-98616的段落[0052]至[0056]中所述的化合物?？捎糜诒景l(fā)明中的堿性化合物可單獨(dú)使用或以兩種或更多種類別的組合形式使用，但優(yōu)選兩種類別的組合，更優(yōu)選兩種類別的雜環(huán)胺的組合。在光敏性樹脂組合物中，堿性化合物(h)的含量相對(duì)于100重量份具體樹脂(a)優(yōu)選在0.001至1.0重量份范圍內(nèi)，更優(yōu)選在0.005至0.2重量份范圍內(nèi)。(l)表面活性劑：表面活性劑可為陰離子、陽(yáng)離子、非離子或兩性表面活性劑，但優(yōu)選非離子表面活性劑。表面活性劑的實(shí)例包括聚氧乙烯高級(jí)烷基醚、聚氧乙烯高級(jí)烷基苯基醚、聚乙二醇高級(jí)脂肪酸二酯、聚硅氧烷和氟表面活性劑。市售產(chǎn)品的實(shí)例包括kp(商品名，由shin-etsuchemicalco.,ltd.制造)、polyflow(商品名，kyoeisyachemicalco.,ltd.),ftop(商品名，由jemcoinc.制造)、megafac(商品名，由dicco.,ltd.制造)、fluorad(商品名，由sumitomo3mlimited制造)、asahiguard和surflon(商品名，由asahiglassco.,ltd.制造)和polyfox(商品名，由omnovaco.,ltd.制造)。用作表面活性劑的共聚物的重量平均分子量(mw)優(yōu)選在1,500至5,000范圍內(nèi)。表面活性劑可單獨(dú)使用或以其兩種或更多種類別的混合物形式使用。光敏性樹脂組合物中表面活性劑(l)的量相對(duì)于100重量份具體樹脂(a)優(yōu)選為10重量份或更少，更優(yōu)選0.01至10重量份，仍更優(yōu)選0.01至1重量份。(j)增塑劑：增塑劑的實(shí)例包括鄰苯二甲酸二丁基酯、鄰苯二甲酸二辛酯、鄰苯二甲酸二(十二烷基)酯、聚乙二醇、甘油、鄰苯二甲酸二甲基甘油酯、酒石酸二丁基酯、己二酸二辛酯和三乙?；视?。在光敏性樹脂組合物中，增塑劑(j)的量相對(duì)于100重量份具體樹脂(a)優(yōu)選在0.1至30重量份范圍內(nèi)，更優(yōu)選在1至10重量份范圍內(nèi)。(k)熱自由基產(chǎn)生劑：光敏性樹脂組合物可包括(k)熱自由基產(chǎn)生劑。當(dāng)其光敏性樹脂組合物含有烯屬不飽和化合物(例如含有至少一個(gè)烯屬不飽和雙鍵的化合物)時(shí)，組合物優(yōu)選含有熱自由基產(chǎn)生劑(k)。熱自由基產(chǎn)生劑為通過熱能產(chǎn)生自由基且引發(fā)或促進(jìn)可聚合化合物的聚合反應(yīng)的化合物。添加熱自由基產(chǎn)生劑可增加固化膜的強(qiáng)度，從而改進(jìn)耐熱性和耐溶劑性。熱自由基產(chǎn)生劑的優(yōu)選實(shí)例包括芳族酮、鹽化合物、有機(jī)過氧化物、硫基化合物、六芳基聯(lián)咪唑化合物、酮肟酯化合物、硼酸酯化合物、吖嗪(azinium)化合物、茂金屬化合物、活性酯化合物、含有碳-鹵素鍵的化合物、基于偶氮基的化合物和聯(lián)苯甲基化合物。熱自由基引發(fā)劑的其他實(shí)例公開于us6929896、wo2010057922、wo2012113829、wo2012101245、wo2013156509或wo2014064064中。熱自由基產(chǎn)生劑可單獨(dú)使用或以其兩種或更多種類別的組合形式使用。出于改進(jìn)膜特性的觀點(diǎn)，本發(fā)明的光敏性產(chǎn)生劑中熱自由基產(chǎn)生劑(k)的量相對(duì)于100重量份具體樹脂(a)優(yōu)選在0.01至50重量份范圍內(nèi)，更優(yōu)選在0.1至20重量份范圍內(nèi)，最優(yōu)選在0.5至10重量份范圍內(nèi)。制備光敏性樹脂組合物的方法：光敏性樹脂組合物可通過例如以給定比率混合具體樹脂(a)、式(i)或(ia)的具體酸產(chǎn)生劑(b)、敏化劑(c)和任選地組分且通過攪拌溶解這些組分制備。更特別地，例如，樹脂組合物可通過制備各自含有溶解于溶劑(d)中的組分(a)至(c)的溶液，隨后以給定比率混合這些溶液制備。由此制備的組合物溶液可任選地在使用之前過濾。形成固化膜的方法：形成本發(fā)明的固化膜的方法包括以下步驟(1)至(5)：步驟(1)將本發(fā)明的正型光敏性樹脂組合物施加于基材上；步驟(2)由所施加的正型光敏性樹脂組合物移除溶劑；步驟(3)使正型光敏性樹脂組合物暴露于光化射線；步驟(4)用顯影劑水溶液使經(jīng)暴露正型光敏性樹脂組合物顯影；和步驟(5)通過加熱進(jìn)行后烘烤以固化正型光敏性樹脂組合物。在步驟(1)中，將本發(fā)明的正型光敏性樹脂組合物施加于基材上以形成含有溶劑的濕膜。在步驟(2)中，通過壓降(真空抽吸)和/或加熱由所施加的膜移除溶劑，且于基材上形成干光敏性樹脂組合物層(膜)。在步驟(3)中，將波長(zhǎng)為300至450nm的光化射線施加于所得涂膜上。在該步驟中，式(i)或(ia)的具體酸產(chǎn)生劑(b)分解且產(chǎn)生酸。借助產(chǎn)生的酸的催化作用，引起具體樹脂(a)中所含有的酸可分解基團(tuán)水解且產(chǎn)生羧基和/或酚羥基。根據(jù)需要，可對(duì)產(chǎn)生酸催化劑的區(qū)域進(jìn)行暴露后烘烤(在下文中還稱為peb)以加速水解。通過進(jìn)行peb，可加速由酸可分解基團(tuán)產(chǎn)生羧基。在本發(fā)明中，由于具體樹脂(a)中的酸可分解基團(tuán)具有低酸分解活化能，酸可分解基團(tuán)由于衍生自酸產(chǎn)生劑的酸容易地分解且產(chǎn)生羧基。因此，在本發(fā)明中，正型圖象可通過顯影在不進(jìn)行peb下形成。此外，通過在相對(duì)低溫下進(jìn)行peb，可加速酸可分解基團(tuán)的水解而不會(huì)引起交聯(lián)反應(yīng)。進(jìn)行peb的溫度優(yōu)選為30℃至130℃，更優(yōu)選40℃至100℃，尤其優(yōu)選60℃至90℃。在步驟(4)中，用堿性顯影劑使含有游離羧基的聚合物顯影。通過移除容易地溶解于堿性顯影劑中的含有具有羧基的樹脂組合物的暴露區(qū)，可形成正型圖象。在步驟(5)中，通過加熱所得正型圖象，固化膜通過加熱正型圖象以使具體樹脂(a)中的酸可分解基團(tuán)熱分解產(chǎn)生羧基且使羧基與環(huán)氧基和/或氧雜環(huán)丁烷基交聯(lián)而形成。加熱溫度優(yōu)選為150℃或更高，更優(yōu)選180℃至250℃，尤其優(yōu)選200℃至250℃。加熱時(shí)間可取決于加熱溫度等而適當(dāng)確定，但優(yōu)選在10至90分鐘范圍內(nèi)。通過在后烘烤之前增加使經(jīng)顯影圖案的整個(gè)區(qū)域暴露于光化射線，優(yōu)選紫外射線的步驟，可通過光化射線輻照期間產(chǎn)生的酸促進(jìn)交聯(lián)反應(yīng)。制備光敏性樹脂組合物的方法：制備用于形成固化膜的光敏性樹脂組合物的方法如上所述。可考慮要形成的光敏性樹脂組合物層的厚度調(diào)節(jié)溶劑(d)的量。此外，表面活性劑等可用于改進(jìn)所涂覆膜的表面特性的目的。施加步驟和溶劑移除步驟：通過將樹脂組合物施加于基材上且通過壓降和/或加熱(預(yù)烘烤)移除溶劑獲得干膜。在制造液晶顯示設(shè)備的情況下，基材的實(shí)例包括，具有偏光片、任選地黑色基質(zhì)層和彩色濾光片層和透明導(dǎo)電電路層的玻璃板。樹脂組合物的涂覆方法不受特別限制，且其實(shí)例包括狹縫涂覆、噴涂、輥涂和旋涂。其中，鑒于對(duì)大尺寸基材的適用性，優(yōu)選狹縫涂覆。在本說明書中，大尺寸基材是指各側(cè)尺寸為1m或更大的基材。移除溶劑的步驟(2)的加熱條件經(jīng)確定以使得未暴露部分中具體樹脂(a)中的酸可分解基團(tuán)不分解以使具體樹脂(a)可溶于堿性顯影劑，且可取決于組分的類型或組成比率而變化。加熱條件優(yōu)選為約70℃至120℃和約30至120秒。暴露步驟：在暴露步驟中，使所涂覆膜經(jīng)由具有預(yù)定圖案的掩模暴露于光化射線。優(yōu)選使用波長(zhǎng)為300至450nm的光化射線。暴露后，根據(jù)需要進(jìn)行加熱(peb)。暴露可通過使用低壓汞燈、高壓汞燈、化學(xué)燈、激光束產(chǎn)生裝備等進(jìn)行。在使用汞燈時(shí)，優(yōu)選使用波長(zhǎng)為g線(436nm)、i線(365nm)、h線(405nm)等的光化射線。與激光相比，優(yōu)選汞燈，因?yàn)槠溥m用于暴露大區(qū)域。在使用激光的情況下，可使用343或355nm的固態(tài)(yag)激光、351nm的準(zhǔn)分子激光(xef)和375或405nm的半導(dǎo)體激光。其中，就穩(wěn)定性、成本等而言，優(yōu)選355nm和405nm?？稍谕磕ど线M(jìn)行激光輻照一次或多次。每激光脈沖的能量密度優(yōu)選為0.1至10,000mj/cm2。為充分固化涂膜，更優(yōu)選0.3mj/cm2或更高，最優(yōu)選0.5mj/cm2或更高。為防止涂膜由于切除而分解，更優(yōu)選1,000mj/cm2或更低，最優(yōu)選100mj/cm2或更低。脈沖寬度優(yōu)選為0.1納秒至30.000納秒。為防止有色涂膜由于切除而分解，優(yōu)選0.5納秒或更長(zhǎng)，最優(yōu)選1納秒或更長(zhǎng)。為改進(jìn)掃描暴露的對(duì)準(zhǔn)精度，更優(yōu)選1,000納秒或更短，最優(yōu)選50納秒或更短。此外，激光頻率優(yōu)選為1至50,000hz，且更優(yōu)選10至1,000hz。在激光頻率低于1hz時(shí)，暴露時(shí)間可延長(zhǎng)，而在激光頻率高于50,000hz時(shí)，掃描暴露時(shí)的對(duì)準(zhǔn)精度可降低。為縮短暴露時(shí)間，更優(yōu)選10hz或更高，最優(yōu)選100hz或更高。為改進(jìn)掃描暴露時(shí)的對(duì)準(zhǔn)精度，更優(yōu)選10,000hz或更低，最優(yōu)選1,000hz或更低。激光優(yōu)于汞燈之處在于激光更容易使光束聚焦，從而由于省去暴露期間用于形成圖案的掩模而使成本降低。此外，根據(jù)需要，可經(jīng)由光譜濾光片(例如短通濾波器、長(zhǎng)通濾波器或帶通濾波器)調(diào)節(jié)曝光。顯影步驟：在顯影步驟中，通過用堿性顯影劑移除暴露區(qū)形成圖象圖案。堿性化合物的實(shí)例包括堿金屬氫氧化物，例如氫氧化鋰、氫氧化鈉和氫氧化鉀；堿金屬碳酸鹽，例如碳酸鈉和碳酸鉀；堿金屬碳酸氫鹽，例如碳酸氫鈉和碳酸氫鉀；氫氧化胺，例如氫氧化四甲銨、氫氧化四乙銨和膽堿氫氧化物；和水溶液，例如硅酸鈉和偏硅酸鈉。還可使用通過向如上文所提及的堿性化合物水溶液添加適量有機(jī)溶劑水溶液(例如甲醇或乙醇)或表面活性劑制備的水溶液。顯影劑的ph值優(yōu)選為10.0至14.0。顯影時(shí)間優(yōu)選為30至180秒且顯影方法可為覆液法(puddlemethod)、浸漬法等中的任一個(gè)。顯影后，用流水沖洗圖案30至90秒，從而獲得所需圖案。烘烤后步驟(交聯(lián)步驟)用加熱器(例如加熱板或烘箱)在例如180℃至250℃的溫度下加熱由未暴露區(qū)形成的通過顯影獲得的圖案。時(shí)間段為例如在加熱板上5至60分鐘或在烘箱中30至90分鐘。通過加熱圖案，具體樹脂(a)中的酸可分解基團(tuán)分解產(chǎn)生羧基和/或酚羥基，且羧基和/或酚羥基與具體樹脂(a)中的上述官能團(tuán)反應(yīng)以引起交聯(lián)反應(yīng)，從而使得形成具有優(yōu)異耐熱性、硬度及等的保護(hù)膜或?qū)娱g介電膜。此外，透明性還可通過在氮?dú)夥諊逻M(jìn)行加熱改進(jìn)。在加熱之前，優(yōu)選進(jìn)行上面已用光化射線形成圖案的基材的再暴露，隨后進(jìn)行后烘烤，以由未暴露區(qū)中存在的組分(b)產(chǎn)生酸且利用酸作為催化劑促進(jìn)交聯(lián)反應(yīng)。換言之，形成本發(fā)明的固化膜的方法優(yōu)選在顯影與后烘烤之間包括用光化射線進(jìn)行再暴露的步驟。再暴露步驟中的暴露可以類似于如上文所提及的暴露步驟的方式進(jìn)行。再暴露優(yōu)選相對(duì)于基材的由本發(fā)明的光敏性樹脂組合物形成膜的一側(cè)的整個(gè)表面進(jìn)行。再暴露步驟的曝光量?jī)?yōu)選為50至1,000mj/cm2。用本發(fā)明的光敏性樹脂組合物，甚至在高溫下烘烤時(shí)可獲得具有優(yōu)異絕緣特性且具有高透明性的層間介電膜。由本發(fā)明的光敏性樹脂組合物制成的層間介電膜顯示出固化膜具有高透明性和優(yōu)異物理特性。因此，介電膜適用于有機(jī)el顯示設(shè)備和液晶顯示設(shè)備。本發(fā)明的有機(jī)電子(el)顯示設(shè)備和液晶顯示設(shè)備的結(jié)構(gòu)不受特別限制，只要這些顯示設(shè)備包括由本發(fā)明的光敏性樹脂組合物形成的平坦化膜或?qū)娱g介電膜，且具有各種結(jié)構(gòu)的任何已知器件在本發(fā)明的范圍內(nèi)。以下為本發(fā)明的例示性實(shí)施方案。然而，本發(fā)明不受限于這些實(shí)施方案：一種正型光敏性樹脂組合物，其包含：樹脂(a)，其包含具有酸解離基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元和具有能夠通過與羧基或酚羥基反應(yīng)形成共價(jià)鍵的官能團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元；和如上所述的由式(i)或(ia)表示的酸產(chǎn)生劑(b)。關(guān)注上述正型光敏性樹脂組合物，其中酸產(chǎn)生劑由式(ia)表示。上述正型光敏性樹脂組合物，其進(jìn)一步包含例如選自由如下組成的組的敏化劑：蒽衍生物、吖啶酮衍生物、噻噸酮衍生物、香豆素衍生物、堿苯乙烯基衍生物和二苯乙烯基苯衍生物。還關(guān)注上述正型光敏性樹脂組合物，其中樹脂(a)進(jìn)一步包含至少一個(gè)衍生自選自由如下組成的組的化合物的結(jié)構(gòu)單元：苯乙烯衍生物、馬來(lái)酰亞胺衍生物、(甲基)丙烯酸和含羥基的(甲基)丙烯酸酯；以及正型光敏性樹脂組合物，其中能夠通過與羧基或酚羥基反應(yīng)形成共價(jià)鍵的官能團(tuán)為至少一種選自環(huán)氧基和氧雜環(huán)丁烷基的官能團(tuán)；尤其是正型光敏性樹脂組合物，其中能夠通過與羧基或酚羥基反應(yīng)形成共價(jià)鍵的官能團(tuán)為氧雜環(huán)丁烷基。進(jìn)一步關(guān)注一種形成固化膜的方法，該方法包括(1)將上述正型光敏性樹脂組合物施加于基材上以形成光敏性樹脂組合物層；(2)由光敏性樹脂組合物層移除溶劑；(3)將已移除溶劑的正型光敏性樹脂組合物以圖案化方式暴露于光化射線；(4)用顯影劑水溶液使經(jīng)暴露正型光敏性樹脂組合物顯影；和(5)顯影后通過加熱固化經(jīng)顯影光敏性樹脂組合物層。進(jìn)一步關(guān)注通過上述方法形成的固化膜以及由該固化膜形成的層間介電膜、包含該固化膜的有機(jī)el顯示設(shè)備和包含該固化膜的液晶顯示設(shè)備。以下實(shí)施例更詳細(xì)說明本發(fā)明，而非將范圍僅限于這些實(shí)施例。除非此外另有說明，否則份數(shù)和百分比如同說明書的其余部分和權(quán)利要求書中以重量計(jì)。若在實(shí)施例中提及具有超過三個(gè)碳原子的烷基而不對(duì)具體異構(gòu)體進(jìn)行任何描述，則在每種情況下意指正異構(gòu)體。制備os1(不代表權(quán)利要求書)1.1：向乙腈(50ml)中的3.00g水楊醛和4.52g4,4,4-三氟乙酰乙酸乙基酯中添加115mg哌啶且在回流下攪拌21小時(shí)。冷卻反應(yīng)混合物至室溫且添加水。通過過濾收集沉淀物且在真空下干燥，得到4.68g呈白色固體狀的im1-1。1.2：向氯苯(32ml)中的4.60gim1-1中添加342mg對(duì)甲苯磺酸單水合物且在回流下攪拌17小時(shí)。通過蒸發(fā)移除溶劑且將甲苯(30ml)和水加入混合物中。將有機(jī)層與水層分離?；亓魅芤?小時(shí)且通過迪安-斯塔克榻分水器移除所得水。冷卻至室溫后，濃縮反應(yīng)混合物。使所得固體由二氯甲烷與己烷的混合物再結(jié)晶，得到2.3g呈白色固體狀的imi-2。1.3：向乙醇(5ml)中的508mgimi-2中添加176mg氯化羥基銨且回流22小時(shí)。冷卻至室溫之后，將水加入反應(yīng)混合物中。通過過濾收集沉淀物且在真空下干燥，得到383mg呈白色固體狀的im1-3。1.4：在0℃下向四氫呋喃(thf)(5ml)中的303mgim1-3中添加203mg正丙烷磺酰氯和168mg三乙胺。攪拌2.5小時(shí)后，將水加入混合物中。通過過濾收集沉淀物且干燥，得到350mg呈白色固體狀的osi。物理數(shù)據(jù)收集于下表1中。制備os2(不代表權(quán)利要求書)2.1：向乙腈(60ml)中的4.40g4-甲氧基水楊醛和6.45g4,4,4-三氟乙酰乙酸乙基酯中添加275mg哌啶且在回流下攪拌31小時(shí)。冷卻反應(yīng)混合物至室溫，且添加水和二氯甲烷。收集有機(jī)溶劑且在真空下干燥，得到呈黃色樹脂狀的im2-1。im2-1不經(jīng)純化而用于下一步驟。2.2：向氯苯(60ml)中的im2-1添加600mg對(duì)甲苯磺酸酐且在回流下攪拌22小時(shí)。通過蒸發(fā)移除溶劑且將甲苯(30ml)和水加入混合物中。將有機(jī)層與水層分離。回流溶液3小時(shí)且通過迪安-斯塔克榻分水器移除所得水。冷卻至室溫后，濃縮反應(yīng)混合物。使所得固體由二氯甲烷與己烷的混合物再結(jié)晶，得到4.32g呈白色固體狀的im2-2。2.3：向乙醇(15ml)中的2.00gim2-2中添加660mg氯化羥基銨且回流19小時(shí)。冷卻至室溫之后，將水加入反應(yīng)混合物中。通過過濾收集沉淀物且在真空下干燥，得到1.17g呈白色固體狀的im2-3。2.4：在0℃下向thf(20ml)中的1.01gim2-3中添加1.10g正丙烷磺酰氯和600mg三乙胺。攪拌15小時(shí)后，將水加入混合物中。向反應(yīng)混合物中添加20ml乙酸乙基酯且用水洗滌。濃縮有機(jī)層且通過硅膠柱層析用己烷和二氯甲烷作為洗脫劑純化。獲得1.15g呈白色固體狀的os2。物理數(shù)據(jù)收集于下表1中。制備os3(不代表權(quán)利要求書)3.1：在0℃下向二氯甲烷(20ml)中的920mg2,5-二苯基呋喃、627mg4,4’-二甲氨基吡啶(dmap)和1.77g三氯化鋁中添加1.12g三氟乙酸酐且在室溫下攪拌4天。向反應(yīng)混合物中添加30ml二氯甲烷且用水洗滌。濃縮有機(jī)層且通過硅膠柱層析用己烷和二氯甲烷作為洗脫劑純化。獲得呈黃色固體狀的385mgim3-1。3.2：向乙醇(5ml)中的385mgim3-1中添加252mg氯化羥基銨且回流2小時(shí)。冷卻至室溫后，將水加入反應(yīng)混合物中且用乙酸乙基酯萃取。經(jīng)mgso4干燥有機(jī)層，且過濾。蒸發(fā)溶劑后，獲得387mg呈黃色固體狀的im3-2。3.3：在0℃下向thf(10ml)中的387mgim3-2中添加171mg正丙烷磺酰氯和217mg三乙胺且攪拌4小時(shí)。向反應(yīng)混合物中添加10ml乙酸乙基酯且用水洗滌。濃縮有機(jī)層且通過硅膠柱層析用己烷和二氯甲烷作為洗脫劑純化。獲得150mg呈白色固體狀os3。物理數(shù)據(jù)收集于下表1中。制備os4(不代表權(quán)利要求書)化合物os4類似于化合物os2采用適當(dāng)中間體制備。物理數(shù)據(jù)收集于下表1中。制備os11：(不代表權(quán)利要求書)11.1：向二氯甲烷(60ml)中的5.18g2,4,6-三甲氧基苯甲醛中添加4.04g氯化鋁且在回流下攪拌21小時(shí)。冷卻反應(yīng)混合物至室溫，且添加水和二氯甲烷。收集有機(jī)溶劑且使所得固體由二氯甲烷與己烷的混合物再結(jié)晶，得到3.66g呈白色固體狀的im11-1。11.2：向乙腈(60ml)中的3.66gim11-1和4.74g4,4,4-三氟乙酰乙酸乙基酯中添加275mg哌啶且在回流下攪拌31小時(shí)。冷卻反應(yīng)混合物至室溫，且添加水和二氯甲烷。收集有機(jī)溶劑且在真空下干燥，得到6.46g呈黃色固體狀的im11-2。im11-2不經(jīng)純化而用于下一步驟。11.3：向氯苯(60ml)中的6.46gim11-2中添加1000mg對(duì)甲苯磺酸且在回流下攪拌22小時(shí)。通過蒸發(fā)移除溶劑且將甲苯(30ml)和水加入混合物中。將有機(jī)層與水層分離?；亓魅芤?小時(shí)且通過迪安-斯塔克榻分水器移除所得水。冷卻至室溫后，濃縮反應(yīng)混合物。使所得固體由二氯甲烷與己烷的混合物再結(jié)晶，得到4.772g呈黃色固體狀的im11-3。11.4：向乙醇(15ml)中的4.77gim11-3中添加1.50g氯化羥基銨且回流19小時(shí)。冷卻至室溫之后，將水加入反應(yīng)混合物中。通過過濾收集沉淀物且在真空下干燥，得到4.46g呈黃色固體狀的im11-4。11.5：在0℃下向thf(20ml)中的1.51gim11-4中添加0.82g正丙烷磺酰氯和0.61g三乙胺。攪拌15小時(shí)后，將水加入混合物中。向反應(yīng)混合物中添加20ml乙酸乙基酯且用水洗滌。濃縮有機(jī)層且通過硅膠柱層析用己烷和二氯甲烷作為洗脫劑純化。獲得1.42g呈黃色固體狀的os11。制備os16(不代表權(quán)利要求書)os16根據(jù)與os2相同的程序制備，不同的是使用正丁烷磺酰氯替代正丙烷磺酰氯。制備os1717.1：向乙醇(60ml)中的4.40g4-甲氧基水楊醛和6.45g4,4,4-三氟乙酰乙酸乙基酯中添加275mg哌啶且在回流下攪拌31小時(shí)。冷卻反應(yīng)混合物至室溫，且添加水和二氯甲烷。收集有機(jī)溶劑且在真空下干燥，得到黃色樹脂形式的im17-1。im17-1不經(jīng)純化而用于下一步驟。17.2：向氯苯(60ml)中的im17-1添加600mg對(duì)甲苯磺酸酐且在回流下攪拌22小時(shí)。通過蒸發(fā)移除溶劑且將甲苯(30ml)和水加入混合物中。將有機(jī)層與水層分離?；亓魅芤?小時(shí)且通過迪安-斯塔克榻分水器移除所得水。冷卻至室溫后，濃縮反應(yīng)混合物。使所得固體由二氯甲烷與己烷的混合物再結(jié)晶，得到4.32g呈白色固體狀的im17-2。17.3：向乙醇(15ml)中的2.00gim17-2中添加660mg氯化羥基銨且回流19小時(shí)。冷卻至室溫之后，將水加入反應(yīng)混合物中。通過過濾收集沉淀物且在真空下干燥，得到1.17g呈白色固體狀的im17-3。17.4：在0℃下向二氯甲烷(20ml)中的1.01gim17-3中添加1.10g三氟甲烷磺酸酐和554mg2,6-二甲基吡啶。攪拌15小時(shí)后，將水加入混合物中。向反應(yīng)混合物中添加20ml乙酸乙基酯且用水洗滌。濃縮有機(jī)層且通過硅膠柱層析用己烷和二氯甲烷作為洗脫劑純化。獲得1.15g呈白色固體狀的os17。制備os24(不代表權(quán)利要求書)24.1：向二氯甲烷(60ml)中的5.18g2,4,6-三甲氧基苯甲醛中添加4.04g氯化鋁且在回流下攪拌21小時(shí)。冷卻反應(yīng)混合物至室溫，且添加水和二氯甲烷。收集有機(jī)溶劑且使所得固體由二氯甲烷與己烷的混合物再結(jié)晶，得到3.66g呈白色固體狀的im24-1。24.2：向乙腈(60ml)中的3.66gim24-1和4.74g4,4,4-三氟乙酰乙酸乙基酯中添加275mg哌啶且在回流下攪拌31小時(shí)。冷卻反應(yīng)混合物至室溫，且添加水和二氯甲烷。收集有機(jī)溶劑且在真空下干燥，得到6.46g呈黃色固體狀的im24-2。im24-2不經(jīng)純化而用于下一步驟。24.3：向氯苯(60ml)中的6.46gim11-2中添加1000mg對(duì)甲苯磺酸且在回流下攪拌22小時(shí)。通過蒸發(fā)移除溶劑且將甲苯(30ml)和水加入混合物中。將有機(jī)層與水層分離。回流溶液3小時(shí)且通過迪安-斯塔克榻分水器移除所得水。冷卻至室溫后，濃縮反應(yīng)混合物。使所得固體由二氯甲烷與己烷的混合物再結(jié)晶，得到4.772g呈黃色固體狀的im24-3。24.4：向乙醇(15ml)中的4.77gim24-3中添加1.50g氯化羥基銨且回流19小時(shí)。冷卻至室溫之后，將水加入反應(yīng)混合物中。通過過濾收集沉淀物且在真空下干燥，得到4.46g呈黃色固體狀的im24-4。24.5：在0℃下向二氯甲烷(20ml)中的0.53gim24-4中添加1.35g三氟甲烷磺酸酐和554mg2,6-二甲基吡啶。攪拌15小時(shí)后，將水加入混合物中。向反應(yīng)混合物中添加20ml乙酸乙基酯且用水洗滌。濃縮有機(jī)層且通過硅膠柱層析用己烷和二氯甲烷作為洗脫劑純化。獲得1.12g呈黃色固體狀的os24。制備os25os25根據(jù)與os2相同的程序制備，不同的是使用甲烷磺酰氯替代正丙烷磺酰氯。制備os26(不代表權(quán)利要求書)os26根據(jù)與os2相同的程序制備，但使用正辛烷磺酰氯替代正丙烷磺酰氯。以類似于上文所給的方法制備的肟酯化合物(不代表權(quán)利要求書)的其他實(shí)施例為表1：化合物列舉及其物理數(shù)據(jù)應(yīng)用實(shí)施例制備粘合劑聚合物向四氫呋喃(850ml)中的175.06g聚(對(duì)羥基苯乙烯)(vp-8000，由nipponsodaco.，ltd.，japan生產(chǎn))和43.9g乙烯基乙基醚中添加thf(50ml)中的78mg對(duì)甲苯磺酸單水合物。于水浴上攪拌14小時(shí)后，使反應(yīng)混合物通過mitsubishichemicalcorporation生產(chǎn)的diaioncr20且通過四氫呋喃(1l)洗滌diaioncr20。將合并的有機(jī)溶液倒入水(15l)中，產(chǎn)生粘性固體。通過傾析移除溶劑后，添加3l水。攪拌后，通過過濾獲得白色粉末。在65℃下干燥3小時(shí)，隨后在90℃下干燥23小時(shí)后，獲得174.8g灰白色固體。制備甲基丙烯酸1-乙氧基乙基酯(maeve)向72.70g乙基乙烯基醚中添加0.28g吩噻嗪和2.80g對(duì)甲苯磺酸吡啶和43.70g甲基丙烯酸。攪拌5.5小時(shí)后，將2.50g硫酸鈉和2.83g碳酸氫鈉加入反應(yīng)混合物中。過濾不溶性沉淀物且通過蒸發(fā)器濃縮混合物。通過在真空下蒸餾純化粗物質(zhì)且獲得64.42g呈無(wú)色油狀的maeve。制備共聚物1在70℃下在氮?dú)饬飨孪?2.50gpgmea中的7.93gmaeve和7.11g甲基丙烯酸縮水甘油酯中滴加10.01gpgmea中的1.05gv-65(由wakopurechemicalindustries,ltd.生產(chǎn))。攪拌混合物8.5小時(shí)且獲得共聚物1的溶液(固體含量：40％)。借助凝膠滲透色譜法(gpc)測(cè)得共聚物1的重均分子量(mw)為56,000。實(shí)施例a1：在模型光敏性樹脂組合物中在i線暴露下經(jīng)由帶通濾波器(schott，germany)以及掩模對(duì)準(zhǔn)器pla-501f(canon，japan)作為暴露工具測(cè)量光敏性。正型抗蝕劑使用如上制備的共聚物。關(guān)于溶劑，使用丙二醇甲基醚乙酸酯(pgmea)(來(lái)自tokyokaseikogyoco.ltd.)。配制劑的精確組成和光酸產(chǎn)生劑(pag)的量描述于表2中。將抗蝕劑配制劑以1μm厚度旋涂于上面事先施加六甲基二硅氮烷處理的硅晶片上且在100℃下預(yù)烘烤1分鐘。以各種暴露劑量暴露后，不施加暴露后烘烤但施加暴露后延遲5分鐘，隨后使抗蝕劑于nmd-3顯影劑(來(lái)自tokyoohkakogyoco.ltd.)中顯影1分鐘，該nmd-3顯影劑為2.38％氫氧化四甲基銨水溶液。表2粘合劑聚合物(份)100pag(份)2溶劑(份)400作為光敏性的量度，測(cè)定清除劑量(e0)，其為以1分鐘顯影恰好足以完全移除抗蝕劑膜的劑量。所需劑量越小，抗蝕劑配制劑越敏感。結(jié)果收集于下表4中且顯示出本發(fā)明的組合物適用于制備正型抗蝕劑。實(shí)施例a2：用上述共聚物1的溶液(固體含量：40％)、pag和溶劑pgmea制備用于透明性評(píng)估的配制劑。配制劑的精確組成描述于表3中。表3共聚物溶液1(份)100pag(份)0.8solvent(份)50將配制劑以700rpm旋涂于玻璃板上且在80℃下預(yù)烘烤10分鐘。在無(wú)暴露過程時(shí)，在210℃下施加最終烘烤過程30分鐘。最終固化膜的厚度為3μm。在400至800nm的波長(zhǎng)區(qū)用uv-vis光度計(jì)(uv-2550，來(lái)自shimadzucorporation)測(cè)量固化膜的透明性。所測(cè)量的最低透射率列于表4中。表4實(shí)施例化合物e0[mj/cm2]透射率[％]os120-os22.697.1os36.2-os421-os111.792.3os162.494.9os171.598.8os241.090.4os250.796.7os261797.7結(jié)果顯示出本發(fā)明化合物提供光敏性與透明性之間的完美平衡，其對(duì)于形成絕緣層尤其有利。當(dāng)前第1頁(yè)12