專利名稱：一種有機(jī)氯硅烷生產(chǎn)干法除塵方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于一種氣體的除塵方法，具體涉及一種有機(jī)氯硅烷生產(chǎn)干法除塵方法，
用于以氯甲烷和硅粉為原料合成甲基氯硅烷的過程。
背景技術(shù)：
有機(jī)硅化合物是由硅粉與氯甲烷在催化劑作用下反應(yīng)生成。有機(jī)硅本身不僅是一
種新型材料，而且為相關(guān)工業(yè)領(lǐng)域的發(fā)展提供了新材料基礎(chǔ)和技術(shù)保證。有機(jī)硅工業(yè)一直
保持較高的發(fā)展速度，到2006年底，我國產(chǎn)量(折合成硅氧烷)達(dá)到200kt/a。 硅粉與氯甲烷在催化劑作用下反應(yīng)生成的混合氣是一種混合物，里面含有多種硅
烷氣體和粉塵原料。在有機(jī)硅的生產(chǎn)過程中，需要將混合氣中的粉塵去除。 目前，有機(jī)硅裝置中主要采用了干法和濕法除塵設(shè)備，采用多臺串聯(lián)的旋風(fēng)分離
器除塵系統(tǒng)和文丘里除塵系統(tǒng)，有效地分離出流化床反應(yīng)器氣相產(chǎn)物中的固相粉塵。其具
體工藝流程為氯甲烷與硅粉在流化床反應(yīng)器中發(fā)生氣固相反應(yīng)，生成甲基氯硅烷混合單
體；反應(yīng)的氣相產(chǎn)物進(jìn)行旋風(fēng)除塵，分離出的固體進(jìn)入集塵器后排入粉塵箱；經(jīng)旋風(fēng)分離
器分離后含少量粉塵的反應(yīng)氣體進(jìn)入文丘里洗滌器，用混合甲基氯硅烷單體作為洗滌液進(jìn)
行濕法除塵；除塵后的氣體經(jīng)蒸發(fā)器、緩沖罐后進(jìn)入分凝器，冷卻降溫后的產(chǎn)物進(jìn)脫氣塔，
最后得到甲基氯硅烷。 也有公司采用了干法布袋除塵器和水洗相結(jié)合的辦法，來去除混合氣中的固相粉 塵。但是傳統(tǒng)的旋風(fēng)除塵器和布袋除塵器，不能完全去除混合氣中小粒徑的粉塵，接著需采 用洗滌的辦法進(jìn)一步對混合氣進(jìn)行除塵。整個過程工藝復(fù)雜，水洗除塵又會消耗大量的工 業(yè)用水，廢水排放會影響環(huán)境。 中國專利申請公開號CN1438226A中公布了一種有機(jī)氯硅烷濕法除塵工藝，該工 藝用連續(xù)濕法除塵工藝代替?zhèn)鹘y(tǒng)的干法除塵工藝，用有機(jī)氯硅烷作為洗滌液，整個過程沒 有旋風(fēng)分離器除塵或布袋除塵步驟。但是該方法除塵的漿液中含有約60%的有機(jī)氯硅烷， 提取漿液中的固體物質(zhì)較困難，有機(jī)氯硅烷的用量很大。 中國專利申請公開號CN101148453A介紹了一種有機(jī)氯硅烷氣體干法除塵方法及 裝置，該方法采用PALL公司生產(chǎn)的DIA-SCHUMALITH 10-20陶瓷濾芯對含粉塵的混合氣進(jìn) 行除塵，得到凈化的有機(jī)硅烷混合氣體后進(jìn)入下一步工序。DIA-SCHUMALITH 10-20過濾 芯是由陶瓷和金剛砂粘合而成的，大孔的金剛砂晶格做為一個堅硬、穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)用以做為 薄膜的支撐，薄膜是真正起到過濾作用的部分，薄膜由多鋁紅柱石顆粒組成，厚度為100 200 ii m，孔徑大約為10 ii m。但該方法為終端式過濾，容易在膜面積聚濾餅，導(dǎo)致通量迅速下 降，過濾阻力增大，為維持通量而進(jìn)行的高頻反沖給膜的強(qiáng)度帶來了很大壓力。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種工藝簡單、除塵效率高、環(huán)境污染小的一種有機(jī)氯硅烷 生產(chǎn)干法除塵方法，該方法使用無機(jī)膜錯流過濾器來實現(xiàn)固氣分離，簡化現(xiàn)有工藝，以解決濕法除塵工藝復(fù)雜、水洗工藝產(chǎn)生廢水污染環(huán)境等缺點。
本發(fā)明的技術(shù)方案一種有機(jī)氯硅烷生產(chǎn)干法除塵方法，其具體步驟如下
A)將流化床反應(yīng)器中生成的高溫?zé)煔饨?jīng)風(fēng)機(jī)增壓后先送入無機(jī)膜錯流過濾器中 進(jìn)行一次除塵； B)上述步驟中無機(jī)膜過濾器截留側(cè)錯流的濃塵氣體進(jìn)入布袋過濾器中進(jìn)行二次 除塵；經(jīng)過布袋過濾器凈化后的混合氣體再通過風(fēng)機(jī)返回?zé)o機(jī)錯流膜過濾器；
C)透過無機(jī)膜錯流過濾器的潔凈氣體進(jìn)入冷凝器冷凝后再經(jīng)過精餾精餾分離出 氯甲烷和甲基氯硅烷，氯甲烷則返回流化床反應(yīng)器參與反應(yīng)； D)被無機(jī)膜錯流過濾器和布袋過濾器截留下來的粉塵返回流化床反應(yīng)器參與反 應(yīng)。 其中所述的無機(jī)膜錯流過濾器由殼體、膜過濾元件、上花板和下花板組成，其中上 花板和下花板設(shè)在殼體中部，膜過濾元件設(shè)在上花板和下花板之間；無機(jī)膜錯流過濾器的 上端設(shè)有高溫?zé)煔膺M(jìn)口，下端設(shè)有濃塵煙氣出口 ；上花板和下花板之間設(shè)有潔凈氣體出口 以及反吹氣體進(jìn)口 ；高溫?zé)煔馔ㄟ^高溫?zé)煔膺M(jìn)口進(jìn)入無機(jī)膜過濾器進(jìn)行錯流過濾，透過無 機(jī)膜過濾器的潔凈氣體通過潔凈氣體出口排出，被無機(jī)膜過濾器截留的濃塵氣體通過濃塵 氣體出口進(jìn)入布袋過濾器。 上述的無機(jī)膜錯流過濾器裝有反沖裝置接口，反吹氣體(d)由透過無機(jī)膜過濾器 的潔凈氣體經(jīng)壓縮機(jī)壓縮而得，并由反沖氣體進(jìn)口進(jìn)入無機(jī)膜過濾器進(jìn)行反吹清洗；在膜 通量下降至初始通量的40_60%時，自動采用無機(jī)膜過濾器潔凈氣體出口的潔凈氣體間歇 反沖膜分離器，將附著在膜面上的濾餅脫落，沉降到分離器的底部，從而有效地防止膜污 染。 優(yōu)選步驟A中的高溫?zé)煔馄叫杏谀っ孢M(jìn)入無機(jī)膜錯流過濾器；進(jìn)入無機(jī)膜錯流過 濾器時，控制跨膜壓力0. OlMPa-lMpa ;膜面流速lm/s-100m/s。 優(yōu)選無機(jī)膜錯流過濾器中所述的膜過濾元件為陶瓷、金屬料構(gòu)成的管式膜；采用 膜的平均孔徑為0. 02 ii m 50 ii m ;膜通道的直徑為3-100mm。 優(yōu)選上述的陶瓷材料為氧化鋁、氧化鋯或碳化硅；所述的金屬材料為不銹鋼、FeAl 合金或FeCrAl合金等。 本發(fā)明所述的分離過程為流化床反應(yīng)器中出來的高溫?zé)煔庥娠L(fēng)機(jī)增壓后送入無 機(jī)膜錯流過濾器進(jìn)行一次除塵，錯流膜過濾器截留的濃塵氣體進(jìn)入布袋過濾器進(jìn)行二次除 塵；從無機(jī)膜錯流過濾器流出的潔凈氣體經(jīng)過壓縮機(jī)壓縮后作為反吹氣體對無機(jī)膜錯流過 濾器進(jìn)行間歇反吹，剩余的凈化氣體經(jīng)過冷凝、精餾步驟后，將氯甲烷氣體和甲基氯硅烷分 離，得到產(chǎn)品甲基氯硅烷，氯甲烷氣體返回流化床反應(yīng)器參與反應(yīng)；被無機(jī)膜錯流過濾器和 布袋過濾器截留下來的粉塵，返回流化床反應(yīng)器參與反應(yīng)。 本發(fā)明中無機(jī)膜機(jī)械強(qiáng)度高，化學(xué)穩(wěn)定性好，耐高溫，可以有效去除混合氣中的粉
/1、土。 有益效果 (1)本發(fā)明在直接法生產(chǎn)甲基氯硅烷工藝基礎(chǔ)上，不改變原有的反應(yīng)條件，采用無
機(jī)膜分離有機(jī)混合氣中的小粒徑粉塵，在連續(xù)生產(chǎn)過程中完成氣固分離。
(2)本發(fā)明工藝簡單，反沖氣體不需要另外加熱。
(3)本發(fā)明沒有濕法洗滌除塵步驟，工業(yè)用水需要量少，無廢水排放，對環(huán)境污染小。 (4)本發(fā)明對粉塵去除率高，分離效率超過99. 8% 。


圖1為本發(fā)明所述的直接法合成甲基氯硅烷過程中粉塵分離工藝的流程圖；其中I-流化床反應(yīng)器、II-無機(jī)錯流膜過濾器、III-布袋過濾器、IV-風(fēng)機(jī)、V-壓縮機(jī)、A-冷凝器、B-精餾塔； 圖2為本發(fā)明所述的無機(jī)膜錯流過濾器結(jié)構(gòu)示意圖； 其中l(wèi)-濃塵氣體出口、2-殼體、3-膜過濾元件、4-高溫?zé)煔膺M(jìn)口、5-上花板、6-潔凈氣體出口、7-反沖裝置接口、8-下花板、9-出塵口 ；
具體實施方式
實施例1 : 下面結(jié)合附圖對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)的說明 A)反應(yīng)器(I)出口的高溫?zé)煔?a)在離心通風(fēng)機(jī)(IV)作用下進(jìn)入無機(jī)膜錯流過濾器(II)中進(jìn)行分離，無機(jī)膜錯流過濾器(II)是由南京九思高科技股份有限公司生產(chǎn)，膜過濾元件(3)選用四根孔徑為0. 2 ii m的氧化鋯膜，19通道，通道內(nèi)徑6mm，錯流速度30m/s，跨膜壓差0. lMPa，進(jìn)料側(cè)氣體含塵濃度為0. 9308g/m3，過濾起始時刻膜管通量為51. 5m3/m2 'h，膜管滲透側(cè)氣體含塵濃度為1. lmg/m 無機(jī)膜過濾器(II)截留的濃塵氣體(c)通入布袋過濾器(III); 本發(fā)明方法中，如圖2所示，高溫?zé)煔?a)中含有硅粉和催化劑銅粉兩種固體顆粒，經(jīng)高溫氣體進(jìn)口 (4)進(jìn)入無機(jī)膜錯流過濾器(II)，然后進(jìn)入膜過濾元件(3)中，滲透氣體方向垂直于原混合氣流向，經(jīng)潔凈氣體出口 (6)排出。截留的富含粉塵的濃塵氣體(c)則經(jīng)濃塵氣體出口 (1)排出過濾器(II)，進(jìn)入到布袋過濾器(III)中。當(dāng)無機(jī)膜錯流過濾器(II)的通量顯著降低至設(shè)定值20.6mVm、h時，反沖系統(tǒng)自動啟動，反吹氣體(d)由透過無機(jī)膜過濾器(II)的潔凈氣體(b)經(jīng)壓縮機(jī)(V)壓縮而得，并經(jīng)反沖氣體進(jìn)口 (7)進(jìn)入無機(jī)膜過濾器(II)進(jìn)行反吹清洗，使濾餅脫落，沉降到分離器的底部，并經(jīng)出塵口 (9)自動排出濾渣。 C)從無機(jī)膜錯流過濾器流出的潔凈氣體(b)經(jīng)過冷凝、精餾步驟后將氯甲烷氣體(g)和甲基氯硅烷(h)分離，得到產(chǎn)品甲基氯硅烷(h)的純度為99.99%，氯甲烷氣體(g)返回流化床反應(yīng)器參與反應(yīng)； D)被無機(jī)膜過濾器(II)和布袋過濾器(III)截留下來的粉塵(e)返回流化床反應(yīng)器(I)參與反應(yīng)。 反沖的時候，反沖時間3s，反沖壓力0. 2MPa。本實施例對混合氣體中粉塵的去除率達(dá)到99. 89%。
實施例2 : 粉塵和氯甲烷進(jìn)入流化床反應(yīng)器，在催化劑銅粉的催化作用下，發(fā)生反應(yīng)生成甲基氯硅烷混合氣體；正常操作期間，高溫?zé)煔庠陔x心通風(fēng)機(jī)作用下進(jìn)入無機(jī)膜錯流過濾器中進(jìn)行分離，膜過濾元件采用兩根孔徑為0. 05 m的氧化鋁膜，單管，內(nèi)徑8mm，錯流速度25m/s，跨膜壓差0. 2MPa，進(jìn)料側(cè)含塵濃度為2. 9357g/m3，膜滲透側(cè)氣體含塵濃度為2. 6mg/m3，部分含有大顆粒粉塵的混合氣在風(fēng)機(jī)的作用下通入布袋過濾器；從無機(jī)膜錯流過濾器流出的凈化氣體經(jīng)過冷凝、精餾步驟后將氯甲烷氣體和甲基氯硅烷分離，得到產(chǎn)品甲基氯硅烷，氯甲烷氣體返回流化床反應(yīng)器參與反應(yīng)；被無機(jī)膜過濾器和布袋過濾器截留下來的粉塵返回流化床反應(yīng)器參與反應(yīng)。實驗進(jìn)行20h無需對膜進(jìn)行反沖。本實施例對混合氣體中粉塵的去除率達(dá)到99. 91%。
實施例3 : 硅粉和氯甲烷進(jìn)入流化床反應(yīng)器，在銅催化劑的催化作用下，發(fā)生反應(yīng)生成甲基氯硅烷混合氣體；含有硅粉和銅粉的混合氣體在離心通風(fēng)機(jī)作用下進(jìn)入無機(jī)膜錯流過濾器中進(jìn)行分離，采用一根孔徑為5 ii m的多孔316L管，單管，內(nèi)徑60mm，錯流速度20m/s，跨膜壓差0. OgMPa，進(jìn)料側(cè)含塵濃度為4. 6293g/m3，膜滲透側(cè)氣體含塵濃度為4. 0mg/m3，部分含有大顆粒粉塵的混合氣在風(fēng)機(jī)的作用下通入布袋過濾器；從無機(jī)膜錯流過濾器流出的凈化氣體經(jīng)過冷凝、精餾步驟后將氯甲烷氣體和甲基氯硅烷分離，得到產(chǎn)品甲基氯硅烷，氯甲烷氣體返回流化床反應(yīng)器參與反應(yīng)；被無機(jī)膜過濾器和布袋過濾器截留下來的粉塵返回流化床反應(yīng)器參與反應(yīng)。實驗進(jìn)行30h無需對膜進(jìn)行反沖。本實施例對混合氣體中粉塵的去除率達(dá)到99. 91%。
實施例4 : 硅粉和氯甲烷進(jìn)入流化床反應(yīng)器，在銅催化劑的催化作用下，發(fā)生反應(yīng)生成甲基氯硅烷混合氣體；含有硅粉和銅粉的高溫?zé)煔庠陔x心通風(fēng)機(jī)作用下進(jìn)入無機(jī)膜錯流過濾器中進(jìn)行分離，膜過濾元件采用一根孔徑為lOym的多孔碳化硅濾管，單管，內(nèi)徑40mm，外徑60mm，錯流速度15m/s，跨膜壓差0. 06MPa，進(jìn)料側(cè)含塵濃度為4. 3684g/m3，膜滲透側(cè)氣體含塵濃度為4. 2mg/m 部分含有大顆粒粉塵的混合氣在風(fēng)機(jī)的作用下通入布袋過濾器；從無機(jī)膜錯流過濾器流出的凈化經(jīng)過冷凝、精餾步驟后將氯甲烷氣體和甲基氯硅烷分離，得到產(chǎn)品甲基氯硅烷，氯甲烷氣體返回流化床反應(yīng)器參與反應(yīng)；被無機(jī)膜過濾器和布袋過濾器截留下來的粉塵返回流化床反應(yīng)器參與反應(yīng)。實驗進(jìn)行20h無需對膜進(jìn)行反沖。本實施例對混合氣體中粉塵的去除率達(dá)到99. 90%。
實施例5 : 粉塵和氯甲烷進(jìn)入流化床反應(yīng)器，在銅催化劑的催化作用下，發(fā)生反應(yīng)生成甲基氯硅烷混合氣體；含有硅粉和銅粉的高溫?zé)煔庠陔x心通風(fēng)機(jī)作用下進(jìn)入無機(jī)膜錯流過濾器中進(jìn)行分離，膜過濾元件采用六根孔徑為20 ii m的多孔FeAl合金對稱膜，單管，內(nèi)徑50mm，錯流速度40m/s，跨膜壓差0. 02MPa，進(jìn)料側(cè)含塵濃度為3. 2343g/m3，膜滲透側(cè)氣體含塵濃度為4. 2mg/m 部分含有大顆粒粉塵的混合氣在風(fēng)機(jī)的作用下通入布袋過濾器；從無機(jī)膜錯流過濾器流出的凈化氣體經(jīng)壓縮機(jī)壓縮后作為反吹氣體對膜過濾器進(jìn)行反吹，剩余的凈化氣體經(jīng)過冷凝、精餾步驟后將氯甲烷氣體和甲基氯硅烷分離，得到產(chǎn)品甲基氯硅烷的純度為99. 95%，氯甲烷氣體返回流化床反應(yīng)器參與反應(yīng)；被無機(jī)膜過濾器和布袋過濾器截留下來的粉塵返回流化床反應(yīng)器參與反應(yīng)。實驗進(jìn)行20h無需對膜進(jìn)行反沖。本實施例對混合氣體中粉塵的去除率達(dá)到99. 87%。
實施例6 :
6
粉塵和氯甲烷進(jìn)入流化床反應(yīng)器，在銅催化劑的催化作用下，發(fā)生反應(yīng)生成甲基氯硅烷混合氣體；含有硅粉和銅粉的高溫?zé)煔庠陔x心通風(fēng)機(jī)作用下進(jìn)入無機(jī)膜錯流過濾器中進(jìn)行分離，采用一根孔徑為50 ii m的FeCrAl合金對稱膜，單管，內(nèi)徑60mrn，錯流速度20m/s，跨膜壓差0. 008MPa，進(jìn)料側(cè)含塵濃度為2. 2353g/m3，膜滲透側(cè)氣體含塵濃度為3. 8mg/m3，部分含有大顆粒粉塵的混合氣在風(fēng)機(jī)的作用下通入布袋過濾器；從無機(jī)膜錯流過濾器流出的凈化氣體經(jīng)壓縮機(jī)壓縮后作為反吹氣體對膜過濾器進(jìn)行反吹，剩余的凈化氣體經(jīng)過冷凝、精餾步驟后將氯甲烷氣體和甲基氯硅烷分離，得到產(chǎn)品甲基氯硅烷的純度為99. 94%，氯甲烷氣體返回流化床反應(yīng)器參與反應(yīng)；被無機(jī)膜過濾器和布袋過濾器截留下來的粉塵返回流化床反應(yīng)器參與反應(yīng)。實驗進(jìn)行30h無需對膜進(jìn)行反沖。本實施例對混合氣體中粉塵的去除率達(dá)到99. 83%。
權(quán)利要求
一種有機(jī)氯硅烷生產(chǎn)干法除塵方法，其具體步驟如下A)將流化床反應(yīng)器(I)中生成的高溫?zé)煔?a)經(jīng)風(fēng)機(jī)(IV)增壓后先送入無機(jī)膜錯流過濾器(II)中進(jìn)行一次除塵；B)上述步驟中無機(jī)膜過濾器(II)截留側(cè)錯流的濃塵氣體(c)進(jìn)入布袋過濾器(III)中進(jìn)行二次除塵；經(jīng)過布袋過濾器(III)凈化后的混合氣體(f)再通過風(fēng)機(jī)(IV)返回?zé)o機(jī)錯流膜過濾器(II)；C)透過無機(jī)膜錯流過濾器(II)的潔凈氣體(b)進(jìn)入冷凝器(A)冷凝后再經(jīng)過精餾塔(B)精餾分離出氯甲烷(g)和甲基氯硅烷(h)，氯甲烷(g)則返回流化床反應(yīng)器(I)參與反應(yīng)；D)被無機(jī)膜錯流過濾器(II)和布袋過濾器(III)截留下來的粉塵(e)返回流化床反應(yīng)器(I)參與反應(yīng)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的除塵方法，其特征在于所述的無機(jī)膜錯流過濾器(II)由殼體 (2)、膜過濾元件(3)、上花板(5)和下花板(8)組成，其中上花板(5)和下花板(8)設(shè)在殼 體中部，膜過濾元件(3)設(shè)在上花板(5)和下花板(8)之間；無機(jī)膜錯流過濾器的上端設(shè)有 高溫?zé)煔膺M(jìn)口 (4)，下端設(shè)有濃塵煙氣出口 (1);上花板(5)和下花板(8)之間設(shè)有潔凈氣 體出口 (6)以及反吹氣體進(jìn)口 (7);高溫?zé)煔?a)通過高溫?zé)煔膺M(jìn)口 (4)進(jìn)入無機(jī)膜過濾器 (II)進(jìn)行錯流過濾，透過無機(jī)膜過濾器(II)的潔凈氣體(b)通過潔凈氣體出口 (6)排出， 被無機(jī)膜過濾器(II)截留的濃塵氣體(c)通過濃塵氣體出口 l進(jìn)入布袋過濾器(III)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的除塵方法，其特征在于無機(jī)膜錯流過濾器裝有反沖裝置接口 (7)，反吹氣體(d)由透過無機(jī)膜過濾器(II)的潔凈氣體(b)經(jīng)壓縮機(jī)(V)壓縮而得，并 由反沖氣體進(jìn)口 (7)進(jìn)入無機(jī)膜過濾器(II)進(jìn)行反吹清洗；在膜通量下降至初始通量的 40-60%時，自動采用無機(jī)膜過濾器潔凈氣體出口 (6)的潔凈氣體間歇反沖膜分離器(11)， 將附著在膜面上的濾餅脫落，沉降到分離器的底部，從而有效地防止膜污染。
4. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的除塵方法，其特征在于步驟A中的高溫?zé)煔?a)平行 于膜面進(jìn)入無機(jī)膜錯流過濾器(II);進(jìn)入無機(jī)膜錯流過濾器(II)時，控制跨膜壓力 0. OlMPa-lMpa ;膜面流速lm/s_100m/s。
5. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的除塵方法，其特征在于無機(jī)膜錯流過濾器(II)中所述的膜過 濾元件(3)為陶瓷、金屬料構(gòu)成的管式膜；采用膜的平均孔徑為0. 02 m 50 m ;膜通道 的直徑為3-100mm。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的除塵方法，其特征在于所述的陶瓷材料為氧化鋁、氧化鋯或 碳化硅；所述的金屬材料為不銹鋼、FeAl合金或FeCrAl合金。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種有機(jī)氯硅烷生產(chǎn)干法除塵方法，其具體步驟如下將流化床反應(yīng)器(I)中生成的高溫?zé)煔?a)先送入無機(jī)膜錯流過濾器(II)進(jìn)行一次收塵，無機(jī)膜錯流過濾器(II)截留的濃塵氣體(c)進(jìn)入布袋過濾器(III)進(jìn)行二次收塵，透過布袋過濾器(III)的混合氣體(f)再返回?zé)o機(jī)膜錯流過濾器(II)進(jìn)氣口；無機(jī)膜滲透側(cè)剩余的潔凈氣體(b)則經(jīng)過冷凝器(A)冷凝后再經(jīng)過精餾塔(B)精餾后，將產(chǎn)品氯甲烷(g)和甲基氯硅烷(h)分開，得到甲基氯硅烷(h)產(chǎn)品，氯甲烷則返回流化床反應(yīng)器參與反應(yīng)；被無機(jī)膜過濾器和布袋過濾器截留下來的粉塵(e)，經(jīng)過再處理后，返回流化床反應(yīng)器(I)參與反應(yīng)。
文檔編號C07F7/12GK101792460SQ201010105670
公開日2010年8月4日 申請日期2010年2月4日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月4日
發(fā)明者仲兆祥, 徐南平, 邢衛(wèi)紅 申請人:南京工業(yè)大學(xué);南京九思高科技有限公司