單晶爐觀察窗的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體材料制造領(lǐng)域，尤其涉及用于制造半導(dǎo)體材料單晶硅的單晶爐觀察窗。
【背景技術(shù)】
[0002]單晶爐是晶棒制作的載體，觀察視窗雖然只是單晶爐的小小配件，但其作用卻是重中之重。通過(guò)觀察視窗可以直觀的查看單晶生長(zhǎng)變化，及時(shí)作出調(diào)整，確保單晶穩(wěn)定生長(zhǎng)?，F(xiàn)有技術(shù)中的單晶爐觀察窗，采用雙層玻璃結(jié)構(gòu)，其表面溫度高達(dá)1400攝氏度，在單晶硅的制造過(guò)程中，操作人員在進(jìn)行觀察操作時(shí)，常常被觀察窗燙傷，給單晶硅的制造過(guò)程造成了安全隱患，給操作人員帶來(lái)了很大的不便。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的是提供一種具有較低表面溫度的單晶爐觀察窗。
[0004]本實(shí)用新型提供的單晶爐觀察窗，包括第一蓋體、第二蓋體和第三蓋體，所述第一蓋體和第三蓋體設(shè)置在所述第二蓋體的兩側(cè)并與所述第二蓋體圍成一用于容納冷卻液的空腔。
[0005]所述第一蓋體包括框架部(I)和視窗部(2);所述框架部(I)為口字形設(shè)置在所述視窗部(2)的外周。所述框架部(I)的截面為L(zhǎng)形。所述框架部(I)上設(shè)有圓形定位孔
(3)ο所述第二蓋體為口字形，所述第三蓋體具有與第一蓋體相同的結(jié)構(gòu)。所述第二蓋體的截面為T形。所述第二蓋體的兩側(cè)設(shè)有定位柱(4)。所述第二蓋體沿其長(zhǎng)度方向還設(shè)有第一通孔(5)和第二通孔(6)。所述第一通孔(5)和第二通孔(6)的截面為梯形，且位于外部孔徑大于內(nèi)部孔徑。
[0006]本實(shí)用新型提供的單晶爐觀察窗，在所述空腔內(nèi)可注入水或者其他冷卻液，用于有效降低單晶爐觀察窗的表面溫度，避免操作人員燙傷。
【附圖說(shuō)明】
[0007]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例所述的單晶爐觀察窗第一蓋體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0008]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例所述的單晶爐觀察窗第一蓋體的截面圖；
[0009]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例所述的單晶爐觀察窗第二蓋體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010]圖4為圖3的右視圖；
[0011]圖5為圖3的截面圖。
【具體實(shí)施方式】
[0012]為使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0013]本實(shí)施例提供一種單晶爐觀察窗，其特征在于:包括第一蓋體、第二蓋體和第三蓋體，所述第一蓋體和第三蓋體設(shè)置在所述第二蓋體的兩側(cè)并與所述第二蓋體圍成一用于容納冷卻液的空腔。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解，在所述空腔內(nèi)可注入水或者其他冷卻液，用于有效降低單晶爐觀察窗的表面溫度，避免操作人員燙傷。
[0014]如圖1及圖2所示，所述第一蓋體包括框架部I和視窗部2 ;所述框架部I為口字形設(shè)置在所述視窗部2的外周。
[0015]所述框架部I的截面為L(zhǎng)形，便于形成用于容納冷卻液的空腔。
[0016]所述框架部I上設(shè)有圓形定位孔3，通過(guò)該圓形定位孔3與第二蓋體相固定。
[0017]如圖3至圖5所示，所述第二蓋體為口字形，所述第三蓋體具有與第一蓋體相同的結(jié)構(gòu)；這樣，當(dāng)?shù)谝簧w體、第二蓋體和第三蓋體完成組裝后，所述第一蓋體、第二蓋體和第三蓋體分別構(gòu)成所述空腔的六個(gè)壁。
[0018]所述第二蓋體的截面為T形，以便與所述第一蓋體及第二蓋體進(jìn)行組裝。
[0019]所述第二蓋體的兩側(cè)設(shè)有定位柱4，用于與所述第一蓋體和第三蓋體上設(shè)置的定位孔3相配合。
[0020]所述第二蓋體沿其長(zhǎng)度方向還設(shè)有第一通孔5和第二通孔6。所述第一通孔5和第二通孔6可平行設(shè)置，也可垂直設(shè)置，可設(shè)置在第二蓋體的一個(gè)側(cè)部，也可分別設(shè)置在第二蓋體的不同側(cè)部。所述第一通孔5和第二通孔6分別用于注入和排出冷卻液，便于循環(huán)注入冷卻液，保證更佳的冷卻效果。
[0021]所述第一通孔5和第二通孔6的截面為梯形，且位于外部孔徑大于內(nèi)部孔徑。這樣便于第一通孔5或第二通孔6與外部的冷卻液注入或排出裝置相連接。
[0022]最后應(yīng)說(shuō)明的是:以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制；盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實(shí)用新型各實(shí)施例技術(shù)方案的精神和范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種單晶爐觀察窗，其特征在于:包括第一蓋體、第二蓋體和第三蓋體，所述第一蓋體和第三蓋體設(shè)置在所述第二蓋體的兩側(cè)并與所述第二蓋體圍成一用于容納冷卻液的空腔。
2.如權(quán)利要求1所述的單晶爐觀察窗，其特征在于:所述第一蓋體包括框架部(I)和視窗部(2);所述框架部(I)為口字形設(shè)置在所述視窗部(2)的外周。
3.如權(quán)利要求2所述的單晶爐觀察窗，其特征在于:所述框架部(I)的截面為L(zhǎng)形。
4.如權(quán)利要求2所述的單晶爐觀察窗，其特征在于:所述框架部(I)上設(shè)有圓形定位孔⑶。
5.如權(quán)利要求2所述的單晶爐觀察窗，其特征在于:所述第二蓋體為口字形，所述第三蓋體具有與第一蓋體相同的結(jié)構(gòu)。
6.如權(quán)利要求5所述的單晶爐觀察窗，其特征在于:所述第二蓋體的截面為T形。
7.如權(quán)利要求5所述的單晶爐觀察窗，其特征在于:所述第二蓋體的兩側(cè)設(shè)有定位柱
8.如權(quán)利要求4所述的單晶爐觀察窗，其特征在于:所述第二蓋體沿其長(zhǎng)度方向還設(shè)有第一通孔(5)和第二通孔(6)。
9.如權(quán)利要求8所述的單晶爐觀察窗，其特征在于:所述第一通孔(5)和第二通孔(6)的截面為梯形，且位于外部孔徑大于內(nèi)部孔徑。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種單晶爐觀察窗，包括第一蓋體、第二蓋體和第三蓋體，所述第一蓋體和第三蓋體設(shè)置在所述第二蓋體的兩側(cè)并與所述第二蓋體圍成一用于容納冷卻液的空腔。本實(shí)用新型提供的單晶爐觀察窗，在所述空腔內(nèi)可注入水或者其他冷卻液，用于有效降低單晶爐觀察窗的表面溫度，避免操作人員燙傷。
【IPC分類】C30B35-00
【公開(kāi)號(hào)】CN204589379
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520230686
【發(fā)明人】劉光有
【申請(qǐng)人】上海磐盟電子材料有限公司
【公開(kāi)日】2015年8月26日
【申請(qǐng)日】2015年4月16日