一種網(wǎng)絡(luò)化藍寶石長晶爐的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及藍寶石晶體(氧化鋁單晶)生長技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種網(wǎng)絡(luò)化藍寶石長晶爐。
【背景技術(shù)】
[0002]由于藍寶石晶體的光學(xué)穿透帶很寬，從近紫外光(190nm)到中紅外線都具有很好的透光性，因此被大量用在光學(xué)元件、紅外裝置、高強度激光鏡片材料及掩模材料上。目前超尚殼度白/藍光LED的品質(zhì)取決于氣化嫁外延(GaN)的材料品質(zhì)，而氣化嫁外延品質(zhì)則與所使用的藍寶石基板表面加工品質(zhì)息息相關(guān)，藍寶石(單晶Al2O3)C面II1- V和I1- VI族沉積薄膜之間的晶格常數(shù)失配率小，同時符合GaN外延工藝中耐高溫的要求，使得藍寶石晶片成為制作白/藍/綠光LED的關(guān)鍵材料。
[0003]目前最成熟的生長大尺寸低應(yīng)力無缺陷藍寶石晶體的技術(shù)仍然還是泡生法。但是泡生法生產(chǎn)藍寶石還沒有完全實現(xiàn)自動化，在引晶過程中還需要依靠經(jīng)驗豐富的引晶工程師進行操作。這種工作方式不利于進行大規(guī)模的工業(yè)生產(chǎn)。因此我們提出網(wǎng)絡(luò)化的泡生法藍寶石生產(chǎn)方式，這種理念設(shè)計出來的長晶設(shè)備可以遠程觀測晶體生長狀況，分析長晶數(shù)據(jù)，甚至遠程操作，減少現(xiàn)場的工作強度。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004](一)要解決的技術(shù)問題
[0005]有鑒于此，本發(fā)明的主要目的在于提供一種網(wǎng)絡(luò)化藍寶石長晶爐，將長晶數(shù)據(jù)傳送給遠程服務(wù)器，實現(xiàn)遠程觀測晶體生長狀況，分析長晶數(shù)據(jù)，甚至遠程操作，減少現(xiàn)場的工作強度。
[0006](二)技術(shù)方案
[0007]為達到上述目的，本發(fā)明提供了一種網(wǎng)絡(luò)化藍寶石長晶爐，設(shè)置提供動力的電源系統(tǒng)，進行集中控制的控制器，可以驅(qū)動籽晶桿旋轉(zhuǎn)的籽晶旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)，可以驅(qū)動所述的籽晶桿上下運動的籽晶提拉系統(tǒng)，用于測量晶體重量的稱重系統(tǒng)，用于測量冷卻水溫度的測溫系統(tǒng)，用于實現(xiàn)長晶的真空環(huán)境的真空系統(tǒng)，用于實現(xiàn)高溫環(huán)境的加熱系統(tǒng)，設(shè)置與遠程服務(wù)器通訊連接的網(wǎng)絡(luò)通訊模塊，所述的網(wǎng)絡(luò)通訊模塊設(shè)置為以太網(wǎng)通訊模塊，也可以設(shè)置為wifi通訊模塊，以及手機通訊模塊，電力線通訊模塊。
[0008]所述的控制器設(shè)置為工控機，也可以設(shè)置為PLC控制器。
[0009](三)有益效果
[0010]從上述技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明具有以下有益效果:
[0011]1、本發(fā)明提供的網(wǎng)絡(luò)化藍寶石長晶爐，可實現(xiàn)遠程觀測晶體生長狀況，分析長晶數(shù)據(jù)，甚至遠程操作，減少現(xiàn)場的工作強度。
【附圖說明】
[0012]圖1是網(wǎng)絡(luò)化藍寶石長晶爐的控制框圖；
[0013]圖2是網(wǎng)絡(luò)化藍寶石長晶爐的系統(tǒng)框圖。
【具體實施方式】
[0014]為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚明白，以下結(jié)合具體實施例，并參照附圖，對本發(fā)明進一步詳細說明。
[0015]一種網(wǎng)絡(luò)化藍寶石長晶爐，設(shè)置提供動力的電源系統(tǒng)2，進行集中控制的控制器1所述的電源系統(tǒng)2將輸入的大功率交流電源轉(zhuǎn)換成系統(tǒng)需要的電源電壓，用于電器部分供電和制造高溫環(huán)境。所述的控制器I設(shè)置為工控機，也可以設(shè)置為PLC控制器。
[0016]還包括可以驅(qū)動籽晶桿10旋轉(zhuǎn)的籽晶旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)4，所述的籽晶旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)4帶動所述的籽晶桿10旋轉(zhuǎn)，以保證晶體生長的均勻性；可以驅(qū)動所述的籽晶桿10上下運動的籽晶提拉系統(tǒng)5，所述的籽晶提拉系統(tǒng)5根據(jù)晶體生長的階段而向上提拉晶體，以滿足生長的需要；用于測量晶體重量的稱重系統(tǒng)6，所述的稱重系統(tǒng)6可以測量所述的籽晶桿10末端的晶體重量，以判斷晶體的生長階段；用于測量冷卻水溫度的測溫系統(tǒng)7，可以用于判斷熱場的溫度情況；用于實現(xiàn)長晶的真空環(huán)境的真空系統(tǒng)8，真空環(huán)境可以保證晶體生長過程中不會有氣體進入晶體材料中，防止產(chǎn)生氣泡和雜質(zhì)；用于實現(xiàn)高溫環(huán)境的加熱系統(tǒng)9，包括保溫層、加熱體和坩禍，實現(xiàn)2100°C的高溫環(huán)境，將Al2O3的原料熔化，并維持在長晶所需要的高溫環(huán)境。
[0017]設(shè)置與遠程服務(wù)器通訊連接的網(wǎng)絡(luò)通訊模塊3，所述的網(wǎng)絡(luò)通訊模塊3設(shè)置為以太網(wǎng)通訊模塊，也可以設(shè)置為wifi通訊模塊，以及手機通訊模塊，電力線通訊模塊。所述的網(wǎng)絡(luò)通訊模塊3實時地將長晶的相關(guān)數(shù)據(jù)，傳送給遠程服務(wù)器，比如晶體重量，提拉高度，冷卻水溫度等，可實現(xiàn)遠程觀測晶體生長狀況，分析長晶數(shù)據(jù)，甚至遠程操作，減少現(xiàn)場的工作強度。
【主權(quán)項】
1.一種網(wǎng)絡(luò)化藍寶石長晶爐，包括提供動力的電源系統(tǒng)，進行集中控制的控制器，可以驅(qū)動籽晶桿旋轉(zhuǎn)的籽晶旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)，可以驅(qū)動所述的籽晶桿上下運動的籽晶提拉系統(tǒng)，用于測量晶體重量的稱重系統(tǒng)，用于測量冷卻水溫度的測溫系統(tǒng)，用于實現(xiàn)長晶的真空環(huán)境的真空系統(tǒng)，用于實現(xiàn)高溫環(huán)境的加熱系統(tǒng)，其特征在于:還包括與遠程服務(wù)器通訊連接的網(wǎng)絡(luò)通訊模塊。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種網(wǎng)絡(luò)化藍寶石長晶爐，其特征在于:所述的控制器設(shè)置為工控機。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種網(wǎng)絡(luò)化藍寶石長晶爐，其特征在于:所述的控制器設(shè)置為PLC控制器。
【專利摘要】本實用新型公開了一種網(wǎng)絡(luò)化藍寶石長晶爐，設(shè)置提供動力的電源系統(tǒng)，進行集中控制的控制器，可以驅(qū)動籽晶桿旋轉(zhuǎn)的籽晶旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)，可以驅(qū)動所述的籽晶桿上下運動的籽晶提拉系統(tǒng)，用于測量晶體重量的稱重系統(tǒng)，用于測量冷卻水溫度的測溫系統(tǒng)，用于實現(xiàn)長晶的真空環(huán)境的真空系統(tǒng)，用于實現(xiàn)高溫環(huán)境的加熱系統(tǒng)，設(shè)置與遠程服務(wù)器通訊連接的網(wǎng)絡(luò)通訊模塊，所述的網(wǎng)絡(luò)通訊模塊設(shè)置為以太網(wǎng)通訊模塊，也可以設(shè)置為wifi通訊模塊，以及手機通訊模塊，電力線通訊模塊，所述的控制器設(shè)置為工控機，或者PLC控制器。
【IPC分類】C30B29-20, C30B17-00
【公開號】CN204385324
【申請?zhí)枴緾N201420809844
【發(fā)明人】劉瑜, 杜慧江, 邢明
【申請人】杭州晶一智能科技有限公司
【公開日】2015年6月10日
【申請日】2014年12月20日