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一種72對(duì)棒多晶硅還原爐供電系統(tǒng)的制作方法

文檔序號(hào):8602896閱讀:1268來源:國(guó)知局
一種72對(duì)棒多晶硅還原爐供電系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種72對(duì)棒多晶硅還原爐供電系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]硅材料是半導(dǎo)體工業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)和太陽(yáng)能光伏電池產(chǎn)業(yè)中最重要功能性材料,多晶硅作為制備單晶硅的唯一原料和生產(chǎn)太陽(yáng)能電池的材料,其需求量日益增大。多晶硅生產(chǎn)企業(yè)為了降低能耗,對(duì)多晶硅還原爐的設(shè)計(jì)選型越來越大型化,多晶硅還原爐由原來的3?12對(duì)棒逐漸發(fā)展至36對(duì)棒及以上。
[0003]現(xiàn)有的最大型的多晶硅還原爐供電系統(tǒng)是應(yīng)用于48對(duì)棒多晶硅還原爐上,而隨著72對(duì)棒多晶硅還原爐的使用日益廣泛,如何為72對(duì)棒多晶硅還原爐供電,也就成為目前多晶硅生產(chǎn)行業(yè)迫切解決的問題。
[0004]目前,大多多晶硅生產(chǎn)企業(yè)是通過將兩個(gè)現(xiàn)有的還原爐供電系統(tǒng)組合使用,為72對(duì)棒多晶硅還原爐供電,例如,使用兩個(gè)36對(duì)棒多晶硅還原爐供電系統(tǒng),或者,使用一個(gè)24對(duì)棒多晶硅還原爐供電系統(tǒng)和一個(gè)48對(duì)棒多晶硅還原爐供電系統(tǒng)。
[0005]然而,這種兩個(gè)多晶硅還原爐供電系統(tǒng)組合使用時(shí),兩個(gè)供電系統(tǒng)相互獨(dú)立,各自單獨(dú)工作,一方面,兩個(gè)多晶硅還原爐供電系統(tǒng)需要分別進(jìn)行控制,無法統(tǒng)一操作,管理不便;另一方面,兩個(gè)多晶硅還原爐供電系統(tǒng)中的某些元器件,例如變壓器、高壓維持切換電源、高壓?jiǎn)?dòng)電源等,沒有得到有效的整合,增加了多晶硅生產(chǎn)的能耗和成本。
[0006]因此,亟需一種72對(duì)棒多晶硅還原爐供電系統(tǒng)以解決上述技術(shù)問題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0007]本實(shí)用新型針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述不足,提供一種72對(duì)棒多晶硅還原爐供電系統(tǒng),用以解決72對(duì)棒多晶硅還原爐供電管理不便,多晶硅生產(chǎn)能耗大、成本高的問題。
[0008]本實(shí)用新型為解決上述技術(shù)問題,采用如下技術(shù)方案:
[0009]本實(shí)用新型提供一種72對(duì)棒多晶硅還原爐供電系統(tǒng),應(yīng)用于72對(duì)棒多晶硅還原爐,72對(duì)硅棒分為6相,每相包括12對(duì)硅棒,每相中各硅棒串接并分組設(shè)置;
[0010]所述系統(tǒng)包括:4個(gè)高壓?jiǎn)?dòng)電源、6個(gè)功率柜、第一高壓切換維持電源、第二高壓切換維持電源、運(yùn)行電源和變壓器,變壓器分別與運(yùn)行電源和功率柜相連;
[0011]所述4個(gè)高壓?jiǎn)?dòng)電源串接一相硅棒中一組硅棒的不同硅棒,并能夠?yàn)樵摻M中的硅棒同時(shí)加載電壓,以擊穿硅棒;
[0012]每個(gè)功率柜串接一相硅棒,能夠在該相硅棒被擊穿后,以恒定電流加熱該相硅棒;
[0013]當(dāng)一相的12對(duì)硅棒設(shè)置為3組時(shí),每組包括4對(duì)硅棒;所述4個(gè)高壓?jiǎn)?dòng)電源能夠作為I個(gè)啟動(dòng)電源組,依次串接一相硅棒中的3組硅棒,并依次為所述3組硅棒加載電壓;在每組硅棒中,每個(gè)高壓?jiǎn)?dòng)電源串接一對(duì)硅棒,4個(gè)高壓?jiǎn)?dòng)電源同時(shí)為4對(duì)硅棒加載電壓;
[0014]第一高壓切換維持電源能夠在所述4個(gè)高壓?jiǎn)?dòng)電源擊穿一相硅棒中的第一組硅棒之后、功率柜串接該相硅棒之前,串接該相硅棒中的第一組硅棒,維持所述第一組硅棒上的電流的大小,以繼續(xù)加熱所述第一組硅棒;
[0015]第二高壓切換維持電源能夠在所述4個(gè)高壓?jiǎn)?dòng)電源擊穿該相硅棒中的第二組硅棒之后、功率柜串接該相硅棒之前,串接該相硅棒中的第二組硅棒,維持所述第二組硅棒上的電流的大小,以繼續(xù)加熱所述第二組硅棒;
[0016]該相硅棒的功率柜能夠在所述4個(gè)高壓?jiǎn)?dòng)電源擊穿該相硅棒中的第三組硅棒之后,串接該相硅棒,并以恒定電流加熱該相硅棒。
[0017]優(yōu)選的,當(dāng)一相的12對(duì)硅棒設(shè)置為3組時(shí),所述系統(tǒng)包括:第一聯(lián)動(dòng)開關(guān)、第二聯(lián)動(dòng)開關(guān)、第三聯(lián)動(dòng)開關(guān)、第一維持開關(guān)、第二維持開關(guān)和加熱開關(guān);
[0018]第一聯(lián)動(dòng)開關(guān)分別連接所述4個(gè)高壓?jiǎn)?dòng)電源和一相硅棒的第一組硅棒中的每對(duì)硅棒,第二聯(lián)動(dòng)開關(guān)分別連接所述4個(gè)高壓?jiǎn)?dòng)電源和該相硅棒的第二組硅棒中的每對(duì)硅棒,第三聯(lián)動(dòng)開關(guān)分別連接所述4個(gè)高壓?jiǎn)?dòng)電源和該相硅棒的第三組硅棒中的每對(duì)硅棒;
[0019]第一維持開關(guān)分別連接第一高壓切換維持電源和該相娃棒中第一組娃棒的首、尾兩對(duì)硅棒,第二維持開關(guān)分別連接第二高壓切換維持電源和該相硅棒中第二組硅棒的首、尾兩對(duì)娃棒;
[0020]加熱開關(guān)分別連接該相的功率柜和該相硅棒的首、尾兩對(duì)硅棒。
[0021]優(yōu)選的,當(dāng)所述第一聯(lián)動(dòng)開關(guān)閉合且第二聯(lián)動(dòng)開關(guān)和第三聯(lián)動(dòng)開關(guān)開啟時(shí),每個(gè)高壓?jiǎn)?dòng)電源分別串接該相的第一組娃棒中的一對(duì)娃棒,且所述第一維持開關(guān)和第二維持開關(guān)均開啟,以使所述第一高壓切換維持電源和第二高壓切換維持電源不串接硅棒。
[0022]優(yōu)選的,當(dāng)所述第二聯(lián)動(dòng)開關(guān)閉合且第一聯(lián)動(dòng)開關(guān)和第三聯(lián)動(dòng)開關(guān)開啟時(shí),每個(gè)高壓?jiǎn)?dòng)電源分別串接該相的第二組娃棒中的一對(duì)娃棒,且所述第一維持開關(guān)閉合,以使所述第一高壓切換維持電源串接該相硅棒中的第一組硅棒,且所述第二維持開關(guān)開啟,以使所述第二高壓切換維持電源不串接硅棒。
[0023]優(yōu)選的,當(dāng)所述第三聯(lián)動(dòng)開關(guān)閉合且第二聯(lián)動(dòng)開關(guān)和第一聯(lián)動(dòng)開關(guān)開啟時(shí),每個(gè)高壓?jiǎn)?dòng)電源分別串接該相的第三組娃棒中的一對(duì)娃棒,且所述第一維持開關(guān)和第二維持開關(guān)均閉合,以使所述第一高壓切換維持電源串接該相硅棒中的第一組硅棒,且所述第二高壓切換維持電源串接該相硅棒中的第二組硅棒。
[0024]優(yōu)選的,當(dāng)所述4個(gè)高壓?jiǎn)?dòng)電源擊穿該相的第三組硅棒時(shí),加熱開關(guān)閉合,以使該相的功率柜串接該相硅棒,并以恒定電流加熱該相硅棒。
[0025]優(yōu)選的,當(dāng)一相的12對(duì)硅棒設(shè)置為I組時(shí),每個(gè)高壓?jiǎn)?dòng)電源串接3對(duì)硅棒,所述4個(gè)高壓?jiǎn)?dòng)電源串接一相的12對(duì)硅棒,能夠?yàn)橐幌嘀械?2對(duì)硅棒同時(shí)加載電壓。
[0026]優(yōu)選的,當(dāng)一相的12對(duì)硅棒設(shè)置為I組時(shí),所述系統(tǒng)還包括第四聯(lián)動(dòng)開關(guān),第四聯(lián)動(dòng)開關(guān)分別連接所述4個(gè)高壓?jiǎn)?dòng)電源和該相硅棒的第1、3、4、6、7、9、10、12對(duì)硅棒;
[0027]當(dāng)所述第四聯(lián)動(dòng)開關(guān)閉合時(shí),每個(gè)高壓?jiǎn)?dòng)電源串接該相中的3對(duì)硅棒,且第一維持開關(guān)和第二維持開關(guān)開啟。
[0028]優(yōu)選的,當(dāng)所述4個(gè)高壓?jiǎn)?dòng)電源擊穿該相硅棒時(shí),加熱開關(guān)閉合,以使該相的功率柜串接該相硅棒,并以恒定電流加熱該相硅棒。
[0029]進(jìn)一步的,所述系統(tǒng)還包括控制柜,控制柜分別與第一聯(lián)動(dòng)開關(guān)、第二聯(lián)動(dòng)開關(guān)、第三聯(lián)動(dòng)開關(guān)、第四聯(lián)動(dòng)開關(guān)、第一維持開關(guān)、第二維持開關(guān)和加熱開關(guān)相連,能夠控制第一聯(lián)動(dòng)開關(guān)、第二聯(lián)動(dòng)開關(guān)、第三聯(lián)動(dòng)開關(guān)和第四聯(lián)動(dòng)開關(guān)、第一維持開關(guān)、第二維持開關(guān)和加熱開關(guān)開啟或閉合。
[0030]本實(shí)用新型具有如下有益效果:
[0031]本實(shí)用新型利用I個(gè)變壓器為6個(gè)功率柜供電,將72對(duì)硅棒分為6相,利用4個(gè)高壓?jiǎn)?dòng)電源串接一相硅棒中一組硅棒的不同硅棒,以擊穿硅棒,并利用I個(gè)功率柜在該相硅棒被擊穿后,以恒定電流加熱該相硅棒;當(dāng)每相的12對(duì)硅棒分為3組時(shí),4個(gè)高壓?jiǎn)?dòng)電源依次為3組硅棒加載電壓,并利用2個(gè)高壓切換維持電源分別維持已擊穿的2組硅棒上的電流的大??;該72對(duì)棒多晶硅還原爐供電系統(tǒng)對(duì)變壓器、高壓?jiǎn)?dòng)電源和高壓切換維持電源進(jìn)行了合理分配和利用,精簡(jiǎn)了元器件,從而降低多晶硅生產(chǎn)的能耗和成本,而且,將多個(gè)36對(duì)棒、24對(duì)棒、48對(duì)棒多晶硅還原爐供電系統(tǒng)整合為一個(gè)72對(duì)棒多晶硅還原爐供電系統(tǒng),可以統(tǒng)一操作,更為方便,提高了供電管理的便捷性。
【附圖說明】
[0032]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種72對(duì)棒多晶硅還原爐供電系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0033]圖2為當(dāng)一相硅棒設(shè)置為3組時(shí),高壓?jiǎn)?dòng)電源為該相第一組硅棒加載電壓的連接狀態(tài)不意圖;
[0034]圖3為一相硅棒設(shè)置為3組時(shí),高壓?jiǎn)?dòng)電源為該相第二組硅棒加載電壓的連接狀態(tài)不意圖;
[0035]圖4為一相硅棒設(shè)置為3組時(shí),高壓?jiǎn)?dòng)電源為該相第三組硅棒加載電壓的連接狀態(tài)不意圖;
[0036]圖5為一相硅棒設(shè)置為I組時(shí),高壓?jiǎn)?dòng)電源為該相硅棒加載電壓的連接狀態(tài)示意圖。
[0037]圖例說明:
[0038]1、硅棒2、高壓?jiǎn)?dòng)電源3、功率柜
[0039]4、第一高壓切換維持電源 5、第二高壓切換維持電源
[0040]6、運(yùn)行電源7、變壓器8、控制柜
[0041]K11、第一聯(lián)動(dòng)開關(guān) K12、第二聯(lián)動(dòng)開關(guān) K13、第三聯(lián)動(dòng)開關(guān)
[0042]K21、第四聯(lián)動(dòng)開關(guān) K1、第一維持開關(guān) K2、第二維持開關(guān)
[0043]K3、加熱開關(guān)
【具體實(shí)施方式】
[0044]為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本實(shí)用新型的技術(shù)方案,下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步
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