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一種半導(dǎo)體石英砂高溫高壓提純設(shè)備的制作方法

文檔序號:40591364發(fā)布日期:2025-01-07 20:31閱讀:8來源:國知局
一種半導(dǎo)體石英砂高溫高壓提純設(shè)備的制作方法

本發(fā)明涉及材料加工,具體為一種半導(dǎo)體石英砂高溫高壓提純設(shè)備。


背景技術(shù):

1、在半導(dǎo)體行業(yè)中,石英砂作為重要的原材料,其純度對半導(dǎo)體產(chǎn)品的性能起著至關(guān)重要的作用。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展,對石英砂的純度要求越來越高。傳統(tǒng)的石英砂提純方法往往存在效率低、提純效果不理想等問題。

2、目前,市場上雖然有一些石英砂提純設(shè)備,但在實際應(yīng)用中仍存在一些不足之處。例如,加熱方式單一,升溫效率低,影響提純的速度和效果;入料機構(gòu)設(shè)計不合理,容易出現(xiàn)漏料現(xiàn)象,影響設(shè)備的密封性和穩(wěn)定性;同時,對蒸汽的利用不夠充分,無法實現(xiàn)高效的蒸汽加熱。

3、為了滿足半導(dǎo)體行業(yè)對高純度石英砂的需求,克服現(xiàn)有石英砂提純設(shè)備的不足,研發(fā)一種新型的半導(dǎo)體石英砂高溫高壓提純設(shè)備勢在必行。


技術(shù)實現(xiàn)思路

1、為實現(xiàn)以上目的,本發(fā)明通過以下技術(shù)方案予以實現(xiàn):一種半導(dǎo)體石英砂高溫高壓提純設(shè)備,包括:

2、固定底板,以及固定安裝在固定底板頂部的兩側(cè)的支撐架,所述支撐架的頂部固定安裝有旋轉(zhuǎn)座;

3、提純桶體,所述提純桶體兩端分別安裝有噴氣機構(gòu)和入料密封機構(gòu),所述提純桶體的外表面分別固定安裝有加砂機構(gòu)、出酸口和出料口,且加砂機構(gòu)與出酸口和出料口對立設(shè)置,所述提純桶體的端部固定連接有齒輪環(huán);

4、噴氣機構(gòu)用于對反應(yīng)釜內(nèi)部加入蒸汽,達到蒸汽加熱的目的;

5、加熱件,所述加熱件的數(shù)量為若干個,且若干個所述的加熱件固定安裝在提純桶體的內(nèi)部,并以螺旋狀排列,所述加熱件的端部均連接有連接導(dǎo)線;螺旋狀排列的加熱件在對其內(nèi)部材料升溫的同時,還可以對其內(nèi)部材料進行攪拌,提高裝置使用效果,提升裝置加熱效率。

6、加熱件與噴氣機構(gòu)同時啟動,可以更大程度上提高升溫效率;

7、電機,所述電機固定連接在旋轉(zhuǎn)座的中間處,所述電機的輸出端與齒輪環(huán)相嚙合;啟動電機時,提純桶體可以通過齒輪環(huán)與電機輸出端嚙合的作用,達到轉(zhuǎn)動效果。

8、其中,兩個所述的旋轉(zhuǎn)座內(nèi)部分別轉(zhuǎn)動連接有入料管和進氣口,所述提純桶體通過噴氣機構(gòu)與進氣口固定連接,所述提純桶體通過入料密封機構(gòu)與入料管固定連接。

9、優(yōu)選的,所述提純桶體的內(nèi)壁處固定連接有螺旋撥板,且螺旋撥板的為兩組,每組數(shù)量為兩個,所述螺旋撥板設(shè)置在加熱件與提純桶體的連接處。螺旋撥板的設(shè)置可以避免內(nèi)部材料過度撞擊加熱件,從而起到保護加熱件的目的,同時螺旋撥板可以提高對內(nèi)部材料的攪拌效果。

10、優(yōu)選的,所述加砂機構(gòu)包括入料殼,所述入料殼貫穿提純桶體并延伸至內(nèi)腔,且入料殼和提純桶體密封連接,所述入料殼的底部開設(shè)有第一漏孔。

11、優(yōu)選的,所述入料殼的頂部固定連接有限位板,所述入料殼的內(nèi)部滑動連接有內(nèi)置漏料殼,所述內(nèi)置漏料殼的外表面固定連接有外置滑環(huán),所述入料殼的內(nèi)壁處開設(shè)有滑槽,且外置滑環(huán)滑動連接在滑槽內(nèi)部,且外置滑環(huán)與滑槽密封適配,所述內(nèi)置漏料殼的底部開設(shè)有第二漏孔,所述內(nèi)置漏料殼的底面處固定連接有密封插塊,所述密封插塊設(shè)置在第二漏孔的間隔處,且密封插塊與第一漏孔相插接適配,第一漏孔和第二漏孔交錯設(shè)置。

12、工作人員需要入料時,上提拉拔把手使其彈性密封塞脫離入料殼,利用第二漏孔和第一漏孔之間的空氣達到材料入料功能;在不需要入料時,工作人員下壓提拉拉拔把手使其彈性密封塞塞入入料殼,其中密封插塊可以堵住第一漏孔達到關(guān)閉入料的作用。

13、優(yōu)選的,所述內(nèi)置漏料殼底部的中間處固定連接有彈性密封塞,所述彈性密封塞的底部密封套設(shè)在第一漏孔的中間處,所述彈性密封塞的頂部固定連接有拉拔把手,所述限位板的內(nèi)徑與內(nèi)置漏料殼的內(nèi)徑相同,所述外置滑環(huán)的頂部固定連接有第一彈簧,所述第一彈簧遠離外置滑環(huán)的一端固定連接在入料殼的內(nèi)壁處。

14、第一彈簧在設(shè)置時,為拉伸狀態(tài);

15、在工作人員需要入料而提拉拉拔把手,彈性密封塞從入料殼拔出時,第一彈簧因為處在拉伸狀態(tài),從而會更快的將內(nèi)置漏料殼上提,使其與限位板相擠壓從而保證在工作人員入料時,材料不會漏入入料殼和內(nèi)置漏料殼間隔處,提高裝置使用壽命,提升裝置入料效果。

16、優(yōu)選的,所述入料密封機構(gòu)包括內(nèi)置管套,所述內(nèi)置管套固定安裝在入料管的內(nèi)壁處,所述內(nèi)置管套的端部固定連接有第二彈簧,所述第二彈簧遠離內(nèi)置管套的一端固定連接有適配塊,所述適配塊的外表面固定連接有外設(shè)彈性塞,所述外設(shè)彈性塞密封滑動在入料管管口的內(nèi)壁處。

17、在入料管入料時,入料的氣體或液體經(jīng)過內(nèi)置管套和第二彈簧,氣體對適配塊和外設(shè)彈性塞擠壓,從而進入提純桶體內(nèi)部。

18、優(yōu)選的,所述適配塊遠離第二彈簧的一側(cè)固定連接有滑動罩板,所述滑動罩板設(shè)置在提純桶體的內(nèi)腔處,所述提純桶體的內(nèi)壁處固定連接有限位滑槽塊,所述滑動罩板的邊緣處與限位滑槽塊的滑槽相滑動適配,所述限位滑槽塊的內(nèi)部開設(shè)有第三漏孔。

19、當氣體或液體進入提純桶體時,氣體或液體擠壓滑動罩板,使其滑動罩板滑動,在滑動罩板滑動至第三漏孔位置時,氣體或液體通過第三漏孔進入提純桶體內(nèi),達到進料作用。

20、滑動罩板和限位滑槽塊與外設(shè)彈性塞和入料管雙層密封適配結(jié)構(gòu)可以達到更好的罐體密封效果,并且在工作過程中,不會出現(xiàn)漏料情況。

21、優(yōu)選的,所述噴氣機構(gòu)包括氣室罩殼,所述氣室罩殼固定安裝在提純桶體的內(nèi)壁處,所述氣室罩殼的內(nèi)壁處固定連接有分隔罩板,所述分隔罩板和氣室罩殼的表面均開設(shè)有噴氣孔。分隔罩板和氣室罩殼表面的噴氣孔為環(huán)形設(shè)置,可以更加分散的將蒸汽噴入提純桶體內(nèi)。

22、優(yōu)選的,所述分隔罩板的軸心處固定連接有內(nèi)凸塞塊,所述內(nèi)凸塞塊與進氣口相擠壓適配。

23、在進氣口和入料管單邊入料時,因為提純桶體內(nèi)部氣壓;

24、因此在進氣口進氣過程中,滑動罩板會因為氣壓原因通過在限位滑槽塊內(nèi)部滑動,從而達到封堵效果,在入料管進氣或液體過程中,內(nèi)凸塞塊會因為氣壓原因封堵進氣口,達到更好的封堵作用,提高裝置密封性。

25、優(yōu)選的,所述加熱件包括傳熱管,所述傳熱管的兩端固定連接有密封套,所述傳熱管通過密封套貫穿提純桶體,所述密封套遠離傳熱管的一端固定連接有適配插盤,所述傳熱管的外表面開設(shè)有螺旋凹槽,所述適配插盤、傳熱管和密封套組成的空間內(nèi)套設(shè)有加熱棒,所述加熱棒與連接導(dǎo)線電連接。

26、螺旋凹槽可以提高傳熱管表面和提純桶體內(nèi)腔的接觸面積,可以達到更好的換熱效果。

27、本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體石英砂高溫高壓提純設(shè)備。具備以下有益效果:

28、一、該半導(dǎo)體石英砂高溫高壓提純設(shè)備,通過螺旋狀排列的加熱件在對其內(nèi)部材料升溫的同時,還可以對其內(nèi)部材料進行攪拌,提高裝置使用效果,提升裝置加熱效率。

29、二、該半導(dǎo)體石英砂高溫高壓提純設(shè)備,通過啟動電機時,提純桶體可以通過齒輪環(huán)與電機輸出端嚙合的作用,達到轉(zhuǎn)動效果。

30、三、該半導(dǎo)體石英砂高溫高壓提純設(shè)備,通過螺旋撥板的設(shè)置可以避免內(nèi)部材料過度撞擊加熱件,從而起到保護加熱件的目的,同時螺旋撥板可以提高對內(nèi)部材料的攪拌效果。

31、四、該半導(dǎo)體石英砂高溫高壓提純設(shè)備,通過工作人員需要入料時,上提拉拔把手使其彈性密封塞脫離入料殼,利用第二漏孔和第一漏孔之間的空氣達到材料入料功能;在不需要入料時,工作人員下壓提拉拉拔把手使其彈性密封塞塞入入料殼,其中密封插塊可以堵住第一漏孔達到關(guān)閉入料的作用。

32、五、該半導(dǎo)體石英砂高溫高壓提純設(shè)備,通過在工作人員需要入料而提拉拉拔把手,彈性密封塞從入料殼拔出時,第一彈簧因為處在拉伸狀態(tài),從而會更快的將內(nèi)置漏料殼上提,使其與限位板相擠壓從而保證在工作人員入料時,材料不會漏入入料殼和內(nèi)置漏料殼間隔處,提高裝置使用壽命,提升裝置入料效果。

33、六、該半導(dǎo)體石英砂高溫高壓提純設(shè)備,通過在入料管入料時,入料的氣體或液體經(jīng)過內(nèi)置管套和第二彈簧,氣體對適配塊和外設(shè)彈性塞擠壓,從而進入提純桶體內(nèi)部。

34、七、該半導(dǎo)體石英砂高溫高壓提純設(shè)備,通過在進氣口和入料管單邊入料時,因為提純桶體內(nèi)部氣壓;因此在進氣口進氣過程中,滑動罩板會因為氣壓原因通過在限位滑槽塊內(nèi)部滑動,從而達到封堵效果,在入料管進氣或液體過程中,內(nèi)凸塞塊會因為氣壓原因封堵進氣口,達到更好的封堵作用,提高裝置密封性。

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