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單晶硅棒出爐及運(yùn)輸裝置的制作方法

文檔序號(hào):11496432閱讀:623來源:國知局
單晶硅棒出爐及運(yùn)輸裝置的制造方法

本實(shí)用新型涉及單晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,具體而言,涉及一種單晶硅棒出爐及運(yùn)輸裝置。



背景技術(shù):

單晶硅棒成品的直徑約190mm、長(zhǎng)度2800mm、重量約180kg。通常的出料方式為人工抬棒,每次取出需5~6人配合,操作不便,單晶硅棒出爐時(shí)溫度較高,約200℃左右,人工出爐存在安全隱患。另外,采取由人工的方式出爐,造成對(duì)單晶硅棒的污染,增加后續(xù)清洗難度,會(huì)影響產(chǎn)品的品質(zhì)。

現(xiàn)有技術(shù)的單晶硅棒的出爐裝置不能進(jìn)行運(yùn)輸,運(yùn)輸裝置不能進(jìn)行出爐,操作不便,影響工作效率。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本實(shí)用新型的目的在于提供一種單晶硅棒出爐及運(yùn)輸裝置,能夠方便地對(duì)單晶硅棒進(jìn)行出爐和運(yùn)輸,提高單晶硅棒的出爐及運(yùn)輸?shù)墓ぷ餍剩苊鈫尉Ч璋粼斐晌廴尽?/p>

本實(shí)用新型是采用以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:

一種單晶硅棒出爐及運(yùn)輸裝置,包括用于固定單晶硅棒的固定架、升降裝置、旋轉(zhuǎn)支架、旋轉(zhuǎn)裝置、車體和控制裝置,升降裝置與固定架連接,固定架滑動(dòng)設(shè)置于旋轉(zhuǎn)支架,旋轉(zhuǎn)支架與旋轉(zhuǎn)裝置轉(zhuǎn)動(dòng)連接,旋轉(zhuǎn)裝置的遠(yuǎn)離旋轉(zhuǎn)支架的一端設(shè)置于車體,旋轉(zhuǎn)支架轉(zhuǎn)動(dòng)連接于車體,升降裝置和旋轉(zhuǎn)裝置均與控制裝置連接。

本實(shí)用新型提供的單晶硅棒出爐及運(yùn)輸裝置的有益效果為:先通過控制裝置控制升降裝置使固定架向下降,然后將單晶硅棒固定在固定架上,通過控制裝置控制升降裝置使固定架向上升,再通過控制裝置控制旋轉(zhuǎn)裝置,使旋轉(zhuǎn)支架旋轉(zhuǎn)至車體上,從而使固定架上的單晶硅棒橫放在車體上,通過啟動(dòng)車體對(duì)單晶硅棒進(jìn)行運(yùn)輸,其能夠方便地對(duì)單晶硅棒進(jìn)行出爐和運(yùn)輸,提高單晶硅棒的出爐及運(yùn)輸?shù)墓ぷ餍?,避免單晶硅棒造成污染?/p>

附圖說明

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例的技術(shù)方案,下面將對(duì)實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹,應(yīng)當(dāng)理解,以下附圖僅示出了本實(shí)用新型的某些實(shí)施例,因此不應(yīng)被看作是對(duì)范圍的限定,對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他相關(guān)的附圖也屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的單晶硅棒出爐及運(yùn)輸裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的單晶硅棒出爐及運(yùn)輸裝置中固定架的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的單晶硅棒出爐及運(yùn)輸裝置的運(yùn)輸狀態(tài)下的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的單晶硅棒出爐及運(yùn)輸裝置中車體的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖標(biāo):100-單晶硅棒出爐及運(yùn)輸裝置;110-固定架;120-升降裝置;130-旋轉(zhuǎn)支架;140-旋轉(zhuǎn)裝置;150-車體;160-人機(jī)交互界面;101-單晶硅棒;111-托板;112-托架;113-防護(hù)罩;114-定位機(jī)構(gòu);115-彈簧鎖扣;151-架體;152-手柄;153-第一橫板;154-第一豎板;155-第二橫板;156-第二豎板;157-固定車輪;158-轉(zhuǎn)向車輪;159-定位塊;161-限位件。

具體實(shí)施方式

為使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚,下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖,對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例。通常在此處附圖中描述和示出的本實(shí)用新型實(shí)施例的組件可以以各種不同的配置來布置和設(shè)計(jì)。因此,以下對(duì)在附圖中提供的本實(shí)用新型的實(shí)施例的詳細(xì)描述并非旨在限制要求保護(hù)的本實(shí)用新型的范圍,而是僅僅表示本實(shí)用新型的選定實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

在本實(shí)用新型的描述中,需要說明的是,術(shù)語“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系,或者是該實(shí)用新型產(chǎn)品使用時(shí)慣常擺放的方位或位置關(guān)系,僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述,而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作,因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。此外,術(shù)語“第一”、“第二”等僅用于區(qū)分描述,而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性。

在本實(shí)用新型的描述中,還需要說明的是,除非另有明確的規(guī)定和限定,術(shù)語“設(shè)置”、“連接”應(yīng)做廣義理解,例如,可以是固定連接,也可以是可拆卸連接,或一體地連接;可以是機(jī)械連接,也可以是電連接;可以是直接連接,也可以通過中間媒介間接連接,可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言,可以具體情況理解上述術(shù)語在本實(shí)用新型中的具體含義。

應(yīng)注意到:相似的標(biāo)號(hào)和字母在下面的附圖中表示類似項(xiàng),因此,一旦某一項(xiàng)在一個(gè)附圖中被定義,則在隨后的附圖中不需要對(duì)其進(jìn)行進(jìn)一步定義和解釋。

實(shí)施例

圖1為本實(shí)施例提供的單晶硅棒出爐及運(yùn)輸裝置100的結(jié)構(gòu)示意圖。請(qǐng)參閱圖1,本實(shí)施例中,單晶硅棒出爐及運(yùn)輸裝置100包括用于固定單晶硅棒101的固定架110、升降裝置120、旋轉(zhuǎn)支架130、旋轉(zhuǎn)裝置140、車體150、控制裝置(圖未示)和人機(jī)交互界面160。

升降裝置120與固定架110連接,固定架110滑動(dòng)設(shè)置于旋轉(zhuǎn)支架130,升降裝置120與控制裝置連接,在單晶硅棒101進(jìn)行出爐的時(shí)候,單晶硅棒101掛在單晶爐的蓋體上,單晶硅棒101豎直放置,通過控制裝置控制升降裝置120使固定架110上下移動(dòng),調(diào)整好位置后,將單晶硅棒101的下端固定在固定架110上,再通過控制裝置控制升降裝置120使固定架110高度合適,使單晶硅棒101完全固定在固定架110上。

優(yōu)選地,升降裝置120為升降液壓缸,其動(dòng)力較大,使用方便。升降液壓缸的兩端通過固定鉸鏈固定在旋轉(zhuǎn)支架130上并控制固定架110的升降。同時(shí),旋轉(zhuǎn)支架130上還設(shè)置了兩個(gè)限位開關(guān),限定升降液壓缸的升降距離,避免固定架110發(fā)生損壞,安全可靠。

圖2為本實(shí)施例提供的固定架110的結(jié)構(gòu)示意圖。請(qǐng)一并參閱圖1和圖2,本實(shí)施例中,固定架110包括托板111、托架112和防護(hù)罩113,托板111的一端與托架112的端部連接,另一端朝向遠(yuǎn)離托架112的方向延伸,防護(hù)罩113安裝于托架112,托架112滑動(dòng)設(shè)置于旋轉(zhuǎn)支架130。在單晶硅棒101出爐的時(shí)候,托板111橫向設(shè)置,托架112、防護(hù)罩113和旋轉(zhuǎn)支架130均豎向設(shè)置,在固定單晶硅棒101的時(shí)候,可以取下防護(hù)罩113使單晶硅棒101的下端放置在托板111上,再裝上防護(hù)罩113,托架112通過滑動(dòng)導(dǎo)軌滑動(dòng)設(shè)置在旋轉(zhuǎn)支架130上,調(diào)節(jié)單晶硅棒101的高度。設(shè)置防護(hù)罩113的可以避免工作人員接觸單晶硅棒101,避免工作人員燙傷,也避免單晶硅棒101發(fā)生破裂或工作人員與其接觸造成單晶硅棒101的二次污染。本實(shí)施例中,防護(hù)罩113可以快速安裝或取下,操作更加方便。

優(yōu)選地,托板111的朝向托架112的一面設(shè)置有定位機(jī)構(gòu)114,即在單晶硅棒101出爐的時(shí)候,托板111的上表面設(shè)置有定位機(jī)構(gòu)114,將單晶硅棒101放置在定位機(jī)構(gòu)114上,避免單晶硅棒101的固定發(fā)生偏差,使單晶硅棒101的固定更加牢固,避免發(fā)生損壞。

優(yōu)選地,托板111與托架112垂直,即托板111與防護(hù)罩113的軸線垂直,單晶硅棒101的下端面能夠完全與托板111接觸,并進(jìn)行豎直放置,使單晶硅棒101的固定效果更好,不易造成損壞。

托架112上設(shè)置有彈簧鎖扣115,當(dāng)單晶硅棒101設(shè)置在托板111上的時(shí)候,彈簧鎖扣115將單晶硅棒101進(jìn)行牢牢固定在托架112上,進(jìn)一步提高單晶硅棒101的固定效果。

圖3位本實(shí)施例提供的單晶硅棒出爐及運(yùn)輸裝置100的運(yùn)輸狀態(tài)下的結(jié)構(gòu)示意圖。請(qǐng)繼續(xù)一并參閱圖1和圖3,本實(shí)施例中,旋轉(zhuǎn)支架130與旋轉(zhuǎn)裝置140轉(zhuǎn)動(dòng)連接,旋轉(zhuǎn)裝置140的遠(yuǎn)離旋轉(zhuǎn)支架130的一端設(shè)置于車體150,旋轉(zhuǎn)支架130轉(zhuǎn)動(dòng)連接于車體150,旋轉(zhuǎn)裝置140與控制裝置連接。在單晶硅棒101出爐以后,通過控制裝置控制旋轉(zhuǎn)裝置140使旋轉(zhuǎn)支架130發(fā)生旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)支架130由豎向設(shè)置變成橫向設(shè)置,則旋轉(zhuǎn)支架130橫向設(shè)置在車體150上,從而使固定架110上的單晶硅棒101橫放在車體150上,通過啟動(dòng)車體150對(duì)單晶硅棒101進(jìn)行運(yùn)輸。運(yùn)輸?shù)臅r(shí)候單晶硅棒101橫向設(shè)置,單晶硅棒101的重心低,運(yùn)輸更加方便。

優(yōu)選地,旋轉(zhuǎn)裝置140為旋轉(zhuǎn)液壓缸,其動(dòng)力較大,使用方便。旋轉(zhuǎn)液壓缸的一端與旋轉(zhuǎn)支架130轉(zhuǎn)動(dòng)連接,另一端與轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置于車體150,更加方便旋轉(zhuǎn)支架130的旋轉(zhuǎn)。

圖4為本實(shí)施例提供的車體150的結(jié)構(gòu)示意圖。一并參閱圖1和圖4,本實(shí)施例中,車體150包括架體151和手柄152,架體151與旋轉(zhuǎn)支架130轉(zhuǎn)動(dòng)連接,手柄152設(shè)置于架體151,旋轉(zhuǎn)液壓缸的一端與旋轉(zhuǎn)支架130轉(zhuǎn)動(dòng)連接,另一端與架體151連接。通過手柄152控制架體151的運(yùn)動(dòng)和轉(zhuǎn)向,方便單晶硅棒101的運(yùn)輸。

架體151包括依次首尾連接的第一橫板153、第一豎板154、第二橫板155和第二豎板156,第一橫板153與第二橫板155平行間隔設(shè)置且第一橫板153位于第二橫板155的上方,第一豎板154與第二豎板156平行間隔設(shè)置,使其形成一個(gè)支撐框架,并且,第一豎板154上設(shè)置有平衡裝置,可以保證車體150的平衡,避免在運(yùn)輸或取出單晶硅棒101的過程中發(fā)生側(cè)翻。

手柄152設(shè)置于第一橫板153與第一豎板154的連接處,用于控制車體150的運(yùn)動(dòng)方向,第二橫板155的兩端分別設(shè)置固定車輪157和轉(zhuǎn)向車輪158,即第二橫板155的靠近第二豎板156的一端的兩側(cè)設(shè)置兩個(gè)固定車輪157,第二橫板155的遠(yuǎn)離第二豎板156的一端的兩側(cè)設(shè)置兩個(gè)轉(zhuǎn)向車輪158,使車體150保持穩(wěn)定性,并使車體150能夠穩(wěn)定轉(zhuǎn)向。

旋轉(zhuǎn)液壓缸的一端與旋轉(zhuǎn)支架130轉(zhuǎn)動(dòng)連接,另一端與第一豎板154和第二橫板155的連接處連接,第一橫板153與第二豎板156的連接處與旋轉(zhuǎn)支架130轉(zhuǎn)動(dòng)連接。使豎向設(shè)置的旋轉(zhuǎn)支架130在旋轉(zhuǎn)液壓缸的作用下橫向設(shè)置在第一橫板153上。

本實(shí)施例中,旋轉(zhuǎn)支架130與第一橫板153和第二豎板156的連接處通過轉(zhuǎn)動(dòng)鉸鏈連接,旋轉(zhuǎn)液壓缸與旋轉(zhuǎn)支架130也通過轉(zhuǎn)動(dòng)鉸鏈連接,使旋轉(zhuǎn)支架130與車體150和旋轉(zhuǎn)液壓缸的連接更加牢固,同時(shí),也方便旋轉(zhuǎn)支架130從豎直設(shè)置轉(zhuǎn)動(dòng)為水平設(shè)置,從而方便單晶硅棒101的運(yùn)輸。

第一橫板153的遠(yuǎn)離第二豎板156的一端的上表面設(shè)置有定位塊159,設(shè)置定位塊159,使旋轉(zhuǎn)支架130轉(zhuǎn)至定位塊159處,從而使旋轉(zhuǎn)支架130上的單晶硅棒101平穩(wěn)地放置在車體150上,避免車體150發(fā)生側(cè)翻。

第二豎板156與第二橫板155的連接處設(shè)置有限位件161。限位件161的一端與第二豎板156與第二橫板155的連接處連接,另一端朝向旋轉(zhuǎn)支架130的方向延伸,可以限制旋轉(zhuǎn)支架130的偏移,在旋轉(zhuǎn)支架130的遠(yuǎn)離車體150的一端朝向遠(yuǎn)離車體150的方向旋轉(zhuǎn)的時(shí)候,當(dāng)旋轉(zhuǎn)支架130豎向設(shè)置的時(shí)候即與限位件161抵靠,避免旋轉(zhuǎn)支架130旋轉(zhuǎn)過多而發(fā)生偏移。

本實(shí)施例中,升降液壓缸和旋轉(zhuǎn)液壓缸的動(dòng)力均來自于電動(dòng)機(jī),其液壓油通過郵箱提供,使升降液壓缸和旋轉(zhuǎn)液壓缸順利工作。

人機(jī)交互界面160與控制裝置電連接,操作人員通過操作人機(jī)交互界面160,控制控制裝置,從而控制升降液壓缸和旋轉(zhuǎn)液壓缸的工作狀態(tài),達(dá)到對(duì)單晶爐內(nèi)的單晶硅棒101進(jìn)行出爐和運(yùn)輸?shù)淖饔?,提高工作效率,降低工作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度,減少成本的消耗。

本實(shí)用新型提供的單晶硅棒出爐及運(yùn)輸裝置100的原理為:操作人員操作人機(jī)交互界面160,使控制裝置控制升降液壓缸使托架112相對(duì)于旋轉(zhuǎn)支架130在旋轉(zhuǎn)支架130的滑動(dòng)導(dǎo)軌上向下滑動(dòng),調(diào)整單晶硅棒101與托板111的位置,使單晶硅棒101的下端放置在托板111上的定位機(jī)構(gòu)114處,通過彈簧鎖扣115將單晶硅棒101固定在托架112上,安裝好防護(hù)罩113,操作人機(jī)交互界面160,使控制裝置控制升降液壓缸使托架112相對(duì)于旋轉(zhuǎn)支架130在旋轉(zhuǎn)支架130的活動(dòng)導(dǎo)軌上向上滑動(dòng),此時(shí),旋轉(zhuǎn)支架130豎向設(shè)置。操作人機(jī)交互界面160,使控制裝置控制旋轉(zhuǎn)液壓缸,使旋轉(zhuǎn)支架130旋轉(zhuǎn)放置至第一橫板153上,從而使單晶硅棒101橫放在車體150上,通過啟動(dòng)車體150對(duì)單晶硅棒101進(jìn)行運(yùn)輸,同時(shí)還可以操作手柄152,調(diào)節(jié)車體150的運(yùn)輸方向,其能夠方便地對(duì)單晶硅棒101進(jìn)行出爐和運(yùn)輸,提高單晶硅棒101的出爐及運(yùn)輸?shù)墓ぷ餍?,降低工作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度,避免單晶硅棒101造成污染。同時(shí),使用該單晶硅棒出爐及運(yùn)輸裝置100進(jìn)行出爐,可以在單晶硅棒101較高溫度的情況下直接出爐,提高單晶爐的利用率。其升降和旋轉(zhuǎn)均由液壓缸控制,安全可靠。

以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已,并不用于限制本實(shí)用新型,對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說,本實(shí)用新型可以有各種更改和變化。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。

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