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一種藍寶石泡生法長晶加熱功率控制裝置的制作方法

文檔序號:11311393閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種藍寶石泡生法長晶加熱功率控制裝置,其特征在于:由計算機、晶體重量量測設備、功率量測監(jiān)控儀、系統(tǒng)變壓器、長晶爐SCR、二次側負載端加熱器、PPi及ST2組成;供電端依次連接系統(tǒng)變壓器、長晶爐SCR與二次側負載端加熱器并供電;用于量測和回饋加熱器功率數(shù)值的功率量測監(jiān)控儀連接在二次側負載端加熱器和計算機之間;用于量測和回饋加熱器電壓數(shù)值的PPi連接在二次側負載端加熱器和計算機之間;晶體重量量測設備也與計算機連接;計算機依次通過PPi和ST2與長晶爐SCR連接,并控制長晶爐SCR的開度、電壓的大小及生長功率。

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