技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開了一種單晶爐熱場加熱系統(tǒng)，包保溫罩、爐底護(hù)盤、石墨加熱器、石墨坩堝、石英坩堝、坩堝托盤和堝桿，每個石墨加熱器的水平電極連接板的下表面設(shè)置有與石墨電極上端形狀相匹配的石墨電極安裝槽，石墨電極包括石墨凸臺和石墨柱體，石墨凸臺的直徑大于石墨柱體的直徑，石墨電極的外部套設(shè)有筒狀的石英護(hù)套，筒狀的石英護(hù)套的上端向外部延伸形成的圓錐臺狀的第一導(dǎo)流部，石英護(hù)套的外部套設(shè)有筒狀的電極護(hù)套，筒狀的電極護(hù)套的上端向內(nèi)部延伸形成的圓錐臺狀的第二導(dǎo)流部；本實用新型能夠有效避免從石英坩堝內(nèi)漏出的液態(tài)硅對單晶爐內(nèi)部件造成損壞，同時保證石墨電極與石墨加熱器的有效穩(wěn)定連接。

技術(shù)研發(fā)人員：楊向東;李玉平;侯利偉;李曉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：新鄉(xiāng)市神舟晶體科技發(fā)展有限公司
文檔號碼：201720026912
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.11
技術(shù)公布日：2017.08.11