技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的課題在于使用經(jīng)大直徑化的結(jié)晶生長用基板制造優(yōu)質(zhì)的氮化物結(jié)晶基板。解決方法具有：準備結(jié)晶生長用基板的第1工序，所述結(jié)晶生長用基板具備按照主面相互平行、側(cè)面相互抵接的方式配置成平面狀的包含氮化物結(jié)晶的多個晶種基板，從多個晶種基板之中任意選擇的鄰接的晶種基板間的晶格常數(shù)之差為以內(nèi)；和在結(jié)晶生長用基板所具有的基底面上使結(jié)晶膜生長的第2工序。

技術(shù)研發(fā)人員：森勇介;吉村政志;今出完;今西正幸;柴田真佐知;吉田丈洋
受保護的技術(shù)使用者：國立大學法人大阪大學;株式會社賽奧科思;住友化學株式會社
技術(shù)研發(fā)日：2017.04.06
技術(shù)公布日：2017.11.10