技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型涉及一種砷化鎵晶圓用除氧托盤。該砷化鎵晶圓用除氧托盤包括底座和定位組件；底座開設(shè)有貫通底座且用于安裝砷化鎵晶圓的安裝孔，安裝孔的側(cè)壁上設(shè)有限位凸起；定位組件能夠與底座固定連接，且定位組件與限位凸起能夠分別與砷化鎵晶圓的相對的兩個表面的邊緣相抵接而夾持固定砷化鎵晶圓。上述砷化鎵晶圓用除氧托盤能夠簡化砷化鎵晶圓的除氧工藝的操作、提高除氧效率且能夠較為穩(wěn)固地固定砷化鎵晶圓。

技術(shù)研發(fā)人員：王干;趙玉華
受保護(hù)的技術(shù)使用者：南方科技大學(xué)
文檔號碼：201621336680
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.07
技術(shù)公布日：2017.08.01