本實(shí)用新型屬于單晶硅生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種直拉法單晶爐用排氣管道清洗裝置。

背景技術(shù)：

直拉法生產(chǎn)硅單晶工藝中，簡(jiǎn)要過(guò)程是先將原料裝入單晶爐爐內(nèi)的石英坩堝中，將爐體密閉后通入保護(hù)氣，通過(guò)加熱器將料塊加熱至1400℃左右熔化，經(jīng)過(guò)引晶、放肩、轉(zhuǎn)肩、等徑、收尾等操作，完成拉晶過(guò)程，最后關(guān)閉加熱器停爐冷卻。

在單晶拉制過(guò)程中，不僅要保證獲得完整的無(wú)位錯(cuò)硅單晶錠，同時(shí)在單晶生長(zhǎng)過(guò)程中還要嚴(yán)格控制生長(zhǎng)的單晶的性能參數(shù)，如單晶直徑尺寸，晶向，導(dǎo)電型號(hào)，電阻率，徑向電阻率均勻性，氧、碳含量以及微缺陷密度等，以滿足器件的要求。單晶爐內(nèi)的熱場(chǎng)配置，坩堝內(nèi)熔體和氣體流動(dòng)狀態(tài)的控制以及晶體轉(zhuǎn)數(shù)，坩堝轉(zhuǎn)數(shù)，晶體生長(zhǎng)速度，氣體流量和爐室壓力等工藝參數(shù)的選擇對(duì)單晶質(zhì)量參數(shù)有著極為重要的影響。其中單晶爐真空系統(tǒng)是由一臺(tái)機(jī)械泵對(duì)爐體進(jìn)行抽真空，通過(guò)一定的氬氣流速使?fàn)t體內(nèi)部壓力達(dá)到設(shè)定值。隨著工藝變更，直拉法生產(chǎn)硅單晶進(jìn)行連續(xù)拉晶工藝，單爐運(yùn)行時(shí)間變長(zhǎng)，這樣會(huì)使得單晶爐排氣管道揮發(fā)物不斷沉積，直至將排氣管道堵死，導(dǎo)致單晶爐爐內(nèi)壓強(qiáng)高于設(shè)定值，造成單晶硅生產(chǎn)困難的同時(shí)還會(huì)使得單晶質(zhì)量下降。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種直拉法單晶爐用排氣管道清洗裝置，解決了現(xiàn)有的單晶爐排氣管道無(wú)法在拉晶過(guò)程中清理管道內(nèi)沉積的揮發(fā)物的問(wèn)題。

本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是：一種直拉法單晶爐用排氣管道清洗裝置，包括連接板，連接板的一側(cè)固定有伸縮管，伸縮管的另一端密封，伸縮管內(nèi)固定有連桿，連桿穿過(guò)伸縮管和連接板后連接有管道刷。

本實(shí)用新型的特點(diǎn)還在于，

伸縮管的一端通過(guò)堵頭密封，連桿與堵頭相連且兩者之間通過(guò)密封圈進(jìn)行密封。

連接板上沿伸縮管方向固定有管托，管托用于支撐伸縮管。

連接板為盲板。

伸縮管為波紋管。

本實(shí)用新型的有益效果是：本實(shí)用新型的一種直拉法單晶爐用排氣管道清洗裝置解決了現(xiàn)有的單晶爐排氣管道無(wú)法在拉晶過(guò)程中清理管道內(nèi)沉積的揮發(fā)物的問(wèn)題。本實(shí)用新型的一種直拉法單晶爐用排氣管道清洗裝置將排氣管道密封，通過(guò)拉伸和壓縮伸縮管帶動(dòng)排氣管道內(nèi)的管道刷清理排氣管道內(nèi)沉積的揮發(fā)物，其可以在單晶爐運(yùn)行過(guò)程中進(jìn)行清理，而且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，避免了因改造單晶爐產(chǎn)生的高額費(fèi)用。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型的一種直拉法單晶爐用排氣管道清洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中，1.管道刷，2.連桿，3.連接板，4.伸縮管，5.堵頭，6.管托，7.排氣管道。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。

本實(shí)用新型提供的一種直拉法單晶爐用排氣管道清洗裝置的結(jié)構(gòu)如圖1所示，包括連接板3，連接板3的一側(cè)固定有伸縮管4，伸縮管4的另一端密封，伸縮管4內(nèi)固定有連桿2，連桿2穿過(guò)伸縮管4和連接板3后連接有管道刷1，管道刷1與排氣管道7的內(nèi)壁相接觸。

伸縮管4的一端通過(guò)堵頭5密封，連桿2與堵頭5相連且兩者之間通過(guò)密封圈進(jìn)行密封。

連接板3上沿伸縮管4方向固定有管托6，管托6用于支撐伸縮管4。

連接板3為盲板。

事例性的，伸縮管4可以為波紋管。

本實(shí)用新型的波紋管為可伸縮活動(dòng)體，利用盲板可使本實(shí)用新型的一種直拉法單晶爐用排氣管道清洗裝置安裝固定在單晶爐排氣管道7上，并起到密封作用，波紋管一端固定在盲板上并且密封，波紋管另一端通過(guò)波紋管堵頭密封，波紋管內(nèi)設(shè)置有連桿2，連桿2的一端與波紋管堵頭相連且通過(guò)橡膠O圈密封，連桿2的另一端依次穿過(guò)波紋管、盲板后通過(guò)螺紋與管道刷1相連，管道刷1用于清理管單晶爐排氣管道7內(nèi)沉積的揮發(fā)物。管道刷1為不銹鋼材質(zhì)，為圓筒狀，中間鏤空。盲板位于波紋管的一側(cè)固定有管托6，管托6用于支撐波紋管，防止波紋管在使用過(guò)程中因變形導(dǎo)致的破裂而使得單晶爐漏氣。

盲板安裝在單晶爐體排氣管道7一端出口，排氣管道7與盲板之間用橡膠O圈密封，盲板使用軟扣固定在單晶爐臺(tái)排氣管道7上面。

進(jìn)一步地，波紋管與盲板使用氬弧焊焊接進(jìn)行密封。

進(jìn)一步地，波紋管另一端與波紋管堵頭使用氬弧焊焊接進(jìn)行密封。

進(jìn)一步地，管托6可以為不銹鋼材質(zhì)，將其焊接在盲板上面，用于支撐波紋管，防止波紋管在單晶爐內(nèi)處于大氣壓力時(shí)發(fā)生變形，造成波紋管破裂導(dǎo)致單晶爐臺(tái)漏氣。

單晶爐的下?tīng)t筒上設(shè)置有排氣孔，排氣孔與排氣管道7相連，排氣管道具有多個(gè)開(kāi)口端，在任一開(kāi)口端將盲板與開(kāi)口端使用軟扣連接并通過(guò)橡膠O圈密封，使用時(shí)，通過(guò)壓縮和拉伸波紋管，帶動(dòng)其內(nèi)固定的連桿2帶動(dòng)管道刷1來(lái)回抽動(dòng)實(shí)現(xiàn)清理排氣管道7的目的。