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直拉法生產(chǎn)單晶硅用整塊邊皮復(fù)拉料加料裝置的制作方法

文檔序號(hào):12183671閱讀:886來源:國知局
直拉法生產(chǎn)單晶硅用整塊邊皮復(fù)拉料加料裝置的制作方法

本實(shí)用新型屬于單晶硅生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種直拉法生產(chǎn)單晶硅用整塊邊皮復(fù)拉料加料裝置。



背景技術(shù):

為了節(jié)約直拉法生產(chǎn)單晶硅成本,單晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域一般采用多次加料拉制多根的方式,現(xiàn)大多使用長度為1米、直徑為200毫米的加料器,將單晶棒切方后產(chǎn)生的邊皮料進(jìn)行破碎、清洗后裝入加料器中,通過直拉法單晶爐副室隔離、副室凈化的方式加入石英坩堝內(nèi)。而在對單晶棒切方后產(chǎn)生的邊皮料破碎清洗及裝入加料器過程中會(huì)造成邊皮復(fù)拉料多次污染,而且在將復(fù)拉料加入坩堝內(nèi)的過程中容易造成濺硅,影響成晶及單晶品質(zhì)。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本實(shí)用新型的目的在于提供一種直拉法生產(chǎn)單晶硅用整塊邊皮復(fù)拉料加料裝置,克服了現(xiàn)有的加料過程中存在的原料污染及容易濺硅的缺點(diǎn)。

本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是:直拉法生產(chǎn)單晶硅用整塊邊皮復(fù)拉料加料裝置,包括掛件、連接桿上部開孔的邊皮復(fù)拉料A,掛件的上部通過穿過掛件的銷釘與單晶爐上軸鋼絲繩相連,連接桿穿過邊皮復(fù)拉料A的孔將其懸掛于掛件。

本實(shí)用新型的特點(diǎn)還在于,

還包括連接硅棒和至少一塊邊皮復(fù)拉料B,邊皮復(fù)拉料A的下部也開有孔,至少一塊邊皮復(fù)拉料B的上部和下部都開有孔,連接硅棒穿過孔將所述邊皮復(fù)拉料A和至少一塊邊皮復(fù)拉料B首尾相連懸掛。

銷釘為鉬銷釘,掛件為不銹鋼掛件,連接桿為鉬連接桿,連接硅棒為單晶硅棒。

本實(shí)用新型的有益效果是:本實(shí)用新型的直拉法生產(chǎn)單晶硅用整塊邊皮復(fù)拉料加料裝置克服了現(xiàn)有的加料過程中存在的原料污染及容易濺硅的缺點(diǎn)。本實(shí)用新型的直拉法生產(chǎn)單晶硅用整塊邊皮復(fù)拉料加料裝置將單晶棒切片后產(chǎn)生的多塊邊皮復(fù)拉料收尾不經(jīng)過破碎、清洗工序,而且將其收尾相連懸掛連接后,利用單晶爐上軸鋼絲繩和掛件將上述邊皮復(fù)拉料緩慢投入石英坩堝的熔硅中,不但避免了拉晶原料的二次污染,而且投料過程輕柔緩慢,避免了濺硅,從而提高了成晶率和單晶品質(zhì)。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的直拉法生產(chǎn)單晶硅用整塊邊皮復(fù)拉料加料裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2是本實(shí)用新型的直拉法生產(chǎn)單晶硅用整塊邊皮復(fù)拉料加料裝置的結(jié)構(gòu)剖視圖;

圖3是本實(shí)用新型的直拉法生產(chǎn)單晶硅用整塊邊皮復(fù)拉料加料裝置連接邊皮復(fù)拉料的狀態(tài)剖視圖;

圖4是本實(shí)用新型的直拉法生產(chǎn)單晶硅用整塊邊皮復(fù)拉料加料裝置安裝于單晶爐中的使用狀態(tài)圖。

圖中,1.銷釘,2.掛件,3.連接桿,4.邊皮復(fù)拉料A,5.邊皮復(fù)拉料B,6.連接硅棒,7.單晶爐上軸鋼絲繩,8.單晶爐,9.石英坩堝,10.加熱器。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說明。

本實(shí)用新型提供的直拉法生產(chǎn)單晶硅用整塊邊皮復(fù)拉料加料裝置如圖1和圖2所示,包括掛件2、連接桿3上部開孔的邊皮復(fù)拉料A4,掛件2 的上部通過穿過掛件2的銷釘1與單晶爐上軸鋼絲繩7相連,連接桿3穿過邊皮復(fù)拉料A4的孔將其懸掛于掛件2。

如圖3所示,本實(shí)用新型的直拉法生產(chǎn)單晶硅用整塊邊皮復(fù)拉料加料裝置還包括連接硅棒6和至少一塊邊皮復(fù)拉料B5,邊皮復(fù)拉料A4的下部也開有孔,至少一塊邊皮復(fù)拉料B5的上部和下部都開有孔,連接硅棒6穿過孔將邊皮復(fù)拉料A4和至少一塊邊皮復(fù)拉料B5首尾相連懸掛。

事例性的,銷釘1為鉬銷釘,其作用為連接掛件2和單晶爐上軸鋼絲繩7;掛件2為不銹鋼掛件,其上端連接單晶硅爐上軸鋼絲繩7,下端連接懸掛單晶棒切方后產(chǎn)生的多塊邊皮復(fù)拉料;連接桿3為鉬連接桿,其作用為連接單晶棒切方后產(chǎn)生的邊皮復(fù)拉料A和掛件2,連接硅棒6為單晶硅棒,其作用為單晶棒切方后產(chǎn)生的多塊邊皮復(fù)拉料首尾之間的連接。顯而易見,邊皮復(fù)拉料A和邊皮復(fù)拉料B的結(jié)構(gòu)相同,只是邊皮復(fù)拉料A通過連接桿3懸掛于掛件,邊皮復(fù)拉料A的下部開孔和邊皮復(fù)拉料B的上部開孔通過連接硅棒6相連,多塊邊皮復(fù)拉料B上的開孔也通過連接硅棒6首尾相連懸掛。

本實(shí)用新型的直拉法生產(chǎn)單晶硅用整塊邊皮復(fù)拉料加料裝置安裝于單晶爐中的使用狀態(tài)如圖4所示,實(shí)際組裝時(shí),將銷釘1連接單晶爐上軸鋼絲繩7,然后將兩塊邊皮復(fù)拉料A通過連接桿3并排掛在掛件2中間,進(jìn)一步將兩塊邊皮復(fù)拉料B5通過連接硅棒6與邊皮復(fù)拉料A下端的孔并排連接,進(jìn)一步將四塊邊皮復(fù)拉料B5通過連接硅棒6與上述兩塊邊皮復(fù)拉料B5下端的孔連接,具體地,位于上方的每塊邊皮復(fù)拉料B5的下部兩側(cè)各連接一塊下方的邊皮復(fù)拉料B5上部;單晶爐8包括設(shè)置于其內(nèi)的加熱器10和石英坩堝9,將組裝好的直拉法生產(chǎn)單晶硅用整塊邊皮復(fù)拉料加料裝置緩慢下降,將多塊整體的邊皮復(fù)拉料加入到石英坩堝9的熔硅中,直至 掛件2接近熔硅液面則拔掉連接桿2使最后剩余的邊皮復(fù)拉料A也滑入熔硅則完成加料工作。

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