本發(fā)明涉及一種在基板上形成劃片線以便切割基板的劃片設(shè)備。
背景技術(shù)：
：：一般而言，用于平板顯示器的液晶顯示面板、有機電致發(fā)光面板、無機電致發(fā)光面板、透射投影基板、反射投影基板等是通過使用單元玻璃面板(下文中，稱為“單元基板”)制造，單元玻璃面板是通過將脆性母體玻璃面板(下文中，稱為“基板”)切割成預定尺寸而制成。切割基板的處理(工藝)包括：劃片處理，通過用預定按壓力將由諸如金剛石的硬質(zhì)材料制成的劃片輪壓在基板上，并沿著預定切割線(基板將沿著該預定切割線進行切割)移動該劃片輪來形成劃片線；以及裂片處理，通過沿著該劃片線按壓基板來切割基板以便獲得單元基板。在相關(guān)技術(shù)中的劃片設(shè)備的情況下，用于供應基板的裝置、用于對齊供應的基板的裝置、用于將對齊的基板運送到劃片處理的裝置、以及用于執(zhí)行劃片處理的裝置水平地布置成一行，其結(jié)果是，存在需要較大空間來安裝這些裝置，以及因此執(zhí)行劃片處理所需的成本增加的問題。此外，如圖1中所示，在相關(guān)技術(shù)中的劃片設(shè)備的情況下，基板s被放置在工作臺200上，多個按壓構(gòu)件300物理推壓基板s的橫向側(cè)，從而對準基板s。其結(jié)果是存在這樣的問題，當基板被按壓構(gòu)件300推壓和移動(和/或旋轉(zhuǎn))時，會對基板s的與工作臺200接觸的表面引起諸如刮擦的損壞。技術(shù)實現(xiàn)要素：本發(fā)明旨在提供一種劃片設(shè)備，其能夠防止在對準基板的處理中對基板的損壞。本發(fā)明還旨在提供一種劃片設(shè)備，其能夠減少運送和對準基板所需的時間和空間。本發(fā)明的示例性實施例提供了一種劃片設(shè)備，包括：基板支撐單元，其支撐由基板供應單元供應的基板，并形成供基板通過的開口；裝載臺，其設(shè)置在基板支撐單元之下；劃片單元，其設(shè)置在裝載臺的一側(cè)并在基板上形成劃片線；基板運送單元，其將放置在裝載臺上的基板運送到劃片單元；基板傳遞單元，其包括以非接觸方式支撐基板的至少一個抽吸頭，并將基板從基板支撐單元傳遞到裝載臺；以及定位單元，其通過按壓由基板傳遞單元以非接觸方式支撐的基板的側(cè)表面來定位和對準基板。根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的劃片設(shè)備，在基板與抽吸頭不接觸的狀態(tài)下，基板可被基板傳遞單元的非接觸式抽吸頭支撐，其結(jié)果是，在支撐和運送基板的處理中能夠防止對基板的諸如刮傷的損壞。根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的劃片設(shè)備，基板支撐單元和裝載臺被設(shè)置在相同的豎直線上，且基板傳遞單元可將基板直接傳遞到裝載臺，其結(jié)果是，能夠減少運送基板和調(diào)整基板的位置所需的時間，并提高劃片設(shè)備的空間利用率。附圖說明圖1是示意性示出相關(guān)技術(shù)中的用于對準基板的設(shè)備的側(cè)視圖。圖2是示意性示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的劃片設(shè)備的側(cè)視圖。圖3是示意性示出圖2中所示的劃片設(shè)備的俯視圖。圖4和圖5是示意性示出圖2中所示的劃片設(shè)備的基板支撐單元的俯視圖。圖6和圖7是示意性示出位置調(diào)整單元的視圖，該位置調(diào)整單元被設(shè)置在圖2中所示的劃片設(shè)備的基板傳遞單元中。圖8到圖10是用于說明圖6和圖7中所示的位置調(diào)整單元的操作的示意圖。圖11是示意性示出抽吸頭的剖視圖，該抽吸頭被設(shè)置在圖2中所示的設(shè)置于劃片設(shè)備中的基板傳遞單元上。圖12到圖15是用于說明圖2中所示的劃片設(shè)備的操作的示意圖。圖16是示意性示出根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實施例的劃片設(shè)備的側(cè)視圖。圖17是示意性示出圖16中所示的劃片設(shè)備的定位單元的俯視圖。圖18到圖20是用于說明圖16中所示的劃片設(shè)備的操作的示意圖。具體實施方式在下文中，將參照附圖描述根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的劃片設(shè)備。如圖2和圖3所示，根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的劃片設(shè)備包括：基板供應單元10，其從外部供應基板s；基板支撐單元20，由基板供應單元10供應的基板s被支撐在基板支撐單元20上；裝載臺30，其設(shè)置在基板支撐單元20之下；劃片單元50，其設(shè)置在裝載臺30的一側(cè)并在基板s上形成劃片線；基板運送單元60，其將放置在裝載臺30上的基板s運送到劃片單元50；以及基板傳遞單元70，其將基板s從基板支撐單元20傳遞到裝載臺30。作為示例，如圖2中所示，基板供應單元10可包括多個運送帶或運送輥，使得基板s通過帶或輥的旋轉(zhuǎn)被供應到基板支撐單元20。作為另一示例，基板供應單元10可被構(gòu)造成，通過夾持或真空抽吸來保持基板s，且隨后將基板s供應到基板支撐單元20。作為示例，如圖2到圖5所示，基板支撐單元20可包括多條運送帶22。作為另一示例，基板支撐單元20可包括多個輥，或者包括向基板s噴射空氣以便浮起基板s的多個氣動工作臺(airtable，空氣臺)?；逯螁卧?0可形成供基板s穿過的開口21，使得基板傳遞單元70可通過開口21將基板s傳遞到裝載臺30。為此，如圖5所示，基板支撐單元20的多條帶22可構(gòu)造成沿著軸23、在垂直于基板s被運送的方向(x軸方向)的方向(y軸方向)上移動。為了沿y軸方向移動所述多條帶22，線性運動機構(gòu)24(比如通過氣壓或液壓操作的致動器、通過電磁相互作用操作的線性電機、或滾珠絲杠機構(gòu))可通過軸23連接到所述多條帶22。裝載臺30和基板支撐單元20可被設(shè)置在相同的豎直線上。因此，基板傳遞單元70可通過從基板支撐單元20向下移動來將基板s直接地傳遞到裝載臺30。裝載臺30提供一個區(qū)域，基板s在該區(qū)域被裝載到劃片單元50。同時，卸載臺40可被設(shè)置在裝載臺30的基于劃片單元50的相對側(cè)，該卸載臺40提供一個區(qū)域，具有由劃片單元50形成的劃片線的基板s在該區(qū)域從劃片單元50被卸載。裝載臺30和卸載臺40可分別包括多條帶32、42。所述多條帶32、42可沿y軸方向被彼此隔開。每條帶32或42均由多個輥33或43支撐，且所述多個輥33或43中的至少一個輥可以是驅(qū)動輥，該驅(qū)動輥提供驅(qū)動力以使每條帶32或42旋轉(zhuǎn)。劃片單元50可包括：框架51，其沿y軸方向延伸；以及劃片頭52，其安裝在框架51上從而能夠沿y軸方向移動。多個劃片頭52可沿y軸方向以預定間隔設(shè)置在框架51上。這些劃片頭52可被設(shè)置在基板s的上方和下方從而彼此面對。然而，本發(fā)明并不局限于此，劃片頭52可被設(shè)置在基板s的上方或下方。每個劃片頭52均設(shè)有用于在基板s的表面上形成劃片線的劃片輪53。舉例來說，一對劃片頭52可被設(shè)置在基板s的上方和下方從而彼此面對，由此一對劃片輪53可被設(shè)置在基板s的上方和下方從而彼此面對。因此，在這對劃片輪53被壓靠在基板s的上表面和下表面上的狀態(tài)下，通過基板s相對于劃片頭52的相對運動和/或劃片頭52相對于基板s的相對運動，多條劃片線可被分別地形成在基板s的上表面和下表面上?；暹\送單元60可包括：保持基板s的保持構(gòu)件61；以及沿x軸方向延伸的導軌62。線性運動機構(gòu)(比如通過氣壓或液壓操作的致動器、通過電磁相互作用操作的線性電機、或滾珠絲杠機構(gòu))可被設(shè)置在保持構(gòu)件61與導軌62之間。因此，在保持構(gòu)件61保持基板s的狀態(tài)下，隨著保持構(gòu)件61通過線性運動機構(gòu)沿x軸方向移動，基板s可沿x軸方向被運送。在這種情況下，帶32配合著保持構(gòu)件61的移動而旋轉(zhuǎn)，因此可穩(wěn)定地支撐基板s的下表面。保持構(gòu)件61可以是物理地按壓并且保持基板s的后緣的夾具。然而，本發(fā)明并不局限于此，保持構(gòu)件61可設(shè)有與真空源連接的至少一個真空孔，且可構(gòu)造成通過抽吸來保持基板s的后緣。導軌62可被設(shè)置在多條帶32之間。導軌62用于引導保持構(gòu)件61沿x軸方向的移動?；鍌鬟f單元70可包括：基板保持構(gòu)件71，其保持放置在基板支撐單元20上的基板s；支撐構(gòu)件72，其支撐基板保持構(gòu)件71；升降裝置73，其通過支撐構(gòu)件72連接到基板保持構(gòu)件71并沿豎直方向移動基板保持構(gòu)件71；以及至少一個非接觸式抽吸頭90，其附接到基板保持構(gòu)件71并通過抽吸來保持基板s。升降裝置73可被構(gòu)造為線性運動機構(gòu)，比如通過氣壓或液壓操作的致動器、通過電磁相互作用操作的線性電機、或滾珠絲杠機構(gòu)?；灞３謽?gòu)件71可通過升降裝置73的操作而沿豎直方向移動，因此基板s可沿豎直方向移動。同時，基板傳遞單元70可包括位置調(diào)整單元74，當基板傳遞單元70將基板s傳遞到裝載臺30時，位置調(diào)整單元74調(diào)整基板s的位置。如圖2所示，位置調(diào)整單元74可被安裝在基板保持構(gòu)件71與支撐構(gòu)件72之間，且可調(diào)整基板保持構(gòu)件71關(guān)于支撐構(gòu)件72的相對水平位置。位置調(diào)整單元74可包括旋轉(zhuǎn)基板s的基板旋轉(zhuǎn)裝置、水平地且直線地移動基板s的基板移動裝置、或者基板旋轉(zhuǎn)裝置和基板移動裝置這兩者。此處，基板旋轉(zhuǎn)裝置可包括連接基板保持構(gòu)件71和支撐構(gòu)件72的旋轉(zhuǎn)電機。而且，基板移動裝置被設(shè)置在基板保持構(gòu)件71與支撐構(gòu)件72之間，且可為線性運動機構(gòu)，比如通過氣壓或液壓操作的致動器、通過電磁相互作用操作的線性電機、或滾珠絲杠機構(gòu)。如圖6到圖10所示的另一示例，可設(shè)置一對位置調(diào)整單元74，且該位置調(diào)整單元74可包括：連接構(gòu)件75，其與基板保持構(gòu)件71連接；x軸驅(qū)動單元76，其沿x軸方向移動連接構(gòu)件75；以及y軸驅(qū)動單元77，其沿y軸方向移動連接構(gòu)件75。x軸驅(qū)動單元76和/或y軸驅(qū)動單元77可被構(gòu)造為線性運動機構(gòu)，比如通過氣壓或液壓操作的致動器、通過電磁相互作用操作的線性電機、或滾珠絲杠機構(gòu)。連接構(gòu)件75可通過旋轉(zhuǎn)軸78可旋轉(zhuǎn)地連接到x軸驅(qū)動單元76或y軸驅(qū)動單元77。因此，當這對位置調(diào)整單元74中的一個位置調(diào)整單元74的連接構(gòu)件75直線移動時，另一個位置調(diào)整單元74的連接構(gòu)件75可圍繞旋轉(zhuǎn)軸78旋轉(zhuǎn)。這對位置調(diào)整單元74可被設(shè)置在基板保持構(gòu)件71與支撐構(gòu)件72之間，使得基板s可在多個支撐點處被支撐，從而更穩(wěn)定地進行調(diào)整基板s的位置的操作。當這對位置調(diào)整單元74中的一個位置調(diào)整單元74的連接構(gòu)件75沿x軸方向或y軸方向移動時，另一個位置調(diào)整單元74的連接構(gòu)件75可旋轉(zhuǎn)，其結(jié)果是，基板保持構(gòu)件71可旋轉(zhuǎn)。而且，這對位置調(diào)整單元74的兩個連接構(gòu)件75均可通過x軸驅(qū)動單元76和/或y軸驅(qū)動單元77的操作而沿x軸方向和/或y軸方向移動，其結(jié)果是，基板保持構(gòu)件71可沿x軸方向和/或y軸方向移動。因此，如圖8所示，即使在由基板保持構(gòu)件71保持的基板s的位置從將要被定位在裝載臺30上的基板s的準確位置t偏離一角度，和/或從準確位置t沿x軸方向和/或y軸方向偏離一距離的情況下，由于基板保持構(gòu)件71如圖9所示地旋轉(zhuǎn)，基板s的角度可變得與準確位置t處的角度一致，并且由于基板保持構(gòu)件71如圖10所示沿x軸方向和/或y軸方向移動，基板s的位置可變得與準確位置t一致。借助這對位置調(diào)整單元74，基板s可旋轉(zhuǎn)并沿水平方向移動。因此，相比于具有沉重重量和高負載的基板保持構(gòu)件71和基板s由單一旋轉(zhuǎn)電機旋轉(zhuǎn)的情況，其能夠更穩(wěn)定地旋轉(zhuǎn)基板s，其結(jié)果是，能夠精確地調(diào)整基板s的位置。如上所述，可旋轉(zhuǎn)基板保持構(gòu)件71且可沿x軸方向和/或y軸方向移動基板保持構(gòu)件71的位置調(diào)整單元74被設(shè)置在基板保持構(gòu)件71與支撐構(gòu)件72之間，其結(jié)果是，當基板傳遞單元70將基板s傳遞到裝載臺30時，能夠調(diào)整基板s的位置。因此，相比于獨立于基板傳遞單元70設(shè)置一個單獨裝置以調(diào)整基板s的位置的情況，運送基板s和執(zhí)行劃片處理所需的空間和時間可被最小化。同時，根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的劃片設(shè)備可包括位置檢測單元80，其檢測由基板傳遞單元70保持的基板s的至少一部分的位置。位置檢測單元80可安裝在裝載臺30上從而檢測基板s的下表面的位置。然而，位置檢測單元80的安裝位置并不受限，例如，位置檢測單元80可被安裝在基板傳遞單元70上以便檢測放置在基板支撐單元20上的基板s的上表面的位置。位置檢測單元80可包括圖像采集單元，該圖像采集單元采集基板s的圖像，并基于所采集的基板s的圖像來確定基板s是否偏離準確位置t。作為另一示例，位置檢測單元80可包括光學傳感器，該光學傳感器朝向基板s的至少一部分發(fā)光并確定是否接收到來自基板s的反射光，從而確定基板s是否偏離準確位置t。而且，基于由位置檢測單元80檢測的基板s的位置，位置調(diào)整單元74可旋轉(zhuǎn)基板保持構(gòu)件71或可沿x軸方向和/或y軸方向移動基板保持構(gòu)件71。多個抽吸頭90可被安裝在基板保持構(gòu)件71的底部上，而彼此隔開預定間隔。抽吸頭90用于在抽吸頭90不與基板s接觸的狀態(tài)下吸引并支撐基板s。如圖11所示，抽吸頭90可包括：本體91；空氣引導部92，其向內(nèi)凹陷地形成在本體91的面向基板s的一個表面中；噴嘴93，其被安裝在空氣引導部92內(nèi)，與空氣引導部92隔開，并具有供空氣穿過的通孔931；第一通道94，其與形成在空氣引導部92和噴嘴93之間的空間連通；第二通道95，其與噴嘴93的通孔931連通；第一空氣供應裝置97，其與第一通道94連接；以及第二空氣供應裝置98和空氣抽吸裝置99，其與第二通道95選擇性地連接?？諝庖龑Р?2包括：傾斜表面921，其位于空氣引導部92與噴嘴93之間且呈逐漸傾斜形狀；以及擴散表面922，其從傾斜表面921延伸向傾斜表面921的外側(cè)，使得擴散表面922與基板s之間的距離朝向外側(cè)增加。在噴嘴93的面向第一通道94的出口的一個表面中形成有環(huán)形氣穴(airpocket)932，并且，在噴嘴93與空氣引導部92的鄰近氣穴932的部分之間形成縫隙96，縫隙96具有從氣穴932開始逐漸減小的間隙。因此，當空氣被從第一空氣供應裝置97供應到第一通道94時，空氣從第一通道94的出口被排出，隨后流入噴嘴93的氣穴932中。流入氣穴932中的空氣通過縫隙96被排放到外面。通過縫隙96排放的空氣在抽吸頭90與基板s之間沿著傾斜表面921徑向地流動，并且隨后，通過被沿著擴散表面922引導而在與基板s的距離增加的方向上(基于附圖沿向上方向)流動。因此，在抽吸頭90與基板s之間形成負壓。如上所述，當在抽吸頭90與基板s彼此鄰近的狀態(tài)下空氣通過縫隙96被徑向地排放時，在抽吸頭90與基板s之間形成負壓，且借助該負壓，基板s被吸引向抽吸頭90。在這種情況下，抽吸頭90與基板s之間的預定間隔由被排放的空氣的壓力來維持。因此，抽吸頭90可在抽吸頭90與基板s不接觸的狀態(tài)下吸引并支撐基板s。同時，第二空氣供應裝置98和空氣抽吸裝置99可通過開關(guān)選擇性地連接到第二通道95。當?shù)诙諝夤b置98連接到第二通道95時，空氣可從第二空氣供應裝置98被供應到第二通道95，隨后從噴嘴93的通孔931排放。因此，在抽吸頭90的噴嘴93與基板s之間形成正壓，且由此可增加抽吸頭90與基板s之間的間隔。此外，當空氣抽吸裝置99連接到第二通道95時，通過空氣抽吸裝置99的操作，空氣可穿過噴嘴93的通孔931被抽入第二通道95中。因此，在抽吸頭90的噴嘴93與基板s之間形成負壓，且由此可減小抽吸頭90與基板s之間的間隔。由于第二空氣供應裝置98和空氣抽吸裝置99被構(gòu)造成如上所述地選擇性地連接到第二通道95，所以可基于基板s的性質(zhì)(比如基板的尺寸和重量)來精確地調(diào)整抽吸頭90與基板s之間的壓力。在下文中，將參照圖12到圖15描述根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的劃片設(shè)備的操作。首先，如圖12所示，基板s被基板供應單元10從外部供應到基板支撐單元20。在這種情況下，基板傳遞單元70被設(shè)置成與基板支撐單元20隔開預定間隔。同時，基板支撐單元20上可設(shè)置止動件，使得基板s可被放置在基板支撐單元20上的適當位置。而且，如圖13所示，當基板s被放置在基板支撐單元20上時，基板傳遞單元70的基板保持構(gòu)件71向下移動并保持被放置在基板支撐單元20上的基板s。在這種情況下，位置檢測單元80可檢測基板s的至少一部分的位置，以便確定基板s是否偏離準確位置t。而且，如圖14所示，在基板保持構(gòu)件71保持基板s的狀態(tài)下，基板保持構(gòu)件71從基板支撐單元20向上移動。在這種情況下，基板保持構(gòu)件71通過位置調(diào)整單元74進行旋轉(zhuǎn)或沿x軸方向和/或y軸方向移動，其結(jié)果是，基板s的位置可被調(diào)整。而且，基板支撐單元20可形成供基板s穿過的開口21，使得基板傳遞單元70可通過開口21將基板s傳遞到裝載臺30。而且，如圖15所示，基板保持構(gòu)件71向下移動同時穿過開口21，其結(jié)果是，基板s可被傳遞到裝載臺30。當基板s被放置在裝載臺30上時，基板運送單元60保持基板s的后緣，并且隨后將基板s移動到劃片單元50。而且，劃片單元50在基板s上形成劃片線。此后，具有劃片線的基板s經(jīng)由卸載臺40被卸載向后續(xù)處理。根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的劃片設(shè)備，在由基板傳遞單元70的基板保持構(gòu)件71保持基板s的狀態(tài)下，基板保持構(gòu)件71通過位置調(diào)整單元74進行旋轉(zhuǎn)或沿x軸方向和/或y軸方向移動，其結(jié)果是，基板s的位置可被調(diào)整。因此，不用物理地按壓基板s的一部分來對準和定位基板s，基板s的位置就可被調(diào)整，其結(jié)果是，能夠防止在定位和對準基板s的處理期間對基板s的損壞。根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的劃片設(shè)備，基板支撐單元20和裝載臺30被設(shè)置在相同的豎直線上，且基板傳遞單元70可將基板s直接傳遞到裝載臺30，同時位置調(diào)整單元74調(diào)整基板s的位置，其結(jié)果是，能夠減少運送基板s和調(diào)整基板s的位置所需的時間，并能夠提高劃片設(shè)備的空間利用率。此外，根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的劃片設(shè)備，當基板傳遞單元70將基板s傳遞到裝載臺30時，基板s的位置可被設(shè)置在基板傳遞單元70中的位置調(diào)整單元74調(diào)整。因此，不需要在運送基板s所沿循的路徑中設(shè)置單獨裝置來定位和對準基板s，其結(jié)果是，能夠最小化運送基板s和進行劃片處理所需的水平空間。此外，根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的劃片設(shè)備，在基板s不與抽吸頭90接觸的狀態(tài)下，基板s可被基板傳遞單元70的非接觸式抽吸頭90支撐，其結(jié)果是，在支撐和運送基板s的處理期間能夠防止對基板s的諸如刮傷的損壞。在下文中，將參照圖16到圖20描述本發(fā)明的另一示例性實施例。與本發(fā)明的前述示例性實施例中描述的組成元件相同的組成元件用相同的附圖標記表示，且省略對其的描述。如圖16和圖17所示，根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實施例的劃片設(shè)備可包括定位單元100，該定位單元100使得被基板傳遞單元70的非接觸式抽吸頭90支撐的基板s被定位在準確位置。定位單元100可被設(shè)置成與基板支撐單元20隔開預定間隔。例如，定位單元100可被設(shè)置在基板支撐單元20之上，并被構(gòu)造成在基板s從基板支撐單元20向上移動預定高度的狀態(tài)下定位和對準基板s。作為另一示例，定位單元100可被設(shè)置在基板支撐單元20之下，即，在基板支撐單元20與裝載臺30之間，并被構(gòu)造成在基板s從基板支撐單元20向下移動預定高度的狀態(tài)下定位和對準基板s。定位單元100可包括：多個按壓構(gòu)件110，其被構(gòu)造為按壓基板s的邊緣和/或角部；以及多個按壓構(gòu)件移動裝置120，其分別沿按壓構(gòu)件110移動鄰近基板s的方向和沿按壓構(gòu)件110移動離開基板s的方向來移動所述多個按壓構(gòu)件110。所述多個按壓構(gòu)件110可被構(gòu)造成按壓基板s的側(cè)(橫向)表面(基板s的側(cè)面、邊緣、角部或全部側(cè)面、邊緣、角部)。按壓構(gòu)件移動裝置120可被構(gòu)造為線性運動機構(gòu)，比如通過氣壓或液壓操作的致動器、通過電磁相互作用操作的線性電機、或滾珠絲杠機構(gòu)。根據(jù)前述構(gòu)造，在基板s由基板傳遞單元70的非接觸式抽吸頭90支撐的狀態(tài)下，定位單元100的所述多個按壓構(gòu)件110按壓基板s的側(cè)表面，其結(jié)果是，基板s可基于所述多個按壓構(gòu)件110之間的距離被定位在預定位置和姿勢。同時，因為所述多個按壓構(gòu)件110按壓基板s的側(cè)表面使得基板s水平移動和/或旋轉(zhuǎn)，所以在基板傳遞單元70中可不設(shè)置用于調(diào)整基板s的位置的位置調(diào)整單元74?？稍O(shè)置位置檢測單元80，且所述多個按壓構(gòu)件110各自的移動距離可基于由位置檢測單元80檢測的基板s的位置被控制，其結(jié)果是，能夠更精確地定位和對準基板s。在下文中，將參照圖16到圖20描述根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實施例的劃片設(shè)備的操作。首先，如圖16所示，基板s被基板供應單元10從外部供應到基板支撐單元20。在這種情況下，基板傳遞單元70被設(shè)置成與基板支撐單元20隔開預定間隔。而且，如圖18所示，當基板s被放置在基板支撐單元20上時，基板傳遞單元70的基板保持構(gòu)件71向下移動，且非接觸式抽吸頭90保持基板s。而且，如圖19所示，在基板保持構(gòu)件71的抽吸頭90保持基板s的狀態(tài)下，基板保持構(gòu)件71的抽吸頭90從基板支撐單元20向上移動。在這種情況下，定位單元100的多個按壓構(gòu)件110按壓基板s的側(cè)表面，且因此基板s被旋轉(zhuǎn)或沿x軸方向和/或y軸方向移動，使得基板s的位置可被調(diào)整。而且，基板支撐單元20可形成供基板s穿過的開口21，使得基板傳遞單元70可通過開口21將基板s傳遞到裝載臺30。而且，如圖20所示，基板保持構(gòu)件71在穿過開口21的同時向下移動，其結(jié)果是，基板s可被傳遞到裝載臺30。當基板s被放置在裝載臺30上時，基板運送單元60保持基板s的后緣，并且隨后將基板s移動到劃片單元50。而且，劃片單元50在基板s上形成劃片線。此后，具有劃片線的基板s經(jīng)由卸載臺40被卸載向后續(xù)處理。根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實施例的劃片設(shè)備的操作和效果可與根據(jù)本發(fā)明的前述示例性實施例的劃片設(shè)備的操作和效果相同。本文已經(jīng)為說明性目的描述了本發(fā)明的多個示例性實施例。然而應認識到，本發(fā)明的范圍不局限于具體的示例性實施例，并且在不脫離所附權(quán)利要求書限定的范圍的前提下，可以進行各種修改。當前第1頁12當前第1頁12