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一種高d33亞微米級Al3+摻雜鈮酸鉀鈉無鉛壓電陶瓷的熱壓燒結(jié)方法與流程

文檔序號:11823816閱讀:637來源:國知局
一種高d33亞微米級Al3+摻雜鈮酸鉀鈉無鉛壓電陶瓷的熱壓燒結(jié)方法與流程

本發(fā)明屬于無鉛壓電陶瓷技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種亞微米尺寸、壓電性能優(yōu)異的摻雜氧化鋁的鈮酸鉀鈉無鉛壓電陶瓷的制備方法。



背景技術(shù):

隨著納米技術(shù)和移動通訊技術(shù)的迅猛發(fā)展,對電子器件小型化、微型化的要求變得越來越迫切,亞微米/納米陶瓷以其致密的結(jié)構(gòu)和細化的晶粒尺寸備受關(guān)注。然而亞微米/納米陶瓷雖然具有諸多優(yōu)勢,但其制備過程卻較為困難。這主要是由于陶瓷在燒結(jié)的過程中往往涉及到上千攝氏度的溫度,在如此高溫下,隨著晶??紫吨械臍怏w不斷被排出,在整體結(jié)構(gòu)趨于致密的同時伴隨著晶粒的不斷長大。此外,多數(shù)情況下,隨著晶粒尺寸減小,陶瓷的壓電和鐵電性能均會發(fā)生不同程度的降低。

近年來,具有亞微米/納米尺度晶粒的壓鐵電陶瓷的研究主要局限于鈦酸鋇陶瓷體系。然而,在無鉛壓電陶瓷的體系中,鈮酸鉀鈉((K0.5Na0.5)NbO3,縮寫為KNN)基壓電陶瓷由于具有高的壓電常數(shù)、機電耦合系數(shù)和居里溫度,引起了人們的廣泛關(guān)注,并有可能成為鉛基壓電陶瓷的替代品。但是,KNN基陶瓷在制備過中存在一個難題:傳統(tǒng)工藝合成的陶瓷顆粒度大(通常在微米量級),而且伴隨著高溫?zé)Y(jié)造成K和Na等元素的大量揮發(fā),難以獲得致密的陶瓷燒結(jié)體,從而嚴重影響獲得既具有細化晶粒尺寸又具有良好電學(xué)性能的鈮酸鉀鈉基無鉛壓電陶瓷。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于提供一種通過摻雜氧化鋁制備具有較高介電鐵電性能和高d33的亞微米級鈮酸鉀鈉無鉛壓電陶瓷的方法。

解決上述技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案由下述步驟組成:

1、按照(Na0.5K0.5)NbO3的化學(xué)計量比,將碳酸鈉、碳酸鉀、五氧化二鈮分別加入到尼龍罐中,以無水乙醇為球磨介質(zhì),在滾筒式球磨機上充分混合球磨24~48小時后,在80~120℃下烘干,得到原料混合物。

2、將步驟1的原料混合物在800~850℃預(yù)燒2~3小時,得到(Na0.5K0.5)NbO3預(yù)燒粉。

3、向(Na0.5K0.5)NbO3預(yù)燒粉中加入其摩爾量0.3%~0.8%的氧化鋁,以無水乙醇為球磨介質(zhì),再次混合球磨12~24小時后,在80~120℃下烘干,得到混合干粉。

4、將步驟3所得混合干粉裝入內(nèi)表面為氮化硼涂層的石墨磨具中,置入熱壓燒結(jié)爐中,在真空條件下升溫至1050℃,在15~20MPa外壓下保溫保壓1~3小時,得到陶瓷片。

5、將步驟4所得陶瓷片在850~950℃下退火1~2小時。

6、將步驟5退火后的陶瓷表面打磨,拋光,用酒精搽拭干凈,在其上下表面分別涂覆銀漿,置于電阻爐中650℃保溫30分鐘,自然冷卻至室溫。

7、將步驟6燒銀后的陶瓷置于常溫硅油中,在5~6kV/mm電場下極化15~20分鐘,得到高d33亞微米級Al3+摻雜鈮酸鉀鈉無鉛壓電陶瓷。

上述步驟2中,優(yōu)選向(Na0.5K0.5)NbO3預(yù)燒粉中加入其摩爾量0.5%的氧化鋁。

本發(fā)明的有益效果如下:

本發(fā)明通過在鈮酸鉀鈉基壓電陶瓷中添加三氧化二鋁,顯著提高了其d33,所制備的無鉛壓電陶瓷的晶粒尺寸均為亞微米尺寸,平均晶粒尺寸為230~650nm,并且組分較簡單,燒結(jié)溫度較低,具有較高介電鐵電性能,其壓電常數(shù)d33達到130~142pC/N,居里溫度Tc高達398~417℃,且不含環(huán)境危害性元素鉛,環(huán)境友好,在高溫電子設(shè)備中具有實際的應(yīng)用價值。

附圖說明

圖1是實施例1、3、5制備的壓電陶瓷瓷的XRD圖。

圖2是實施例1制備的壓電陶瓷的掃描電子顯微鏡照片。

圖3是實施例1制備的壓電陶瓷的電滯回線圖。

圖4是實施例3制備的壓電陶瓷的掃描電子顯微鏡照片。

圖5是實施例3制備的壓電陶瓷的電滯回線圖。

圖6是實施例5制備的壓電陶瓷的掃描電子顯微鏡照片。

圖7是實施例5制備的壓電陶瓷的電滯回線圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進一步詳細說明,但本發(fā)明的保護范圍不僅限于這些實施例。

實施例1

1、按照(Na0.5K0.5)NbO3的化學(xué)計量比,將5.4755g碳酸鈉、7.1982g碳酸鉀、27.547g五氧化二鈮加入到尼龍罐中,以無水乙醇為球磨介質(zhì),在滾筒式球磨機上充分混合球磨48小時后,在120℃下烘干,得到原料混合物。

2、將步驟1的原料混合物在850℃預(yù)燒2小時,得到(Na0.5K0.5)NbO3預(yù)燒粉。

3、向(Na0.5K0.5)NbO3預(yù)燒粉中加入其摩爾量0.5%的氧化鋁,以無水乙醇為球磨介質(zhì),再次混合球磨24小時后,在120℃下烘干,得到混合干粉。

4、將步驟3所得混合干粉裝入內(nèi)表面為氮化硼涂層的石墨磨具中,置入熱壓燒結(jié)爐,在真空條件下升溫至1050℃,在外壓為18MPa下保溫保壓2小時,得到陶瓷片。

5、將步驟4所得陶瓷片在900℃下退火2小時。

6、將步驟5退火后的陶瓷表面打磨,拋光,用酒精搽拭干凈,在其上下表面分別涂覆銀漿,置于電阻爐中650℃保溫30分鐘,自然冷卻至室溫。

7、將步驟6被銀后的陶瓷置于常溫硅油中,在6kV/mm電場下極化20分鐘,得到亞微米級Al3+摻雜鈮酸鉀鈉無鉛壓電陶瓷。

實施例2

本實施例中,在步驟3中,向(Na0.5K0.5)NbO3預(yù)燒粉中加入其摩爾量0.3%的氧化鋁,以無水乙醇為球磨介質(zhì),再次混合球磨12~24小時后,在80~120℃下烘干,得到混合干粉。其他步驟與實施例1相同,得到亞微米級Al3+摻雜鈮酸鉀鈉無鉛壓電陶瓷。

實施例3

本實施例中,在步驟3中,向(Na0.5K0.5)NbO3預(yù)燒粉中加入其摩爾量0.6%的氧化鋁,以無水乙醇為球磨介質(zhì),再次混合球磨12~24小時后,在80~120℃下烘干,得到混合干粉。其他步驟與實施例1相同,得到亞微米級Al3+摻雜鈮酸鉀鈉無鉛壓電陶瓷。

實施例4

本實施例中,在步驟3中,向(Na0.5K0.5)NbO3預(yù)燒粉中加入其摩爾量0.7%的氧化鋁,以無水乙醇為球磨介質(zhì),再次混合球磨12~24小時后,在80~120℃下烘干,得到混合干粉。其他步驟與實施例1相同,得到亞微米級Al3+摻雜鈮酸鉀鈉無鉛壓電陶瓷。

實施例5

本實施例中,在步驟3中,向(Na0.5K0.5)NbO3預(yù)燒粉中加入其摩爾量0.8%的氧化鋁,以無水乙醇為球磨介質(zhì),再次混合球磨12~24小時后,在80~120℃下烘干,得到混合干粉。其他步驟與實施例1相同,得到亞微米級Al3+摻雜鈮酸鉀鈉無鉛壓電陶瓷。

將實施例1~5所得產(chǎn)品采用日本理學(xué)公司D/Max2550VB+PC型X射線衍射儀進行相結(jié)構(gòu)測試,采用美國FEI公司生產(chǎn)的SEM進行形貌表征,并采用美國生產(chǎn)的Precision型鐵電分析儀及中國科學(xué)院聲學(xué)研究所生產(chǎn)的ZJ-3A準靜態(tài)d33測量儀進行鐵電和壓電性能測試,結(jié)果見圖1~7及表1。

表1實施例1~5制備的無鉛壓電陶瓷的各項參數(shù)

由圖1可見,所有陶瓷試樣的XRD衍射峰均與(Na0.5K0.5)NbO3的標準PDF卡片(JCPDS No.71-0946)完全吻合,表明Al3+已完全進入晶格中。由圖2可見,實施例1所制備的陶瓷晶粒尺寸為亞微米級,經(jīng)過統(tǒng)計,其平均晶粒尺寸為280nm,由圖3可見,其電滯回線表現(xiàn)出典型的鐵電體電滯回線特征。由圖4可見,實施例3所制備陶瓷的平均晶粒尺寸為610nm,其電滯回線表現(xiàn)出典型的鐵電體電滯回線特征(見圖5)。由圖6可見,實施例3所制備陶瓷的平均晶粒尺寸為650nm,其電滯回線表現(xiàn)出典型的鐵電體電滯回線特征(見圖7)。

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