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一種多晶硅生產(chǎn)中的還原爐進(jìn)料方法與流程

文檔序號:11799386閱讀:725來源:國知局

本發(fā)明屬于多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,涉及多晶硅生產(chǎn)中的還原技術(shù),尤其涉及一種多晶硅生產(chǎn)中的還原爐進(jìn)料方法。



背景技術(shù):

目前,在多晶硅生產(chǎn)過程中普遍都是采用還原爐進(jìn)行還原。但是,在目前的多晶硅生產(chǎn)中,還原爐的進(jìn)料量和在硅棒不同的生長期的進(jìn)料配比和用量,多采用的是按生產(chǎn)時間呈直線增加的進(jìn)料方式。這種進(jìn)料方式存在用料量大,反應(yīng)轉(zhuǎn)換率低的缺點(diǎn)。每噸產(chǎn)品的用料量一般在21-25噸之間,而真正參與反應(yīng)的卻可能只在3噸左右,其中絕大部分沒有參與反應(yīng)就直接從出料口進(jìn)入了回收系統(tǒng)。因此,目前的進(jìn)料方式存在許多的不足和浪費(fèi),增加了企業(yè)的生產(chǎn)成本。

為此,目前迫切需要對多晶硅生產(chǎn)中還原爐的進(jìn)料量和時間進(jìn)行優(yōu)化配比。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明旨在克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種多晶硅生產(chǎn)中的還原爐進(jìn)料方法,該方法可使每噸多晶硅生產(chǎn)中的用料量由現(xiàn)在的21-25噸減少到6-10噸,為多晶硅企業(yè)節(jié)省大量成本。

為此,本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:一種多晶硅生產(chǎn)中的還原爐進(jìn)料方法,其將往還原爐中進(jìn)料分成如下三個階段:

(一)初始進(jìn)料階段:

該階段的進(jìn)料時間為從第0小時到第20小時,其中,進(jìn)料量為從0kg到800kg,且該階段的整個進(jìn)料過程中使得單位時間內(nèi)進(jìn)料量隨著時間的增加成正比例地增加;

(二)平穩(wěn)進(jìn)料階段:

該階段的進(jìn)料時間為從第20小時到第60小時,其中,進(jìn)料量為從800kg到1200kg,且該階段的整個進(jìn)料過程中使得單位時間內(nèi)進(jìn)料量隨著時間的增加保持不變;

(三)快速進(jìn)料階段:

該階段的進(jìn)料時間為從第60小時到第100小時,其中,進(jìn)料量為從1200kg到2100kg,且該階段的整個進(jìn)料過程中使得單位時間內(nèi)進(jìn)料量隨著時間的增加成正比例地減少。

進(jìn)一步地,其中,所進(jìn)的料為三氯氫硅。

本發(fā)明的多晶硅生產(chǎn)中的還原爐進(jìn)料方法根據(jù)還原爐不同階段的生長期和溫度變化規(guī)律,運(yùn)用了新的還原爐進(jìn)料配比比例,能夠更有效地利用原料和提高轉(zhuǎn)換率、收成率,節(jié)省原料用量。本發(fā)明的多晶硅生產(chǎn)中的還原爐進(jìn)行方法可使每噸多晶硅生產(chǎn)中的原料用量由現(xiàn)在的21-25噸減少到6-10噸,生產(chǎn)每千克多晶硅的氫氣用量從12-14M3下降到6-8M3,從而為多晶硅企業(yè)節(jié)省大量成本。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的多晶硅生產(chǎn)中的還原爐進(jìn)料方法的進(jìn)料量與進(jìn)料時間的曲線圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖詳細(xì)描述本發(fā)明的具體實(shí)施方式,具體實(shí)施方式的內(nèi)容不作為對本發(fā)明的保護(hù)范圍的限定。

本發(fā)明涉及多晶硅生產(chǎn)中的還原爐進(jìn)行方法,該方法可使每噸多晶硅生產(chǎn)中的原料用量由現(xiàn)在的21-25噸減少到6-10噸,生產(chǎn)每千克多晶硅的氫 氣用量從12-14M3下降到6-8M3,從而為多晶硅企業(yè)節(jié)省大量成本。

圖1示出了本發(fā)明的多晶硅生產(chǎn)中的還原爐進(jìn)料方法的進(jìn)料量與進(jìn)料時間的曲線圖。如圖1所示,本發(fā)明所述的多晶硅生產(chǎn)中的還原爐進(jìn)料方法將往還原爐中進(jìn)料分成三個階段,即,初始進(jìn)料階段、平穩(wěn)進(jìn)料階段和快速進(jìn)料階段。

其中,所述初始進(jìn)料階段為進(jìn)料的前20個小時,即,該階段的進(jìn)料時間為從第0小時到第20小時。在所述初始進(jìn)料階段中,進(jìn)料量為從0kg到800kg,即,該階段開始時進(jìn)料量為0kg,到該階段結(jié)束時,進(jìn)料總量為800kg。同時,在該階段的整個進(jìn)料過程中使得單位時間內(nèi)進(jìn)料量隨著時間的增加成正比例地增加,即,開始時單位時間內(nèi)進(jìn)料量最少,結(jié)束時單位時間內(nèi)進(jìn)料量最多,且從開始到結(jié)束單位時間內(nèi)進(jìn)料量與時間成正比例地增加。

所述平穩(wěn)進(jìn)料階段處于所述初始進(jìn)料階段之后,該階段的進(jìn)料時間為從第20小時到第60小時。在所述平穩(wěn)進(jìn)料階段中,進(jìn)料量為從800kg到1200kg,即,該階段開始時還原爐內(nèi)的原料為800kg,到該階段結(jié)束時,還原爐內(nèi)的原料為1200kg。同時,在該階段的整個進(jìn)料過程中使得進(jìn)料量隨著時間的增加均勻地增加,即,在該階段的整個進(jìn)料過程中,單位時間內(nèi)進(jìn)料量是相同的,隨著時間的增加,單位時間內(nèi)進(jìn)料量保持不變。

所述快速進(jìn)料階段處于所述平穩(wěn)進(jìn)料階段之后,該階段的進(jìn)料時間為從第60小時到第100小時。在所述快速進(jìn)料階段中,進(jìn)料量為從1200kg到2100kg,即,該階段開始時還原爐內(nèi)的原料為1200kg,到該階段結(jié)束時,還原爐內(nèi)的原料為2100kg。同時,在該階段的整個進(jìn)料過程中使得單位時間內(nèi)進(jìn)料量隨著時間的增加成正比例地減少,即,開始時單位時間內(nèi)進(jìn)料量最多,結(jié)束時單位時間內(nèi)進(jìn)料量最少,且從開始到結(jié)束單位時間內(nèi)進(jìn)料量與時間成正比例地減少。

此外,在本發(fā)明中,所進(jìn)的料為三氯氫硅。

本發(fā)明運(yùn)用了新的還原爐加料配比比例,并且根據(jù)加料時間對加料方式進(jìn)行了優(yōu)化,使得所有混合料既能得到充分反應(yīng),又不使硅棒表面形成空燒,還能克服因多余的冷物料進(jìn)入還原爐內(nèi),破壞爐內(nèi)平衡的熱場和氣場。因?yàn)槎嘤嗟睦湮锪线M(jìn)入爐內(nèi)要帶走大量的熱能,增加還原爐的電能消耗,增加生產(chǎn)成本。發(fā)明人通過大量實(shí)驗(yàn)和模擬多晶硅硅棒的生產(chǎn)狀態(tài),得到了在硅棒不同的生長期所需要混合料的用量,從而使得每噸多晶硅生產(chǎn)中的原料用量由現(xiàn)在的21-25噸減少到6-10噸,生產(chǎn)每千克多晶硅的氫氣用量從12-14M3下降到6-8M3,從而為多晶硅企業(yè)節(jié)省大量成本。

具體實(shí)施方式的內(nèi)容是為了便于本領(lǐng)域技術(shù)人員理解和使用本發(fā)明而描述的,并不構(gòu)成對本發(fā)明保護(hù)內(nèi)容的限定。本領(lǐng)域技術(shù)人員在閱讀了本發(fā)明的內(nèi)容之后,可以對本發(fā)明進(jìn)行合適的修改。本發(fā)明的保護(hù)內(nèi)容以權(quán)利要求的內(nèi)容為準(zhǔn)。在不脫離權(quán)利要求的實(shí)質(zhì)內(nèi)容和保護(hù)范圍的情況下,對本發(fā)明進(jìn)行的各種修改、變更和替換等都在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。

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