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一種多晶鑄錠籽晶熔化控制方法及多晶硅鑄錠爐與流程

文檔序號:12771378閱讀:來源:國知局
一種多晶鑄錠籽晶熔化控制方法及多晶硅鑄錠爐與流程

技術特征:
1.一種多晶硅鑄錠爐,包括隔熱籠、置于所述隔熱籠內(nèi)的熱交換臺、放置在所述熱交換臺上的坩堝、支撐熱交換臺的石墨支撐柱,其特征在于,還包括設置在坩堝底部邊角部位的熱電偶,所述熱電偶位于所述坩堝下方,所述熱電偶通過一支架固定在所述石墨支撐柱上,所述支架包括熱電偶套管、連接管和支撐柱套管,所述連接管兩端分別連接熱電偶套管和支撐柱套管,所述支撐柱套管套設在所述石墨支撐柱外表面且可以以所述石墨支撐柱為軸進行旋轉,所述熱電偶包括測溫端和固定端,所述熱電偶套管套設在所述熱電偶的固定端的外表面,所述熱電偶的固定端的端面設有一滑塊,所述滑塊與所述熱電偶套管的內(nèi)管壁滑動連接,與所述熱電偶固定端固定連接。2.根據(jù)權利要求1所述的多晶硅鑄錠爐,其特征在于,所述熱電偶為一個或多個。3.如權利要求1所述的多晶硅鑄錠爐,其特征在于,所述熱電偶的測溫端的端面距坩堝底部的垂直距離為0~20mm,距離坩堝側壁的水平距離為0~50mm。4.如權利要求1所述的多晶硅鑄錠爐,其特征在于,所述多晶硅鑄錠爐還包括固定在坩堝與熱交換臺之間的石墨護板,所述熱電偶的測溫端的端面距所述石墨護板底部的垂直距離為1~2mm。5.如權利要求1所述的多晶硅鑄錠爐,其特征在于,沿所述坩堝底部中心位置向坩堝底部邊緣位置輻射設置有多個熱電偶。6.如權利要求1所述的多晶硅鑄錠爐,其特征在于,沿所述坩堝底部的邊緣設置有多個熱電偶。
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