一種多晶硅用中頻熔煉爐冶煉裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及中頻感應(yīng)熔煉爐領(lǐng)域，特別涉及一種多晶硅用中頻熔煉爐冶煉裝置，其裝置包括爐體（1），傾爐系統(tǒng)（2），水冷電纜（3），電容器柜（4），電纜（5），電源柜（6），變壓器（7），其中，爐體（1），傾爐系統(tǒng)（2），水冷電纜（3），電容器柜（4），電纜（5），電源柜（6），變壓器（7）依次連接成一條線，關(guān)鍵是爐體（1）內(nèi)的爐襯是石墨結(jié)構(gòu)。這樣的多晶硅用中頻熔煉爐冶煉裝置結(jié)構(gòu)緊湊，節(jié)能環(huán)保，投資少，成本低，流程短，維修方便，滿足了客戶的要求。
【專利說明】一種多晶硅用中頻熔煉爐冶煉裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及中頻感應(yīng)熔煉爐領(lǐng)域，特別涉及一種多晶硅用中頻熔煉爐冶煉裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]長期以來物理法多晶硅冶煉多采用電弧爐冶煉，其整個(gè)裝置結(jié)構(gòu)龐大，設(shè)備成本高，耗電量大，污染大，維修不便。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的就在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足，而提供了一種多晶硅用中頻熔煉爐冶煉裝置。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為:
一種多晶硅用中頻熔煉爐冶煉裝置，其特征在于，包括爐體，傾爐系統(tǒng)，水冷電纜，電容器柜，電纜，電源柜和變壓器，其安裝方式為:所述爐體、傾爐系統(tǒng)、水冷電纜、電容器柜、電纜、電源柜和變壓器依次連接成一條線。
[0005]進(jìn)一步的，所述爐體內(nèi)爐襯為石墨。
[0006]這樣的多晶硅用中頻熔煉爐冶煉裝置結(jié)構(gòu)緊湊，節(jié)能環(huán)保，投資少，成本低，流程短，維修方便，滿足了客戶的要求。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0007]圖1是本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖。
[0008]其中，1-爐體，2-傾爐系統(tǒng)，3-水冷電纜，4-電容器柜，5-電纜，6_電源柜，7_變壓器。

【具體實(shí)施方式】
[0009]以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本發(fā)明做進(jìn)一步說明。
[0010]如圖1，本實(shí)施例是針對的多晶硅用中頻熔煉爐冶煉裝置，由爐體1，傾爐系統(tǒng)2，水冷電纜3，電容器柜4，電纜5，電源柜6和變壓器7組成，它們之間依次連接成一條線，爐體I內(nèi)爐襯采用石墨。
[0011]多晶硅用中頻熔煉爐冶煉裝置工作過程如下:
向爐體I中放入要熔煉的多晶硅原料，開啟電源6，中頻電流通過加熱電纜5，電容器柜4，水冷電纜3，輸入到爐體I感應(yīng)線圈中，產(chǎn)生的磁場將石墨柑堝加熱，石墨坩堝的熱能又將多晶硅原料加熱，當(dāng)溫度合格，熔煉好后，傾爐系統(tǒng)2將爐內(nèi)冶煉好的溶液倒出，整個(gè)冶煉過程完成。
[0012]關(guān)鍵點(diǎn)是多晶硅不導(dǎo)磁，通過加熱石墨，石墨受熱將熱量導(dǎo)入多晶硅原料，使多晶娃融化，石墨也不污染多晶娃。
[0013]以上是對本發(fā)明的具體說明，本方案不僅僅局限在以上實(shí)施例中，針對在本方案發(fā)明構(gòu)思下所做的任何改變都將落入本發(fā)明保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種多晶硅用中頻熔煉爐冶煉裝置，其特征在于，包括爐體(1)，傾爐系統(tǒng)(2)，水冷電纜(3)，電容器柜(4)，電纜(5)，電源柜(6)和變壓器(7)，其安裝方式為:所述爐體(I)、傾爐系統(tǒng)(2)、水冷電纜(3)、電容器柜(4)、電纜(5)、電源柜(6)和變壓器(7)依次連接成一條線。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種多晶硅用中頻熔煉爐冶煉裝置，其特征在于，所述爐體(I)內(nèi)爐襯為石墨。
【文檔編號】C01B33/037GK104418327SQ201310406084
【公開日】2015年3月18日 申請日期:2013年9月9日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月9日
【發(fā)明者】魏雷, 魏云鵬 申請人:西安邦合電氣設(shè)備有限公司